專利名稱：多弧型離子鍍膜機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型為多弧型離子鍍膜機(jī)。屬于真空等離子體表面沉積技術(shù)。
現(xiàn)有離子鍍膜機(jī)多采用單筒式結(jié)構(gòu)。鍍膜室的筒壁上裝有蒸發(fā)離化源，頂上裝有上蓋，上蓋上裝有傳動(dòng)裝置和工件架。這種鍍膜機(jī)筒壁上的蒸發(fā)離化源，只能實(shí)現(xiàn)單向鍍膜，鍍膜空間未能充分利用，產(chǎn)量較低，在人力、物力上是不經(jīng)濟(jì)的。
本實(shí)用新型的目的在于克服了上述不足，提供了一種新型的由內(nèi)外兩個(gè)同軸放置的圓柱狀筒壁構(gòu)成的環(huán)形鍍膜空間，在內(nèi)外筒體上同時(shí)裝有離化源，因而能在正反兩個(gè)表面上同時(shí)進(jìn)行鍍膜，顯著提高了設(shè)備利用率。
本實(shí)用新型的上述目的由以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)該多弧離子鍍膜機(jī)包括鍍膜室、鍍膜室底座、轉(zhuǎn)架傳動(dòng)裝置、工件架、蒸發(fā)離化源及擴(kuò)散泵機(jī)組。鍍膜室為由內(nèi)、外兩個(gè)同軸的圓柱狀筒壁構(gòu)成的環(huán)形筒體結(jié)構(gòu)，鍍膜室主于鍍膜室底架上，外筒壁與鍍膜室底架焊接，內(nèi)筒壁與鍍膜室底架的聯(lián)接可采用焊接或螺釘聯(lián)接。鍍膜室頂部有上蓋，上蓋上裝有轉(zhuǎn)架傳動(dòng)裝置和工件架。鍍膜室內(nèi)筒壁和外筒壁上裝有多個(gè)蒸發(fā)離化源，外筒壁與擴(kuò)散泵機(jī)組相連。
本實(shí)用新型的特點(diǎn)是降低了成本，提高了生產(chǎn)效率，可直接鍍制大型管狀和環(huán)狀工件的內(nèi)外表面，結(jié)構(gòu)簡單巧妙。
本實(shí)用新型的具體結(jié)構(gòu)由附


圖1-3給出
圖1為多弧型離子鍍膜機(jī)筒體的局部剖視圖圖2為多弧型離子鍍膜機(jī)外形圖圖3多弧型離子鍍膜機(jī)俯視圖圖中主要結(jié)構(gòu)是轉(zhuǎn)架傳動(dòng)裝置1、外筒壁蒸發(fā)離化源2、工件架3、鍍膜室4、高閥5、氣路組件6、節(jié)流閥7、擴(kuò)菜泵8、維修孔9、鍍膜室底架10、觀察孔11、外筒壁12、內(nèi)筒壁13、內(nèi)筒壁蒸發(fā)離化源14、上蓋15、加熱器16。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型加以詳細(xì)說明。
這種多弧型離子鍍膜機(jī)，包括鍍膜室4、鍍膜室底架10、轉(zhuǎn)架傳動(dòng)裝置1、工件架3、蒸發(fā)離化源、擴(kuò)散泵8及氣路組件6，鍍膜室為由內(nèi)外兩個(gè)同軸的圓柱狀筒壁構(gòu)成的環(huán)形筒體結(jié)構(gòu)，鍍膜室立于鍍膜室底架上，鍍膜室的外筒壁與鍍膜室底架焊接內(nèi)筒壁與鍍膜室底架焊接或螺釘聯(lián)接。鍍膜室的內(nèi)筒壁13與外筒壁12上均裝有數(shù)個(gè)內(nèi)、外壁蒸發(fā)離化源14，2，鍍膜室內(nèi)裝有加熱器16，鍍膜室頂部裝有上蓋15，上蓋上裝有轉(zhuǎn)架傳動(dòng)裝置和工件架，真空排氣系統(tǒng)中的擴(kuò)散泵8和機(jī)械泵與外筒壁聯(lián)接。鍍膜室的內(nèi)、外筒壁上的離化源的數(shù)量隨鍍膜室4的尺寸增大而增多，真空排氣系統(tǒng)與外筒壁13聯(lián)接。鍍膜室上開有觀察孔11，上蓋15上裝有多速電機(jī)和減速箱，使轉(zhuǎn)架具有多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)速度，轉(zhuǎn)架傳動(dòng)裝置1和工件架3可與上蓋15一起吊出鍍膜室4之外，架設(shè)在爐外的裝載支架上，同時(shí)將另一上蓋架到鍍膜室4上，以此實(shí)現(xiàn)連續(xù)作業(yè)，由于該鍍膜室為環(huán)形筒體結(jié)構(gòu)，因此工件架上所鍍的工件可同時(shí)兩面被鍍，這種鍍膜室的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了對(duì)管狀或環(huán)狀工件的鍍膜工藝，多弧型離子鍍膜機(jī)帶有控制柜，控制柜上裝有總電源開關(guān)及機(jī)械泵與擴(kuò)散泵、轉(zhuǎn)架、加熱器、轟偏電源和蒸發(fā)離化源電源按扭
權(quán)利要求1一種多弧型離子鍍膜機(jī)，包括鍍膜室、鍍膜室底架、轉(zhuǎn)架傳動(dòng)裝置、工件架、蒸發(fā)離化源、擴(kuò)散泵機(jī)組及氣路組件，其特征在于鍍膜室為由內(nèi)外兩個(gè)同軸的圓柱狀筒壁構(gòu)成的環(huán)形筒體結(jié)構(gòu)，鍍膜室立于鍍膜室底架上，鍍膜室的內(nèi)筒壁與外筒壁上均裝有數(shù)個(gè)蒸發(fā)離化源，鍍膜室內(nèi)裝有加熱器，鍍膜室頂部設(shè)有上蓋，上蓋上裝有轉(zhuǎn)架傳動(dòng)裝置和工件架，擴(kuò)散泵機(jī)組與外筒壁聯(lián)接。
2.如權(quán)利要求1所述的多弧型離子鍍膜機(jī)，其特征在于鍍膜室的外筒壁與鍍膜室底架焊接，內(nèi)筒壁與鍍膜室底架焊接或螺釘聯(lián)接。
專利摘要一種多弧型離子鍍膜機(jī)，其鍍膜室由內(nèi)外兩同軸放置的圓柱狀筒壁構(gòu)成的環(huán)形鍍膜空間，在筒體內(nèi)外壁上均裝有蒸發(fā)離化源。鍍膜室內(nèi)裝有加熱器，鍍膜室頂部裝有帶傳動(dòng)裝置和工件架的上蓋。這種鍍膜機(jī)裝機(jī)容量大，生產(chǎn)效率高，適用于鍍制不銹鋼板及其制品等，也適用于鍍制大尺寸環(huán)狀或筒狀大型工件的表面。
文檔編號(hào)C23C14/30GK2255434SQ9522867
公開日1997年6月4日 申請(qǐng)日期1995年12月22日 優(yōu)先權(quán)日1995年12月22日
發(fā)明者王殿儒 申請(qǐng)人:北京長城鈦金技術(shù)聯(lián)合開發(fā)公司