技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種單晶硅的生長(zhǎng)方法，是以柴氏拉晶法，將置于坩堝內(nèi)的硅原料熔化而形成熔體，并提拉該熔體而使單晶硅生長(zhǎng)的方法，在形成熔體時(shí)通入包括氬氣氣體；以及在提拉步驟中施加磁場(chǎng)。本發(fā)明亦提供一種以該單晶硅制備晶圓的方法。

技術(shù)研發(fā)人員：肖德元;張汝京
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.03.03
技術(shù)公布日：2017.09.12