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      玻璃微粒沉積體的制造方法

      文檔序號:9626814閱讀:440來源:國知局
      玻璃微粒沉積體的制造方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001 ] 本發(fā)明涉及玻璃微粒沉積體的制造方法。
      【背景技術(shù)】
      [0002]日本特開2008-94680號公報和日本特開平11-189428號公報記載了這樣一種方法:在外部氣相沉積法(0VD法)或多燃燒器多層沉積法(MMD法)中,為了防止玻璃微粒沉積體的起自端部的裂紋,在用輔助燃燒器(補(bǔ)助A—于)加熱端部的同時制造玻璃微粒沉積體。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0003]發(fā)明要解決的問題
      [0004]本發(fā)明提供這樣一種玻璃微粒沉積體的制造方法,其可以在防止玻璃微粒沉積體表面的粒子狀突起生成的同時,防止玻璃微粒沉積體起自端部的裂紋。
      [0005]用于解決問題的手段
      [0006]為了實現(xiàn)目的,提供一種玻璃微粒沉積體的制造方法,其中,使靶棒(夕一Υ V卜口 V卜'' )相對于由生成玻璃微粒的原料燃燒器(原料八'一于)和不生成玻璃微粒的輔助燃燒器構(gòu)成的燃燒器列往復(fù)移動,使在原料燃燒器處生成的玻璃微粒沉積在靶棒上從而形成玻璃微粒沉積體,并利用由輔助燃燒器噴出的氫氧氣體火焰加熱玻璃微粒沉積體的端部。在該方法中,輔助燃燒器加熱玻璃微粒沉積體的端部的范圍包括夾著分界位置的端部側(cè)的第1區(qū)域和中心部側(cè)的第2區(qū)域,在第1區(qū)域中,將輔助燃燒器的氫氣流量設(shè)為第1流量來加熱玻璃微粒沉積體,在第2區(qū)域中,將輔助燃燒器的氫氣流量設(shè)為比第1流量小的第2流量來加熱玻璃微粒沉積體。
      [0007]在本發(fā)明的玻璃微粒沉積體的制造方法中,第2流量可以為第1流量的0.4倍以下。另外,分界位置可以是原料燃燒器的火焰接觸玻璃微粒沉積體的往復(fù)移動次數(shù)等于輔助燃燒器的火焰接觸玻璃微粒沉積體的往復(fù)移動次數(shù)的位置附近。此處的“附近”是指(例如)±5cm左右的范圍。此外,分界位置可以隨著玻璃微粒的沉積而緩慢移動到端部側(cè)。此處,“緩慢”是指例如每小時1?10_左右的速度。
      [0008]發(fā)明的效果
      [0009]根據(jù)本發(fā)明,可以在防止玻璃微粒沉積體表面的粒子狀突起生成的同時,防止玻璃微粒沉積體的起自端部的裂紋。
      [0010]附圖簡要說明
      [0011]圖1是示出了在根據(jù)本發(fā)明實施方案的玻璃微粒沉積體的制造方法中使用的制造裝置的一個例子的示意圖。
      [0012]圖2是說明在玻璃微粒沉積體的表面上生成的粒子狀突起的示意圖。
      [0013]圖3是說明玻璃微粒沉積體的起自端部的裂紋的產(chǎn)生的示意圖。
      [0014]圖4是說明根據(jù)本發(fā)明實施方案的玻璃微粒沉積體的制造方法中的輔助燃燒器的氫氣流量的控制的示意圖。
      [0015]圖5是說明在玻璃微粒沉積體的制造方法中,原料燃燒器和輔助燃燒器的火焰接觸玻璃微粒沉積體的軸向位置的次數(shù)的示意圖。
      [0016]圖6是示出通過傳統(tǒng)制造方法制造的玻璃微粒沉積體中的粒子狀突起和裂紋的發(fā)生率的曲線圖。
      【具體實施方式】
      [0017]下面,參照附圖來說明根據(jù)本發(fā)明的玻璃微粒沉積體的制造方法的實施方案。需要說明的是,本發(fā)明不限于這些示例,而是由權(quán)利要求的范圍表示,并且旨在包括與權(quán)利要求的范圍相等的意義和范圍內(nèi)的所有變更。
      [0018]在日本特開2008-94680號公報和日本特開平11-189428號公報記載的方法中,端部加熱燃燒器防止了起自端部的裂紋,另一方面,由于過剩加熱,有時會在玻璃微粒沉積體的表面上生成粒子狀的突起。該粒子狀的突起是由于過剩加熱因而玻璃微粒沉積體收縮并形成凹凸,玻璃微粒附著在其上從而生長的。而且,若在存在這樣的粒子狀突起的狀態(tài)下將玻璃微粒沉積體透明化,則粒子狀的突起以此狀態(tài)殘留,因此可能成為拉絲時斷線的原因。因此,若形成粒子狀突起,則不得不將該部分切掉并進(jìn)行端面加工以使得能夠進(jìn)行拉絲種落(線引g種落t L ),這成為制造成本上升的主要原因。
      [0019]圖1是示出了根據(jù)本發(fā)明實施方案的玻璃微粒沉積體的制造方法中使用的制造裝置的一個例子的示意圖。制造玻璃微粒沉積體的制造裝置1為這樣一種裝置:使通過原料燃燒器4a?4g的火焰引發(fā)的水解反應(yīng)而生成的玻璃微粒沉積在反應(yīng)容器2內(nèi)的棒(靶棒)3上,從而制造成為光纖母材的玻璃微粒沉積體5。原料燃燒器4a?4g與棒3相對,并且沿著棒3的軸向以預(yù)定間隔配置多個,在反應(yīng)容器2的與原料燃燒器4a?4g的相對側(cè)設(shè)置有排氣路徑6。另外,為了防止玻璃微粒沉積體5的起自端部的裂紋,在制造裝置1中設(shè)置了不供給原料氣體而通過氫氧氣體火焰加熱玻璃微粒沉積體5的端部的輔助燃燒器7a 和 7b ο
      [0020]根據(jù)本發(fā)明實施方案的玻璃微粒沉積體的制造方法為,在制造裝置1中,通過使棒3沿軸向往復(fù)移動,從而使旋轉(zhuǎn)的棒3和燃燒器列(原料燃燒器4a?4g、輔助燃燒器7a和7b)相對往復(fù)移動,從而通過多燃燒器多層沉積法(MMD法)在棒3的表面上以層狀沉積玻璃微粒,由此制造玻璃微粒沉積體5。然而,在采用制造裝置1制造玻璃微粒沉積體5時,有時在玻璃微粒沉積體5的表面上生成粒子狀的突起,或者自玻璃微粒沉積體5的端部產(chǎn)生裂紋。
      [0021 ] 圖2是說明在玻璃微粒沉積體5的表面上所產(chǎn)生的粒子狀突起8的示意圖。圖3是說明玻璃微粒沉積體5的起自端部的裂紋9的生成的示意圖。輔助燃燒器7a、7b的氫氣流量過大時,如圖2所示,有時會由于過剩加熱而在玻璃微粒沉積體5的表面上生成粒子狀的突起8。另一方面,輔助燃燒器7a、7b的氫氣流量小時,如圖3所示,有時會以玻璃微粒沉積體5的端部為起點而生成裂紋9。因此,在制造玻璃微粒沉積體5時,嘗試了設(shè)定為能夠防止粒子狀突起8和裂紋9兩者的生成的氫氣流量。然而,兩者存在取舍關(guān)系,如后面說明的圖6所示,由于生成粒子狀突起8的氫氣流量范圍與生成裂紋9的氫氣流量范圍部分重疊,因此難以成為防止粒子狀突起8和裂紋9兩者的流量。
      [0022]本發(fā)明的發(fā)明人注意到生成粒子狀突起8的地方與成為裂紋9的起點的位置不同。如圖2所示,粒子狀的突起8在玻璃微粒沉積體5的端部的中心側(cè)的區(qū)域10處生成,而在端部側(cè)的區(qū)域11中沒有生成。另一方面,如圖3所示,成為裂紋9的起點的位置為玻璃微粒沉積體5的端部側(cè)的區(qū)域11。基于以上發(fā)現(xiàn),在本發(fā)明的玻璃微粒沉積體的制造方法中,致力于控制輔助燃燒器的氫氣流量。
      [0023]下面,參照圖4對本發(fā)明實施方案的玻璃微粒沉積體的制造方法中的輔助燃燒器的氫氣流量的控制進(jìn)行說明。在圖4中示意性地表示出在棒3端部附近的輔助燃燒器7a所加熱的范圍內(nèi),玻璃微粒沉積在棒3上、玻璃微粒沉積體5逐漸成長的狀態(tài)。另外,在圖4中示出了在輔助燃燒器7a的加熱范圍內(nèi)的在棒3的軸向位置上由輔助
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