一種vb/vgf法制備晶體用立封管支撐固定裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
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[0001]本實(shí)用新型涉及VB/VGF法制備晶體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種VB/VGF法制備晶體用立封管支撐固定裝置。
【背景技術(shù)】
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[0002]VB/VGF法是目前量產(chǎn)銻化鎘、砷化鎵、磷化銦等晶體的主流技術(shù)。VB/VGF法制備晶體一般需要經(jīng)過以下步驟:將多晶料、籽晶裝入PBN坩禍，然后放入立封管內(nèi)，石英帽蓋合，用氫氧焰進(jìn)行焊接密封，再將密封好的立封管放入單晶爐，進(jìn)行單晶生長(zhǎng)過程，單晶生長(zhǎng)完畢后，將立封管從爐內(nèi)取出，敲碎立封管或?qū)α⒎夤苓M(jìn)行切割，取出立封管內(nèi)裝有晶體的PBN坩禍。在破壞立封管的過程中，存在下述幾個(gè)問題:1、VB/VGF法制備晶體所用的立封管本身為圓柱形且底端有一個(gè)細(xì)的籽晶槽保護(hù)套，難以保持穩(wěn)定；2、立封管可能仍有一定的余溫，不利于對(duì)其進(jìn)行控制；因此，在敲管過程中操作難度較大，容易對(duì)立封管內(nèi)的PBN坩禍及坩禍內(nèi)的晶體造成損傷，另外也可能會(huì)給操作人員帶來傷害。
【實(shí)用新型內(nèi)容】:
[0003]為了解決【背景技術(shù)】存在的問題，本實(shí)用新型旨在提出一種VB/VGF法制備晶體用立封管支撐固定裝置。該裝置簡(jiǎn)單快捷地完成對(duì)立封管的支撐及固定，減小操作難度，保障操作人員的安全；減少立封管內(nèi)的PBN坩禍及晶體的損傷幾率，降低生產(chǎn)成本。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:VB/VGF法制備晶體用立封管支撐固定裝置包括底座，所述的底座的中心位置設(shè)有籽晶槽保護(hù)套掉落孔，底座通過螺絲孔及螺栓固定有支撐管，支撐管內(nèi)腔依次安裝有管狀粒面氟橡膠內(nèi)芯及漏斗形石英棉內(nèi)芯，管狀粒面氟橡膠內(nèi)芯及漏斗形石英棉內(nèi)芯的外壁分別與支撐管的內(nèi)壁緊配合，管狀粒面氟橡膠內(nèi)芯中心為籽晶槽保護(hù)套放置腔，管狀粒面氟橡膠內(nèi)芯中心為立封管管體放置腔。
[0005]上述方案中的底座由帶有5個(gè)圓孔的平臺(tái)和4個(gè)支撐腿組成。
[0006]本實(shí)用新型具有如下有益效果:由于采取上述方案，該裝置可獲得以下效果:(1)設(shè)計(jì)了立封管支撐固定裝置，確保實(shí)施過程操作簡(jiǎn)單，降低操作人員工作難度，保障操作人員人身安全；(2)該裝置可將有效起到支撐和固定的作用，有利于下一步工作的進(jìn)行；(3)該裝置還可起到緩沖和保護(hù)的作用，可大幅度減少立封管內(nèi)的PBN坩禍及坩禍內(nèi)的晶體的損壞幾率，降低生產(chǎn)成本，提高晶體成品率。
【附圖說明】
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[0007]附圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0008]附圖2是附圖1的俯視圖；
[0009]附圖3是附圖1的主視圖。
[0010]圖中1-底座平臺(tái)，2-螺絲孔，3-籽晶槽保護(hù)套掉落孔，4-籽晶槽保護(hù)套放置腔，5_石英棉內(nèi)芯，6-支撐管，7-粒面氟橡膠內(nèi)芯，8-立封管管體放置腔，9-支撐腿?！揪唧w實(shí)施方式】:
[0011]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明:
[0012]由圖1結(jié)合圖2?圖3所示，VB/VGF法制備晶體用立封管支撐固定裝置包括底座，所述的底座包括底座平臺(tái)1和支撐腿9組成，所述的底座平臺(tái)1的中心位置設(shè)有籽晶槽保護(hù)套掉落孔3，籽晶槽保護(hù)套掉落孔3是為了防止立封管底端的籽晶槽保護(hù)套掉落后難以取出，底座平臺(tái)1通過螺絲孔2及螺栓固定有支撐管6，支撐管6內(nèi)腔依次安裝有粒面氟橡膠內(nèi)芯7及石英棉內(nèi)芯5，粒面氟橡膠內(nèi)芯7由耐高溫的粒面氟橡膠制成，目的在于增大立封管與粒面氟橡膠內(nèi)芯7之間的摩擦力，石英棉內(nèi)芯5由石英棉制成，對(duì)籽晶槽可起到緩沖及保護(hù)的作用，粒面氟橡膠內(nèi)芯7及石英棉內(nèi)芯5的外壁分別與支撐管6的內(nèi)壁緊配合，粒面氟橡膠內(nèi)芯7圍成圓柱形立封管管體放置腔8，立封管放置在立封管管體放置腔8內(nèi)，立封管管體放置腔8的內(nèi)徑要略大于立封管管體的外徑，高度為立封管管體長(zhǎng)度的20% -40%左右。石英棉內(nèi)芯5圍成漏斗形籽晶槽保護(hù)套放置腔4，籽晶槽保護(hù)套放置腔4的直徑要略大于立封管籽晶槽保護(hù)套的外徑，高度要略高于立封管籽晶槽保護(hù)套的長(zhǎng)度。底座由帶有5個(gè)圓孔的底座平臺(tái)1和4個(gè)支撐腿9組成。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種VB/VGF法制備晶體用立封管支撐固定裝置，包括底座，其特征在于:所述的底座包括底座平臺(tái)(1)和支撐腿(9)，所述的底座平臺(tái)(1)的中心位置設(shè)有籽晶槽保護(hù)套掉落孔(3)，底座平臺(tái)⑴通過螺絲孔(2)及螺栓固定支撐管(6)，支撐管(6)內(nèi)腔依次安裝有粒面氟橡膠內(nèi)芯(7)及石英棉內(nèi)芯(5)，粒面氟橡膠內(nèi)芯(7)及石英棉內(nèi)芯(5)的外壁分別與支撐管(6)的內(nèi)壁緊配合，粒面氟橡膠內(nèi)芯(7)圍成圓柱形立封管管體放置腔(8)，石英棉內(nèi)芯(5)圍成漏斗形籽晶槽保護(hù)套放置腔(4)。2.根椐權(quán)利要求1所述的VB/VGF法制備晶體用立封管支撐固定裝置，其特征在于:底座由帶有5個(gè)圓孔的底座平臺(tái)(1)和4個(gè)支撐腿(9)組成。
【專利摘要】本實(shí)用新型提出一種VB/VGF法制備晶體用立封管支撐固定裝置。所述的底座平臺(tái)的中心位置設(shè)有籽晶槽保護(hù)套掉落孔(3)，底座(1)通過螺絲孔(2)及螺栓固定有支撐管(6)，支撐管(6)內(nèi)腔依次安裝有管狀粒面氟橡膠內(nèi)芯(7)及漏斗形石英棉內(nèi)芯(5)，管狀粒面氟橡膠內(nèi)芯(7)及漏斗形石英棉內(nèi)芯(5)的外壁分別與支撐管(6)的內(nèi)壁緊配合，管狀粒面氟橡膠內(nèi)芯(7)中心為籽晶槽保護(hù)套放置腔(4)，管狀粒面氟橡膠內(nèi)芯中心為立封管管體放置腔(8)。該裝置簡(jiǎn)單快捷地完成對(duì)立封管的支撐及固定，減小操作難度，保障操作人員的安全；減少立封管內(nèi)的PBN坩堝及坩堝內(nèi)的晶體的損壞幾率，降低生產(chǎn)成本，提高晶體成品率。
【IPC分類】C30B11/00
【公開號(hào)】CN205035485
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520753170
【發(fā)明人】于會(huì)永
【申請(qǐng)人】大慶佳昌晶能信息材料有限公司
【公開日】2016年2月17日
【申請(qǐng)日】2015年9月25日