并聯(lián)式平面研磨設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種研磨設(shè)備，特別涉及一種多軸研磨單元、多加工臺(tái)面的并聯(lián)式平面研磨設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的平面研磨設(shè)備只有單一個(gè)加工臺(tái)面，利用磨輪或研磨頭對(duì)該加工臺(tái)面上的載板或工件進(jìn)行研磨作業(yè)，在完成一個(gè)載板的研磨后，才能進(jìn)行下一個(gè)載板的研磨作業(yè)，加工效率相當(dāng)?shù)?，而且需要人工手?dòng)搬運(yùn)載板至加工臺(tái)面或手動(dòng)將載板從加工臺(tái)面搬離，對(duì)人力的依賴(lài)度非常高。一般來(lái)說(shuō)，在研磨過(guò)程中，磨輪會(huì)產(chǎn)生磨粒脫落而逐漸耗損，磨輪也會(huì)逐漸鈍化，現(xiàn)有技術(shù)中在磨輪作業(yè)一段時(shí)間后需為其進(jìn)行修銳，此亦仰賴(lài)人力手動(dòng)進(jìn)行，不僅如此，人工手動(dòng)修銳容易影響加工生產(chǎn)線(xiàn)的順暢度，使得整體加工效率無(wú)法提升。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型之一目的在于提供一種并聯(lián)式平面研磨設(shè)備，以增進(jìn)研磨設(shè)備的自動(dòng)化，減少人工支出，同時(shí)提升加工效率。
[0004]為達(dá)成上述目的，本實(shí)用新型提供一種并聯(lián)式平面研磨設(shè)備，其包含:一床臺(tái)；若干個(gè)加工臺(tái)面，設(shè)置在該床臺(tái)上，每個(gè)加工臺(tái)面對(duì)應(yīng)設(shè)置一承載臺(tái)，該承載臺(tái)用以固定要進(jìn)行研磨的載板，各個(gè)加工臺(tái)面對(duì)應(yīng)的承載臺(tái)可于研磨時(shí)在該床臺(tái)上移動(dòng)，每個(gè)承載臺(tái)之移動(dòng)通道相互平行，該載板在該承載臺(tái)移動(dòng)時(shí)隨著移動(dòng)；以及若干個(gè)研磨單元，設(shè)置于該等加工臺(tái)面上側(cè)，配置在橫跨該等加工臺(tái)面對(duì)應(yīng)之承載臺(tái)的移動(dòng)通道的軌道上，該等研磨單元與該等加工臺(tái)面相互對(duì)應(yīng)，每一研磨單元在該軌道上移動(dòng)，其移動(dòng)方向垂直于該等承載臺(tái)之移動(dòng)通道的方向，該等研磨單元用以同時(shí)對(duì)該等加工臺(tái)面對(duì)應(yīng)之承載臺(tái)上的載板進(jìn)行研磨。
[0005]本實(shí)用新型另一方面提供一種并聯(lián)式平面研磨設(shè)備，其包含:若干個(gè)加工臺(tái)面，每個(gè)加工臺(tái)面對(duì)應(yīng)設(shè)置一承載臺(tái)，該承載臺(tái)用以固定要進(jìn)行研磨的載板，每個(gè)承載臺(tái)可在研磨時(shí)進(jìn)行移動(dòng)，其移動(dòng)通道相互平行；若干個(gè)研磨單元，設(shè)置于該等加工臺(tái)面上側(cè)，配置在橫跨該等加工臺(tái)面對(duì)應(yīng)之承載臺(tái)的移動(dòng)通道的軌道上，每一研磨單元在該軌道上移動(dòng)，其中每一研磨單元包含:一磨輪，用以研磨該加工臺(tái)面上之載板，其中該磨輪沿著與該等承載臺(tái)之移動(dòng)通道之平面垂直的方向作升降運(yùn)動(dòng)，并沿著橫跨該等承載臺(tái)之移動(dòng)通道之該軌道作水平移動(dòng)。
[0006]本實(shí)用新型之并聯(lián)式平面研磨設(shè)備具有若干個(gè)彼此并排的研磨單元及加工臺(tái)面，為多加工臺(tái)面、多單元的研磨設(shè)備，每個(gè)加工臺(tái)面上的載板由所對(duì)應(yīng)之研磨單元進(jìn)行研磨作業(yè)，并可自動(dòng)對(duì)載板進(jìn)行載入與載出，同時(shí)進(jìn)行多載板的研磨加工，提升加工效率。另夕卜，本實(shí)用新型之研磨設(shè)備整合了載板自動(dòng)搬運(yùn)系統(tǒng)，可自動(dòng)將載板運(yùn)送到各個(gè)加工臺(tái)面進(jìn)行研磨并自動(dòng)將研磨完成的載板搬離加工臺(tái)面，無(wú)須以人工上下料(載板)，減少人工支出。而且，本實(shí)用新型之研磨設(shè)備可自動(dòng)為磨輪進(jìn)行修銳，修銳完成后透過(guò)感測(cè)器感應(yīng)磨輪位置，系統(tǒng)計(jì)算磨輪之耗損磨耗量，從而在下次進(jìn)行研磨時(shí)，調(diào)整磨輪之高度位置，自動(dòng)補(bǔ)償磨輪磨耗量，因而增加生產(chǎn)效率，減少手動(dòng)進(jìn)行磨輪校準(zhǔn)之人工支出。
【附圖說(shuō)明】
[0007]圖1顯示本實(shí)用新型之并聯(lián)式平面研磨設(shè)備的立體示意圖。
[0008]圖2顯示本實(shí)用新型之并聯(lián)式平面研磨設(shè)備的上側(cè)視圖。
[0009]圖3顯示本實(shí)用新型之并聯(lián)式平面研磨設(shè)備的正面視圖。
[0010]圖4顯示本實(shí)用新型之并聯(lián)式平面研磨設(shè)備的載板自動(dòng)搬運(yùn)系統(tǒng)的配置示意圖。
[0011]圖5顯示本實(shí)用新型之并聯(lián)式平面研磨設(shè)備的側(cè)面剖視圖。
[0012]圖6顯示本實(shí)用新型中修銳工具與位置感測(cè)器的配置示意圖。
[0013]圖7顯示本實(shí)用新型中修銳工具及位置感測(cè)器與磨輪的相對(duì)位置圖。
[0014]圖8顯示本實(shí)用新型中磨輪的磨耗量的計(jì)算示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]在如下實(shí)施方式的詳細(xì)描述中，請(qǐng)一并參閱作為其一部分的附圖，其例示說(shuō)明了本實(shí)用新型可用以實(shí)現(xiàn)的特定實(shí)施例?？梢岳斫獾氖?，亦可采用其他的實(shí)施例，在不脫離本實(shí)用新型的精神下對(duì)其結(jié)構(gòu)進(jìn)行任何修飾、修改和變化。
[0016]本實(shí)用新型提供一種并聯(lián)式平面研磨設(shè)備，其增進(jìn)了研磨設(shè)備的自動(dòng)化，大大減少人工支出。本發(fā)明之并聯(lián)式平面研磨設(shè)備為具有多個(gè)并排的研磨單元的研磨設(shè)備，其并整合了載板自動(dòng)搬運(yùn)系統(tǒng)，可自動(dòng)將載板運(yùn)送到各個(gè)加工臺(tái)面進(jìn)行研磨并自動(dòng)將研磨完成的載板搬離加工臺(tái)面。另一方面，本實(shí)用新型之研磨設(shè)備可對(duì)磨輪自動(dòng)修銳，并自動(dòng)補(bǔ)償磨輪之磨耗的耗損量。
[0017]請(qǐng)參閱圖1至圖3，圖1顯示本實(shí)用新型之并聯(lián)式平面研磨設(shè)備的立體示意圖，圖2顯示本實(shí)用新型之并聯(lián)式平面研磨設(shè)備的上側(cè)視圖，圖3顯示本實(shí)用新型之并聯(lián)式平面研磨設(shè)備的正面視圖。需注意的是，為清楚簡(jiǎn)潔起見(jiàn)，圖1并未顯示出自動(dòng)搬運(yùn)載板的結(jié)構(gòu)(容后詳述)。
[0018]本實(shí)用新型之研磨設(shè)備為多加工臺(tái)面、多研磨單元的并聯(lián)式平面研磨設(shè)備。如圖1至圖3所示，本實(shí)用新型之研磨設(shè)備包含若干個(gè)載板加工臺(tái)面12，這些加工臺(tái)面12設(shè)置在床臺(tái)14上，每個(gè)加工臺(tái)面12對(duì)應(yīng)設(shè)置一承載臺(tái)122，其具體例如為永電磁盤(pán)，載板120搬運(yùn)到加工臺(tái)面12上后，固定在承載臺(tái)122上，例如磁吸固定(亦可參附圖圖5)。各個(gè)載板加工臺(tái)面12可獨(dú)立地在床臺(tái)14上移動(dòng)，即沿著Y方向移動(dòng)，特別是，當(dāng)對(duì)加工臺(tái)面12上的載板120進(jìn)行研磨時(shí)，承載臺(tái)122可沿著Y方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。如第I?3圖所示，其包含了五個(gè)載板加工臺(tái)面12，其對(duì)應(yīng)設(shè)置了五個(gè)載板120的承載臺(tái)122及其相應(yīng)的移動(dòng)通道，此僅作為舉例說(shuō)明，本實(shí)用新型不限于此。相應(yīng)地，本實(shí)用新型之研磨設(shè)備亦配置了五個(gè)研磨單元22，每個(gè)研磨單元22對(duì)應(yīng)一個(gè)載板加工臺(tái)面12進(jìn)行操作。也就是說(shuō)，每個(gè)加工臺(tái)面12上的載板120由所對(duì)應(yīng)之研磨單元22進(jìn)行研磨作業(yè)。
[0019]如前所述，每個(gè)加工臺(tái)面12對(duì)應(yīng)的承載臺(tái)122可沿著Y方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。如圖中所示，每個(gè)承載臺(tái)122對(duì)應(yīng)的移動(dòng)通道相互平行地配置，每條移動(dòng)通道相互平行沿著Y方向延伸，相鄰的移動(dòng)通道以適當(dāng)?shù)念A(yù)定距離隔開(kāi)。
[0020]在載板加工臺(tái)面12方面，承載臺(tái)122用來(lái)承載固定一個(gè)要被研磨的載板120，載板120固定在承載臺(tái)122上，并隨著承載臺(tái)122移動(dòng)而移動(dòng)，載板120例如為玻璃基板、IC載板等薄型載板。
[0021]該研磨設(shè)備具有至少兩個(gè)或兩個(gè)以上之支撐用的龍門(mén)立柱24(龍門(mén)立柱24之?dāng)?shù)目不特別限制，可達(dá)穩(wěn)固支撐之目的即可)，其固定設(shè)置在床臺(tái)14上。這些龍門(mén)立柱24沿著與加工臺(tái)面12或承載臺(tái)122之移動(dòng)通道垂直的方向排列，即沿著X方向，在每?jī)蓚€(gè)加工臺(tái)面12的移動(dòng)通道之間設(shè)置一個(gè)龍門(mén)立柱24。這些龍門(mén)立柱24之間上下橫跨設(shè)置有兩條軌道26(軌道26之?dāng)?shù)目不特別限制)，軌道26之延伸方向垂直于加工臺(tái)面12的移動(dòng)通道方向，即沿X方向延伸，研磨單元22即在此軌道26上移動(dòng)。
[0022]于一實(shí)施例中，軌道26可為一條跨越所有移動(dòng)通道的軌道，此條軌道上每個(gè)研磨單元22的移動(dòng)范圍由系統(tǒng)控制，使每個(gè)研磨單元22的可移動(dòng)范圍對(duì)應(yīng)于其所對(duì)應(yīng)的移動(dòng)通道。于另一實(shí)施例中，軌道26被分切為許多段軌道，這些軌道以實(shí)體的間隔件隔開(kāi)，研磨單元22只能在其所在的該段軌道上在對(duì)應(yīng)之移動(dòng)通道的范圍內(nèi)移動(dòng)。在其他具體實(shí)施例中，軌道26可為在對(duì)應(yīng)一定數(shù)目之移動(dòng)通道的范圍內(nèi)為連續(xù)軌道，而其他部分為分段軌道。
[0023]每個(gè)研磨單元22包含一移動(dòng)底盤(pán)222、一主軸馬達(dá)224以及一磨輪226。移動(dòng)底盤(pán)222的一個(gè)側(cè)面耦合在軌道26上，故移動(dòng)底盤(pán)222可沿著X方向在軌道26上移動(dòng)。移動(dòng)底盤(pán)222的另一個(gè)側(cè)面與主軸馬達(dá)224之封裝體接合，主軸馬達(dá)224可沿著移動(dòng)底盤(pán)222之該另一個(gè)側(cè)面作上下移動(dòng)，即沿著圖中Z軸移動(dòng)。磨輪226與主軸馬達(dá)224之主軸228接合，故磨輪226可隨著主軸馬達(dá)224作升降移動(dòng)，磨輪226之中心軸平行于X方向，在透過(guò)軌道26而主軸馬達(dá)224沿著X方向移動(dòng)時(shí)，磨輪226沿著X方向?qū)d板120進(jìn)行研磨。
[0024]在研磨過(guò)程中，搬運(yùn)手臂將載板120搬運(yùn)到加工臺(tái)面12而承載臺(tái)122將載板120固定后，磨輪226隨著主軸馬達(dá)224往下移動(dòng)(Z方向)，至固定尺寸后載板120表面開(kāi)始進(jìn)行研磨，此過(guò)程中，承載臺(tái)122往復(fù)移動(dòng)(Y方向)，從而進(jìn)行載板120之縱向方向(Y方向)上的研磨，而后移動(dòng)底盤(pán)222沿軌道26移動(dòng)，磨輪226隨即沿X方向移動(dòng)，進(jìn)行下一個(gè)縱向研磨。當(dāng)此載板120研磨完成后，磨輪226隨主軸馬達(dá)224升起，搬運(yùn)手臂將完成研磨的載板120搬離加工臺(tái)面12，待下一個(gè)要被研磨的載板120移動(dòng)至定位后，進(jìn)行如上動(dòng)作。
[0025]請(qǐng)參閱圖4和圖5，圖4顯示本實(shí)用新型之并聯(lián)式平面研磨設(shè)備的載板自動(dòng)搬運(yùn)系統(tǒng)的配置示意圖，圖5顯示本實(shí)用新型之并聯(lián)式平面研磨設(shè)備的側(cè)面剖視圖。
[0026]如圖4所示，本實(shí)用新型之研磨設(shè)備還包含載板自動(dòng)搬運(yùn)系統(tǒng)，其包含一導(dǎo)軌架34、若干個(gè)支架32以及兩個(gè)載板搬運(yùn)手臂40。載板自動(dòng)搬運(yùn)系統(tǒng)設(shè)置在各個(gè)研磨單元22后方，跨越所有加工臺(tái)面12的移動(dòng)通道(一并參閱圖1，見(jiàn)圖2和圖3)。
[0027]具體來(lái)說(shuō)，該等支架32較佳為Π字形支架，其設(shè)置在兩兩加工臺(tái)面12的移動(dòng)通道之間，由床臺(tái)14所支撐，導(dǎo)軌架34安置在π字形支架32的框架內(nèi)側(cè)，與π字形支架32的上側(cè)橫梁固定在一起，導(dǎo)軌架34沿著橫跨加工臺(tái)面12之移動(dòng)通道的方向(即X方向)延伸，在導(dǎo)軌架34的至少一側(cè)邊設(shè)置有導(dǎo)軌36，其即亦沿著X