碳化硅晶體爐感應線圈與中頻電源連接裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于碳化硅晶體生長設備技術領域，尤其涉及一種碳化硅晶體爐感應線圈與中頻電源連接裝置。
【背景技術】
[0002]目前碳化硅生長過程中，中頻電源給線圈供電，線圈需要給爐體連續(xù)加熱，線圈連續(xù)加熱時需要散熱，線圈散熱需要通水，而通水主要采用水冷電纜或用銅排連接線圈和中頻電源，為減小對外輻射干擾經(jīng)常加封閉管道來處理，既不方便維護也浪費金屬材料，水冷電纜由于內(nèi)部通水所以電纜很重，并且電纜通電電流要留有相當?shù)倪x擇余量；銅排或多路銅箔壓接可以節(jié)省銅料但為解決輻射而增加了封閉裝置，不方便維護同時浪費空間。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型要解決的問題是提供一種節(jié)省空間且方便維護的碳化硅晶體爐感應線圈與中頻電源連接裝置。
[0004]為解決上述問題，本實用新型采用的技術方案:一種碳化硅晶體爐感應線圈與中頻電源連接裝置，包括中空結(jié)構的上封頭、電纜線和下封頭，所述上封頭一端通過不銹鋼喉箍卡套在線圈的引出端外，且與爐體外表面垂直，所述上封頭內(nèi)線圈引出端設有線圈電極，所述線圈與線圈電極均為中空結(jié)構，所述線圈電極外部為螺紋結(jié)構，所述線圈電極內(nèi)腔直接通循環(huán)冷卻水，所述線圈電極另一端通過橡膠水管穿出上封頭朝下設有的開口與供水裝置連接所述線圈電極上設有第一連接銅排，所述第一連接銅排一端套設于所述線圈電極外表面，另一端折彎，且折彎面與線圈電極的軸線平行，所述電纜線通過所述折彎面與線圈電極連接；上封頭另一端設有中心開孔的第一環(huán)氧樹脂板，所述電纜線另一端穿出所述第一環(huán)氧樹脂板中心孔并穿過下封頭頂部第二環(huán)氧樹脂板中心孔與中頻電源引出電極相連，所述下封頭罩住所述中頻電源引出電極。
[0005]所述電纜線內(nèi)部采用多股利茲線，外部附加絕緣保護層。
[0006]所述中頻電源引出電極通過第二銅排與所述電纜線另一端連接。
[0007]所述第二銅排包括兩個平行設置的電極，兩個所述電極之間通過絕緣氟板隔開。
[0008]所述上封頭兩側(cè)開有檢修口。
[0009]本實用新型具有的優(yōu)點和積極效果是:本實用新型由于采用上封頭、電纜線和下封頭連接組成，與感應線圈采用喉箍卡套，與中頻電源通過下封頭連接，整體移動或拆卸維修都方便，節(jié)省銅材，節(jié)省空間；電纜線內(nèi)部采用多股利茲線，外部附加絕緣保護層，提高銅材利用率并盡量減少對外干擾；第二環(huán)氧樹脂板中心開孔通過線纜，減少對周圍器件感應渦流的影響；上封頭采用不銹鋼喉箍箍緊，封頭左右兩側(cè)開孔的結(jié)構容易對內(nèi)部器件維護。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型結(jié)構示意圖；
[0011]圖2是本實用新型下封頭底板結(jié)構示意圖；
[0012]圖3是本實用新型下封頭頂板結(jié)構示意圖；
[0013]圖4是本實用新型上封頭主視結(jié)構示意圖；
[0014]圖5是本實用新型線圈電極和第一連接銅排連接結(jié)構示意圖。
[0015]圖中:1.上封頭，2.電纜線，3.下封頭，11.喉箍，12.第一環(huán)氧樹脂板，13.第一環(huán)氧樹脂板中心孔，14.15.線圈電極，16.線圈電極內(nèi)腔，17.第一連接銅排，31.氟板，32.第二銅排，33.34.中頻電源引出電極，35.第二環(huán)氧樹脂板，36.第二環(huán)氧樹脂板中心孔，37.邊框。
【具體實施方式】
[0016]現(xiàn)根據(jù)附圖1-5對本實用新型進行較詳細的說明:一種碳化硅晶體爐感應線圈與中頻電源連接裝置，包括中空結(jié)構的上封頭1、電纜線2和下封頭3，所述上封頭I 一端通過不銹鋼喉箍11卡套在線圈的引出端外，且與爐體外表面垂直，所述上封頭I內(nèi)線圈引出端設有線圈電極14.15，所述線圈與線圈電極14.15均為中空結(jié)構，所述線圈電極14.15外部為螺紋結(jié)構，所述線圈電極內(nèi)腔16直接通循環(huán)冷卻水，所述線圈電極14.15另一端通過橡膠水管穿出上封頭I朝下設有的開口與供水裝置連接，所述線圈電極14.15上設有第一連接銅排17，所述第一連接銅排17 —端套設于所述線圈電極14.15外表面，另一端折彎(可根據(jù)實際應用折彎不同角度)，且折彎面與線圈電極14.15的軸線平行，所述電纜線2通過所述折彎面與線圈電極14.15連接；上封頭I另一端設有中心開孔的第一環(huán)氧樹脂板12，所述電纜線2另一端穿出所述第一環(huán)氧樹脂板中心孔13并穿過下封頭3頂部第二環(huán)氧樹脂板中心孔36與中頻電源引出電極34.33相連，所述下封頭3罩住所述中頻電源引出電極34.33。第一環(huán)氧樹脂板12通過螺釘固定到上封頭I上，第二環(huán)氧樹脂板35通過螺釘固定到下封頭3上端的邊框37上。感應線圈與爐體間絕緣。
[0017]所述電纜線2內(nèi)部采用多股利茲線，外部附加絕緣保護層。
[0018]所述中頻電源引出電極通過第二銅排32與所述電纜線2另一端連接。
[0019]所述第二銅排32包括兩個平行設置的電極，兩個所述電極之間通過絕緣氟板31隔開。
[0020]所述上封頭I兩側(cè)開有檢修口。
[0021]以上對本實用新型的實施例進行了詳細說明，但所述內(nèi)容僅為本實用新型的較佳實施例，不能被認為用于限定本實用新型的實施范圍。凡依本實用新型范圍所作的均等變化與改進等，均應仍歸屬于本專利涵蓋范圍之內(nèi)。
【主權項】
1.一種碳化硅晶體爐感應線圈與中頻電源連接裝置，其特征在于:包括中空結(jié)構的上封頭、電纜線和下封頭，所述上封頭一端通過喉箍卡套在線圈的引出端外，且與爐體外表面垂直，所述上封頭內(nèi)線圈引出端設有線圈電極，所述線圈與線圈電極均為中空結(jié)構，所述線圈電極外部為螺紋結(jié)構，所述線圈電極內(nèi)腔直接通循環(huán)冷卻水，所述線圈電極另一端通過橡膠水管穿出上封頭朝下設有的開口與供水裝置連接，所述線圈電極上設有第一連接銅排，所述第一連接銅排一端套設于所述線圈電極外表面，另一端折彎，且折彎面與線圈電極的軸線平行，所述電纜線通過所述折彎面與線圈電極連接；上封頭另一端設有中心開孔的第一環(huán)氧樹脂板，所述電纜線另一端穿出所述第一環(huán)氧樹脂板中心孔并穿過下封頭頂部第二環(huán)氧樹脂板中心孔與中頻電源引出電極相連，所述下封頭罩住所述中頻電源引出電極。
2.根據(jù)權利要求1所述的碳化硅晶體爐感應線圈與中頻電源連接裝置，其特征在于:所述電纜線內(nèi)部采用多股利茲線，外部附加絕緣保護層。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的碳化硅晶體爐感應線圈與中頻電源連接裝置，其特征在于:所述中頻電源引出電極通過第二銅排與所述電纜線另一端連接。
4.根據(jù)權利要求3所述的碳化硅晶體爐感應線圈與中頻電源連接裝置，其特征在于:所述第二銅排包括兩個平行設置的電極，兩個所述電極之間通過絕緣氟板隔開。
5.根據(jù)權利要求1或2所述的碳化硅晶體爐感應線圈與中頻電源連接裝置，其特征在于:所述上封頭兩側(cè)開有檢修口。
6.根據(jù)權利要求3所述的碳化硅晶體爐感應線圈與中頻電源連接裝置，其特征在于:所述上封頭兩側(cè)開有檢修口。
7.根據(jù)權利要求4所述的碳化硅晶體爐感應線圈與中頻電源連接裝置，其特征在于:所述上封頭兩側(cè)開有檢修口。
【專利摘要】本實用新型提供的碳化硅晶體爐感應線圈與中頻電源連接裝置，包括中空結(jié)構的上封頭、電纜線和下封頭，與線圈連接處采用銅排轉(zhuǎn)接，線纜采用多芯絕緣線編織，轉(zhuǎn)接緊固采用不銹鋼卡套，外部采用開孔的鋁制封頭，環(huán)氧板中孔固定電纜；連接中頻電源部分環(huán)氧板固定，進入鋁制殼內(nèi)部與電源輸出銅排相連。本實用新型整體移動或拆卸維修都方便，節(jié)省銅材，節(jié)省空間，對外輻射有限。
【IPC分類】C30B29-36, C30B35-00
【公開號】CN204417653
【申請?zhí)枴緾N201420784439
【發(fā)明人】段聰, 巴音圖, 高宇, 趙梅玉
【申請人】河北同光晶體有限公司
【公開日】2015年6月24日
【申請日】2014年12月11日