金屬板75。例如如圖8(a)中虛線 所不，樣品金屬板75在長(zhǎng)金屬板64的前端64c切割出2個(gè)，在長(zhǎng)金屬板64的后端64d切割出2 個(gè)。圖8(b)中示出由1個(gè)長(zhǎng)金屬板64切割出的4個(gè)樣品金屬板75。
[0132] 接著，沿著金屬板的長(zhǎng)度方向?qū)悠方饘侔?5切斷成2個(gè)以上，由此得到2個(gè)以上 的樣品76。例如如圖8(b)中虛線所示，樣品金屬板75在寬度方向被10等分。圖8(c)中示出由 4個(gè)樣品金屬板75切割出的合計(jì)40個(gè)樣品76。
[0133] 之后，在對(duì)各樣品76實(shí)施熱處理的前后，在25°C的溫度條件下分別測(cè)定各樣品76 上的2個(gè)測(cè)定點(diǎn)76a之間的距離。如圖9A所示，熱處理包括下述工序:利用時(shí)間Z1使各樣品76 的溫度從P1升溫至P2的第1工序S1;將各樣品76的溫度以溫度P1保持時(shí)間Z2的第2工序S2; 和利用時(shí)間Z3使各樣品76的溫度從P2降溫至P1的第3工序S3。時(shí)間Z1、Z2、Z3和溫度P1、P2以 能夠模擬在蒸鍍掩模20的制造工序中對(duì)金屬板21施加的熱的方式來(lái)進(jìn)行設(shè)定。例如Z1、Z2、 Z3分別設(shè)定為30分鐘、5分鐘、60分鐘，溫度PI、P2分別設(shè)定為常溫(例如25°C)、300°C。
[0134] 第1工序中，如圖9A所示，樣品76以從溫度P1 (25 °C )至溫度P2 (300 °C )以均勻的速 度(升溫速度)升溫的方式被加熱。同樣地在第3工序中，樣品76以從溫度P2(300°C)至溫度 P1(25°C)以均勻的速度(降溫速度)降溫的方式被冷卻。
[0135] 圖9B(a)為示出實(shí)施熱處理前的樣品76的俯視圖，圖9B(b)為示出實(shí)施熱處理后的 樣品76的俯視圖。在圖9B(a)、（b)中，對(duì)樣品76實(shí)施熱處理前后的樣品76的長(zhǎng)度方向、即長(zhǎng) 金屬板64的長(zhǎng)度方向上的2個(gè)測(cè)定點(diǎn)76a間的距離分別用符號(hào)L1和L2表示。2個(gè)測(cè)定點(diǎn)76a例 如按照下述方式設(shè)定:對(duì)樣品76實(shí)施熱處理前的距離L1在評(píng)價(jià)各樣品76的熱復(fù)原程度方面 為適當(dāng)?shù)木嚯x，例如為約500mm。需要說(shuō)明的是，在圖9B(a)、（b)中，為了便于說(shuō)明，距離L1、 L2之差表現(xiàn)得比實(shí)際大。
[0136] 在圖9B(a)、（b)中，2個(gè)測(cè)定點(diǎn)76a設(shè)定成沿著樣品76的長(zhǎng)度方向排列。但是，只要 能夠適當(dāng)?shù)赜^察樣品76的熱復(fù)原，則測(cè)定點(diǎn)76a的排列方式?jīng)]有特別限定。
[0137] 將2個(gè)測(cè)定點(diǎn)76a付之于樣品76的方法沒(méi)有特別限定，例如測(cè)定點(diǎn)76a以形成于樣 品76的傷痕等記號(hào)的形式付之于樣品76。
[0138] 在實(shí)施熱處理前后，對(duì)樣品76的長(zhǎng)度方向上的2個(gè)測(cè)定點(diǎn)76a之間的距離L1、L2進(jìn) 行測(cè)定后，基于下式計(jì)算出樣品76的熱復(fù)原率F。
[0139] F={(L1-L2)/L1} X106(單位為ppm)
[0140] 這樣，熱復(fù)原率F定義為：熱處理前后的距離LI、L2之差相對(duì)于熱處理前的樣品76 中的2個(gè)測(cè)定點(diǎn)76a間的距離L1的百萬(wàn)分率。例如，在L1為500mm、L2為499.995mm的情況下， 熱復(fù)原率F為+10ppm。距離L1、L2的測(cè)定均在溫度P1的條件下、即常溫(25°C)下實(shí)施。
[0141] 另外，上述長(zhǎng)金屬板64有時(shí)也會(huì)出現(xiàn)起伏形狀，該起伏形狀起因于乳制工序時(shí)的 長(zhǎng)金屬板64的伸長(zhǎng)率根據(jù)寬度方向的位置而有所不同。在出現(xiàn)這樣的起伏形狀的情況下， 上述的距離L1、L2可以為通過(guò)沿著起伏形狀掃描樣品76的表面而得到的考慮了起伏形狀的 距離，或者也可以為忽視了起伏形狀的距離。無(wú)論利用哪種測(cè)定法，均能夠評(píng)價(jià)樣品76中發(fā) 生的熱復(fù)原的程度。
[0142] 例如，在后述實(shí)施例中，示出了使用SINTO S-PRECISI0N株式會(huì)社制造的自動(dòng)二維 坐標(biāo)測(cè)定器AMIC-710對(duì)樣品76的距離L1、L2進(jìn)行了測(cè)定的結(jié)果，該情況下，距離L1、L2是忽 視了樣品76的起伏形狀的XY坐標(biāo)上的距離。需要說(shuō)明的是，AMI C-710還包括使測(cè)定對(duì)象的 環(huán)境溫度、即樣品76的環(huán)境溫度一定的功能。因此，通過(guò)使用AMIC-710,能夠不受溫度變化 的影響而穩(wěn)定地測(cè)定。
[0143] 之后，基于所得到的熱復(fù)原率F的值，實(shí)施長(zhǎng)金屬板64的篩選。此處，在后述的蒸鍍 掩模20的制造工序中僅使用同時(shí)滿足以下的條件（1)、（2)的長(zhǎng)金屬板64,由此實(shí)施長(zhǎng)金屬 板64的篩選。
[0144] (1)各樣品76中的熱復(fù)原率F的平均值K1為-lOppm以上且+10ppm以下。
[0145] (2)各樣品76中的熱復(fù)原率F的偏差K2為20ppm以下。
[0146] 各樣品76中的熱復(fù)原率F的偏差K2是將特定個(gè)數(shù)的樣品76、例如40個(gè)樣品76中的 熱復(fù)原率F的標(biāo)準(zhǔn)偏差〇1乘以3而計(jì)算出的值。即，作為偏差K2,采用了3 〇1。
[0147] 上述條件（1)意味著，與對(duì)蒸鍍掩模20的貫通孔25所要求的位置精度相比，各樣品 76中的熱復(fù)原率F的平均值K1足夠小。因此，通過(guò)使用滿足條件（1)的長(zhǎng)金屬板64,可以防止 構(gòu)成蒸鍍掩模20的金屬板21的尺寸因熱復(fù)原而以在蒸鍍掩模20的制造工序間影響蒸鍍掩 模20的品質(zhì)的程度發(fā)生變化。因此，不需要考慮熱復(fù)原率而在每個(gè)批次中對(duì)形成于金屬板 21的貫通孔25的位置進(jìn)行調(diào)整的操作；以及不需要考慮熱復(fù)原率而在每個(gè)批次中對(duì)將2個(gè) 以上的蒸鍍掩模20安裝至框架15時(shí)的拉伸量進(jìn)行調(diào)整的操作;等等。
[0148] 上述條件(2)意味著，與對(duì)蒸鍍掩模20的貫通孔25所要求的位置精度的程度相比， 各樣品76中的熱復(fù)原率F的偏差K2足夠小。因此，通過(guò)使用滿足條件(2)的長(zhǎng)金屬板64,能夠 使由1個(gè)長(zhǎng)金屬板64得到的2個(gè)以上的蒸鍍掩模20中的貫通孔25的位置的偏差為允許范圍 內(nèi)。因此，能夠抑制通過(guò)蒸鍍工序(使用了安裝于框架15的2個(gè)以上的蒸鍍掩模20)而蒸鍍于 基板上的蒸鍍材料的位置因個(gè)體而產(chǎn)生偏差。因此，在通過(guò)蒸鍍形成有機(jī)EL顯示裝置的像 素時(shí)，可以提高有機(jī)EL顯示裝置的像素的位置精度。因此，能夠無(wú)浪費(fèi)地提取由各像素出射 的光。即，可以提尚各像素的發(fā)光效率。
[0149] (蒸鍍掩模的制造方法）
[0150]下面，主要參照?qǐng)D10~圖19,對(duì)利用如上篩選出的長(zhǎng)金屬板64來(lái)制造蒸鍍掩模20 的方法進(jìn)行說(shuō)明。以下說(shuō)明的蒸鍍掩模20的制造方法中，如圖10所示，供給長(zhǎng)金屬板64,在 該長(zhǎng)金屬板64上形成貫通孔25,進(jìn)一步裁斷長(zhǎng)金屬板64,從而得到由片狀的金屬板21構(gòu)成 的蒸鍍掩模20。
[0151] 更具體地說(shuō)，蒸鍍掩模20的制造方法包括:供給延伸成帶狀的長(zhǎng)金屬板64的工序； 將利用了照相平版印刷技術(shù)的蝕刻實(shí)施于長(zhǎng)金屬板64,在長(zhǎng)金屬板64上從第1面64a側(cè)形成 第1凹部30的工序;和，將利用了照相平版印刷技術(shù)的蝕刻實(shí)施于長(zhǎng)金屬板64,在長(zhǎng)金屬板 64上從第2面64b側(cè)形成第2凹部35的工序。并且，形成于長(zhǎng)金屬板64的第1凹部30和第2凹部 35相互相通，從而在長(zhǎng)金屬板64上制作出貫通孔25。在圖11所示的例子中，第2凹部35的形 成工序在第1凹部30的形成工序之前實(shí)施，并且在第2凹部35的形成工序與第1凹部30的形 成工序之間進(jìn)一步設(shè)置有對(duì)所制作的第2凹部35進(jìn)行密封的工序。以下詳細(xì)說(shuō)明各工序。
[0152] 圖10示出了用于制作蒸鍍掩模20的制造裝置60。如圖10所示，首先，準(zhǔn)備將長(zhǎng)金屬 板64卷取于芯材61上而成的卷繞體62。并且，通過(guò)旋轉(zhuǎn)該芯材61而將卷繞體62放卷，從而如 圖10所示那樣供給延伸成帶狀的長(zhǎng)金屬板64。需要說(shuō)明的是，長(zhǎng)金屬板64形成有貫通孔25 后形成片狀的金屬板21、進(jìn)而形成蒸鍍掩模20。
[0153]被供給的長(zhǎng)金屬板64被傳送輥72傳送至蝕刻裝置（蝕刻單元）70。利用蝕刻單元 70,實(shí)施圖11~圖19所示的各處理。需要說(shuō)明的是，本實(shí)施方式中，在長(zhǎng)金屬板64的寬度方 向分配有2個(gè)以上的蒸鍍掩模20。即，2個(gè)以上的蒸鍍掩模20由在長(zhǎng)度方向占據(jù)長(zhǎng)金屬板64 的特定位置的區(qū)域制作。該情況下，若長(zhǎng)金屬板64的熱復(fù)原率在寬度方向有偏差，則所得到 的蒸鍍掩模20的長(zhǎng)度及后述的總間距也有偏差。
[0154]首先，如圖11所示，在長(zhǎng)金屬板64的第1面64a上（圖11的紙面中的下側(cè)的面上）和 第2面64b上涂布包含負(fù)型的感光性抗蝕劑材料的涂布液，形成抗蝕劑膜65c、65d。
[0155] 接著，準(zhǔn)備曝光掩模85a、85b，該曝光掩模85a、85b不使光透過(guò)至抗蝕劑膜65c、65d 中的欲除去的區(qū)域，將曝光掩模85a、85b分別如圖12所示配置于抗蝕劑膜65c、65d上。作為 曝光掩模85a、85b，使用例如玻璃干板，該玻璃干板不使光透過(guò)至抗蝕劑膜65c、65d中的欲 除去的區(qū)域。其后，通過(guò)真空密合使曝光掩模85a、85b與抗蝕劑膜65c、65d充分密合。
[0156] 需要說(shuō)明的時(shí)，作為感光性抗蝕劑材料，可以使用正型的感光性抗蝕劑材料。這種 情況下，作為曝光掩模，使用使光透過(guò)至抗蝕劑膜中的欲除去的區(qū)域的曝光掩模。
[0157] 其后，隔著曝光掩模85a、85b將抗蝕劑膜65c、65d曝光。進(jìn)而，為了在所曝光的抗蝕 劑膜65c、65d形成圖像，將抗蝕劑膜65c、65d顯影（顯影工序）。如此，如圖13所示，可在長(zhǎng)金 屬板64的第1面64a上形成抗蝕劑圖案（也簡(jiǎn)稱為抗蝕劑)65a、在長(zhǎng)金屬板64的第2面64b上 形成抗蝕劑圖案(也簡(jiǎn)稱為抗蝕劑)65b。需要說(shuō)明的是，顯影工序可以包含用于提高抗蝕劑 膜65c、65d的硬度的抗蝕劑熱處理工序?？刮g劑熱處理工序中，例如在300°C的溫度條件下 進(jìn)行5分鐘的加熱處理。
[0158]接著，如圖14所示，將長(zhǎng)金屬板64上形成的抗蝕劑圖案65b作為掩模，使用蝕刻液 (例如氯化鐵(III)溶液），從長(zhǎng)金屬板64的第2面64b側(cè)蝕刻。例如，蝕刻液從噴嘴隔著抗蝕 劑圖案65b噴向著長(zhǎng)金屬板64的第2面64b，所述噴嘴配置在與傳送的長(zhǎng)金屬板64的第2面 64b面對(duì)的一側(cè)。其結(jié)果，如圖14所示，長(zhǎng)金屬板64中的未被抗蝕劑圖案65b覆蓋的區(qū)域中， 蝕刻液所致的侵蝕推進(jìn)。如此，從第2面64b側(cè)在長(zhǎng)金屬板64上形成大量的第2凹部35。
[0159]其后，如圖15所示，利用對(duì)蝕刻液具有耐性的樹脂69，將所形成的第2凹部35被覆。 即，利用對(duì)蝕刻液具有耐性的樹脂69,將第2凹部35密封。在圖15所示的例子中，樹脂69的膜 按照不僅覆蓋所形成的第2凹部35、而且也覆蓋第2面64b(抗蝕劑圖案65b)的方式形成。 [0160]接著，如圖16所示，對(duì)長(zhǎng)金屬板64進(jìn)行第2次蝕刻。在第2次蝕刻中，長(zhǎng)金屬板64僅 從第1面64a側(cè)被蝕刻，從第1面64a側(cè)，第1凹部30的形成推進(jìn)。這是由于長(zhǎng)金屬板64的第2面 64b側(cè)被覆有對(duì)蝕刻液具有耐性的樹脂69。因此，通過(guò)第1次蝕刻形成所期望的形狀的第2凹 部35的形狀不會(huì)受損。
[0161] 基于蝕刻的侵蝕在長(zhǎng)金屬板64中的與蝕刻液接觸的部分進(jìn)行。因此，侵蝕不僅僅 在長(zhǎng)金屬板64的法線方向（厚度方向）推進(jìn)，在沿著長(zhǎng)金屬板64的板面的方向也推進(jìn)。其結(jié) 果，如圖17所示，蝕刻在長(zhǎng)金屬板64的法線方向推進(jìn)而使第1凹部30與第2凹部35連接，不僅 如此，在與抗蝕劑圖案65a的相鄰的二個(gè)孔66a面對(duì)的位置分別形成的兩個(gè)第1凹部30在位 于兩個(gè)孔66a之間的橋部67a的內(nèi)側(cè)匯合。
[0162] 如圖18所示，從長(zhǎng)金屬板64的第1面64a側(cè)的蝕刻進(jìn)一步推進(jìn)。如圖18所示，相鄰的 兩個(gè)第1凹部30匯合而成的匯合