一種輕便式高剛性磁鋼芯軸的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種輕便式高剛性磁鋼芯軸，所述磁鋼芯軸為雙層不銹鋼管結(jié)構(gòu)，包括磁鐵、磁鐵調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、芯軸外鋼管、芯軸內(nèi)鋼管和芯軸軸頭，所述芯軸外鋼管套設(shè)在芯軸內(nèi)鋼管外，所述芯軸外鋼管上設(shè)置磁鐵，所述芯軸外鋼管和芯軸內(nèi)鋼管的兩端均固定安裝有芯軸軸頭，所述芯軸外鋼管和芯軸內(nèi)鋼管與磁鐵之間設(shè)有多組磁鐵調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述芯軸外鋼管和芯軸內(nèi)鋼管均為不銹鋼鋼管，所述芯軸外鋼管和芯軸內(nèi)鋼管之間為空心密封結(jié)構(gòu)，本實(shí)用新型解決了冷卻效果提升的問題，又解決了芯軸笨重且剛性不好的問題，提升設(shè)備性能，創(chuàng)造了很好的效益。
【專利說明】
一種輕便式高剛性磁鋼芯軸
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及磁控濺射鍍膜設(shè)備腔體領(lǐng)域，具體是一種輕便式高剛性磁鋼芯軸。
【背景技術(shù)】
[0002]目前的磁鋼芯軸是放置在旋轉(zhuǎn)靶材的內(nèi)部，是最原始的一種設(shè)計(jì)方案，冷卻靶材的冷卻水不是在最需要冷卻的等離子體輝光區(qū)域，導(dǎo)致整體重量偏大，剛性不足，尤其是磁鋼表面的磁場(chǎng)強(qiáng)度對(duì)位置及其敏感，原設(shè)計(jì)導(dǎo)致磁場(chǎng)因磁鋼芯軸剛性不足變形引起磁場(chǎng)變化，導(dǎo)致鍍膜不均勻，且冷卻效果不佳。針對(duì)這一情況，需要設(shè)計(jì)需要設(shè)計(jì)一種剛性好，重量輕，且保證冷卻水正對(duì)等離子體輝光區(qū)域的磁鋼芯軸。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種可以有效的解決磁鋼芯軸的剛性及冷卻效果的輕便式高剛性磁鋼芯軸，以解決上述【背景技術(shù)】中提出的問題。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:
[0005]—種輕便式高剛性磁鋼芯軸，所述磁鋼芯軸為雙層不銹鋼管結(jié)構(gòu)，包括磁鐵、磁鐵調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、芯軸外鋼管、芯軸內(nèi)鋼管和芯軸軸頭，所述芯軸外鋼管套設(shè)在芯軸內(nèi)鋼管外，所述芯軸外鋼管上設(shè)置磁鐵，所述芯軸外鋼管和芯軸內(nèi)鋼管的兩端均固定安裝有芯軸軸頭，所述芯軸外鋼管和芯軸內(nèi)鋼管與磁鐵之間設(shè)有多組磁鐵調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述磁鋼芯軸的外端設(shè)有靶材。
[0006]作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案:所述芯軸外鋼管和芯軸內(nèi)鋼管均為不銹鋼鋼管。
[0007]作為本實(shí)用新型再進(jìn)一步的方案:所述芯軸外鋼管和芯軸內(nèi)鋼管使用的不銹鋼鋼管采用薄壁材料。
[0008]作為本實(shí)用新型再進(jìn)一步的方案:所述芯軸外鋼管和芯軸內(nèi)鋼管之間為空心密封結(jié)構(gòu)。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:解決了冷卻效果提升的問題，又解決了芯軸笨重且剛性不好的問題，提升設(shè)備性能，創(chuàng)造了很好的效益。
【附圖說明】
[0010]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的芯軸磁鋼的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2為現(xiàn)有技術(shù)的芯軸磁鋼左視圖。
[0012]圖3為輕便式高剛性磁鋼芯軸的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖4為輕便式高剛性磁鋼芯軸的左視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0015]請(qǐng)參閱圖3?4，本實(shí)用新型實(shí)施例中，一種輕便式高剛性磁鋼芯軸，包括磁鐵1、磁鐵調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2、芯軸外鋼管3、芯軸內(nèi)鋼管4和芯軸軸頭5，所述芯軸外鋼管3套設(shè)在芯軸內(nèi)鋼管4外，所述芯軸外鋼管3上設(shè)置磁鐵I，所述芯軸外鋼管3和芯軸內(nèi)鋼管4的兩端均固定安裝有芯軸軸頭5，所述芯軸外鋼管3和芯軸內(nèi)鋼管4與磁鐵I之間設(shè)有多組磁鐵調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2，所述磁鋼芯軸的外端設(shè)有靶材6。
[0016]本實(shí)用新型的工作原理是:本實(shí)用新型的的磁鋼，其磁鋼芯軸為雙層不銹鋼管結(jié)構(gòu)，芯軸外鋼管3套芯軸內(nèi)鋼管4，芯軸外鋼管3和芯軸內(nèi)鋼管4采用不銹鋼管薄壁材料，這樣的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度即得到了加強(qiáng)，本身重量也得到了減輕；同時(shí)由于芯軸外鋼管3和芯軸內(nèi)鋼管4之間為空心密封結(jié)構(gòu)，其本身起到了填充靶材內(nèi)部空間的作用，冷卻水的重量大減;整體重量大大減輕，冷卻水僅存在于靶材內(nèi)壁的四周，水流速度加快，冷卻效果得到提升。
[0017]對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此，無論從哪一點(diǎn)來看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。
[0018]此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說明書按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個(gè)整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種輕便式高剛性磁鋼芯軸，其特征在于，所述磁鋼芯軸為雙層不銹鋼管結(jié)構(gòu)，包括磁鐵(I)、磁鐵調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2)、芯軸外鋼管(3)、芯軸內(nèi)鋼管(4)和芯軸軸頭(5)，所述芯軸外鋼管(3)套設(shè)在芯軸內(nèi)鋼管(4)外，所述芯軸外鋼管(3)上設(shè)置磁鐵(I)，所述芯軸外鋼管(3)和芯軸內(nèi)鋼管(4)的兩端均固定安裝有芯軸軸頭(5)，所述芯軸外鋼管(3)和芯軸內(nèi)鋼管(4)與磁鐵(I)之間設(shè)有多組磁鐵調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2)，所述磁鋼芯軸的外端設(shè)有靶材(6)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輕便式高剛性磁鋼芯軸，其特征在于，所述芯軸外鋼管(3)和芯軸內(nèi)鋼管(4)均為不銹鋼鋼管。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輕便式高剛性磁鋼芯軸，其特征在于，所述芯軸外鋼管(3)和芯軸內(nèi)鋼管(4)使用的不銹鋼鋼管采用薄壁材料。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的輕便式高剛性磁鋼芯軸，其特征在于，所述芯軸外鋼管(3)和芯軸內(nèi)鋼管(4)之間為空心密封結(jié)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】C23C14/35GK205616947SQ201620370038
【公開日】2016年10月5日
【申請(qǐng)日】2016年4月28日
【發(fā)明人】閆乃明
【申請(qǐng)人】深圳市金耀玻璃機(jī)械有限公司