一種采用聯(lián)合法制取二氯二氫硅的方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了采用聯(lián)合法制取二氯二氫硅的方法。該法是在歧化法基礎(chǔ)上增加四氯化硅氫化作用工序，使副產(chǎn)物充分利用，在氯氫化作用反應(yīng)器中，在氫氣和四氯硅烷的存在下，氫氣和四氯硅烷的摩爾比為1：1-4冶金級(jí)硅發(fā)生氯氫化反應(yīng)。反應(yīng)后的氣流中含有二氯二氫硅、三氯硅烷、四氯硅烷、氫氣及未反應(yīng)的硅顆粒，經(jīng)冷凝和精餾進(jìn)行分離。分離后的四氯硅烷和氫氣再循環(huán)使用。通過催化劑固定床得到三氯硅烷被歧化成二氯二氫硅和四氯硅烷，歧化后的氣流送到相應(yīng)的精餾單元進(jìn)行分離和純化。
【專利說明】一種采用聯(lián)合法制取二氯二氫硅的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明采用聯(lián)合法生產(chǎn)二氯二氫硅，在氯氫化作用反應(yīng)器中，在氫氣和四氯硅烷的存在下，冶金級(jí)硅發(fā)生氯氫化反應(yīng)。反應(yīng)后的氣流中含有二氯二氫硅、三氯硅烷、四氯硅烷、氫氣及未反應(yīng)的硅顆粒，經(jīng)冷凝和精餾進(jìn)行分離。分離后的四氯硅烷和氫氣再循環(huán)使用。通過催化劑固定床得到三氯硅烷被歧化成二氯二氫硅和四氯硅烷，歧化后的氣流送到相應(yīng)的精餾單元進(jìn)行分離和純化。
【背景技術(shù)】
[0002] 二氯二氫硅是半導(dǎo)體外延和化學(xué)氣相沉積工藝中的硅源氣體。有機(jī)硅化合物的生產(chǎn)。制作大規(guī)模集成電路所必需的優(yōu)質(zhì)硅源。在空氣中易燃，100°c以上能自燃，燃燒后生成氯化氫和氧化硅。加熱至100°c以上時(shí)會(huì)自行分解而生成鹽酸。氯氣、氫氣和不定性硅。施以強(qiáng)烈撞擊時(shí)也會(huì)自行分解。在濕空氣中產(chǎn)生腐蝕性煙霧。與堿、乙醇、丙酮起反應(yīng)。即使接觸少量鹵素或其他氧化劑也會(huì)發(fā)生激烈反應(yīng)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的問題在于，克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。提供一種采用聯(lián)合法制取二氯二氫硅當(dāng)然方法，其特征在于在歧化法基礎(chǔ)上增加四氯化硅氫化作用工序，使副產(chǎn)物充分利用，從而降低成本。與歧化法相比，雖然產(chǎn)率低些，但無催化劑帶來的高碳雜質(zhì)，產(chǎn)品不需進(jìn)行深度純化；氯氫化作用反應(yīng)器中，在氫氣和四氯硅烷的存在下，冶金級(jí)硅發(fā)生氯氫化反應(yīng)；反應(yīng)后的氣流中含有二氯二氫硅、三氯硅烷、四氯硅烷、氫氣及未反應(yīng)的硅顆粒，經(jīng)冷凝和精餾進(jìn)行分離；分離后的四氯硅烷和氫氣再循環(huán)使用；通過催化劑固定床得到三氯硅烷被歧化成二氯二氫硅和四氯硅烷，歧化后的氣流送到相應(yīng)的精餾單元進(jìn)行分離和純化。
[0004]聯(lián)合法是在歧化法基礎(chǔ)上增加四氯化硅氫化作用工序，使副產(chǎn)物充分利用，從而降低成本。與歧化法相比，雖然產(chǎn)率低些，但無催化劑帶來的高碳雜質(zhì)，產(chǎn)品不需進(jìn)行深度純化。在氯氫化作用反應(yīng)器中，在氫氣和四氯硅烷的存在下，冶金級(jí)硅發(fā)生氯氫化反應(yīng)。反應(yīng)后的氣流中含有二氯二氫硅、三氯硅烷、四氯硅烷、氫氣及未反應(yīng)的硅顆粒，經(jīng)冷凝和精餾進(jìn)行分離。分離后的四氯硅烷和氫氣再循環(huán)使用。通過催化劑固定床得到三氯硅烷被歧化成二氯二氫硅和四氯硅烷，歧化后的氣流送到相應(yīng)的精餾單元進(jìn)行分離和純化。
【具體實(shí)施方式】
[0005]下面結(jié)合實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說明，下述實(shí)施例是說明性的，不是限定性的，不能以下述實(shí)施例來限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。其中的原料可以在市場(chǎng)買到。
[0006]實(shí)施例1
一種采用聯(lián)合法制取二氯二氫硅當(dāng)然方法，其特征在于在歧化法基礎(chǔ)上增加四氯化硅氫化作用工序，使副產(chǎn)物充分利用，從而降低成本。與歧化法相比，雖然產(chǎn)率低些，但無催化劑帶來的高碳雜質(zhì)，產(chǎn)品不需進(jìn)行深度純化；氯氫化作用反應(yīng)器中，在氫氣和四氯硅烷的存在下，冶金級(jí)硅發(fā)生氯氫化反應(yīng)；反應(yīng)后的氣流中含有二氯二氫硅、三氯硅烷、四氯硅烷、氫氣及未反應(yīng)的硅顆粒，經(jīng)冷凝和精餾進(jìn)行分離；分離后的四氯硅烷和氫氣再循環(huán)使用；通過催化劑固定床得到三氯硅烷被歧化成二氯二氫硅和四氯硅烷，歧化后的氣流送到相應(yīng)的精餾單元進(jìn)行分離和純化。
[0007]實(shí)施例2
一種采用聯(lián)合法制取二氯二氫硅當(dāng)然方法，其特征在于在歧化法基礎(chǔ)上增加四氯化硅氫化作用工序，使副產(chǎn)物充分利用，產(chǎn)品不需進(jìn)行深度純化；氯氫化作用反應(yīng)器中，在氫氣和四氯硅烷的存在下，氫氣和四氯硅烷的摩爾比為1: 4冶金級(jí)硅發(fā)生氯氫化反應(yīng)；反應(yīng)后的氣流中含有二氯二氫硅、三氯硅烷、四氯硅烷、氫氣及未反應(yīng)的硅顆粒，經(jīng)冷凝和精餾進(jìn)行分離；分離后的四氯硅烷和氫氣再循環(huán)使用；通過催化劑固定床得到三氯硅烷被歧化成二氯二氫硅和四氯硅烷，歧化后的氣流送到相應(yīng)的精餾單元進(jìn)行分離和純化。
[0008] 實(shí)施例3
一種采用聯(lián)合法制取二氯二氫硅當(dāng)然方法，其特征在于在歧化法基礎(chǔ)上增加四氯化硅氫化作用工序，使副產(chǎn)物充分利用，產(chǎn)品不需進(jìn)行深度純化；氯氫化作用反應(yīng)器中，在氫氣和四氯硅烷的存在下，氫氣和四氯硅烷的摩爾比為1:1冶金級(jí)硅發(fā)生氯氫化反應(yīng)；反應(yīng)后的氣流中含有二氯二氫硅、三氯硅烷、四氯硅烷、氫氣及未反應(yīng)的硅顆粒，經(jīng)冷凝和精餾進(jìn)行分離；分離后的四氯硅烷和氫氣再循環(huán)使用；通過催化劑固定床得到三氯硅烷被歧化成二氯二氫硅和四氯硅烷，歧化后的氣流送到相應(yīng)的精餾單元進(jìn)行分離和純化。
【權(quán)利要求】
1.一種采用聯(lián)合法制取二氯二氫硅當(dāng)然方法，其特征在于在歧化法基礎(chǔ)上增加四氯化硅氫化作用工序，使副產(chǎn)物充分利用，產(chǎn)品不需進(jìn)行深度純化；氯氫化作用反應(yīng)器中，在氫氣和四氯硅烷的存在下，氫氣和四氯硅烷的摩爾比為1:1-4冶金級(jí)硅發(fā)生氯氫化反應(yīng)；反應(yīng)后的氣流中含有二氯二氫硅、三氯硅烷、四氯硅烷、氫氣及未反應(yīng)的硅顆粒，經(jīng)冷凝和精餾進(jìn)行分離；分離后的四氯硅烷和氫氣再循環(huán)使用；通過催化劑固定床得到三氯硅烷被歧化成二氯二氫硅和四氯硅烷，歧化后的氣流送到相應(yīng)的精餾單元進(jìn)行分離和純化。
【文檔編號(hào)】C01B33/107GK103896279SQ201210589213
【公開日】2014年7月2日 申請(qǐng)日期:2012年12月31日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月31日
【發(fā)明者】原東風(fēng) 申請(qǐng)人:天津市泰源工業(yè)氣體有限公司