專利名稱：太陽(yáng)能級(jí)多晶硅的生產(chǎn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)控制領(lǐng)域，尤其是太陽(yáng)能級(jí)多晶硅的生產(chǎn) 方法。
背景技術(shù)：
太陽(yáng)能級(jí)多晶硅是用于制造太陽(yáng)能光伏電池的基礎(chǔ)材料，太陽(yáng)能 光伏電池的效率在很大程度上取決于多晶硅的品質(zhì)。
目前用傳統(tǒng)西門子法或改良西門子法生產(chǎn)的多晶硅主要用于IT 行業(yè)，其品質(zhì)完全能滿足IT行業(yè)的要求。但是在生產(chǎn)太陽(yáng)能級(jí)多晶 硅的過(guò)程中，可大量利用尾氣回收得到的三氯氫硅作為原料?；厥盏?到的三氯氫硅經(jīng)過(guò)提純，再輸入還原爐由氫氣在高溫下將其還原成多 晶硅。這樣生產(chǎn)的多晶硅其質(zhì)量較差且不穩(wěn)定，其碳含量只能達(dá)到 1.5X1015at/cm3o

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題就是要克服上述多晶硅生產(chǎn)方法中存 在的缺陷。
本發(fā)明是多晶硅生產(chǎn)過(guò)程的控制方法和控制裝置，即在提純回收 得到的三氯氫硅的工序中，增加控制點(diǎn)及控制裝置。
在提純系統(tǒng)中增加控制裝置，這樣既可以方便測(cè)量又可以根據(jù)三 氯氫硅回收料的品質(zhì)，及時(shí)調(diào)整提純的工藝流程及工藝參數(shù)，使三氯 氫硅的純度始終到達(dá)8 9個(gè)以上，將本發(fā)明提純后的三氯氫硅輸入還原爐在高溫下由氫氣將其還原成多晶硅。這樣生產(chǎn)的多晶硅其含碳量
小于9.86X 1015at/cm3、氧含量小于2.27 X 1016at/cm3，壽命大于 150pm，質(zhì)量比較穩(wěn)定。用于太陽(yáng)能光伏電池的制造，可使電池的效 率得到提高。


圖1是多晶硅生產(chǎn)工藝流程圖。
具體實(shí)施例方式
通過(guò)下面給出的本發(fā)明的具體實(shí)施例可以進(jìn)一步清楚地了解本 發(fā)明，但它們不是對(duì)本發(fā)明的限定。
將本發(fā)明設(shè)定的控制點(diǎn)和控制裝置安置在三氯氫硅的粗餾和精 餾的前后管道或料槽上，根據(jù)工藝要求定時(shí)操作以及及時(shí)調(diào)整提純工 藝參數(shù)，可以確保經(jīng)提純得到的三氯氫硅其純度8~9個(gè)以上。
生產(chǎn)多晶硅用的氫氣經(jīng)除水、除氧、除碳等裝置后，其露點(diǎn)為-100 °C，氧含量不大于100ppm。
用提純過(guò)的氫氣、三氯氫硅按一定的比例輸入還原爐，晶體硅將 沉積到高溫的硅芯上，如此能得到的太陽(yáng)能級(jí)的長(zhǎng)壽命的多晶硅，其 含碳量小于9.86X1015at/cm3、氧含量小于2.27X 1016at/cm3，壽命大 于150pm，質(zhì)量比較穩(wěn)定。
盡管對(duì)本發(fā)明已經(jīng)作了詳細(xì)的說(shuō)明并引證了一些具體實(shí)施例，但 對(duì)本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，只要不離開本發(fā)明的精神和范圍可作各 種變化和修正是顯然的。
權(quán)利要求
1、一種太陽(yáng)能級(jí)多晶硅生產(chǎn)方法，其特征在于在提純回收得到的三氯氫硅的工序中，增加控制點(diǎn)及控制裝置。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能級(jí)多晶硅生產(chǎn)方法，其特征在 于設(shè)定的控制點(diǎn)和控制裝置安置在三氯氫硅的粗餾和精餾的前后管 道或料槽上，根據(jù)工藝要求定時(shí)操作以及及時(shí)調(diào)整提純工藝參數(shù)，可 以確保經(jīng)提純得到的三氯氫硅其純度8 9個(gè)以上。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種太陽(yáng)能級(jí)多晶硅生產(chǎn)方法，是在提純回收得到的三氯氫硅的工序中，增加控制點(diǎn)及控制裝置。所述的控制點(diǎn)和控制裝置安置在三氯氫硅的粗餾和精餾的前后管道或料槽上，根據(jù)工藝要求定時(shí)操作以及及時(shí)調(diào)整提純工藝參數(shù)，可以確保經(jīng)提純得到的三氯氫硅其純度8～9個(gè)以上。
文檔編號(hào)C01B33/00GK101450802SQ200710171899
公開日2009年6月10日 申請(qǐng)日期2007年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月7日
發(fā)明者樓繼良, 陸惠忠 申請(qǐng)人:上海棱光實(shí)業(yè)股份有限公司