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      一種72對棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng)的制作方法_3

      文檔序號:8602896閱讀:來源:國知局
      行詳細說明。
      [0072]首先,采用方式一,逐一對3相硅棒加載電壓。具體的,執(zhí)行以下3個步驟:
      [0073]步驟1:閉合第一聯(lián)動開關K11,開啟第二聯(lián)動開關K12、第三聯(lián)動開關K13、第一維持開關Kl和第二維持開關K2,4個高壓啟動電源2分別擊穿一相硅棒的第I組硅棒(即前4對硅棒),其連接關系如圖2所示。
      [0074]步驟2:在擊穿前4對硅棒之后,開啟第一聯(lián)動開關KU,4個高壓啟動電源2停止工作,并保持第三聯(lián)動開關K13開啟。閉合第一維持開關Kl,并保持第二維持開關開啟,以便利用第一高壓切換維持電源4維持前4對硅棒繼續(xù)發(fā)熱。然后,閉合第二聯(lián)動開關K12,以便4個高壓啟動電源2繼續(xù)擊穿該相硅棒的第二組硅棒(即中間4對硅棒),其連接關系如圖3所示。
      [0075]步驟3:在擊穿中間4對硅棒之后,開啟第二聯(lián)動開關K12,并保持第一聯(lián)動開關開啟Kll,4個高壓啟動電源2停止工作。閉合第二維持開關Κ2,并保持第一維持開關Kl閉合,以便利用第二高壓切換維持電源5維持中間4對硅棒繼續(xù)發(fā)熱。然后,閉合第三聯(lián)動開關Κ13,以使4個高壓啟動電源2繼續(xù)擊穿該相硅棒的第三組硅棒(即最后4對硅棒),其連接關系如圖4所示。
      [0076]12對硅芯棒(即一相硅棒)均被擊穿之后,交接到對應的功率柜3進行加熱。
      [0077]在前面三相硅棒采用方式一擊穿后,72對棒多晶硅還原爐內(nèi)的溫度得到提高,剩下的3相硅棒可以采用方式二擊穿,因此,可以采用方式二,逐一對剩下的3相硅棒加載電壓,其連接關系如圖5所示,方式二的步驟如下:
      [0078]閉合第四聯(lián)動開關Κ21,以使每個高壓啟動電源2串接該相中的3對硅棒,并開啟第一維持開關和第二維持開關開啟,當4個高壓啟動電源2擊穿該相的12對硅棒時,閉合加熱開關Κ3,以使該相的功率柜3串接該相硅棒,并以恒定電流加熱該相硅棒。
      [0079]本實用新型利用I個變壓器為6個功率柜供電,將72對硅棒分為6相,利用4個高壓啟動電源串接一相硅棒中一組硅棒的不同硅棒,以擊穿硅棒,并利用I個功率柜在該相硅棒被擊穿后,以恒定電流加熱該相硅棒;當每相的12對硅棒分為3組時,4個高壓啟動電源依次為3組硅棒加載電壓,并利用2個高壓切換維持電源分別維持已擊穿的2組硅棒上的電流的大小;該72對棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng)對變壓器、高壓啟動電源和高壓切換維持電源進行了合理分配和利用,精簡了元器件,從而降低多晶硅生產(chǎn)的能耗和成本,而且,將多個36對棒、24對棒、48對棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng)整合為一個72對棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng),可以統(tǒng)一操作,更為方便,提高了供電管理的便捷性。
      [0080]可以理解的是,以上實施方式僅僅是為了說明本實用新型的原理而采用的示例性實施方式,然而本實用新型并不局限于此。對于本領域內(nèi)的普通技術人員而言,在不脫離本實用新型的精神和實質的情況下,可以做出各種變型和改進,這些變型和改進也視為本實用新型的保護范圍。
      【主權項】
      1.一種72對棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng),其特征在于,應用于72對棒多晶硅還原爐,72對硅棒分為6相,每相包括12對硅棒,每相中各硅棒串接并分組設置;所述系統(tǒng)包括:4個高壓啟動電源、6個功率柜、第一高壓切換維持電源、第二高壓切換維持電源、運行電源和變壓器,變壓器分別與運行電源和功率柜相連; 所述4個高壓啟動電源串接一相硅棒中一組硅棒的不同硅棒,并能夠為該組中的硅棒同時加載電壓,以擊穿硅棒; 每個功率柜串接一相硅棒,能夠在該相硅棒被擊穿后,以恒定電流加熱該相硅棒; 當一相的12對硅棒設置為3組時,每組包括4對硅棒;所述4個高壓啟動電源能夠作為I個啟動電源組,依次串接一相硅棒中的3組硅棒,并依次為所述3組硅棒加載電壓;在每組硅棒中,每個高壓啟動電源串接一對硅棒,4個高壓啟動電源同時為4對硅棒加載電壓; 第一高壓切換維持電源能夠在所述4個高壓啟動電源擊穿一相硅棒中的第一組硅棒之后、功率柜串接該相硅棒之前,串接該相硅棒中的第一組硅棒,維持所述第一組硅棒上的電流的大小,以繼續(xù)加熱所述第一組硅棒; 第二高壓切換維持電源能夠在所述4個高壓啟動電源擊穿該相硅棒中的第二組硅棒之后、功率柜串接該相硅棒之前,串接該相硅棒中的第二組硅棒,維持所述第二組硅棒上的電流的大小,以繼續(xù)加熱所述第二組硅棒; 該相硅棒的功率柜能夠在所述4個高壓啟動電源擊穿該相硅棒中的第三組硅棒之后,串接該相硅棒,并以恒定電流加熱該相硅棒。
      2.如權利要求1所述的系統(tǒng),其特征在于,當一相的12對硅棒設置為3組時,所述系統(tǒng)包括:第一聯(lián)動開關、第二聯(lián)動開關、第三聯(lián)動開關、第一維持開關、第二維持開關和加熱開關; 第一聯(lián)動開關分別連接所述4個高壓啟動電源和一相娃棒的第一組娃棒中的每對娃棒,第二聯(lián)動開關分別連接所述4個高壓啟動電源和該相硅棒的第二組硅棒中的每對硅棒,第三聯(lián)動開關分別連接所述4個高壓啟動電源和該相硅棒的第三組硅棒中的每對硅棒; 第一維持開關分別連接第一高壓切換維持電源和該相娃棒中第一組娃棒的首、尾兩對硅棒,第二維持開關分別連接第二高壓切換維持電源和該相硅棒中第二組硅棒的首、尾兩對娃棒; 加熱開關分別連接該相的功率柜和該相硅棒的首、尾兩對硅棒。
      3.如權利要求2所述的系統(tǒng),其特征在于,當所述第一聯(lián)動開關閉合且第二聯(lián)動開關和第三聯(lián)動開關開啟時,每個高壓啟動電源分別串接該相的第一組娃棒中的一對娃棒,且所述第一維持開關和第二維持開關均開啟,以使所述第一高壓切換維持電源和第二高壓切換維持電源不串接硅棒。
      4.如權利要求2所述的系統(tǒng),其特征在于,當所述第二聯(lián)動開關閉合且第一聯(lián)動開關和第三聯(lián)動開關開啟時,每個高壓啟動電源分別串接該相的第二組硅棒中的一對硅棒,且所述第一維持開關閉合,以使所述第一高壓切換維持電源串接該相娃棒中的第一組娃棒,且所述第二維持開關開啟,以使所述第二高壓切換維持電源不串接硅棒。
      5.如權利要求2所述的系統(tǒng),其特征在于,當所述第三聯(lián)動開關閉合且第二聯(lián)動開關和第一聯(lián)動開關開啟時,每個高壓啟動電源分別串接該相的第三組娃棒中的一對娃棒,且所述第一維持開關和第二維持開關均閉合,以使所述第一高壓切換維持電源串接該相硅棒中的第一組硅棒,且所述第二高壓切換維持電源串接該相硅棒中的第二組硅棒。
      6.如權利要求5所述的系統(tǒng),其特征在于,當所述4個高壓啟動電源擊穿該相的第三組硅棒時,加熱開關閉合,以使該相的功率柜串接該相硅棒,并以恒定電流加熱該相硅棒。
      7.如權利要求2-6任一項所述的系統(tǒng),其特征在于,當一相的12對硅棒設置為I組時,每個高壓啟動電源串接3對硅棒,所述4個高壓啟動電源串接一相的12對硅棒,能夠為一相中的12對硅棒同時加載電壓。
      8.如權利要求7所述的系統(tǒng),其特征在于,當一相的12對硅棒設置為I組時,所述系統(tǒng)還包括第四聯(lián)動開關,第四聯(lián)動開關分別連接所述4個高壓啟動電源和該相硅棒的第1、3、4、6、7、9、10、12 對硅棒; 當所述第四聯(lián)動開關閉合時,每個高壓啟動電源串接該相中的3對硅棒,且第一維持開關和第二維持開關開啟。
      9.如權利要求8所述的系統(tǒng),其特征在于,當所述4個高壓啟動電源擊穿該相硅棒時,加熱開關閉合,以使該相的功率柜串接該相硅棒,并以恒定電流加熱該相硅棒。
      10.如權利要求9所述的系統(tǒng),其特征在于,所述系統(tǒng)還包括控制柜,控制柜分別與第一聯(lián)動開關、第二聯(lián)動開關、第三聯(lián)動開關、第四聯(lián)動開關、第一維持開關、第二維持開關和加熱開關相連,能夠控制第一聯(lián)動開關、第二聯(lián)動開關、第三聯(lián)動開關和第四聯(lián)動開關、第一維持開關、第二維持開關和加熱開關開啟或閉合。
      【專利摘要】本實用新型提供一種72對棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng),利用1個變壓器為6個功率柜供電,將72對硅棒分為6相,利用4個高壓啟動電源串接一相硅棒中一組硅棒的不同硅棒,以擊穿硅棒,并利用1個功率柜在該相硅棒被擊穿后,以恒定電流加熱該相硅棒;當每相的12對硅棒分為3組時,4個高壓啟動電源依次為3組硅棒加載電壓,并利用2個高壓切換維持電源分別維持已擊穿的2組硅棒上的電流的大?。辉撓到y(tǒng)對變壓器、高壓啟動電源和高壓切換維持電源進行合理分配和利用,精簡元器件,降低多晶硅生產(chǎn)的能耗和成本,將多個36對棒、24對棒、48對棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng)整合為一個72對棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng),操作方便,提高供電管理的便捷性。
      【IPC分類】C01B33-021
      【公開號】CN204310823
      【申請?zhí)枴緾N201420785448
      【發(fā)明人】張書濤
      【申請人】新特能源股份有限公司
      【公開日】2015年5月6日
      【申請日】2014年12月11日
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