雙門閘閥裝置及具雙門閘閥裝置的鍍膜設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種閘閥裝置，特別是涉及一種雙門閘閥裝置及具雙門閘閥裝置的鍍膜設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]物理氣相沉積(Physical Vapor Deposit1n，PVD)是一種在高真空度的沉積環(huán)境中，利用物理變化在一個(gè)工件上沉積薄膜的技術(shù)。其中，為了讓該工件得以由常壓進(jìn)出該沉積環(huán)境，鍍膜設(shè)備必須借由一個(gè)閘閥裝置進(jìn)行漸進(jìn)式真空隔絕，并利用該閘閥裝置使該沉積環(huán)境恢復(fù)高度氣密的狀態(tài)，而能持續(xù)進(jìn)行真空鍍膜制程。然而，該閘閥裝置容易因長(zhǎng)時(shí)間受到溢鍍而累積厚膜，從而降低隔絕效果，造成該沉積環(huán)境真空度劣化，進(jìn)而影響到鍍膜質(zhì)量。
[0003]此外，有如圖1所公開的一種鍍膜設(shè)備，包含一個(gè)用于進(jìn)行沉積鍍膜的制程腔91、一個(gè)卸除腔92、一個(gè)介于該制程腔91與該卸除腔92之間的緩沖腔93，及多個(gè)設(shè)置于所述腔體之間的閘閥94。借由該緩沖腔93的設(shè)置，雖然可以避免鄰近該卸除腔92的閘閥94受到溢鍍，以維持對(duì)該制程腔91的氣密隔絕，但是所述腔體需要個(gè)別地連接一個(gè)負(fù)壓源(圖未示)以建構(gòu)漸進(jìn)式負(fù)壓環(huán)境，因而增加了該鍍膜設(shè)備的建置成本及占地面積。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種雙重隔離以維持氣密效果的雙門閘閥裝置。
[0005]本發(fā)明的雙門閘閥裝置，包含一個(gè)基座、兩個(gè)閘門單元，及一個(gè)輸送單元。
[0006]該基座包括一個(gè)環(huán)腔壁、一個(gè)位于該環(huán)腔壁一端且具有一個(gè)入閥口的入口端壁、一個(gè)位于該環(huán)腔壁另一端且具有一個(gè)出閥口的出口端壁、一個(gè)介于該入口端壁與該出口端壁之間且具有一個(gè)間閥口的間隔壁，及一個(gè)抽氣孔。該環(huán)腔壁、該入口端壁與該間隔壁之間共同界定出一個(gè)緩沖腔。該環(huán)腔壁、該間隔壁與該出口端壁之間共同界定出一個(gè)銜接腔。該入口端壁與該出口端壁的距離不大于500mm。該緩沖腔與該抽氣孔相通。
[0007]所述閘門單元分別對(duì)應(yīng)設(shè)置于該緩沖腔內(nèi)與該銜接腔內(nèi)，且分別用于啟閉該入閥口與該間閥口。
[0008]該輸送單元包括一支能樞轉(zhuǎn)地設(shè)置于該緩沖腔內(nèi)的輸送滾軸。
[0009]較佳地，每一個(gè)閘門單元包括一支能樞轉(zhuǎn)地安裝于該基座的轉(zhuǎn)動(dòng)軸、一扇與該轉(zhuǎn)動(dòng)軸連動(dòng)地結(jié)合的閘板，及一個(gè)安裝于該基座并連結(jié)于該轉(zhuǎn)動(dòng)軸的驅(qū)動(dòng)器。該驅(qū)動(dòng)器能驅(qū)動(dòng)該轉(zhuǎn)動(dòng)軸在一個(gè)封閉位置及一個(gè)開啟位置之間轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)設(shè)置于該緩沖腔的閘門單元的轉(zhuǎn)動(dòng)軸在該封閉位置時(shí)，該閘門單元的閘板封閉該入閥口。當(dāng)該轉(zhuǎn)動(dòng)軸在該開啟位置時(shí)，該閘板開啟該入閥口。當(dāng)設(shè)置于該銜接腔的閘門單元的轉(zhuǎn)動(dòng)軸在該封閉位置時(shí)，該閘門單元的閘板封閉該間閥口。當(dāng)該轉(zhuǎn)動(dòng)軸在該開啟位置時(shí)，該閘板開啟該間閥口。
[0010]較佳地，該環(huán)腔壁具有一個(gè)壁本體、一片緩沖腔封板，及一片銜接腔封板。該壁本體包括一個(gè)連通該緩沖腔并受該緩沖腔封板封閉的緩沖腔維修口，及一個(gè)連通該銜接腔并受該銜接腔封板封閉的銜接腔維修口。
[0011]較佳地，每一個(gè)閘門單元的驅(qū)動(dòng)器為一個(gè)壓缸及一支連桿的組合。該壓缸的一個(gè)缸體樞接于該基座。該連桿樞接于該轉(zhuǎn)動(dòng)軸與該壓缸的一支活塞桿之間。
[0012]較佳地，該輸送單元還包括一個(gè)用于帶動(dòng)該輸送滾軸產(chǎn)生轉(zhuǎn)動(dòng)的馬達(dá)。
[0013]本發(fā)明的另一個(gè)目的在于提供一種能精簡(jiǎn)設(shè)備而降低建置成本的具雙門閘閥裝置的鍍膜設(shè)備。
[0014]本發(fā)明的具雙門閘閥裝置的鍍膜設(shè)備，包含一個(gè)腔體單元、一個(gè)雙門閘閥裝置，及一組真空管路。
[0015]該腔體單元包括一個(gè)制程腔、一個(gè)與該制程腔間隔設(shè)置的卸除腔、一個(gè)使該制程腔保持負(fù)壓的第一負(fù)壓源，及一個(gè)使該卸除腔保持負(fù)壓的第二負(fù)壓源。
[0016]該雙門閘閥裝置包括一個(gè)基座、兩個(gè)閘門單元，及一個(gè)輸送單元。該基座具有一個(gè)環(huán)腔壁、一個(gè)位于該環(huán)腔壁一端且包括一個(gè)入閥口的入口端壁、一個(gè)位于該環(huán)腔壁另一端且包括一個(gè)出閥口的出口端壁、一個(gè)介于該入口端壁與該出口端壁之間且包括一個(gè)間閥口的間隔壁，及一個(gè)抽氣孔。該環(huán)腔壁、該入口端壁與該間隔壁之間共同界定出一個(gè)緩沖腔。該環(huán)腔壁、該間隔壁與該出口端壁之間共同界定出一個(gè)銜接腔。該入口端壁與該出口端壁的距離不大于500mm。該入口端壁氣密地連接于該制程腔。該出口端壁氣密地連接于該卸除腔。該緩沖腔與該抽氣孔相通。所述閘門單元分別對(duì)應(yīng)設(shè)置于該緩沖腔內(nèi)與該銜接腔內(nèi)，且分別用于啟閉該入閥口與該間閥口。該輸送單元具有一支能樞轉(zhuǎn)地設(shè)置于該緩沖腔內(nèi)的輸送滾軸。
[0017]該真空管路一端連接于該抽氣孔，另一端連接于該第二負(fù)壓源。
[0018]較佳地，每一個(gè)閘門單元具有一支能樞轉(zhuǎn)地安裝于該基座的轉(zhuǎn)動(dòng)軸、一扇與該轉(zhuǎn)動(dòng)軸連動(dòng)地結(jié)合的閘板，及一個(gè)安裝于該基座并連結(jié)于該轉(zhuǎn)動(dòng)軸的驅(qū)動(dòng)器。該驅(qū)動(dòng)器能驅(qū)動(dòng)該轉(zhuǎn)動(dòng)軸在一個(gè)封閉位置及一個(gè)開啟位置之間轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)設(shè)置于該緩沖腔的閘門單元的轉(zhuǎn)動(dòng)軸在該封閉位置時(shí)，該閘門單元的閘板封閉該入閥口。當(dāng)該轉(zhuǎn)動(dòng)軸在該開啟位置時(shí)，該閘板開啟該入閥口。當(dāng)設(shè)置于該銜接腔的閘門單元的轉(zhuǎn)動(dòng)軸在該封閉位置時(shí)，該閘門單元的閘板封閉該間閥口。當(dāng)該轉(zhuǎn)動(dòng)軸在該開啟位置時(shí)，該閘板開啟該間閥口。
[0019]較佳地，該環(huán)腔壁包括一個(gè)壁本體、一片緩沖腔封板，及一片銜接腔封板。該壁本體包括一個(gè)連通該緩沖腔并受該緩沖腔封板封閉的緩沖腔維修口，及一個(gè)連通該銜接腔并受該銜接腔封板封閉的銜接腔維修口。
[0020]較佳地，每一個(gè)閘門單元的驅(qū)動(dòng)器為一個(gè)壓缸及一支連桿的組合。該壓缸的一個(gè)缸體樞接于該基座。該連桿樞接于該轉(zhuǎn)動(dòng)軸與該壓缸的一支活塞桿之間。
[0021]較佳地，該輸送單元還具有一個(gè)用于帶動(dòng)該輸送滾軸產(chǎn)生轉(zhuǎn)動(dòng)的馬達(dá)。
[0022]本發(fā)明的有益效果在于:所述閘門單元分別啟閉該入閥口與該間閥口，產(chǎn)生雙重隔離以維持氣密效果。另外，該入口端壁與該出口端壁的距離不大于500mm，使該鍍膜設(shè)備的占地面積縮減，以及借由該緩沖腔共享該第二負(fù)壓源以精簡(jiǎn)負(fù)壓設(shè)備，使該鍍膜設(shè)備的建置成本得以降低。
【附圖說(shuō)明】
[0023]本發(fā)明的其他的特征及功效，將于參照?qǐng)D式的實(shí)施方式中清楚地呈現(xiàn)，其中:
[0024]圖1是一個(gè)前視圖，說(shuō)明一個(gè)現(xiàn)有鍍膜設(shè)備；
[0025]圖2是一個(gè)前視圖，說(shuō)明本發(fā)明具雙門閘閥裝置的鍍膜設(shè)備的一個(gè)實(shí)施例；
[0026]圖3是一個(gè)剖視圖，說(shuō)明一個(gè)工件在該實(shí)施例中，由一個(gè)制程腔移至一個(gè)緩沖腔時(shí)，兩個(gè)閘門單元的啟閉狀態(tài)；
[0027]圖4是一個(gè)剖視圖，說(shuō)明該工件在該實(shí)施例中，由該緩沖腔移至一個(gè)卸除腔時(shí)，所述閘門單元的啟閉狀態(tài)；
[0028]圖5是一個(gè)沿圖2中的剖切線V-V的局部剖面圖，說(shuō)明本發(fā)明雙門閘閥裝置的一個(gè)實(shí)施例中的一個(gè)閘門單元及一個(gè)輸送單元；
[0029]圖6是一個(gè)沿圖5中的剖切線V1-VI的局部剖面圖，說(shuō)明該實(shí)施例中的兩個(gè)閘門單元分別安裝于一個(gè)緩沖腔內(nèi)及一個(gè)銜接腔內(nèi)；
[0030]圖7是一個(gè)沿圖5中的剖切線VI1-VII的剖面圖，說(shuō)明該實(shí)施例。
【具體實(shí)施方式】
[0031]參閱圖5與圖7，本發(fā)明雙門閘閥裝置2的一個(gè)實(shí)施例包含一個(gè)基座3、兩個(gè)閘門單元4，及一個(gè)輸送單元5。
[0032]參閱圖7，該基座3包括一個(gè)環(huán)腔壁31、一個(gè)位于該環(huán)腔壁31 —端且具有一個(gè)入閥口 321的入口端壁32、一個(gè)位于該環(huán)腔壁31另一端且具有一個(gè)出閥口 331的出口端壁
33、一個(gè)介于該入口端壁32與該出口端壁33之間且具有一個(gè)間閥口 341的間隔壁34，及一個(gè)抽氣孔35。該入口端壁32與該出口端壁33的距離不大于500mm。該環(huán)腔壁31、該入口端壁32與該間隔壁34之間共同界定出一個(gè)緩沖腔71。該環(huán)腔壁31、該間隔壁34與該出口端壁33之間共同界定出一個(gè)銜接腔72。該環(huán)腔壁31具有一個(gè)壁本體311、一片緩沖腔封板312，及一片銜接腔封板313。該壁本體311包括一個(gè)連通該緩沖腔71并受該緩沖腔封板312封閉的緩沖腔維修口 314，及一個(gè)連通該銜接腔72并受該銜接腔封板313封閉的銜接腔維修口 315。該緩沖腔71與該抽氣孔35相通。
[0033]參閱圖2與圖6，所述閘門單元4分別對(duì)應(yīng)設(shè)置于該緩沖腔71內(nèi)與該銜接腔72內(nèi)，且分別用于啟閉該入閥口 321與該間閥口 341。每一個(gè)閘門單元4包括一支能樞轉(zhuǎn)地安裝于該基座3的轉(zhuǎn)動(dòng)軸41、一扇與該轉(zhuǎn)動(dòng)軸41連動(dòng)地結(jié)合的閘板42，及一個(gè)安裝于該基座3并連結(jié)于該轉(zhuǎn)動(dòng)軸41的驅(qū)動(dòng)器43。每一個(gè)閘門單元4的驅(qū)動(dòng)器43為一個(gè)壓缸431及一支連桿432的組合。該壓缸431的一個(gè)缸體433樞接于該基座3，而該連桿432樞接于該轉(zhuǎn)動(dòng)軸41與該壓缸431的一支活塞桿434之間。該驅(qū)動(dòng)器43能驅(qū)動(dòng)該轉(zhuǎn)動(dòng)軸41在一個(gè)封閉位置及一個(gè)開啟位置之間轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0034]參閱圖5，該輸送單元5包括一支能樞轉(zhuǎn)地設(shè)置于該緩沖腔71內(nèi)的輸送滾軸51，及一個(gè)用于帶動(dòng)該輸送滾軸51產(chǎn)生轉(zhuǎn)動(dòng)的馬達(dá)52。
[0035]借此，當(dāng)設(shè)置于該緩沖腔71的閘門單元4的活塞桿434收回該缸體433時(shí)，樞接于該活塞桿434的連桿432連帶轉(zhuǎn)動(dòng)該轉(zhuǎn)動(dòng)軸41至該封閉位置，使該閘門單元4的閘板42封閉