有機(jī)層沉積組件、沉積裝置及有機(jī)發(fā)光顯示裝置制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明的實(shí)施方式涉及裝置及方法，具體地，涉及有機(jī)層沉積組件、包括有機(jī)層沉積組件的有機(jī)層沉積裝置及使用有機(jī)層沉積裝置的有機(jī)發(fā)光顯示裝置制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在顯示裝置中，有機(jī)發(fā)光顯示裝置不僅具有視角寬、對(duì)比度優(yōu)異的優(yōu)點(diǎn)，而且還具有響應(yīng)速度快的優(yōu)點(diǎn)，由此作為下一代顯示元件而備受矚目。
[0003]有機(jī)發(fā)光顯示裝置在彼此相對(duì)的第一電極與第二電極之間設(shè)置有發(fā)光層和包括其的中間層。此時(shí)，可通過各種方法形成上述電極和中間層，其中的一種方法為獨(dú)立沉積方式。為了使用沉積方法制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置，需要將具有與待形成的有機(jī)層等的圖案相同的圖案的精細(xì)金屬掩模(fine metal mask:FMM)緊貼于待形成有有機(jī)層等的襯底面上，并沉積用于形成有機(jī)層等的材料以形成一定圖案的有機(jī)層。
[0004]然而，對(duì)于使用大型母體玻璃(mother-glass)來使有機(jī)發(fā)光顯示裝置大面積化而言，這種使用精細(xì)金屬掩模的方法存在著并不適用的局限。這是因?yàn)?，?dāng)使用大面積掩模時(shí)，會(huì)發(fā)生因自身重量而導(dǎo)致掩模的彎曲現(xiàn)象，而因這種彎曲而可能導(dǎo)致發(fā)生圖案的扭曲。這與要求圖案高精度的當(dāng)前趨勢背馳。
[0005]不僅如此，在對(duì)齊并緊貼襯底和精細(xì)金屬掩模并執(zhí)行沉積后，在再次將襯底與精細(xì)金屬掩模分離的過程中將消耗相當(dāng)長的時(shí)間，由此存在著耗時(shí)長且生產(chǎn)效率低下的問題。
[0006]上述的【背景技術(shù)】是發(fā)明人為得出本發(fā)明而擁有或者在得出本發(fā)明的過程中習(xí)得的技術(shù)信息，并不一定是在本發(fā)明的申請(qǐng)前已公開于一般公眾的公知技術(shù)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的實(shí)施方式提供有機(jī)層沉積組件、包括其的有機(jī)層沉積裝置以及使用其的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法。
[0008]本發(fā)明的實(shí)施方式公開了有機(jī)層沉積組件，該有機(jī)層沉積組件用于將沉積物質(zhì)沉積到襯底上，該有機(jī)層沉積組件包括放射沉積物質(zhì)的沉積源、布置于沉積源的一側(cè)并形成有多個(gè)沉積源噴嘴的沉積源噴嘴部、以及布置成與沉積源噴嘴部相對(duì)并形成有多個(gè)圖案化狹縫的圖案化狹縫片，其中，襯底形成為與有機(jī)層沉積組件一定程度地相隔開以能夠相對(duì)于有機(jī)層沉積組件相對(duì)移動(dòng)，從沉積源放射的沉積物質(zhì)通過圖案化狹縫片并在襯底上形成圖案的同時(shí)被沉積，多個(gè)圖案化狹縫包括沿著圖案化狹縫的長度方向延伸而成并且沿圖案化狹縫的長度方向和寬度方向連續(xù)地布置有多個(gè)以供沉積物質(zhì)通過的多個(gè)開口部、和形成于各個(gè)開口部之間的、沿圖案化狹縫的長度方向相隔開的空間中的多個(gè)肋，其中，各個(gè)肋在圖案化狹縫的長度方向上的寬度為0.65mm。
[0009]在本實(shí)施方式中，其特征可在于，圖案化狹縫片在作為圖案化狹縫片的長度方向的第一方向和作為圖案化狹縫片的寬度方向的第二方向中至少任一方向上形成為比襯底小。
[0010]在本實(shí)施方式中，其特征可在于，圖案化狹縫片中沿著作為圖案化狹縫片的長度方向的第一方向形成有多個(gè)圖案化狹縫，沉積源噴嘴部中沿著作為圖案化狹縫片的寬度方向的第二方向形成多個(gè)沉積源噴嘴。
[0011]在本實(shí)施方式中，其特征可在于，沉積源和沉積源噴嘴部與圖案化狹縫片通過連接部件結(jié)合以形成為一體。
[0012]在本實(shí)施方式中，其特征可在于，連接部件引導(dǎo)沉積物質(zhì)的移動(dòng)路徑。
[0013]在本實(shí)施方式中，其特征可在于，連接部件形成為從外部密封沉積源和沉積源噴嘴部與圖案化狹縫片之間的空間。
[0014]本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式公開了有機(jī)層沉積裝置，該有機(jī)層沉積裝置包括移送部、裝載部、沉積部和卸載部，其中，移送部包括固定襯底并形成為能夠與固定的襯底一同移動(dòng)的移動(dòng)部、第一移送部，沿著第一方向移動(dòng)固定有襯底的移動(dòng)部、和沿著第一方向的相反方向移動(dòng)已完成沉積并分離了襯底的移動(dòng)部的第二移送部，裝載部將襯底固定到移動(dòng)部，沉積部包括保持真空的腔室、和將有機(jī)層沉積到固定于從裝載部移送過來的移動(dòng)部上的襯底的一個(gè)以上的有機(jī)層沉積組件，卸載部從移動(dòng)部分離已通過沉積部并完成沉積的襯底，其中，移動(dòng)部形成為能夠在第一移送部與第二移送部之間循環(huán)，固定于移動(dòng)部的襯底形成為在通過第一移送部移動(dòng)期間與有機(jī)層沉積組件一定程度地相隔開，有機(jī)層沉積組件包括放射沉積物質(zhì)的沉積源、布置于沉積源的一側(cè)并形成有多個(gè)沉積源噴嘴的沉積源噴嘴部、以及布置成與沉積源噴嘴部相對(duì)并形成有多個(gè)圖案化狹縫的圖案化狹縫片，其中，襯底形成為與有機(jī)層沉積組件一定程度地相隔開以能夠相對(duì)于有機(jī)層沉積組件相對(duì)移動(dòng)，從沉積源放射的沉積物質(zhì)通過圖案化狹縫片并在襯底上形成圖案的同時(shí)被沉積，多個(gè)圖案化狹縫包括沿著圖案化狹縫的長度方向延伸而成并且沿圖案化狹縫的長度方向和寬度方向連續(xù)地布置有多個(gè)以供沉積物質(zhì)通過的多個(gè)開口部、和形成于各個(gè)開口部之間的、沿圖案化狹縫的長度方向相隔開的空間中的多個(gè)肋，其中，各個(gè)肋在圖案化狹縫的長度方向上的寬度為 0.65mm。
[0015]在本實(shí)施方式中，其特征可在于，第一移送部和第二移送部被設(shè)置成貫穿沉積部。
[0016]在本實(shí)施方式中，其特征可在于，第一移送部和第二移送部被上下并排地布置。
[0017]在本實(shí)施方式中，其特征可在于，第一移送部將移動(dòng)部從裝載部經(jīng)由沉積部移動(dòng)至卸載部。
[0018]在本實(shí)施方式中，其特征可在于，第二移送部將移動(dòng)部從卸載部經(jīng)由沉積部移動(dòng)至裝載部。
[0019]在本實(shí)施方式中，其特征可在于，圖案化狹縫片在第一方向上形成為比襯底小。
[0020]在本實(shí)施方式中，其特征可在于，圖案化狹縫片中沿著第二方向形成有多個(gè)圖案化狹縫，沉積源噴嘴部中沿著第一方向形成有多個(gè)沉積源噴嘴。
[0021]在本實(shí)施方式中，其特征可在于，沉積源和沉積源噴嘴部與圖案化狹縫片通過連接部件結(jié)合以形成為一體。
[0022]在本實(shí)施方式中，其特征可在于，連接部件引導(dǎo)沉積物質(zhì)的移動(dòng)路徑。
[0023]在本實(shí)施方式中，其特征可在于，連接部件形成為從外部密封沉積源和沉積源噴嘴部與圖案化狹縫片之間的空間。
[0024]本發(fā)明的又一實(shí)施方式公開了有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法，該有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法使用將有機(jī)層形成到襯底上的有機(jī)層沉積裝置，該有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法包括:在裝載部中將襯底固定到移動(dòng)部的步驟；使用設(shè)置成貫穿腔室的第一移送部將固定有襯底的移動(dòng)部移送到腔室內(nèi)的步驟；在布置于腔室內(nèi)的有機(jī)層沉積組件與襯底一定程度地相隔開的狀態(tài)下，使襯底相對(duì)于有機(jī)層沉積組件相對(duì)移動(dòng)并使從有機(jī)層沉積組件發(fā)散的沉積物質(zhì)沉積到襯底上以形成有機(jī)層的步驟；在卸載部中從移動(dòng)部分離已完成沉積的襯底的步驟；以及使用設(shè)置成貫穿腔室的第二移送部將與襯底分離的移動(dòng)部移送到裝載部的步驟，其中，有機(jī)層沉積組件包括放射沉積物質(zhì)的沉積源、布置于沉積源的一側(cè)并形成有多個(gè)沉積源噴嘴的沉積源噴嘴部、和布置成與沉積源噴嘴部相對(duì)并形成有多個(gè)圖案化狹縫的圖案化狹縫片，襯底形成為與有機(jī)層沉積組件一定程度地相隔開以能夠相對(duì)于有機(jī)層沉積組件相對(duì)移動(dòng)，從沉積源放射的沉積物質(zhì)通過圖案化狹縫片并在襯底上形成圖案的同時(shí)被沉積，多個(gè)圖案化狹縫包括沿著圖案化狹縫的長度方向延伸而成并沿圖案化狹縫的長度方向和寬度方向連續(xù)地布置有多個(gè)以供沉積物質(zhì)通過的多個(gè)開口部、和形成于各個(gè)開口部之間的、沿圖案化狹縫的長度方向相隔開的空間中的多個(gè)肋，其中，各個(gè)肋在圖案化狹縫的長度方向上的寬度為0.65mm。
[0025]在本實(shí)施方式中，可在腔室內(nèi)部設(shè)置多個(gè)有機(jī)層沉積組件以通過各個(gè)有機(jī)層沉積組件連續(xù)地在襯底上實(shí)施沉積。
[0026]在本實(shí)施方式中，其特征可在于，移動(dòng)部在第一移送部與第二移送部之間循環(huán)。
[0027]在本實(shí)施方式中，其特征可在于，第一移送部和第二移送部被上下并排地布置。
[0028]通過下面的附圖、權(quán)利要求書以及發(fā)明的詳細(xì)說明，上述以外的其他方面、特征、優(yōu)點(diǎn)將變得明確。
[0029]與本發(fā)明的實(shí)施方式相關(guān)的有機(jī)層沉積組件、包括其的有機(jī)層沉積裝置以及使用其的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法更加適合大型襯底的量產(chǎn)工藝，并且可改善襯底上的污點(diǎn)發(fā)生。
【附圖說明】
[0030]圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的有機(jī)層沉積組件的視圖。
[0031]圖2是放大示出圖1的有機(jī)層沉積組件圖案化狹縫片的視圖。
[0032]圖3是示意性示出圖1的包括有機(jī)層沉積組件的沉積部的立體圖。
[0033]圖4是圖1的沉積部的示意性剖視圖。
[0034]圖5是示意性示出包括圖4的沉積部的有機(jī)層沉積裝置的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的平面圖。
[0035]圖6是示意性示出圖3的有機(jī)層沉積裝置的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的正視圖。
[0036]圖7是示出使用圖5的有機(jī)層沉積裝置制造的有源矩陣型有機(jī)發(fā)光顯示裝置的剖視圖。
[0037]圖8是示出肋的寬度與有機(jī)發(fā)光顯示裝置的可見性之間的關(guān)系的圖表。
【具體實(shí)施方式】
[0038]本發(fā)明可以實(shí)施多種變型并且可以具有多種實(shí)施方式，并且旨在附圖中示出特定實(shí)施方式并對(duì)其進(jìn)行詳細(xì)說明。通過參照結(jié)合附圖詳細(xì)說明的實(shí)施方式，本發(fā)明的效果和特征以及實(shí)現(xiàn)其的方法將變得明確。然而，本發(fā)明并不限于下面所公開的實(shí)施方式，而是可以多種形態(tài)實(shí)現(xiàn)。在下面的實(shí)施方式中，“第一”、“第二”等的措辭并不具有限定的含義，而是以將一個(gè)構(gòu)成要素與其他構(gòu)成要素區(qū)分開的目的使用。此外，除非文中另有明確指示，否則單數(shù)的表述包括復(fù)數(shù)的表述。此外，“包括”或“具有”等的措辭是指說明書中所記載的特征或構(gòu)成要素的存在，而不是提前排除附加一個(gè)以上的其他特征或構(gòu)成要素的可能性。
[0039]此外，為了說明的便利，附圖中構(gòu)成要素的大小可以被夸大或被縮小。例如，為了說明的便利，附圖中所示的各構(gòu)件的大小和厚度被任意示出，因此本發(fā)明并不一定限于圖中所示。此外，當(dāng)能夠以不同的方式實(shí)現(xiàn)某些實(shí)施方式時(shí)，特定的工藝可以按照與所說明的順序不同的順序執(zhí)行。例如，連續(xù)說明的兩個(gè)工藝可以基本上同時(shí)執(zhí)行，也可以按照與所說明的順序相反的順序進(jìn)行。
[0040]下面，將參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明，并且在參照附圖進(jìn)行說明時(shí)，將對(duì)相同或?qū)?yīng)的構(gòu)成要素賦予相同的附圖標(biāo)記，并且將省略對(duì)其的重復(fù)說明。
[0041]圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的有機(jī)層沉積組件100-1的視圖，圖2是放大示出圖1的有機(jī)層沉積組件100-1的圖案化狹縫片130的視圖。
[0042]參照?qǐng)D1，根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)層沉積組件100-1包括沉積源110、沉積源噴嘴部120和圖案化狹縫片130。
[0043]此處，沉積源110包括其內(nèi)部填充有沉積物質(zhì)115的熔爐111和對(duì)熔爐111進(jìn)行加熱以將填充在熔爐111內(nèi)部的沉積物質(zhì)115蒸發(fā)到沉積源噴嘴部120側(cè)的加熱器112。
[0044]另外，沉積源110的一側(cè)布置有沉積源噴嘴部120，沉積源噴嘴部120中沿Y軸方向形成有多個(gè)沉積源噴嘴121。
[0045]此外，沉積源110與襯底600之間還設(shè)置有圖案化狹縫片130和框架135，圖案化狹縫片130中沿X軸方向形成有多個(gè)圖案化狹縫131和間隔物132。
[0046]此外，沉積源110和沉積源噴嘴部120與圖案化狹縫片130通過連接部件140結(jié)入口 ο
[0047]另外，沉積源110的一側(cè)，具體地，沉積源110中朝著襯底600的一側(cè)布置有沉積源噴嘴部120。此外，沉積源噴嘴部120中沿著Y軸方向(即，襯底600的掃描方向)形成有多個(gè)沉積源噴嘴121。
[0048]此處，上述多個(gè)沉積源噴嘴121可被等間距地形成。在沉積源110內(nèi)氣化的沉積物質(zhì)115通過如上所述的沉積源噴嘴部120并朝著作為被沉積體