技術(shù)特征：

1.一種新的氣相沉積控制元件的模塊化安裝方法，其特征在于：采用了通長的豁口，里面下入方形的螺紋塊，在上面的元件安裝好后，再把之字板把合固定住，每條工藝模塊安裝適合后，在把兩條模塊固定在基板上，最后把基板固定在基座上，即完成了整個(gè)模塊的安裝。