再生裝置10中，即使在對(duì)混入物的濃度高的使用過的冷卻劑（例如，混入物的濃度為10 重量％以上的冷卻劑）進(jìn)行處理的情況下，在過濾膜模塊20的各中空纖維膜22中也難以 發(fā)生膜堵塞，能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地進(jìn)行膜過濾。也就是說(shuō)，即使對(duì)混入物的濃度高的使用過的 冷卻劑進(jìn)行過濾，中空纖維膜22中也難以發(fā)生膜堵塞，因此，即使對(duì)能夠以高效率進(jìn)行離 心分離的混入物濃度高的使用過的冷卻劑進(jìn)行處理，也能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地進(jìn)行膜過濾。據(jù) 此，利用離心分離有效地除去使用過的冷卻劑中含有的較大的切削肩等，并且，利用中空纖 維膜同時(shí)從含有通過離心分離難以除去的大小的（即較小的）混入物的使用過的冷卻劑分 離出處理過的冷卻劑。其結(jié)果，在本實(shí)施方式的冷卻劑再生裝置10中，能夠在短時(shí)間從混 入物的濃度高的冷卻劑獲得高品質(zhì)（即混入物更少）的再生冷卻劑。
[0052] 此外，在使用以往的中空纖維膜的內(nèi)壓式（使被處理液在中空部流動(dòng)的過濾方 式）的過濾中，在過濾類似冷卻劑的粘度高的流體的情況下，使用了膜孔徑大的中空纖維 膜。另外，以被處理液相對(duì)于內(nèi)周面（過濾膜表面）的流速大的方式將被處理液供給至中空 部?jī)?nèi)。這是為了利用紊亂狀態(tài)的被處理液刮取欲堆積于中空纖維膜的內(nèi)周面的混入物。由 于使用膜孔徑大的中空纖維膜，所以混入物進(jìn)入中空纖維膜內(nèi)（包圍中空部的周壁內(nèi)）而 容易發(fā)生中空纖維膜的膜堵塞，若不對(duì)混入物的濃度比能以高效率進(jìn)行離心分離的濃度還 低的使用過的冷卻劑進(jìn)行過濾，則在短時(shí)間內(nèi)發(fā)生膜堵塞而無(wú)法穩(wěn)定地進(jìn)行膜過濾。而且， 因在中空纖維膜的中空部?jī)?nèi)流動(dòng)的使用過的冷卻劑處于亂流狀態(tài)，所以因混入物的沖撞導(dǎo) 致內(nèi)周面磨耗等而容易造成中空纖維膜的損傷。
[0053] 本實(shí)施方式的冷卻劑再生裝置10在膜過濾部14中定期地進(jìn)行逆流清洗（反洗）。 據(jù)此，各中空纖維膜22的膜堵塞更不容易產(chǎn)生。
[0054] 另外，在冷卻劑再生裝置10中，通過進(jìn)行反洗，堆積于中空纖維膜22的內(nèi)周面的 粒徑較小的混入物成為具有一定程度大小的塊而從內(nèi)周面剝離。該剝離的塊在反洗時(shí)，通 過過濾側(cè)供給路徑141流入處理槽121。返回到該處理槽121的所述塊的行為與粒徑大的 混入物相同，因此，優(yōu)選在離心分離部16從使用過的冷卻劑分離。
[0055] 本發(fā)明的冷卻劑再生裝置以及冷卻劑再生方法并不限于上述實(shí)施方式，當(dāng)然在不 超出本發(fā)明的要點(diǎn)的范圍內(nèi)可作各種變更。
[0056] 上述實(shí)施方式的冷卻劑再生裝置10能夠使在切斷硅晶錠時(shí)所使用的冷卻劑再利 用（再生），但也可以對(duì)在切斷硅以外的晶錠（例如，藍(lán)寶石等晶錠）時(shí)所使用的冷卻劑進(jìn) 行再生。
[0057] 另外，在上述實(shí)施方式的冷卻劑再生裝置10中，同時(shí)進(jìn)行利用中空纖維膜22的膜 過濾和利用離心分離機(jī)161的離心分離，但并不限于該結(jié)構(gòu)。例如，冷卻劑再生裝置也可為 只進(jìn)行利用中空纖維膜22的膜過濾的結(jié)構(gòu)。在該結(jié)構(gòu)中，也以在中空部23內(nèi)流動(dòng)的使用過 的冷卻劑成為層流狀態(tài)的方式將使用過的冷卻劑供給至各中空纖維膜22的中空部23內(nèi)， 從而因使用過的冷卻劑的混入物的沖撞而引起的中空纖維膜22的損傷得到抑制。而且，通 過將中空纖維膜22的膜孔徑設(shè)為0. 05 μm以下，混入物造成的膜堵塞也得到抑制，能夠長(zhǎng) 時(shí)間穩(wěn)定地進(jìn)行膜過濾。
[0058] 另外，上述實(shí)施方式的冷卻劑再生裝置10處理的使用過的冷卻劑的混入物的濃 度為10重量％以上，但不限于該濃度。即，冷卻劑再生裝置10也可以處理混入物的濃度低 于10重量％的使用過的冷卻劑。該混入物的濃度低于10重量％的使用過的冷卻劑，例如 在切斷的硅晶錠的量少的情況（切斷的硅晶錠為一根的情況或切斷比上述實(shí)施方式的硅 晶錠小的情況等）下產(chǎn)生。在此情況下，冷卻劑再生裝置10也可使離心分離部16停止而 僅使膜過濾部14工作。
[0059] 此外，在上述實(shí)施方式的冷卻劑再生裝置10中，使用過的冷卻劑通過配置于殼體 25內(nèi)的大量（多個(gè)）中空纖維膜22、22.......而被過濾，但并不限于該結(jié)構(gòu)。也可為例 如在殼體25內(nèi)只配置一個(gè)中空纖維膜22的結(jié)構(gòu)。
[0060] 實(shí)施例
[0061] 在此，為了確認(rèn)上述實(shí)施方式的冷卻劑再生裝置以及冷卻劑再生方法的效果，使 用上述實(shí)施方式的冷卻劑再生裝置，并改變中空纖維膜的膜孔徑，分別進(jìn)行了使用過的冷 卻劑的處理。其將結(jié)果顯示于圖3及以下的表1。
[0062] 此外，此時(shí)使用的中空纖維膜的膜孔徑為0. 003 μ m(與上述實(shí)施方式相同的孔 徑）（表1的實(shí)施例1~3、比較例3)、0. 02 μ m(表1的實(shí)施例4)、0. 04 μ m(表1的實(shí)施例 5)、0.1 ym(表1的比較例l)、2ym(表1的比較例2)。這些各中空纖維膜的截留粒徑為 13000,有效膜過濾面積為10m 2。另外，通量（flux)的初期值調(diào)整為20L/m2· hr，關(guān)于逆流 清洗，使過濾液每30分鐘一次逆流15秒。另外，處理前的冷卻劑的混入物的濃度約為10 重量％。
[0063] 表 1
[0064]
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種冷卻劑再生方法，其特征在于，能夠使在用線鋸切斷晶錠時(shí)所使用的冷卻劑再 利用，所述冷卻劑再生方法包括： 過濾工序，以使所述冷卻劑以層流狀態(tài)在中空狀的1個(gè)或多個(gè)中空纖維膜的各中空部 內(nèi)流動(dòng)的方式，向所述各中空部?jī)?nèi)分別供給所述冷卻劑，其中， 所述中空纖維膜的膜的孔徑為0. 05 ym以下。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻劑再生方法，其特征在于： 在所述各中空部?jī)?nèi)流動(dòng)的冷卻劑的雷諾數(shù)為10~2000。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的冷卻劑再生方法，其特征在于： 向所述中空部?jī)?nèi)供給的冷卻劑的混入物的濃度為10重量％以上。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的冷卻劑再生方法，其特征在于： 所述中空纖維膜為有機(jī)中空纖維膜。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的冷卻劑再生方法，其特征在于還包括： 返送工序，將在所述過濾工序通過各中空纖維膜的中空部而被濃縮的所述冷卻劑返送 至儲(chǔ)存有在切斷所述晶錠時(shí)所使用的冷卻劑的處理槽，其中， 在所述過濾工序，儲(chǔ)存在所述處理槽的冷卻劑被供給至所述各中空纖維膜的中空部 內(nèi)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的冷卻劑再生方法，其特征在于還包括： 離心分離工序，對(duì)儲(chǔ)存在所述處理槽的所述冷卻劑進(jìn)行離心分離，并將離心分離后的 冷卻劑返送至所述處理槽，其中， 所述過濾工序以及所述返送工序與所述離心分離工序同時(shí)進(jìn)行。
7. -種冷卻劑再生裝置，其特征在于，能夠使在用線鋸切斷晶錠時(shí)所使用的冷卻劑再 利用，所述冷卻劑再生裝置包括： 中空狀的1個(gè)或多個(gè)中空纖維膜；以及 供給部，將所述冷卻劑供給至各中空纖維膜的中空部?jī)?nèi)，其中， 所述中空纖維膜的膜的孔徑為〇. 05 ym以下， 所述供給部以使所述冷卻劑以層流狀態(tài)在所述各中空部?jī)?nèi)流動(dòng)的方式供給所述冷卻 劑。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的冷卻劑再生裝置，其特征在于還包括： 處理槽，儲(chǔ)存有在切斷所述晶錠時(shí)所使用的冷卻劑； 返送部，將通過所述各中空纖維膜的中空部而被濃縮的所述冷卻劑返送至所述處理 槽；以及 離心分離裝置，對(duì)所述處理槽內(nèi)的冷卻劑進(jìn)行離心分離，并將離心分離后的冷卻劑返 送至所述處理槽，其中， 所述供給部將儲(chǔ)存在所述處理槽的冷卻劑供給至所述各中空纖維膜的中空部?jī)?nèi)。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種冷卻劑再生方法，其特征在于，能夠使在用線鋸切斷晶錠時(shí)所使用的冷卻劑再利用，以使所述冷卻劑以層流狀態(tài)在中空狀的1個(gè)或多個(gè)中空纖維膜的各中空部?jī)?nèi)流動(dòng)的方式，從各中空纖維膜的一端向中空部?jī)?nèi)分別供給所述冷卻劑，中空纖維膜的孔徑為0.05μm以下。
【IPC分類】B28D5-04, B24B27-06, B24B55-02, B24B57-02
【公開號(hào)】CN104812532
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201280077378
【發(fā)明人】井上一真, 延藤芳樹, 荻田大, 西田高治, 玉井雅之
【申請(qǐng)人】株式會(huì)社可樂麗
【公開日】2015年7月29日
【申請(qǐng)日】2012年11月28日
【公告號(hào)】WO2014083590A1