晶體生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及到一種晶體生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置，可應(yīng)用于晶體生長(zhǎng)爐電源等可靠性要求高、需要長(zhǎng)時(shí)間提供水冷卻的各種電源設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]目前所使用的晶體生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置，通常使用外循環(huán)水直接通入電源內(nèi)部進(jìn)行冷卻，這種冷卻方式受水質(zhì)、水的溫度影響較大。因電源內(nèi)部結(jié)構(gòu)限制水路管徑較小，在使用外循環(huán)水的水質(zhì)較差的情況下，容易在電源內(nèi)部的水路內(nèi)結(jié)垢導(dǎo)致堵塞影響電源的散熱；因電源內(nèi)部大多使用水冷的鋁散熱器或水冷的銅排，在使用外循環(huán)水溫度較低的情況下，則容易產(chǎn)生結(jié)露的現(xiàn)象影響電源的絕緣。另外晶體生長(zhǎng)爐電源是需要長(zhǎng)時(shí)間高精度穩(wěn)定運(yùn)行的設(shè)備，這種直接使用外循環(huán)水進(jìn)行冷卻的方式受到的制約條件較多很難滿足長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作的要求。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是:提供一種能針對(duì)晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)結(jié)構(gòu)，采用不同的冷卻系統(tǒng)的晶體生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置。
[0004]為解決上述問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:晶體生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置，包括:內(nèi)循環(huán)純水冷卻裝置、外循環(huán)水冷卻裝置、熱交換裝置，所述內(nèi)循環(huán)純水冷卻裝置的水路與熱交換裝置的容水器組成水路的聯(lián)通器，在熱交換裝置的容水器內(nèi)部設(shè)置有外循環(huán)水冷卻裝置的冷凝器，冷凝器的水路與熱交換裝置的容水器是相互隔離的；晶體爐電源的內(nèi)部水路、內(nèi)循環(huán)純水冷卻裝置、熱交換裝置的容水器構(gòu)成一個(gè)封閉的內(nèi)循環(huán)純水系統(tǒng)，夕卜循環(huán)水冷卻裝置的水路自身為一個(gè)封閉的外循環(huán)水系統(tǒng)；晶體爐電源工作時(shí)產(chǎn)生的熱量由內(nèi)循環(huán)純水系統(tǒng)帶至熱交換裝置的容水器內(nèi)，容水器內(nèi)的熱量再由設(shè)置在容水器內(nèi)的外循環(huán)水冷卻裝置的冷凝器通過流經(jīng)冷凝器的水將熱量帶至外循環(huán)冷卻系統(tǒng)進(jìn)行冷卻。
[0005]在熱交換裝置的出水口與晶體生長(zhǎng)爐電源的進(jìn)水口的水路上設(shè)置有水泵、流量調(diào)節(jié)閥、電接點(diǎn)壓力表，熱交換裝置的進(jìn)水口與晶體長(zhǎng)長(zhǎng)爐電源的出水口的水路上設(shè)置有電磁閥；在晶體爐生長(zhǎng)爐電源的進(jìn)水口設(shè)置有旁路與外循環(huán)水冷卻裝置的回水口連通，在該旁路上設(shè)置有2個(gè)電磁閥；在晶體爐生長(zhǎng)爐電源的回水口設(shè)置有旁路與外循環(huán)水冷卻裝置的進(jìn)水口連通，在該旁路上設(shè)置有I個(gè)電磁閥。
[0006]系統(tǒng)監(jiān)測(cè)到系統(tǒng)故障時(shí)，可自動(dòng)切換電磁閥，內(nèi)循環(huán)純水裝置應(yīng)急打開旁路，晶體生長(zhǎng)爐電源的冷卻改由外循環(huán)水裝置進(jìn)行冷卻，故障排除后給出復(fù)位信號(hào)自動(dòng)切換電磁閥，重新恢復(fù)內(nèi)循環(huán)水冷卻裝置的工作。
[0007]熱交換裝置的冷凝器為多組直銅管焊接在上部法蘭蓋和下部法蘭座之間；熱交換裝置的容水器設(shè)置有加純凈水的加水口和放水口。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果是:上述結(jié)構(gòu)的晶體生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置將電源使用的水循環(huán)分成了內(nèi)循環(huán)純水系統(tǒng)和外循環(huán)冷卻系統(tǒng)兩個(gè)相互隔離的水系統(tǒng)，對(duì)水質(zhì)要求高的晶體生長(zhǎng)爐電源使用純水作為水循環(huán)的介質(zhì)，對(duì)水質(zhì)要求不高的外循環(huán)裝置使用普通的工業(yè)用水，從而降低了使用成本和設(shè)備水循環(huán)故障率。
【附圖說明】
[0009]圖1是本實(shí)用新型所述晶體生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置的水路原理圖；
[0010]圖2是本實(shí)用新型所述晶體生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置的正視外形圖；
[0011]圖3是本實(shí)用新型所述晶體生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置的側(cè)視外形圖；
[0012]圖4是本實(shí)用新型所述晶體生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置的俯視外形圖；
[0013]圖5是本實(shí)用新型所述晶體生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置的冷凝器結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖6是圖5是俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖中:1、內(nèi)循環(huán)純水冷卻裝置，111、內(nèi)循環(huán)純水裝置的進(jìn)水口，112、內(nèi)循環(huán)純水裝置的出水口，12、水路，13、電接點(diǎn)壓力表，2、熱交換裝置，211、熱交換裝置的出水口，212、內(nèi)循環(huán)純水裝置的旁路進(jìn)水口，213、內(nèi)循環(huán)純水裝置的旁路出水口，214、熱交換裝置的進(jìn)水口，215、外循環(huán)水冷卻裝置的旁路進(jìn)水口，217、外循環(huán)水冷卻裝置的回水口，22、冷凝器，
23、容水器，24、水泵，25、流量調(diào)節(jié)閥，261、262、263、264、電磁閥，271、電接點(diǎn)溫度液位計(jì)，281、加水口，282、放水口，283、上部法蘭蓋，284、下部法蘭座，3、外循環(huán)水冷卻裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面通過具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型所述的晶體生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0017]如圖1、圖2、圖3、圖4所示，本實(shí)施例中，所述的晶體生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置，包括:內(nèi)循環(huán)純水冷卻裝置1、外循環(huán)水冷卻裝置3、熱交換裝置2，內(nèi)循環(huán)純水冷卻裝置I的水路12與熱交換裝置2的容水器23通過接口組成水路的聯(lián)通器，在熱交換裝置2的容水器23內(nèi)部設(shè)置有外循環(huán)水冷卻裝置3的冷凝器22，冷凝器22的水路與熱交換裝置的容水器23是相互隔離的。內(nèi)循環(huán)純水裝置I的內(nèi)部水路12、熱交換裝置2的容水器23構(gòu)成一個(gè)封閉的內(nèi)循環(huán)純水系統(tǒng)，外循環(huán)水冷卻裝置3的水路和熱交換裝置2的冷凝器22構(gòu)成一個(gè)外循環(huán)水系統(tǒng)，外循環(huán)系統(tǒng)可以是開放式，也可以是封閉式的。晶體爐電源工作時(shí)產(chǎn)生的熱量由內(nèi)循環(huán)純水系統(tǒng)帶至熱交換裝置2的容水器23內(nèi)，容水器23內(nèi)的熱量再由設(shè)置在容水器23內(nèi)的冷凝器22通過流經(jīng)冷凝器22的水將熱量帶至外循環(huán)水冷卻裝置3進(jìn)行冷卻。
[0018]在熱交換裝置的出水口 211與內(nèi)循環(huán)純水裝置的進(jìn)水口 111的水路上設(shè)置有水泵
24、流量調(diào)節(jié)閥25、電接點(diǎn)壓力表13，熱交換裝置的進(jìn)水口214與內(nèi)循環(huán)純水裝置的出水口112的水路上設(shè)置有電磁閥262。在內(nèi)循環(huán)純水裝置I的旁路進(jìn)水口 212和外循環(huán)水冷卻裝置3的回水口 217連通，在該旁路上設(shè)置有I個(gè)電磁閥263。在內(nèi)循環(huán)純水裝置的旁路出水口 213和外循環(huán)水冷卻裝置3的旁路進(jìn)水口 215連通，在該旁路上設(shè)置有I個(gè)電磁閥261。
[0019]所述的晶休生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置，熱交換裝置2裝有電接點(diǎn)溫度液位計(jì)271，可監(jiān)測(cè)水路的溫度和水位是否有異常，內(nèi)循環(huán)純水裝置I裝有電接點(diǎn)壓力表13，可監(jiān)測(cè)水路的壓力是否異常。如果內(nèi)循環(huán)純水裝置1、熱交換裝置2或水泵24故障時(shí)，可自動(dòng)切換電磁閥261、262、263、264，內(nèi)循環(huán)純水裝置應(yīng)急打開旁路，晶體生長(zhǎng)爐電源的冷卻改由外循環(huán)水裝置3進(jìn)行冷卻，故障排除后給出復(fù)位信號(hào)自動(dòng)切換電磁閥261、262、263、264，重新恢復(fù)內(nèi)循環(huán)水冷卻裝置的工作。正常工作狀態(tài)時(shí)，電磁閥的工作狀態(tài):電磁閥261為截止?fàn)顟B(tài)，電磁閥262為開通狀態(tài)，電磁閥263為截止?fàn)顟B(tài)，電磁閥264為開通狀態(tài)。應(yīng)急工作狀態(tài)時(shí)，電磁閥的工作狀態(tài):電磁閥261為開通狀態(tài)，電磁閥262為截止?fàn)顟B(tài)，電磁閥263為開通狀態(tài)，電磁閥264為截止?fàn)顟B(tài)。
[0020]如圖5、圖6所示，所述的晶休生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置，熱交換裝置2的冷凝器為多組直銅管焊接在上部法蘭蓋283和下部法蘭座284之間，直銅管便于清洗，法蘭蓋便于維護(hù)。熱交換裝置2的容水器23設(shè)置有加純凈水的加水口 281和放水口 282，便于更換和補(bǔ)充純凈水。
[0021]上述結(jié)構(gòu)的晶體生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置結(jié)構(gòu)緊湊，可靠性高，熱穩(wěn)定性好，冷卻效果好，可應(yīng)用于晶體生長(zhǎng)爐電源等可靠性要求高、需要長(zhǎng)時(shí)間提供水冷卻的各種電源設(shè)備。
[0022]上述的實(shí)施例僅例示性說明本實(shí)用新型創(chuàng)造的原理及其功效，以及部分運(yùn)用的實(shí)施例，而非用于限制本實(shí)用新型；應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.晶體生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置，包括:內(nèi)循環(huán)純水冷卻裝置、外循環(huán)水冷卻裝置、熱交換裝置，其特征在于:所述內(nèi)循環(huán)純水冷卻裝置的水路與熱交換裝置的容水器組成水路的聯(lián)通器，在熱交換裝置的容水器內(nèi)部設(shè)置有外循環(huán)水冷卻裝置的冷凝器，冷凝器的水路與熱交換裝置的容水器是相互隔離的；晶體爐電源的內(nèi)部水路、內(nèi)循環(huán)純水冷卻裝置、熱交換裝置的容水器構(gòu)成一個(gè)封閉的內(nèi)循環(huán)純水系統(tǒng)，外循環(huán)水冷卻裝置的水路自身為一個(gè)封閉的外循環(huán)水系統(tǒng)；晶體爐電源工作時(shí)產(chǎn)生的熱量由內(nèi)循環(huán)純水系統(tǒng)帶至熱交換裝置的容水器內(nèi)，容水器內(nèi)的熱量再由設(shè)置在容水器內(nèi)的外循環(huán)水冷卻裝置的冷凝器通過流經(jīng)冷凝器的水將熱量帶至外循環(huán)冷卻系統(tǒng)進(jìn)行冷卻。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置，其特征在于:在熱交換裝置的出水口與晶體生長(zhǎng)爐電源的進(jìn)水口的水路上設(shè)置有水泵、流量調(diào)節(jié)閥、電接點(diǎn)壓力表，熱交換裝置的進(jìn)水口與晶體長(zhǎng)長(zhǎng)爐電源的出水口的水路上設(shè)置有電磁閥；在晶體爐生長(zhǎng)爐電源的進(jìn)水口設(shè)置有旁路與外循環(huán)水冷卻裝置的回水口連通，在該旁路上設(shè)置有2個(gè)電磁閥；在晶體爐生長(zhǎng)爐電源的回水口設(shè)置有旁路與外循環(huán)水冷卻裝置的進(jìn)水口連通，在該旁路上設(shè)置有I個(gè)電磁閥。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的晶體生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置，其特征在于:系統(tǒng)監(jiān)測(cè)到系統(tǒng)故障時(shí)，可自動(dòng)切換電磁閥，內(nèi)循環(huán)純水裝置應(yīng)急打開旁路，晶體生長(zhǎng)爐電源的冷卻改由外循環(huán)水裝置進(jìn)行冷卻，故障排除后給出復(fù)位信號(hào)自動(dòng)切換電磁閥，重新恢復(fù)內(nèi)循環(huán)水冷卻裝置的工作。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的晶體生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置，其特征在于:熱交換裝置的冷凝器為多組直銅管焊接在上部法蘭蓋和下部法蘭座之間；熱交換裝置的容水器設(shè)置有加純凈水的加水口和放水口。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及晶體生長(zhǎng)爐電源用水循環(huán)裝置，包括：內(nèi)循環(huán)純水冷卻裝置、外循環(huán)水冷卻裝置、熱交換裝置，所述內(nèi)循環(huán)純水冷卻裝置的水路與熱交換裝置的容水器組成水路的聯(lián)通器，在熱交換裝置的容水器內(nèi)部設(shè)置有外循環(huán)水冷卻裝置的冷凝器，冷凝器的水路與熱交換裝置的容水器是相互隔離的；晶體爐電源的內(nèi)部水路、內(nèi)循環(huán)純水冷卻裝置、熱交換裝置的容水器構(gòu)成一個(gè)封閉的內(nèi)循環(huán)純水系統(tǒng)，外循環(huán)水冷卻裝置的水路自身為一個(gè)封閉的外循環(huán)水系統(tǒng)。其可廣泛應(yīng)用于晶體生長(zhǎng)爐電源等可靠性要求高、需要長(zhǎng)時(shí)間提供水冷卻的各種電源設(shè)備。
【IPC分類】C30B35-00
【公開號(hào)】CN204417655
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520006376
【發(fā)明人】劉揚(yáng), 盧衛(wèi)國
【申請(qǐng)人】江蘇東方四通科技股份有限公司
【公開日】2015年6月24日
【申請(qǐng)日】2015年1月6日