本發(fā)明涉及一種管型臭氧產(chǎn)生裝置，其中特別涉及放電管的構(gòu)造。

背景技術(shù)：
臭氧具有強(qiáng)力的氧化作用，在作用后會(huì)分解為無害的氧等。因此，在半導(dǎo)體制造、食品制造、水處理等領(lǐng)域中，經(jīng)常使用臭氧來進(jìn)行清洗、殺菌、除臭等處理。像這樣的產(chǎn)生臭氧的臭氧產(chǎn)生裝置多采用無聲放電方式。在無聲放電方式的臭氧產(chǎn)生裝置中，在隔著介電質(zhì)對(duì)置的一對(duì)電極之間設(shè)有空隙(放電間隙(dischargegap))。在一對(duì)電極之間施加高電壓，就會(huì)在放電間隙產(chǎn)生無聲放電。使含氧原料氣體流過放電間隙，從而原料氣體臭氧化，產(chǎn)生臭氧。在采用這樣的無聲放電方式的臭氧產(chǎn)生裝置中，存在管型的臭氧產(chǎn)生裝置。在管型臭氧產(chǎn)生裝置中，使用呈管狀的放電管作為介電質(zhì)，該介電質(zhì)構(gòu)成產(chǎn)生臭氧的單元。就管型臭氧產(chǎn)生裝置來說，由于能夠?qū)⒍喔烹姽苊芗仄叫胁贾?，因此具有容易大型化的?yōu)點(diǎn)。管型臭氧產(chǎn)生裝置中的放電管的構(gòu)造已公開在例如專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2中。在專利文獻(xiàn)1的臭氧產(chǎn)生裝置中設(shè)有圓筒狀的玻璃制介電質(zhì)管，其一端呈球面狀地封閉起來。在該介電質(zhì)管的內(nèi)表面上，具體而言，在從介電質(zhì)管的球面狀端部起直到側(cè)部之間的部分的內(nèi)表面上形成有第一電極。在介電質(zhì)管上，以圍住介電質(zhì)管的外側(cè)的方式布置有圓筒狀第二電極，在介電質(zhì)管和第二電極之間形成有放電間隙。原料氣體在通過被施加了高電壓的放電間隙的期間中臭氧化。臭氧化后的氣體從球面狀端部所在的臭氧化氣體引出口被引出。在專利文獻(xiàn)2中也公開了與專利文獻(xiàn)1的第一電極同樣地金屬蒸鍍而成的導(dǎo)電膜。專利文獻(xiàn)1：日本公開專利公報(bào)特開2012-144425號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2：國際公開WO-A1-2010021022號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
－發(fā)明要解決的技術(shù)問題－由于現(xiàn)有的電極是通過金屬蒸鍍而形成在介電質(zhì)管的內(nèi)周面上，因此無法從介電質(zhì)管上分離下來。由此，當(dāng)必須更換電極時(shí)，就只能更換整個(gè)介電質(zhì)管。由于通過金屬蒸鍍來形成電極這一方式的特殊性較高，因此有生產(chǎn)性較差的缺點(diǎn)。于是，本發(fā)明的目的在于提供一種管型臭氧產(chǎn)生裝置，其電極能夠更換，而且電極也能夠較容易地形成。需要說明的是，本申請(qǐng)人先提出了與本發(fā)明相關(guān)的發(fā)明(日本特愿2012-253606)。－用以解決技術(shù)問題的技術(shù)方案－本發(fā)明的管型臭氧產(chǎn)生裝置所具備的臭氧產(chǎn)生單元具有筒狀外側(cè)電極管、以及隔著放電間隙布置在所述外側(cè)電極管的內(nèi)側(cè)的放電管。所述放電管具有：至少在一端部具有開口的筒狀的介電質(zhì)管；設(shè)置為與所述介電質(zhì)管的內(nèi)周面緊密相接的圓筒狀的電極膜；以及與外部電源相連接而向所述電極膜供電的供電部件。所述電極膜是以沿著所述介電質(zhì)管的長度方向螺旋狀地錯(cuò)開的狀態(tài)布置具有彈性的導(dǎo)體而形成的。根據(jù)該臭氧產(chǎn)生裝置，設(shè)置在介電質(zhì)管內(nèi)的圓筒狀電極膜是在可拆卸的狀態(tài)下插入介電質(zhì)管內(nèi)的。因此，能夠?qū)㈦姌O膜從介電質(zhì)管上卸下來進(jìn)行更換。而且，該電極膜是通過將具有彈性的導(dǎo)體螺旋狀地布置在介電質(zhì)管內(nèi)而形成的，因此即使是開口較小而總長度較長的介電質(zhì)管，也能夠容易地設(shè)置電極膜。也就是說，只要是具有彈性的導(dǎo)體，就能夠通過以相對(duì)于例如細(xì)長的引導(dǎo)棒錯(cuò)開位置的狀態(tài)螺旋狀地卷繞在該引導(dǎo)棒上而形成為細(xì)長的圓筒狀。然后，將卷繞有導(dǎo)體的引導(dǎo)棒插入介電質(zhì)管內(nèi)，并解開對(duì)導(dǎo)體的束縛而使導(dǎo)體從引導(dǎo)棒上松開來，導(dǎo)體就會(huì)利用本身的彈力擴(kuò)張開來，因此能夠形成與介電質(zhì)管的內(nèi)周面緊密相接的圓筒狀電極膜。在該情況下，將導(dǎo)體從引導(dǎo)棒上松開后，就不需要使用引導(dǎo)棒。因此，比起相關(guān)的發(fā)明，能夠減輕與引導(dǎo)棒相當(dāng)?shù)闹亓?。?yōu)選：所述電極膜利用本身的彈力在所述介電質(zhì)管的內(nèi)部擴(kuò)張開來而與該介電質(zhì)管的內(nèi)周面緊密相接。通過利用電極膜本身的彈力，就能夠不對(duì)電極膜施加外力地使電極膜與介電質(zhì)管的內(nèi)周面緊密相接，因此裝置的制作更為容易。優(yōu)選：所述電極膜是以一邊使所述導(dǎo)體螺旋狀地錯(cuò)開，一邊使該導(dǎo)體重疊兩層以上的狀態(tài)布置該導(dǎo)體而形成的。通過將導(dǎo)體重疊兩層以上，導(dǎo)體就容易在介電質(zhì)管內(nèi)部擴(kuò)張開來，能夠更可靠地使電極膜與介電質(zhì)管的內(nèi)周面緊密相接。優(yōu)選：所述電極膜具有從所述開口露出來的露出端部。在該臭氧產(chǎn)生裝置中，不是通過金屬蒸鍍，而是通過使導(dǎo)體緊密相接而在介電質(zhì)管的內(nèi)周面上形成電極膜，因此只要調(diào)整電極膜在介電質(zhì)管的長度方向上的長度，就能容易地設(shè)置露出端部。通過設(shè)置露出端部，在將多個(gè)臭氧產(chǎn)生單元分別電連接起來時(shí)，只要將露出端部之間電連接起來即可。也就是說，能夠容易地進(jìn)行臭氧產(chǎn)生單元之間的電連接工作。優(yōu)選：所述供電部件具有設(shè)置在所述電極膜的內(nèi)側(cè)的內(nèi)側(cè)扣夾、以及設(shè)置在所述電極膜的外側(cè)的外側(cè)扣夾，所述內(nèi)側(cè)扣夾和所述外側(cè)扣夾夾住所述露出端部。在該情況下，由于電極膜的露出端部被內(nèi)側(cè)扣夾和外側(cè)扣夾夾住，因此能夠使電極膜與供電部件直接且均勻地接觸，能夠穩(wěn)定地向電極膜供電。－發(fā)明的效果－根據(jù)本發(fā)明的臭氧產(chǎn)生裝置，其電極能夠容易地更換，而且電極也能夠容易地形成。附圖說明圖1為示出第一實(shí)施方式的管型臭氧產(chǎn)生裝置的概略立體圖。圖2為概略側(cè)視圖，在該圖中，為了示出臭氧產(chǎn)生裝置的內(nèi)部構(gòu)造而省略了一部分部件。圖3為沿著圖2中的X-X線剖開的概略剖視圖。圖4為示出臭氧產(chǎn)生單元的構(gòu)造的概略剖視圖。圖5(a)和圖5(b)為示出電極膜的設(shè)置過程的概略圖。圖6(a)、圖6(b)為示出電極膜的設(shè)置過程的概略圖。圖7為供電部件的立體分解圖。圖8為概略圖，其示出供電部件之間的連接方式的一個(gè)例子。圖9(a)、圖9(b)為示出外側(cè)扣夾對(duì)的概略圖。圖9(a)為俯視圖，圖9(b)為主視圖。圖10為示出連接端子的概略圖。圖11(a)、圖11(b)為示出供電部件之間的連接構(gòu)造的概略圖。圖11(a)為俯視圖，圖11(b)為主視圖，在圖11(b)中省略了后部的部件。圖12(a)、圖12(b)為示出使用在第二實(shí)施方式的臭氧產(chǎn)生裝置中的架設(shè)扣夾的概略圖。圖12(a)為俯視圖，圖12(b)為主視圖。圖13(a)、圖13(b)為示出附帶連接端子架設(shè)扣夾的概略圖。圖13(a)為俯視圖，圖13(b)為主視圖。圖14(a)、圖14(b)為示出第二實(shí)施方式中的供電部件之間的連接構(gòu)造的概略圖。圖14(a)為俯視圖、圖14(b)為主視圖，在圖14(b)中省略了后部的部件。圖15(a)為示出外側(cè)扣夾的變形例的俯視圖，圖15(b)為示出架設(shè)扣夾的變形例的主視圖。具體實(shí)施方式下面，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)的說明。以下的實(shí)施方式僅為本質(zhì)上的示例，并沒有意圖對(duì)本發(fā)明、其應(yīng)用對(duì)象或其用途加以限制。(臭氧產(chǎn)生裝置的結(jié)構(gòu))在圖1中示出本實(shí)施方式的管型臭氧產(chǎn)生裝置1。臭氧產(chǎn)生裝置1具備裝置主體2、附屬設(shè)備3等，該附屬設(shè)備3由配合裝置主體2進(jìn)行工作的控制機(jī)器、操作盤等構(gòu)成。裝置主體2為耐蝕性良好的不銹鋼制耐壓容器，臭氧在該裝置主體2的內(nèi)部產(chǎn)生。裝置主體2具有圓筒狀軀干部11、封住軀干部11的兩端的兩個(gè)蓋部12。裝置主體2以橫放的狀態(tài)受一對(duì)腳部13、13支承著。其中一個(gè)蓋部12通過鉸鏈安裝在軀干部11上，構(gòu)成為能開關(guān)的門。在裝置主體2上連接有原料氣體管道14、臭氧管道15、冷卻管道16等。具體而言，原料氣體管道14與未圖示的原料氣體供給源相連接，氧、空氣等原料氣體通過原料氣體管道14供向裝置主體2。臭氧管道15與未圖示的臭氧供給對(duì)象相連接，在裝置主體2中產(chǎn)生的臭氧...