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      一種用于晶體泡生法生長(zhǎng)的籽晶桿的制作方法

      文檔序號(hào):11836551閱讀:669來(lái)源:國(guó)知局
      一種用于晶體泡生法生長(zhǎng)的籽晶桿的制作方法與工藝

      本實(shí)用新型涉及晶體泡生法生長(zhǎng),特別是一種用于晶體泡生法生長(zhǎng)的籽晶桿。



      背景技術(shù):

      當(dāng)前泡生法藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)方式是最普遍的生長(zhǎng)工藝,晶體質(zhì)量較高,全球用于LED襯底的藍(lán)寶石基板70%以上為泡生法或各種改良型泡生法生長(zhǎng)。泡生法設(shè)備的價(jià)值比較高,熱場(chǎng)坩堝一套一般都在80萬(wàn)元左右,所以要盡可能的降低不良產(chǎn)品的比例和避免生長(zhǎng)的失敗。在泡生法生長(zhǎng)過(guò)程中因高溫(2050度以上)和晶體的逐步生長(zhǎng),晶體重量越來(lái)越大(50公斤以上)會(huì)出現(xiàn)籽晶桿變形、脫落或籽晶脫落的現(xiàn)象,影響晶體的生長(zhǎng)和質(zhì)量,嚴(yán)重的將會(huì)導(dǎo)致晶體生長(zhǎng)失敗。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),提供一種穩(wěn)固性好、保證晶體生長(zhǎng)質(zhì)量和經(jīng)濟(jì)效益高的用于晶體泡生法生長(zhǎng)的籽晶桿。

      本實(shí)用新型的目的通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):一種用于晶體泡生法生長(zhǎng)的籽晶桿,它包括晶桿本體,所述的晶桿本體由一體式的連接端A、連接桿和連接端B組成,所述的連接端A和連接端B分別位于連接桿的兩端,所述的連接端B內(nèi)開(kāi)設(shè)有一T形卡槽,T形卡槽內(nèi)填充有籽晶,所述的連接端B的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有一剖切面,且通過(guò)剖切面可觀察到T形卡槽內(nèi)的籽晶。

      所述的連接端B的外周上開(kāi)設(shè)有多個(gè)捆綁槽。

      所述的捆綁槽為兩個(gè),且兩個(gè)捆綁槽相互平行。

      所述的連接端A上開(kāi)設(shè)有內(nèi)螺紋。

      本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型的籽晶桿,避免了泡生法生長(zhǎng)過(guò)程中因籽晶桿脫落或籽晶脫落造成的晶體生長(zhǎng)失敗,同時(shí)避免了因籽晶桿變形而影響晶體的生長(zhǎng)和質(zhì)量問(wèn)題。解決了晶體生長(zhǎng)的一個(gè)基礎(chǔ)性問(wèn)題,增加了經(jīng)濟(jì)效益。

      附圖說(shuō)明

      圖1 為本實(shí)用新型的主視示意圖;

      圖2 為本實(shí)用新型的左視示意圖;

      圖中,1-晶桿本體,2-連接端A,3-連接桿,4-連接端B,5-T形卡槽,6-剖切面,7-籽晶,8-捆綁槽。

      具體實(shí)施方式

      下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的描述,本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不局限于以下所述:

      如圖1和圖2所示,一種用于晶體泡生法生長(zhǎng)的籽晶桿,它包括晶桿本體1,所述的晶桿本體1由一體式的連接端A2、連接桿3和連接端B4組成,晶體本體1采用一體式,可避免籽晶桿分段式脫落,大大的減少了提拉時(shí)因籽晶桿自身連接帶來(lái)的形變旋轉(zhuǎn)對(duì)晶體質(zhì)量的影響,所述的連接端,A2和連接端B4分別位于連接桿3的兩端,所述的連接端B4內(nèi)開(kāi)設(shè)有一T形卡槽5,T形卡槽5內(nèi)填充有籽晶7,T形卡槽5增加了籽晶7與連接端B4之間的摩擦力,避免了籽晶7在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中與連接端B4脫落,所述的連接端B4的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有一剖切面6,且通過(guò)剖切面6可觀察到T形卡槽5內(nèi)的籽晶7,從而能夠直觀的看到籽晶的形狀。

      在本實(shí)施例中,所述的連接端B4的外周上開(kāi)設(shè)有多個(gè)捆綁槽8,進(jìn)一步的所述的捆綁槽8為兩個(gè),且兩個(gè)捆綁槽8相互平行,在捆綁槽8內(nèi)纏繞捆綁繩,從而進(jìn)一步的增加了籽晶7的穩(wěn)固性,保證了晶體生長(zhǎng)的正常進(jìn)行。

      在本實(shí)施例中,所述的連接端A2上開(kāi)設(shè)有內(nèi)螺紋,通過(guò)螺紋連接,使得籽晶桿連接方便。

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