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      用于多晶硅鑄錠爐的加熱組件及多晶硅鑄錠爐的制作方法

      文檔序號(hào):11372001閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種用于多晶硅鑄錠爐的加熱組件,其特征在于,包括:

      一側(cè)貼附于多晶硅鑄錠爐的坩堝外側(cè)壁的電加熱片,用于對(duì)所述坩堝加熱,所述電加熱片具有接近坩堝外側(cè)壁上側(cè)邊的第一加熱部及接近坩堝底部的第二加熱部,所述第一加熱部的截面積小于第二加熱部的截面積。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于多晶硅鑄錠爐的加熱組件,其特征在于,所述電加熱片呈波浪形。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于多晶硅鑄錠爐的加熱組件,其特征在于,所述電加熱片的第一加熱部的寬度小于第二加熱部的寬度。

      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于多晶硅鑄錠爐的加熱組件,其特征在于,所述第二加熱部的寬度為第一加熱部的寬度的1.2倍至2倍。

      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于多晶硅鑄錠爐的加熱組件,其特征在于,所述電加熱片的第一加熱部的厚度小于第二加熱部的厚度。

      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于多晶硅鑄錠爐的加熱組件,其特征在于,所述電加熱片的厚度范圍為18mm-25mm。

      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于多晶硅鑄錠爐的加熱組件,其特征在于,所述加熱組件還包括:

      連接于所述多個(gè)電加熱片之間的連接件,用于使多個(gè)電加熱片相互首尾相接;

      以及連接所述電加熱片的固定件,用于使所述電加熱片固定于所述坩堝的外側(cè)壁。

      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于多晶硅鑄錠爐的加熱組件,其特征在于,所述電加熱片、連接件或固定件為等靜壓石墨結(jié)構(gòu)。

      9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的用于多晶硅鑄錠爐的加熱組件,其特征在于,所述加熱組件包括4個(gè)電加熱片。

      10.一種多晶硅鑄錠爐,其特征在于,包括根據(jù)權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的加熱組件。

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