本實用新型涉及一種石墨舟，特別涉及一種卡點位置可調(diào)的石墨舟。

背景技術(shù)：

太陽能電池的制造需要經(jīng)過制絨、擴散、刻蝕、鍍膜、絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)這六大工序。其中，鍍膜工序是采用等離子增強化學(xué)氣相沉積的方法在硅片正面鍍氮化硅膜，以減少太陽光反射以及對硅片表面起鈍化作用。硅片進(jìn)行其表面鍍膜工序時，需要將未鍍膜的硅片插入PECVD真空鍍膜設(shè)備的載片器上，目前，載片器通常采用石墨舟，一般是操作人員將花籃中的硅片插入專門的石墨舟或者通過自動上下料機將硅片插入專門的石墨舟，具體操作過程是：將硅片插入石墨舟并通過固定卡點定位于其上，然后，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設(shè)備中，采用PECVD工藝對硅片進(jìn)行鍍膜。

現(xiàn)有的石墨舟一般采用3個固定卡點卡住硅片的三條邊，將硅片固定住。其中兩個卡點對應(yīng)位于硅片的一個角附近，另外一個卡點對應(yīng)位于硅片的另外一條邊的中心點附近。但是，這種卡點的設(shè)置方式存在著以下缺陷：在鍍膜過程中，由于卡點對應(yīng)于硅片的三條邊分布不均勻，而且卡點位置是固定不可調(diào)節(jié)的，從而導(dǎo)致硅片鍍膜不均勻，形成色差，同時降低電池的光電轉(zhuǎn)換效率。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提供一種能夠提高電池外觀良品率、提高電池的光電轉(zhuǎn)換效率的卡點位置可調(diào)的石墨舟，可以克服傳統(tǒng)鍍膜石墨舟卡點位置固定的缺點。

本實用新型的目的通過以下的技術(shù)措施來實現(xiàn)：一種卡點位置可調(diào)的石墨舟，它主要由絕緣棒和在水平方向上排列的數(shù)個單元舟片組成，所述單元舟片為豎向設(shè)置的片狀體，相鄰的單元舟片之間具有間隙，所述絕緣棒于各單元舟片的周緣貫穿而將全部的單元舟片連接固定在一起，位于兩外側(cè)的單元舟片的內(nèi)外表面上設(shè)有若干與硅片形狀相同且其尺寸小于硅片尺寸的凹槽，位于每個外側(cè)單元舟片內(nèi)外表面上的凹槽相對應(yīng)，在凹槽的槽底面上設(shè)有貫通該對應(yīng)凹槽的用于抽真空的細(xì)孔，位于中間的單元舟片上設(shè)有若干與硅片形狀相同且其尺寸小于硅片尺寸的通孔，在所述凹槽和通孔的外圍設(shè)有用于固定硅片的卡點和用于安裝卡點的卡孔，所述凹槽和通孔的口緣形狀為正方形四個邊角圓弧過渡的形狀，主要由頂邊、底邊和兩條側(cè)邊組成，所述卡點位于凹槽和通孔的周邊區(qū)域中并分別靠近底邊和側(cè)邊，所述卡孔靠近底邊和側(cè)邊的每一條邊側(cè)至少設(shè)置兩個，所述卡點可拆卸安裝不同的卡孔中以便調(diào)節(jié)卡點的位置。

本實用新型的卡點的位置是可以調(diào)節(jié)的，不同于傳統(tǒng)鍍膜石墨舟的位置固定的卡點，由于本實用新型可以根據(jù)硅片的鍍膜狀況通過將卡點安裝在不同的卡孔中來靈活調(diào)整卡點的位置，因此，可以改善鍍膜均勻性，提升太陽能電池的外觀合格率和光電轉(zhuǎn)換效率。另外，本實用新型由在水平方向上排布的若干個單元舟片組成，在單元舟片上設(shè)有呈陣列排布的若干個凹槽和通孔，可以根據(jù)鍍膜工藝的實際情況和需要，調(diào)整待鍍膜硅片在單元舟片上的陣列分布，從而提高硅片鍍膜的均勻性。

作為本實用新型的一種改進(jìn)，所述單元舟片的數(shù)量為2～50，相鄰單元舟片之間的間距為5～50mm。

作為本實用新型的一種實施方式，位于外側(cè)的單元舟片每一面上的凹槽的數(shù)量為2～20，位于每個中間的單元舟片上的通孔的數(shù)量為2～20，所述凹槽和通孔在單元舟片上呈陣列均勻分布，陣列形狀是正方形、長方形、圓形或六邊形等。

作為本實用新型的一種實施方式，所述卡孔在所述凹槽和通孔的周邊區(qū)域中均勻分布，所述卡孔為圓形孔，其直徑為2～10mm。

作為本實用新型的一種實施方式，相鄰卡孔的間距為5～50mm。

作為本實用新型的一種實施方式，位于每個凹槽和通孔周邊區(qū)域中的卡點的數(shù)量為3～10個。

作為本實用新型的一種實施方式，所述卡點主要由用于安裝在單元舟片安裝孔中的圓柱形安裝部、一對卡塊和安裝軸組成，所述安裝軸連接安裝部和卡塊，在安裝部和卡塊之間形成用于卡合硅片的卡口，所述卡塊為中空的三角形塊狀體或中空的圓柱形塊狀體，所述安裝軸連接在卡塊的內(nèi)頂面上，在所述安裝軸與卡塊的內(nèi)壁之間設(shè)有連接桿，所述卡塊不遮擋硅片表面相對應(yīng)的區(qū)域以便鍍膜均勻。

作為本實用新型的一種實施方式，所述卡點的總厚度為2～6mm。

作為本實用新型的一種實施方式，所述卡點橫截面的最大直徑為2～8mm。

作為本實用新型的一種實施方式，所述絕緣棒采用陶瓷棒，也可以采用其它絕緣材料制成。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下顯著的優(yōu)點：

⑴本實用新型卡點的位置是可調(diào)的，不同于傳統(tǒng)鍍膜石墨舟位置固定的卡點，由于本實用新型可以根據(jù)硅片的鍍膜狀況通過將卡點安裝在不同的卡孔中來靈活調(diào)整卡點的位置，因此，可以改善鍍膜均勻性，提升太陽能電池的外觀合格率和光電轉(zhuǎn)換效率。

⑵本實用新型由在水平方向上排布的若干個單元舟片組成，在單元舟片上設(shè)有呈陣列排布的若干個凹槽和通孔，可以根據(jù)鍍膜工藝的實際情況和需要，調(diào)整待鍍膜硅片在單元舟片上的陣列分布，從而提高硅片鍍膜的均勻性。

⑶本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，容易實現(xiàn)，實用性強，適于廣泛推廣和適用。

附圖說明

以下結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。

圖1是本實用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實用新型位于中間的單元舟片的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實用新型一個實施例的卡點的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本實用新型另一個實施例的卡點的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

如圖1和2所示，是本實用新型一種卡點位置可調(diào)的石墨舟1，它主要由絕緣棒和在水平方向上排列的數(shù)個單元舟片組成，單元舟片的數(shù)量為2～50，在本實施例中，單元舟片為四個，絕緣棒采用陶瓷棒3。單元舟片為豎向設(shè)置的矩形片狀體，相鄰的單元舟片之間具有間隙，相鄰單元舟片之間的間距為5～50mm。陶瓷棒3于各單元舟片的周緣貫穿而將全部的單元舟片連接固定在一起，陶瓷棒3的兩端由固定部件9固定在位于兩外側(cè)的單元舟片21的外表面上。位于兩外側(cè)的單元舟片21的內(nèi)外表面上設(shè)有若干與硅片形狀相同且其尺寸小于硅片尺寸的凹槽4，位于外側(cè)的單元舟片21每一面上的凹槽4的數(shù)量為2～20，位于每個外側(cè)單元舟片21內(nèi)外表面上的凹槽4相對應(yīng)，在凹槽4的槽底面上設(shè)有貫通該對應(yīng)凹槽4的用于抽真空的細(xì)孔8，位于中間的單元舟片22上設(shè)有若干與硅片形狀相同且其尺寸小于硅片尺寸的通孔10，位于每個中間的單元舟片22上的通孔10的數(shù)量為2～20，凹槽4和通孔10在單元舟片上呈陣列均勻分布，陣列形狀是正方形、長方形、圓形或六邊形等。在凹槽4和通孔10的周邊區(qū)域中設(shè)有用于固定硅片的卡點6和用于安裝卡點的卡孔7，卡孔7在凹槽4和通孔10的周邊區(qū)域中均勻分布，位于每個凹槽4和通孔10周邊區(qū)域中的卡點7的數(shù)量為3～10個?？?為圓形孔，其直徑為2～10mm。凹槽4和通孔10的口緣形狀為正方形四個邊角圓弧過渡的形狀，主要由頂邊、底邊和兩條側(cè)邊組成，卡點6位于凹槽4和通孔5的周邊區(qū)域中并分別靠近底邊和側(cè)邊，卡孔7靠近底邊和側(cè)邊的每一條邊側(cè)至少設(shè)置兩個，相鄰卡孔7的間距為5～50mm。卡點6可拆卸安裝不同的卡孔7中以便調(diào)節(jié)卡點的位置。

卡點6主要由用于安裝在單元舟片安裝孔中的圓柱形安裝部61、一對卡塊62和安裝軸63組成，安裝軸63連接安裝部61和卡塊62，在安裝部61和卡塊62之間形成用于卡合硅片的卡口，卡塊62的一個實施例是中空的三角形塊狀體，參見圖4，安裝軸63連接在卡塊62的內(nèi)頂面上，在安裝軸63與卡塊62的內(nèi)壁之間設(shè)有連接桿64，卡塊不遮擋硅片表面相對應(yīng)的區(qū)域以便鍍膜均勻；卡塊62的另一實施例是中空的圓柱形塊狀體，參見圖3。卡點6的總厚度為2～6mm。卡點6橫截面的最大直徑為2～8mm。

本實用新型的實施方式不限于此，根據(jù)本實用新型的上述內(nèi)容，按照本領(lǐng)域的普通技術(shù)知識和慣用手段，在不脫離本實用新型上述基本技術(shù)思想前提下，本實用新型還可以做出其它多種形式的修改、替換或變更，均落在本實用新型權(quán)利保護范圍之內(nèi)。