用于在蝕刻處理中裝載基板的盒子的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于在蝕刻處理中裝載基板的盒子，更具體地涉及這樣一種用于在蝕刻處理中裝載基板的盒子，其中多個(gè)基板以彼此間隔開預(yù)定距離的方式豎直地裝載，所述基板被支撐并維持在直立狀態(tài)，并且即使所述基板薄且大也能夠在最低的擺動(dòng)和波動(dòng)的情況下對(duì)所述基板進(jìn)行處理。
【背景技術(shù)】
[0002]為了對(duì)基板進(jìn)行各種處理，需要用于保持或裝載基板的設(shè)備。因而，被保持或裝載的基板在腔室中經(jīng)受清潔處理、蝕刻處理等各種表面處理。
[0003]與清潔處理或蝕刻處理有關(guān)的處理效率與預(yù)定時(shí)間內(nèi)處理的基板的數(shù)量緊密相關(guān)。也就是說，為了提高處理效率，增加預(yù)定時(shí)間內(nèi)經(jīng)受清潔處理或蝕刻處理的基板的數(shù)量十分重要。
[0004]因此，需要在執(zhí)行一次處理時(shí)處理多個(gè)基板。為此，需要裝載多個(gè)基板的盒子。
[0005]這種用于裝載基板的盒子需要具有用于裝載多個(gè)基板的結(jié)構(gòu)，具有用于支撐或保持基板的最小接觸部分，并且具有與基板的尺寸對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)。
[0006]在這方面，本申請人先前于2010年8月17日提交了名稱為“用于玻璃蝕刻的盒子(申請?zhí)朜0.10-2010-0079158)”的用于裝載基板的盒子。該用于蝕刻玻璃基板的盒子具有很大作用，但是具有在支撐豎直裝載的基板的下端的同時(shí)僅夾緊基板的橫向邊緣的結(jié)構(gòu)。
[0007]然而，隨著基板變得更薄和更大，豎直地裝載在盒子中的基板在盒子為了進(jìn)行蝕刻處理而移動(dòng)時(shí)發(fā)生擺動(dòng)和波動(dòng)。因此，在蝕刻處理期間薄且大的基板很可能斷裂。
[0008]因而，需要一種附加結(jié)構(gòu)，用于在處理薄且大的基板時(shí)使基板的擺動(dòng)和波動(dòng)最小。此外，這種附加結(jié)構(gòu)需要在將基板裝載到盒子和從盒子卸載基板時(shí)不與基板發(fā)生干涉。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]因而，構(gòu)想出本發(fā)明來解決上述問題，并且本發(fā)明的一方面是提供一種用于在蝕刻處理中裝載基板的盒子，其中多個(gè)基板被豎直地裝載成彼此間隔開預(yù)定距離，所述基板被支撐并維持在直立狀態(tài)，并且即使所述基板薄且大也能夠在使擺動(dòng)和波動(dòng)最小的情況下對(duì)所述基板進(jìn)行處理。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，一種用于在蝕刻處理中裝載基板的盒子包括:框架，該框架被構(gòu)造成形狀類似矩形；側(cè)支撐件，所述側(cè)支撐件被構(gòu)造成分別引導(dǎo)從所述框架的頂側(cè)向下豎直裝載的所述基板的相對(duì)的橫向部分，并且對(duì)置地布置在所述框架的橫向側(cè)，以便防止所述基板掉落；下端支撐件，該下端支撐件被構(gòu)造成布置在所述框架的內(nèi)底部側(cè)，并且支撐豎直裝載的所述基板各自的下端；以及上端支撐件，該上端支撐件被構(gòu)造成布置在所述框架的頂側(cè)，并且支撐豎直裝載的所述基板各自的上部。
[0011]所述上端支撐件可以包括:水平桿，該水平桿與豎直裝載的所述基板正交地布置；支撐件，該支撐件連接并附接至所述水平桿的底部并且支撐所述基板的上部；以及相對(duì)側(cè)聯(lián)接桿，該相對(duì)側(cè)聯(lián)接桿包括固定并連接到所述水平桿的相對(duì)兩端中的各端的第一端和聯(lián)接至所述框架的第二端。
[0012]所述支撐件可以連接至所述水平桿的底部，向下伸出，并且包括彼此間隔開以便一個(gè)接一個(gè)地放置在所述基板之間中的支撐銷。
[0013]所述支撐件可以具有豎直地附接至所述水平桿的底部的板狀結(jié)構(gòu)，并且所述支撐件包括間隔開地接連形成在下端中的凹槽和形成在所述凹槽之間并布置在所述基板之間中的凸起，并且所述凹槽接觸并支撐所述基板的上端。
[0014]所述上端支撐件可以以可拆卸的方式聯(lián)接至所述框架。
[0015]所述上端支撐件可以與所述框架聯(lián)接并沿著所述框架滑動(dòng)，從而以與裝載的所述基板平行的方式水平地移動(dòng)。
[0016]所述下端支撐件可以包括固定支撐件和接觸支撐件，所述固定支撐件水平地布置在所述框架的內(nèi)底部側(cè)，所述接觸支撐件聯(lián)接至所述固定支撐件并且接觸并支撐豎直裝載的所述基板各自的下端，所述接觸支撐件可以縱向地布置在所述基板的下端的縱向方向上并且包括縱向地形成在待與所述基板接觸的部分中的接觸凹槽，所述接觸凹槽可以在深度方向上形成有多個(gè)排出孔。
【附圖說明】
[0017]從如下結(jié)合附圖對(duì)示例性實(shí)施方式的描述中，本發(fā)明的上述方面和/或其他方面將變得清楚和更容易理解，其中:
[0018]圖1是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的用于在蝕刻處理中裝載基板的盒子的立體圖；
[0019]圖2是示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的上端支撐件的視圖；
[0020]圖3是用于說明可拆卸地聯(lián)接根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的上端支撐件的視圖；
[0021]圖4是用于說明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的上端支撐件的滑動(dòng)操作的視圖；
[0022]圖5是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的下端支撐件的立體圖；和
[0023]圖6是高度調(diào)節(jié)器的分解立體圖。
【具體實(shí)施方式】
[0024]下面，將參照附圖描述根據(jù)本發(fā)明的具有上述問題、解決方案和效果的用于在蝕刻處理中裝載基板的盒子的示例性實(shí)施方式。
[0025]為了清楚和便于描述，圖中所示的元件在尺寸、形狀等方面可能被夸大。此外，考慮到本發(fā)明的構(gòu)造和操作而特別限定的術(shù)語可以根據(jù)使用者和操作者的意圖或?qū)嵺`而改變。關(guān)于這種術(shù)語的定義必須基于如下整個(gè)描述給出的內(nèi)容。
[0026]圖1是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的用于在蝕刻處理中裝載基板的盒子的立體圖。如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的用于在蝕刻處理中裝載基板的盒子包括:框架10，該框架10被構(gòu)造成形狀類似矩形；側(cè)支撐件40，該側(cè)支撐件40被構(gòu)造成對(duì)置地布置在框架10的橫向兩側(cè)；下端支撐件30,該下端支撐件30被構(gòu)造成布置在框架10的內(nèi)底部側(cè)；和上端支撐件20，該上端支撐件20被構(gòu)造成布置在框架10的頂側(cè)。
[0027]框架10成形為類似如圖1中所示的矩形，并且具有向上敞開的結(jié)構(gòu)。框架10向上敞開的原因是因?yàn)榛錓被從頂側(cè)豎直向下裝載至用于裝載基板I的盒子。也就是說，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，基板I并不是從橫向側(cè)插入和裝載，而是從頂側(cè)向下插入和裝載。
[0028]框架的橫向側(cè)和底側(cè)可以具有各種形狀，只要它們的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定就行。此外，可以將輪子附接至框架的底部。也就是說，豎直裝載有多個(gè)基板的盒子需要沿著軌道移動(dòng)。因此，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，用于裝載基板的盒子在穿過裝載腔室、清潔腔室和蝕刻腔室的同時(shí)經(jīng)受處理。
[0029]框架10可以包括:形成在彼此相對(duì)兩側(cè)的縱向框架11 ;將縱向框架11彼此連接的橫向框架13 ;和底部框架。
[0030]側(cè)支撐件40被布置成在框架10的相對(duì)兩側(cè)彼此對(duì)置。也就是說，側(cè)支撐件40對(duì)置地布置在框架10的形成縱向框架11或橫向框架13的相對(duì)兩側(cè)。具體地說，側(cè)支撐件40可以水平地形成在橫向框架13或縱向框架11中，并且在豎直方向上形成有多個(gè)。
[0031]側(cè)支撐件40分別引導(dǎo)從框架10的上側(cè)豎直向下裝載的基板的相對(duì)橫向部分，并防止被裝載的基板I脫落。也就是說，側(cè)支撐件40引導(dǎo)被裝載成在豎直方向上直立的每個(gè)基板的橫向端，由此防止基板脫落。
[0032]側(cè)支撐件40引導(dǎo)如圖1所示豎直裝載的基板的橫向端。為了提高引導(dǎo)基板的兩個(gè)橫向端的作用，側(cè)支撐件40形成有導(dǎo)向凹槽41。
[0033]同樣，側(cè)支撐件40在引導(dǎo)豎直裝載的基板的兩個(gè)橫向部的同時(shí)用于防止基板脫落，但是側(cè)支撐件40可以具有用于夾緊豎直裝載的基板的兩個(gè)橫向部并因而保持被裝載的基板的兩個(gè)橫向部的結(jié)構(gòu)。
[0034]通過上述側(cè)支撐件40，被插入框架10中并且被在豎直方向上裝載的基板I不會(huì)向左或向右脫落，因而通過側(cè)支撐件40保持在直立狀態(tài)中。在該實(shí)施方式中，基板的兩個(gè)橫向端都被放置在引導(dǎo)凹槽41中并由該引導(dǎo)凹槽41支撐，由此防止基板脫落。
[0035]在側(cè)支撐件40防止基板脫落的同時(shí)，基板I的下端也被支撐為使得該基板I能夠被豎直地裝載在盒子中。因而，下端支撐件30設(shè)置在框架10的內(nèi)底部側(cè)，并且支撐被豎直地裝載的基板的下端。
[0036]同時(shí)，用于支撐基板的下端的下端支撐件30可以被構(gòu)造成在高度方面是可調(diào)節(jié)的。因此，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，還設(shè)置了高度調(diào)節(jié)器(參見圖6)，該高度調(diào)節(jié)器附接至框架的內(nèi)底部并調(diào)節(jié)下端支撐件30的高度。這將在稍后進(jìn)行更詳細(xì)的描述。
[0037]通過該構(gòu)造，被豎直裝載的基板I被支撐并保持成裝載在盒子中。
[0038]然而，在盒子中被豎直地裝載成直立的多個(gè)基板I在盒子于腔室中移動(dòng)的同