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      一種單晶爐電極穩(wěn)定支撐裝置的制作方法

      文檔序號(hào):11190831閱讀:553來源:國(guó)知局
      一種單晶爐電極穩(wěn)定支撐裝置的制造方法

      本實(shí)用新型涉及單晶硅棒生產(chǎn)制造時(shí)所用的單晶爐技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種單晶爐電極穩(wěn)定支撐裝置。



      背景技術(shù):

      單晶爐是單晶硅拉制中的重要設(shè)備,單晶爐在使用時(shí)需通過電極向其供電,因此電極的固定位置和固定的穩(wěn)定性是保證單晶爐正常工作的重要因素。

      目前,電極是通過一個(gè)旋轉(zhuǎn)螺帽將其壓緊在單晶爐爐底盤上,這種固定方式容易導(dǎo)致電極松動(dòng),進(jìn)而使單晶爐真空度降低,氣密性受到影響,降低了生產(chǎn)效率。

      同時(shí),在生產(chǎn)過程中,單晶爐內(nèi)部的揮發(fā)物在電極絕緣磁環(huán)四周積累,降低了絕緣磁環(huán)的絕緣度,從而導(dǎo)致需要經(jīng)常更換絕緣磁環(huán),費(fèi)時(shí)費(fèi)力并增加生產(chǎn)成本。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      為了解決電極容易松動(dòng)以及需要經(jīng)常更好絕緣磁環(huán)的技術(shù)問題,本實(shí)用新型的目的是提供一種單晶爐電極穩(wěn)定支撐裝置,使電極位置固定不動(dòng),能更加穩(wěn)定的支撐電極,保證生產(chǎn)效率,降低了絕緣磁環(huán)的更換頻率,節(jié)省成本。

      本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是:一種單晶爐電極穩(wěn)定支撐裝置,所述單晶爐通過橫梁支撐,在單晶爐的爐底盤上設(shè)置有向單晶爐供電的電極,電極的一側(cè)設(shè)置有一個(gè)水冷管,電極通過穩(wěn)定支撐裝置設(shè)置在爐底盤上,穩(wěn)定支撐裝置包括不銹鋼連接板和位于不銹鋼連接板下方的絕緣支撐板,不銹鋼連接板的一端通過多個(gè)螺絲釘a與絕緣支撐板的一端固定連接,不銹鋼連接板的另一端開設(shè)有長(zhǎng)條形通孔且通過穿設(shè)在該長(zhǎng)條形通孔上的螺絲釘b與橫梁固定連接,通過調(diào)節(jié)螺絲釘b在長(zhǎng)條形通孔內(nèi)的位置從而實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)穩(wěn)定支撐裝置與電極之間的距離,所述絕緣支撐板由板狀的連接段和條狀的支撐段構(gòu)成,其中,連接段的一側(cè)通過弧形避讓部與支撐段連接,另一側(cè)通過導(dǎo)向槽部與支撐段連接,支撐段上開設(shè)有螺孔,螺孔內(nèi)穿設(shè)有用以頂緊電極的螺絲釘c。

      所述螺絲釘a共有3個(gè),且3個(gè)螺絲釘a呈等邊三角形分布。

      所述不銹鋼連接板與絕緣支撐板之間設(shè)置有穩(wěn)定塊,穩(wěn)定塊通過螺絲釘a與不銹鋼連接板和絕緣支撐板固定連接。

      與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型具有以下有益效果:

      一、本實(shí)用新型所述的一種單晶爐電極穩(wěn)定支撐裝置保證了電極安裝后其位置固定不動(dòng),能更加穩(wěn)定的支撐電極,保證電極正常工作同時(shí)保證生產(chǎn)效率;

      二、本實(shí)用新型中的絕緣支撐板具有絕緣性能,加強(qiáng)了電極絕緣磁環(huán)的絕緣性能,同時(shí)降低了絕緣磁環(huán)的更換頻率,節(jié)省成本,并且在更換絕緣磁環(huán)時(shí)更加快捷方便;

      三、不銹鋼連接板可通過長(zhǎng)條形通孔改變其與螺絲釘b的相對(duì)位置從而實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)穩(wěn)定支撐裝置與電極之間的距離,使本實(shí)用新型適用范圍廣,并且通過本實(shí)用新型能快速安裝電極,方便實(shí)用;

      四、絕緣支撐板的連接段的一側(cè)通過弧形避讓部與支撐段連接,在保證了絕緣支撐板強(qiáng)度的同時(shí)配合了水冷管的安裝,一舉多得,連接段的另一側(cè)通過導(dǎo)向槽部與支撐段連接,在保證了絕緣支撐板強(qiáng)度的同時(shí)保證了螺孔的位置,定位更加精準(zhǔn),使本實(shí)用新型穩(wěn)定性更強(qiáng)。

      附圖說明

      圖1是穩(wěn)定支撐裝置與爐底盤相配合的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖2是本實(shí)用新型的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖中標(biāo)記:1、橫梁 ,2、爐底盤,3、電極, 4、穩(wěn)定支撐裝置,401、不銹鋼連接板,402、絕緣支撐板,4021、連接段,4022、支撐段,4023、弧形避讓部,4024、導(dǎo)向槽部,403、螺絲釘a,404、長(zhǎng)條形通孔,405、螺絲釘b,406、螺絲釘c,407、穩(wěn)定塊。

      具體實(shí)施方式

      下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)說明,本實(shí)施例以本實(shí)用新型技術(shù)方案為前提,給出了詳細(xì)的實(shí)施方式和具體的操作過程,但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不限于下述的實(shí)施例。

      如圖所示,一種單晶爐電極穩(wěn)定支撐裝置,所述單晶爐通過橫梁1支撐,在單晶爐的爐底盤2上設(shè)置有向單晶爐供電的電極3,電極3的一側(cè)設(shè)置有一個(gè)水冷管,其特征在于:電極3通過穩(wěn)定支撐裝置4設(shè)置在爐底盤2上,穩(wěn)定支撐裝置4包括不銹鋼連接板401和位于不銹鋼連接板401下方的絕緣支撐板402,不銹鋼連接板401的一端通過多個(gè)螺絲釘a403與絕緣支撐板402的一端固定連接,不銹鋼連接板401的另一端開設(shè)有長(zhǎng)條形通孔404且通過穿設(shè)在該長(zhǎng)條形通孔404上的螺絲釘b405與橫梁1固定連接,通過調(diào)節(jié)螺絲釘b405在長(zhǎng)條形通孔404內(nèi)的位置從而實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)穩(wěn)定支撐裝置4與電極3之間的距離,所述絕緣支撐板402由板狀的連接段4021和條狀的支撐段4022構(gòu)成,其中,連接段4021的一側(cè)通過弧形避讓部4023與支撐段4022連接,另一側(cè)通過導(dǎo)向槽部4024與支撐段4022連接,支撐段4022上開設(shè)有螺孔,螺孔內(nèi)穿設(shè)有用以頂緊電極3的螺絲釘c406,弧形避讓部4023由外突的圓弧部a和內(nèi)凹的圓弧部b構(gòu)成,弧形避讓部4023呈S形,以不影響水冷管的安裝。連接段4021通過螺絲釘a403與不銹鋼連接板401連接。

      以上為本實(shí)用新型的基本實(shí)施方式,可在以上基礎(chǔ)上做進(jìn)一步的改進(jìn)、優(yōu)化和限定:

      如,所述螺絲釘a403共有3個(gè),且3個(gè)螺絲釘a403呈等邊三角形分布。

      又如,所述不銹鋼連接板401與絕緣支撐板402之間設(shè)置有穩(wěn)定塊407,穩(wěn)定塊407通過螺絲釘a403與不銹鋼連接板401和絕緣支撐板402固定連接。

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