專利名稱：一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
—種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及一種吸附柱并網(wǎng)裝置，特別是一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，屬于多晶硅化工技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
[0002]國(guó)內(nèi)外的多晶硅生產(chǎn)主要采用“改良西門(mén)子法”，該方法中的⑶I工藝是比較成熟的多晶硅生產(chǎn)尾氣回收工藝，其工藝步驟大概為尾氣先經(jīng)過(guò)冷凝將氯硅烷、氯化氫和氫氣分離開(kāi)后，液態(tài)的氯硅烷送精餾工序，氣態(tài)的氯化氫、氫氣經(jīng)過(guò)吸收塔、解析塔被分離開(kāi)，其中的氯化氫送至合成工序，氫氣再經(jīng)吸附柱除去殘余的氯硅烷和氯化氫后繼續(xù)作為生產(chǎn)原料使用。[0003]由于多晶硅還原系統(tǒng)中的尾氣回收和氫化系統(tǒng)中的尾氣回收是兩套獨(dú)立的系統(tǒng)， 但是由于還原系統(tǒng)和氫化系統(tǒng)輸送至尾氣回收工序的物料具有相近性，所以在其中一套尾氣回收系統(tǒng)出現(xiàn)動(dòng)力設(shè)備(如壓縮機(jī)和螺桿機(jī)等)工況意外下，則可以用另外一套正常運(yùn)行的回收系統(tǒng)處理來(lái)同時(shí)處理還原系統(tǒng)和氫化系統(tǒng)的尾氣以維持生產(chǎn)。但是由于單套系統(tǒng)處理能力有限，此時(shí)還原系統(tǒng)和氫化系統(tǒng)必須減量運(yùn)行，但即使在降低生產(chǎn)負(fù)荷情況下，單套吸附柱凈化氫氣也不能保證回收氫氣質(zhì)量，而回收氫氣質(zhì)量作為影響多晶硅質(zhì)量的關(guān)鍵因素之一，這將直接導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量及產(chǎn)量明顯下滑。在尾氣回收系統(tǒng)中，吸附柱對(duì)回收的氫氣質(zhì)量有較大的影響。發(fā)明內(nèi)容[0004]本實(shí)用新型的發(fā)明目的在于針對(duì)上述存在的問(wèn)題，提供一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，能夠利用因故障停車(chē)的尾氣回收系統(tǒng)中可以正常運(yùn)行的吸附柱來(lái)進(jìn)行回收氫氣的吸附，有效的降低正常運(yùn)行的尾氣回收系統(tǒng)中吸附柱的負(fù)荷，提升尾氣處理量和回收氫氣質(zhì) 量，同時(shí)，在正常工況下也可以對(duì)不同系統(tǒng)(如還原系統(tǒng)和氫化系統(tǒng))之間的吸附負(fù)荷做一個(gè)再分配和優(yōu)化，提升回收氫吸附質(zhì)量，從而達(dá)到提高產(chǎn)品質(zhì)量的目的。[0005]本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下[0006]—種多晶娃尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置,包括回收系統(tǒng)I和回收系統(tǒng)II，所述回收系統(tǒng)I包含有換熱器I、吸附柱I和之間連接的管道I，所述回收系統(tǒng)II包含有換熱器II、吸附柱II和之間連接的管道II ;所述管道I和管道II通過(guò)設(shè)置帶有閥門(mén)I的管道III 連通；所述管道I上設(shè)置閥門(mén)II，所述閥門(mén)II位于換熱器I和管道III之間；所述管道II上設(shè)置閥門(mén)V，所述閥門(mén)V位于換熱器II和管道III之間。[0007]作為優(yōu)選方式，所述管道III為不銹鋼鋼管。[0008]作為優(yōu)選方式，所述管道I上設(shè)置閥門(mén)III，所述閥門(mén)III位于管道III和吸附柱I之間。[0009]作為優(yōu)選方式，所述管道II上設(shè)置閥門(mén)VI，所述閥門(mén)VI位于管道III和吸附柱II之間。[0010]作為優(yōu)選方式，所述閥門(mén)I、閥門(mén)II、閥門(mén)III、閥門(mén)V和閥門(mén)VI均為球閥。[0011]作為優(yōu)選方式，所述閥門(mén)I、閥門(mén)II、閥門(mén)III、閥門(mén)V和閥門(mén)VI均為不銹鋼球閥。[0012]作為優(yōu)選方式，所述閥門(mén)I與管道III采用法蘭連接；所述閥門(mén)II和閥門(mén)III均與管道I采用法蘭連接；所述閥門(mén)V和閥門(mén)VI均與管道II采用法蘭連接。[0013]回收系統(tǒng)中的回收氫氣從換熱器輸送至吸附柱。帶有閥門(mén)I的管道III為氫氣進(jìn)入不同回收系統(tǒng)的吸附柱提供了可控制的通道；通過(guò)閥門(mén)II、閥門(mén)V和可以控制氫氣進(jìn)入吸附柱而不進(jìn)入其他的設(shè)備(如換熱器)；設(shè)置閥門(mén)III和閥門(mén)VI則可以實(shí)現(xiàn)選擇性的單獨(dú)或同時(shí)使用吸附柱I或吸附柱II，使得操作方案更加靈活；管道III、閥門(mén)I、閥門(mén)II、閥門(mén)III、閥門(mén)V和閥門(mén)VI，選用不銹鋼管道和不銹鋼閥門(mén)，能有效避免因氫氣中的氯化氫的強(qiáng)腐蝕性而導(dǎo)致管道腐蝕和因腐蝕帶來(lái)金屬雜質(zhì)導(dǎo)致氫氣質(zhì)量的降低；閥門(mén)I、閥門(mén)II、閥門(mén)III、閥門(mén)V和閥門(mén)VI全部采用球閥提高了操作的可靠性；閥門(mén)和管道間采用法蘭連接提高了靈活性，便于維護(hù)和更換。由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型的有益效果是[0015]本實(shí)用新型的一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)巧妙，成本低廉，實(shí)現(xiàn)了能夠利用因故障停車(chē)的尾氣回收系統(tǒng)中可以正常運(yùn)行的吸附柱來(lái)進(jìn)行回收氫氣的吸附，有效的降低正常運(yùn)行的尾氣回收系統(tǒng)中吸附柱的負(fù)荷，提升尾氣處理量和回收氫氣質(zhì)量，同時(shí)，在正常工況下也可以對(duì)回收系統(tǒng)I和回收系統(tǒng)II的吸附負(fù)荷做一個(gè)再分配和優(yōu)化，提升回收氫吸附質(zhì)量，從而達(dá)到提高產(chǎn)品質(zhì)量的目的。


[0016]圖I是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。[0017]圖中標(biāo)記1_換熱器I、2_吸附柱I、3_管道I、4_換熱器II、5-吸附柱II、6-管道II、7-管道III、8-閥門(mén)I、9-閥門(mén)IKlO-閥門(mén)111、11_閥門(mén)V、12-閥門(mén)VI。
具體實(shí)施方式
[0018]
以下結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)的說(shuō)明。[0019]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。[0020]實(shí)施例1，一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，如圖I所示，包括回收系統(tǒng) I和回收系統(tǒng)II，所述回收系統(tǒng)I包含有換熱器I I、吸附柱I 2和之間連接的管道I 3，所述回收系統(tǒng)II包含有換熱器II 4、吸附柱II 5和之間連接的管道II 6 ;將管道I 3和管道II 6 通過(guò)設(shè)置帶有閥門(mén)I 8的管道III 7連通，所述管道I 3上的換熱器I I和管道III 7之間設(shè)置閥門(mén)II 9，所述管道II 6上的換熱器II 4和管道III7之間設(shè)置閥門(mén)V 11 ;管道III的選用不銹鋼鋼管，閥門(mén)I 8、閥門(mén)II 9、和閥門(mén)V 11選用不銹鋼球閥，與管道I 3、管道II 6和管道 III 7采用法蘭連接而成。[0021]實(shí)施例2，一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，如圖I所示，包括回收系統(tǒng) I和回收系統(tǒng)II，所述回收系統(tǒng)I包含有換熱器I I、吸附柱I 2和之間連接的管道I 3，所述回收系統(tǒng)II包含有換熱器II 4、吸附柱II 5和之間連接的管道II 6 ;將管道I 3和管道II 6通過(guò)設(shè)置帶有閥門(mén)I 8的管道III 7連通，所述管道I 3上的換熱器I I和管道III 7之間設(shè)置閥門(mén)II 9，所述管道II 6上的換熱器II 4和管道III7之間設(shè)置閥門(mén)V 11 ;再將管道I 3上的管道III 7和換熱器I 2之間設(shè)置閥門(mén)III10，將管道II 6上的管道III 7和吸附柱II 5之間設(shè)置閥門(mén)VI 12，管道III 7的選用不銹鋼鋼管，閥門(mén)I 8、閥門(mén)II 9、閥門(mén)III10、閥門(mén)V 11和閥門(mén)VI 12選用不銹鋼球閥，與管道I 3、管道II 6和管道III 7采用法蘭連接而成。[0022]以 上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，包括回收系統(tǒng)I和回收系統(tǒng)II，所述回收系統(tǒng)I包含有換熱器I (I)、吸附柱I (2)和之間連接的管道I (3)，所述回收系統(tǒng)II包含有換熱器II (4)、吸附柱II (5)和之間連接的管道II (6)，其特征在于所述管道I (3)和管道II (6)通過(guò)設(shè)置帶有閥門(mén)I (8)的管道III(7)連通；所述管道I (3)上設(shè)置閥門(mén)II (9)， 所述閥門(mén)II (9)位于換熱器I(I)和管道III (7)之間；所述管道II (6)上設(shè)置閥門(mén)V (11)， 所述閥門(mén)V (11)位于換熱器II (4)和管道III (7)之間。
2.如權(quán)利要求I所述的多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，其特征在于所述管道 111(7)為不銹鋼鋼管。
3.如權(quán)利要求I所述的多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，其特征在于所述管道 I (3)上設(shè)置閥門(mén)111(10)，所述閥門(mén)III(IO)位于管道111(7)和吸附柱I (2)之間。
4.如權(quán)利要求I或3所述的多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，其特征在于所述管道II (6 )上設(shè)置閥門(mén)VI (12 )，所述閥門(mén)VI (12 )位于管道III (7 )和吸附柱II (5 )之間。
5.如權(quán)利要求4所述的多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，其特征在于所述閥門(mén) I (8)、閥門(mén)II (9)、閥門(mén)III(10)、閥門(mén)V (11)和閥門(mén)VI (12)均為球閥。
6.如權(quán)利要求5所述的多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，其特征在于所述閥門(mén) I (8)、閥門(mén)II (9)、閥門(mén)III(10)、閥門(mén)V (11)和閥門(mén)VI(12)均為不銹鋼球閥。
7.如權(quán)利要求5或6所述的多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，其特征在于所述閥門(mén)I (8)與管道111(7)采用法蘭連接；所述閥門(mén)II (9)和閥門(mén)III(IO)均與管道I (3)采用法蘭連接；所述閥門(mén)V (11)和閥門(mén)VK12)均與管道II (6)采用法蘭連接。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，包括回收系統(tǒng)Ⅰ和回收系統(tǒng)Ⅱ，所述回收系統(tǒng)Ⅰ包含有換熱器Ⅰ(1)、吸附柱Ⅰ(2)和之間連接的管道Ⅰ(3)，所述回收系統(tǒng)Ⅱ包含有換熱器Ⅱ(4)、吸附柱Ⅱ(5)和之間連接的管道Ⅱ(6)，所述管道Ⅰ(3)和管道Ⅱ(6)通過(guò)設(shè)置帶有閥門(mén)Ⅰ(8)的管道Ⅲ(7)連通；所述管道Ⅰ(3)上設(shè)置閥門(mén)Ⅱ(9)，所述閥門(mén)Ⅱ(9)位于換熱器Ⅰ(1)和管道Ⅲ(7)之間；所述管道Ⅱ(6)上設(shè)置閥門(mén)Ⅴ(11)，所述閥門(mén)Ⅴ(11)位于換熱器Ⅱ(4)和管道Ⅲ(7)之間。該吸附柱并網(wǎng)裝置成本低廉，有效的降低正常運(yùn)行的尾氣回收系統(tǒng)中吸附柱的負(fù)荷，提升尾氣處理量和回收氫氣質(zhì)量。
文檔編號(hào)C01B3/56GK202654903SQ20122018831
公開(kāi)日2013年1月9日 申請(qǐng)日期2012年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月28日
發(fā)明者羅邦彥 申請(qǐng)人:四川瑞能硅材料有限公司