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      單晶爐用熱場及單晶爐的制作方法

      文檔序號:11172478閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明公開的單晶爐用熱場,包括坩堝及位于其上方的冷卻件,還包括護套,護套設(shè)置于冷卻件靠近坩堝中心軸線的一側(cè)。本發(fā)明公開的單晶爐,包括爐體和如上所述的單晶爐用熱場,單晶爐用熱場位于爐體內(nèi)。本發(fā)明的單晶爐用熱場及單晶爐解決了現(xiàn)有技術(shù)拉制單晶時提高拉晶速度與提高單晶質(zhì)量兩者不可兼顧的問題。本發(fā)明的單晶爐用熱場及單晶爐具有冷卻件,可以優(yōu)化溫度梯度、提高拉晶速度并降低拉晶成本;并且由于設(shè)置了護套,還能確保生長的晶體不受雜質(zhì)污染、提供具有良好少子壽命的晶體產(chǎn)品。

      技術(shù)研發(fā)人員:鄧浩;張龍龍;劉培東;張駿凱
      受保護的技術(shù)使用者:隆基綠能科技股份有限公司
      技術(shù)研發(fā)日:2016.03.25
      技術(shù)公布日:2017.10.03
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