專利名稱：：從磷酸三乙酯(tepo)中除去痕量砷雜質(zhì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及從磷酸三乙酯(TEPO)中除去痕量砷雜質(zhì)。
背景技術(shù)：
：磷酸三乙酯(TEPO)是在微電子工業(yè)中通常用作用于生產(chǎn)PSG(磷硅玻璃)或BPSG(硼磷硅玻璃)的含磷源的一種液態(tài)化學(xué)品。PSG和BPSG在半導(dǎo)體器件中用作沉積在金屬或?qū)щ妼又g的絕緣層。典型地將BPSG膜用作能夠為高密度微電子器件提供優(yōu)良的階梯覆蓋(stepcovemge)的平面化膜(planarizationfilms)。相對于桂酸鹽玻璃，BPSG膜中百分?jǐn)?shù)水平的硼和磷的存在具有降低玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的效果，從而降低制造過程的熱衡算(thermalbudget),同時提供使BPSG層符合微電子制造工藝要求的間隙填充性能。對于某些金屬如砷和其它金屬，制造商需要磷源，如TEPO是極度純凈的。某些金屬雜質(zhì)可能成為器件毒劑(devicepoisons)或具有不希望的毒理學(xué)性質(zhì)，特別是對砷來說，其在器件的正常壽命周期期間，如生產(chǎn)或使用后的廢物處理期間中可能引起嚴(yán)重的環(huán)境健康和安全問題。由于上述原因，微電子工業(yè)中的制造商需要TEPO在某些金屬雜質(zhì)的濃度方面符合非常嚴(yán)格的規(guī)范。對于TEPO，典型的濃度規(guī)范要求許多堿金屬、堿土金屬、稀土金屬、過渡金屬和主族金屬的存在量少于5ppb,或更通常少于l-3ppb。但是，取決于特定的來源以及其如何被處理，粗制的TEPO(rawTEPO)具有50ppb(每十億份的份數(shù)(partsperbillion))到超過10,000ppb的砷濃度。獲得低于5ppb，或更通常低于l-3ppb的砷水平，尤其對于砷(其是含磷物質(zhì)中的常見雜質(zhì))而言帶來相當(dāng)大的挑戰(zhàn)。因為磷和砷化合物的化學(xué)和物理性質(zhì)的相似性，從TEPO中除去痕量水平(約50ppb-10,000ppb)的砷雜質(zhì)通常不能通過使用普通的分離技術(shù)完成。在現(xiàn)有技術(shù)中，有許多從各種體系，包括氣態(tài)流如乙炔或石圭烷、在石油化學(xué)工業(yè)中使用的液態(tài)烴級分、含水體系和基于磷酸鹽的流體肥料流，中除去含砷雜質(zhì)的例子。所除去的含砷組分在處理過程中是三價的或五價的，并且是有機的和無機的。大部分現(xiàn)有工作描迷了砷的去除從而經(jīng)處理的物質(zhì)具有l(wèi)-1000ppm(每百萬份的份數(shù)(partspermillion),lppm=1000ppb)的最終砷含量。在現(xiàn)有技術(shù)中發(fā)現(xiàn)的除去砷以達到超痕量水平(10ppb或更少)的描述是制備用于微電子應(yīng)用的高純度硅烷。在后一情況中，主要的砷污染物是氣態(tài)砷，其與本公開相反，在本公開中砷雜質(zhì)據(jù)信是可混溶的液體，如砷酸三乙酯(TEASAT)或溶解的無機鹽。
發(fā)明內(nèi)容因此，需要實現(xiàn)半導(dǎo)體制造商所需要的TEPO中低水平砷的方法。根據(jù)本發(fā)明的一個實施方案，從具有含砷雜質(zhì)的粗制的磷酸三乙酯(TEPO)中除去含砷雜質(zhì)的方法包括提供與磷酸三乙酯相比選擇性吸附所述含砷雜質(zhì)的吸附劑；使所述具有含砷雜質(zhì)的粗制磷酸三乙酯與所述吸附劑接觸；和從所述具有含砷雜質(zhì)的粗制磷酸三乙酯吸附所述含砷雜質(zhì)，以產(chǎn)生具有減少的含砷雜質(zhì)的產(chǎn)品磷酸三乙酯。根據(jù)本發(fā)明的另一實施方案，從具有含砷雜質(zhì)的粗制磷酸三乙酯中除去含砷雜質(zhì)的方法包括提供與磷酸三乙酯相比選擇性吸附所述含砷雜質(zhì)的吸附劑；使所述具有含砷雜質(zhì)的粗制磷酸三乙酯與所述吸附劑接觸；和從所述具有含砷雜質(zhì)的粗制磷酸三乙酯中吸附所述含砷雜質(zhì)，以產(chǎn)生具有減少的含砷雜質(zhì)的產(chǎn)品磷酸三乙酯；和蒸餾所述具有減少的含砷雜質(zhì)的產(chǎn)品磷酸三乙酯，以從所述具有減少的含砷雜質(zhì)的產(chǎn)品磷酸三乙酯中進一步除去所述含砷雜質(zhì)。根據(jù)本發(fā)明的又一實施方案，從具有含砷雜質(zhì)的粗制磷酸三乙酯中除去含砷雜質(zhì)的方法包括提供與磷酸三乙酯相比選擇性吸附所述含砷雜質(zhì)的吸附劑；使所述具有含砷雜質(zhì)的粗制磷酸三乙酯與所述吸附劑接觸；和從所述具有含砷雜質(zhì)的粗制磷酸三乙酯吸附所述含砷雜質(zhì)，以產(chǎn)生具有減少的含砷雜質(zhì)的產(chǎn)品磷酸三乙酯；和蒸餾所述具有減少的含砷雜質(zhì)的產(chǎn)品磷酸三乙酯，以進一步除去所述含砷雜質(zhì)，并從所述具有減少的含砷雜質(zhì)的產(chǎn)品磷酸三乙酯除去揮發(fā)性的有機副產(chǎn)物和非揮發(fā)性的殘余金屬雜質(zhì)(non-volatileresidualmetallicimpurities)。在以上實施方案中，所述吸附劑是由式ZxWy表示的經(jīng)堿增強的含氧4b4呂吸附劑(abasepromotedaluminacontainingadsorbent);其中x是所述吸附劑中Z的重量百分?jǐn)?shù)，范圍為30%-99.999%;y是所述吸附劑中W的重量百分?jǐn)?shù)，并且乂+丫=100%;Z選自由氧化鋁(A1203)、基于鎂-氧化鋁的分層的雙氬氧化物(magnesium-aluminabasedlayereddoublehydroxide)(MgO-Al2C)3)、氧化鋁-沸石和它們的混合物組成的組；和W選自由至少一種堿性金屬氧化物(basicmetaloxide)、至少一種堿性金屬碳酸鹽(basicmetalcarbonate)和它們的混合物組成的組。以上實施方案可以進一步包括在接觸步驟前通過在真空下或在干燥的惰性氣體氣氛下加熱來活化所述吸附劑。具體實施例方式磷酸三乙酯(triethylphosphate,TEPO)是重要液體，用作用于生產(chǎn)PSG(磷硅玻璃)或BPSG(硼磷硅玻璃)的前體，所述PSG或BPSG用于半導(dǎo)體器件中作為沉積在金屬或?qū)щ妼又g的絕緣層。TEPO的純度，特別對于要求最高的電子應(yīng)用，對于在由TEPO形成的PSG或BPSG中提供適當(dāng)?shù)碾娦阅芊浅Ｖ匾?。有毒雜質(zhì)的最低化對于解決關(guān)于涉及產(chǎn)品使用和整個壽命周期的環(huán)境、健康和安全問題的越來越多的擔(dān)憂也是非常重要的。由于TEPO前體中的雜質(zhì)被捕獲在PSG或BPSG薄膜中，所以TEPO前體的純度是非常重要的。某些雜質(zhì)，也就是砷，和堿金屬，由于它們不能通過在半導(dǎo)體工業(yè)中通常使用的成批處理方法除去，所以對最終產(chǎn)品使用特別有害。微電子器件制造商需要這些有害金屬存在的濃度不大于數(shù)份每十億份(ppb)，以確保它們的膜的適當(dāng)性能并使涉及殘余砷的高毒性的環(huán)境、健康和安全問題最小化。為了了解TEPO中砷污染的來源，必須考慮它的整個合成過程。TEPO是從乙醇與磷酰氯(POCl3)的反應(yīng)制備的。磷酰氯自身是從三氯化磷(PC13)生產(chǎn)的，三氯化磷進而從白磷(P4)制備，白磷從磷酸鹽巖制備，根據(jù)以下列出的反應(yīng)順序i.)Ca3(P04)3+3Si02+9C今％P4+3CaSi03+9COii.)P4+6Cl2+4PCI3iii.)PCI3+1/202+POCI3iv.)POCI3+3CH3CH2OH+OP(OCH2CH3)3(TEPO)+3HCI磷酸鹽巖相對于磷典型地含有0.01%-0.1%的砷。砷的化學(xué)性質(zhì)和化學(xué)反應(yīng)性與磷的相似。因此，存在于磷酸鹽巖源材料中的低水平的砷被容易地轉(zhuǎn)化成黃色的砷(As4)、轉(zhuǎn)化成三氯化砷(AsCl3)、轉(zhuǎn)化成氧氯化砷(AsOCl3)，并最終轉(zhuǎn)化成砷酸三乙酯(OAs(OCH2CH3)3)，也稱為TEASAT。因此，粗制的TEPO不可避免地被高ppb或ppm水平的砷雜質(zhì)(典型地作為TEASAT存在)污染。在粗制的TEPO中TEASAT的量取決于很多因素，包括原始磷起始物質(zhì)的砷含量、合成過程和合成后處理。純化粗制TEPO的一種一般方法是通過分餾。蒸餾非常有效地將TEPO與揮發(fā)性有機副產(chǎn)物和與非揮發(fā)性殘余金屬雜質(zhì)分離。但是，其對于實現(xiàn)定量除去TEASAT遠不有效，TEASAT是TEPO的砷類似物，和砷雜質(zhì)的主要來源。TEASAT是揮發(fā)性的，并且與TEPO216"的沸點相比，具有236。C的標(biāo)準(zhǔn)沸點。沸點的這種相似性使得非常難以通過分餾方法實現(xiàn)從TEPO定量分離TEASAT。雖然如此，但是已經(jīng)證明通過將粗制的TEPO進行多次分餾(multiplefractionaldistillation)能夠?qū)崿F(xiàn)非常低水平的砷(即〈5ppb)。這種處理方法可以包括2次、3次或甚至4次連續(xù)的蒸餾，以獲得微電子工業(yè)中的制造商所需的希望的低ppb水平的砷。這包括多個單元操作，因而是非常費時的并且通常費用高的驚人。對于使用^L動純化方法(如吸附)將TEPO中的砷減少到目標(biāo)濃度水平，有非常明顯的優(yōu)點。本公開教導(dǎo)了能夠用于將砷雜質(zhì)從TEPO去除到非常低的水平的吸附劑和方法。鑒別了許多對于該目的非常有效的吸附劑和吸附劑種類。本文中描述的砷純化方法使用堿性吸附劑以除去大部分的含砷組分。蒸餾精制步驟(distillationpolishingstep)可以用于除去殘余的砷組分，如無機砷鹽，以產(chǎn)生具有超痕量水平的砷的TEPO。在本發(fā)明中，含經(jīng)堿增強的氧化鋁(basepromotedaluminacontaining,BPAC)的吸附劑可以用于從TEPO除去砷雜質(zhì)。該種類的吸附劑含有作為A1203或作為混合的金屬氧化物或混合的金屬氬氧化物化合物存在的氧化鋁，其中所述含氧化鋁的主體(entity)已經(jīng)通過堿性組分如堿性金屬氧化物和/或堿性金屬碳酸鹽改性。BPAC吸附劑的組成由下式表示ZxWy;其中x是所述吸附劑中Z的重量百分?jǐn)?shù)，范圍為30%-99.999%,y是所述吸附劑中W的重量百分?jǐn)?shù)，x+y=100%,Z選自由氧化鋁(A1203)、基于4美-氧化鋁的分層的雙氫氧化物(MgO-Al203)、和氧化鋁-沸石組成的組，和W選自由至少一種堿性金屬氧化物、至少一種堿性金屬碳酸鹽和它們的混合物組成的組。W的例子是MgO、CaO、Na20、K20、K2C03、Na2C03和它們的混合物。所述經(jīng)堿增強的含氧化鋁(BPAC)的吸附劑顯示出對于將TEPO中的砷含量減少到低ppb水平非常有效。具有弱或強堿性表面的高表面積氧化鋁吸附劑，和堿性的混合金屬氧化物材料呈現(xiàn)出最好的從TEPO溶液中清除砷物種的能力。此類BPAC吸附劑的例子包括但不限于(1)MgO-Al203共混物，(2)經(jīng)堿金屬碳酸鹽增強的MgO-Al203共混物，(3)用痕量水平(lOppm-lOOppm)到百分比水平(約20%或更多)的堿性堿金屬氧化物如Na20或K20改性的氧化鋁，(4)用痕量水平(10ppm-100ppm)到百分比水平(約20%或更多)的堿金屬碳酸鹽如Na2C03或K2C03改性的氧化鋁，和(5)氧化鋁-沸石共混物，用堿性組分如堿金屬氧化物或堿金屬碳酸鹽改性。BPAC吸附劑可以通過許多不同的方法制備，包括但不限于(1)使用7>知的浸泡或噴射浸漬(spray-onimpregnation)技術(shù)，用含溶解的堿金屬碳酸鹽或堿金屬碳酸鹽前體的水溶液處理多孔氧化鋁載體，然后在適合的溫度煅燒以形成希望的BPAC吸附劑；或(2)通過共沉淀或共沉積適當(dāng)?shù)那绑w材料共混物，共形成(co-forming)希望的氧化鋁/堿金屬碳酸鹽或氧化鋁/堿金屬氧化物，其一旦經(jīng)過后續(xù)的煅燒，就得到所希望的共形成的混合的金屬氧化物或混合的金屬堿式碳酸鹽(mixedmetaloxycarbonate)。砷的吸附去除可以通過在靜態(tài)條件下使含砷(arsenic-laiden)的TEPO與吸附劑介質(zhì)(adsorbentmedia)接觸實現(xiàn)，或作為選擇通過在動態(tài)暴露條件下通過使液體流經(jīng)用吸附劑介質(zhì)填充的柱，通過使所述TPEO與吸附劑接觸實現(xiàn)。用于除去砷的最佳條件將取決于砷雜質(zhì)的化學(xué)特性和濃度，以及經(jīng)純化的TPEO的所要求的砷含量。接觸或停留時間將從對于采用動態(tài)條件如吸附介質(zhì)的填充柱的那些實施方案的低至幾分鐘，或者作為選擇，直到對于采用靜態(tài)吸附條件的那些實施方案的數(shù)天。在接觸步驟期間使用的溫度可以為0°C-140°C，或者20。C-80。C。靜態(tài)吸附包括在預(yù)定的溫度下使含砷的TEPO暴露于給定量的吸附劑材料一段有效的時間，以實現(xiàn)希望的砷水平的降低。吸附劑的量基于總重量可以從百分之零點幾(afractionofapercent)到超過20wt.%,總重量是吸附劑重量和TEPO重量的總和。吸附溫度范圍可以從低于環(huán)境溫度到超過10(TC的溫度。較低的溫度傾向于有助于改善的選擇性，其通常導(dǎo)致較高的砷平衡吸附容量，而較高溫度有助于改善的砷雜質(zhì)吸附速率。靜態(tài)吸附所需的時間可以從僅僅幾小時到幾天不等，取決于包括以下的許多因素(1)吸附劑的重量％加載量；(2)吸附溫度；(3)進料流的砷濃度；(4)砷污染物的化學(xué)特性；和(5)所希望的經(jīng)加工的TEPO的砷濃度。在本公開中提供了許多使用靜態(tài)吸附方法以除去砷的例子。也可以采用動態(tài)吸附實現(xiàn)將TEPO中的砷減少到所希望的低ppb水平。這可以通過使含有不希望的砷的TEPO與固態(tài)吸附劑如含有堿性位點(basicsites)的多孔氧化鋁或堿性混合金屬氧化物吸附劑接觸實現(xiàn)。該方法典型地包括使對象液體流經(jīng)含有吸附劑材料的固定床的柱。隨后，含砷物種被吸附劑床上的堿性位點捕捉(s叫uestered)，從而使得經(jīng)處理液體的具有低ppb水平的殘余砷。用于從TEPO除去含砷雜質(zhì)的經(jīng)-喊增強的含氧化鋁(BPAC)吸附劑關(guān)于它們的化學(xué)組成和結(jié)構(gòu)，符號名稱以及它們的物理形式總結(jié)在表1中。在表1中還提供了代表性材料的商業(yè)來源的例子。通過在靜態(tài)暴露條件下，在20-80。C的溫度范圍使TEPO暴露于不同加載量的所述BPAC吸附劑幾個小時到幾天的一段時間，可以10將所述TEPO的砷含量從大于80ppb降低到l-5ppb。可能需要隨后蒸餾經(jīng)吸附劑處理的TEPO，以進一步將砷含量降低到〈lppb,或降低其它不希望的金屬雜質(zhì)的濃度。在一些實施方案中，在與TEPO接觸以實施砷去除前首先將吸附劑活化。在所述實施方案中，將吸附劑加熱到8(TC或更高的一個或多個溫度。優(yōu)選地，加熱步驟進行到范圍在約80。C-約600。C，或約100°C-約500°C,或約200。C-約40(TC的一個或多個溫度。所需的吸附劑前體的活化溫度取決于吸附劑的特定化學(xué)和物理特性。最優(yōu)活化溫度和條件可以通過熱失重分析(TGA)或者其它方法確定。加熱可以在真空下或者作為選擇在干燥的惰性氣氛如N2，He或Ar中實施。<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>據(jù)信，TEPO中的含砷組分或含砷組分的分解產(chǎn)物優(yōu)先吸附于吸附劑的表面或與吸附劑的表面反應(yīng)，從而砷物種變?yōu)槲锢砦交蚧瘜W(xué)吸附于吸附劑表面。本發(fā)明的吸附劑將進入的粗制TEPO液體內(nèi)的砷的量降低到約20ppb或更低，優(yōu)選為10ppb或更低，更優(yōu)選3ppb，或最優(yōu)選為lppb或更低。在TEPO的吸附處理以除去砷之后，可以釆用蒸餾。蒸餾非常有效地將TEPO與揮發(fā)性的有機副產(chǎn)物和與非揮發(fā)性的殘余金屬雜質(zhì)分離。蒸餾也被作為最終的精制步驟，以除去殘余金屬雜質(zhì)如由于TEPO液體與固體吸附劑介質(zhì)接觸從而可能已經(jīng)浸出到TEPO中的那些。由于TEPO液體與吸附劑介質(zhì)的接觸，低ppb水平的某些金屬如堿金屬、堿土金屬、稀土金屬、過渡金屬和主族金屬可能作為溶解的物種或作為固體顆粒被提取到TEPO中?？赡馨鼋饘俳M分的溶解的物種或顆粒物種預(yù)期都是非揮發(fā)性的，從而可以通過典型的蒸餾方法容易地從母體TEPO溶液分離?？梢允褂眠@種最終的蒸餾精制步驟，以確保在固體吸附劑中以痕量水平存在的金屬不以不可接受的所述金屬水平污染TEPO。在審視本發(fā)明的以下實施例之后，對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言本發(fā)明的其它目的、益處和新穎特點將變得顯而易見，所述實施例不意圖是限制性的。搡作實施例實施例1吸附劑BPAC-1至BPAC-8的活化吸附劑BPAC-1和BPAC-2由制造商在裝運前在60CTC在氮氣下進行活化。吸附劑BPAC-3到BPAC-8在使用前通過在實驗室烘箱中在流動氮氣下加熱到200°C20小時就地活化。關(guān)于這些吸附劑的化學(xué)組成、結(jié)構(gòu)和物理形式的進一步描述在表1中提供。熱活化之后，將所有的吸附劑貯存在氮氣吹掃的手套箱中直到需要用于以下實施例中所描述的吸附研究。實施例2使用吸附劑BPAC-1從TEPO中除去痕量砷本試驗使用由MgO和A1203的70:30混合物組成的吸附劑。該吸附劑在此稱為BPAC-1。在氮氣手套箱中操作，將45.0克TEPO和5.0克吸附劑BPAC-1順序放入兩個100毫升Pyrex瓶的每一個中。所述TEPO預(yù)先通過ICP-MS(電感耦合等離子體質(zhì)譜)分析含有76ppb的砷。如實施例l中所述，預(yù)先將BPAC-1活化。使用由Teflon覆蓋的蓋子蓋住所述瓶，并通過旋動液體在一個小時期間周期性地攪動，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將一個瓶放在處于環(huán)境溫度的手套箱中；將另一個瓶放到預(yù)熱到80。C的烘箱中。在環(huán)境溫度下貯存1天和3天后和在8(TC下貯存1天和2天后，取出小等分試樣(4毫升)用于砷分析。分析顯示在環(huán)境溫度下三天后所述TEPO中的砷含量從76ppb的最初值下降到19ppb,而在8CTC兩天后從76ppb下降到25ppb。數(shù)據(jù)總結(jié)在表2中。實施例3使用吸附劑BPAC-1從摻入了TEASAT的TEPO中除去痕量砷本實施例中使用摻入了30ppb的作為TEASAT(砷酸三乙酯)的砷的TEPO。該TEPO試樣經(jīng)分析含有117ppb的砷。在氮氣手套箱中操作，將45.0克的TEPO和5.0克的吸附劑BPAC-1順序放入兩個100毫升的Pyrex瓶的每一個中。如實施例1中所述，預(yù)先將BPAC-1活化。使用由Teflon覆蓋的蓋子蓋住所述瓶，并通過旋動液體在一個小時期間周期性地攪動，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將一個瓶放在處于環(huán)境溫度的手套箱中；將另一個瓶放到預(yù)熱到80。C的烘箱中。在環(huán)境溫度下貯存1天和3天后和在80。C下貯存1天和2天后取出小等分試樣用于砷分析。分析顯示在環(huán)境溫度下三天后所述TEPO中的砷含量從U7ppb的最初值下降到33ppb，而在80。C兩天后從117ppb下降到27ppb。數(shù)據(jù)總結(jié)在表2中。實施例4使用吸附劑BPAC-2從TEPO中除去痕量砷本試驗使用由具有痕量水平的幾種堿性金屬氧化物的A1203組成的吸附劑。該吸附劑在本文中稱為BPAC-2。在氮氣手套箱中操作，將45.0克的TEPO和5.0克的吸附劑BPAC-2順序放入兩個100毫升14Pyrex瓶的每一個中。所述TEPO預(yù)先通過ICP-MS分析含有76ppb的砷。如實施例1中所述，預(yù)先將BPAC-2活化。使用由Teflon覆蓋的蓋子蓋住所述瓶，并通過旋動液體在一個小時期間周期性地攪動，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將一個瓶放在處于環(huán)境溫度的手套箱中；將另一個瓶放到預(yù)熱到80。C的烘箱中。在環(huán)境溫度下貯存1天和3天后和在8(TC下貯存1天和2天后取出小等分試樣用于砷分析。分析顯示在環(huán)境溫度下三天后所述TEPO中的砷含量從76ppb的最初值下降到6.4ppb,而在80。C兩天后從76ppb下降到5.3ppb。數(shù)據(jù)總結(jié)在表2中。實施例5使用吸附劑BPAC-2從摻入了TEASAT的TEPO中除去痕量砷本實施例中使用摻入了30ppb的作為TEASAT的砷的TEPO。該TEPO試樣經(jīng)分析含有117ppb的砷。在氮氣手套箱中操作，將45.0克的TEPO和5.0克的吸附劑BPAC-2順序放入兩個100毫升的Pyrex瓶的每一個中。如實施例1中所述，預(yù)先將BPAC-2活化。使用由Teflon覆蓋的蓋子蓋住所述瓶，并通過旋動液體在一個小時期間周期性地攪動，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將一個瓶放在處于環(huán)境溫度的手套箱中；將另一個瓶放到預(yù)熱到80。C的烘箱中。在環(huán)境溫度下貯存后和在80。C下貯存1天和2天后取出小等分試樣用于砷分析。分析顯示在環(huán)境溫度下三天后所述TEPO中的砷含量從117ppb的最初值下降到10.5ppb，而在80。C兩天后從117ppb下降到8.3ppb。數(shù)據(jù)總結(jié)在表2中。實施例6使用吸附劑BPAC-3從TEPO中除去痕量砷本試驗使用由Ah03上的9wt.%Na20組成的吸附劑。該吸附劑在本文中稱為BPAC-3。在氮氣手套箱中操作，將27.0克的TEPO和3.0克的吸附劑BPAC-3順序放入兩個100毫升的Pyrex瓶的每一個中。該TEPO預(yù)先通過ICP-MS分析含有76ppb的砷。如實施例1中所述，預(yù)先將BPAC-3活化。使用由Teflon覆蓋的蓋子蓋住所述瓶，并通過旋動液體在一個小時期間周期性地攪動，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將一個瓶放在處于環(huán)境溫度的手套箱中；將另一個瓶放到預(yù)熱到80。C的烘箱中。一天和兩天后從兩個瓶的每一個中取出小等分試樣用于由ICP-MS進行的砷分析。分析顯示對于在環(huán)境溫度下和在80。C下暴露于吸附劑兩天的試樣，TEPO中的砷含量分別從76ppb的最初值下降到7.1ppb和15.0ppb。數(shù)據(jù)總結(jié)在表2中。實施例7使用吸附劑BPAC-3從摻入了TEASAT的TEPO中除去痕量砷本實施例中使用摻入了30ppb的作為TEASAT的砷的TEPO。該TEPO試樣經(jīng)分析含有117ppb的砷。在氮氣手套箱中操作，將27.0克的TEPO和3.0克的吸附劑BPAC-3順序放入兩個100毫升的Pyrex瓶的每一個中。如實施例1中所述，預(yù)先將BPAC-3活化。使用由Teflon覆蓋的蓋子蓋住所述瓶，并通過旋動液體在一個小時期間周期性地攪動，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將一個瓶放在處于環(huán)境溫度的手套箱中；將另一個瓶放到預(yù)熱到80。C的烘箱中。一天和兩天后從兩個瓶的每一個中取出小等分試樣用于由ICP-MS進行的砷分析。分析顯示對于在環(huán)境溫度下和在80。C下暴露于吸附劑兩天的試樣，TEPO中的砷含量分別從117ppb的最初值下降到8.5ppb和16.3ppb。數(shù)據(jù)總結(jié)在表2中。實施例8使用吸附劑BPAC-4從TEPO中除去痕量砷本試-瞼使用由八1203上的5wt.%Na20組成的吸附劑。該吸附劑在本文中稱為BPAC-4。在氮氣手套箱中操作，將27.0克的TEPO和3.0克的吸附劑BPAC-4順序放入兩個100毫升的Pyrex弁瓦的每一個中。所述TEPO預(yù)先通過ICP-MS分析含有76ppb的砷。如實施例1中所述，預(yù)先將BPAC-4活化。使用由Teflon覆蓋的蓋子蓋住所述瓶，并通過旋動液體在一個小時期間周期性地攪動，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將一個瓶放在處于環(huán)境溫度的手套箱中；將另一個瓶放到預(yù)熱到80。C的烘箱中。一天和兩天后從兩個瓶的每一個中取出小等分試樣用于由ICP-MS進行的砷分析。分析顯示對于在環(huán)境溫度下和在80。C下暴露于吸附劑兩天的試樣，TEPO中的砷含量分別從76ppb的最初值下降到4.9ppb和6.5ppb。數(shù)據(jù)總結(jié)在表2中。實施例9使用吸附劑BPAC-4從摻入了TEASAT的TEPO中除去痕量砷本實施例使用摻入了30ppb的作為TEASAT的砷的TEPO。該TEPO試樣經(jīng)分析含有117ppb的砷。在氮氣手套箱中操作，將27.0克的TEPO和3.0克的吸附劑BPAC-4順序放入兩個100毫升的Pyrex瓶的每一個中。如實施例1中所述，預(yù)先將BPAC-4活化。使用由Teflon覆蓋的蓋子蓋住所迷瓶，并通過旋動液體在一個小時期間周期性地攪動，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將一個瓶放在處于環(huán)境溫度的手套箱中；將另一個瓶放到預(yù)熱到80。C的烘箱中。一天和兩天后從兩個瓶的每一個中取出小等分試樣用于由ICP-MS進行的砷分析。分析顯示對于在環(huán)境溫度下和在80。C下暴露于吸附劑兩天的試樣，TEPO中的砷含量分別從117ppb的最初值下降到5.9ppb和7.8ppb。數(shù)據(jù)總結(jié)在表2中。<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage18</column></row><table>實施例10使用吸附劑BPAC-5從TEPO中除去痕量砷本試驗使用由在Al203上的5wt.%K2C03組成的吸附劑。該吸附劑在本文中稱為BPAC-5。在氮氣手套箱中操作，將27.0克的TEPO和3.0克的吸附劑BPAC-5順序放入兩個100毫升的Pyrex瓶的每一個中。所述TEPO預(yù)先通過ICP-MS分析含有76ppb的砷。如實施例1中所述，預(yù)先將BPAC-5活化。使用由Teflon覆蓋的蓋子蓋住所述瓶，并通過旋動液體在一個小時期間周期性地攪動，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將一個瓶放在處于環(huán)境溫度的手套箱中；將另一個瓶放到預(yù)熱到80。C的烘箱中。一天和兩天后從兩個瓶的每一個中取出小等分試樣用于由ICP-MS進行的砷分析。分析顯示對于在環(huán)境溫度下和在8(TC下暴露于吸附劑兩天的試樣，TEPO中的砷含量分別從76ppb的最初值下降到9.0ppb和14.1ppb。數(shù)據(jù)總結(jié)在表3中。實施例11使用吸附劑BPAC-5從摻入了TEASAT的TEPO中除去痕量砷本實施例使用摻入了30ppb的作為TEASAT的砷的TEPO。該TEPO試樣經(jīng)分析含有117ppb的砷。在氮氣手套箱中操作，將27.0克的TEPO和3.0克的吸附劑BPAC-5順序放入兩個100亳升的Pyrex步fe的每一個中。如實施例1中所述，預(yù)先將BPAC-5活化。使用由Teflon覆蓋的蓋子蓋住所述瓶，并通過旋動液體在一個小時期間周期性地攪動，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將一個瓶放在處于環(huán)境溫度的手套箱中；將另一個瓶放到預(yù)熱到8(TC的烘箱中。一天和兩天后從兩個瓶的每一個中取出小等分試樣用于由ICP-MS進行的砷分析。分析顯示對于在環(huán)境溫度下和在8(TC下暴露于吸附劑兩天的試樣，TEPO中的砷含量分別從117ppb的最初值下降到15.5ppb和20.6ppb。數(shù)據(jù)總結(jié)在表3中。實施例12使用吸附劑BPAC-6從TEPO中除去痕量砷本試驗使用Na2C03改性的由八1203和沸石Y的混合物組成的吸附劑。該吸附劑在本文中稱為BPAC-6。在氮氣手套箱中操作，將27.0克的TEPO和3.0克的吸附劑BPAC-6順序放入兩個100毫升的Pyrex瓶的每一個中。所述TEPO預(yù)先通過ICP-MS分析含有76ppb的砷。如實施例1中所述，預(yù)先將BPAC-6活化。使用由Teflon覆蓋的蓋子蓋住所述瓶，并通過旋動液體在一個小時期間周期性地攪動，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將一個瓶放在處于環(huán)境溫度的手套箱中；將另一個瓶放到預(yù)熱到80。C的烘箱中。一天和兩天后從兩個瓶的每一個中取出小等分試樣用于由ICP-MS進行的砷分析。分析顯示對于在環(huán)境溫度下和在80。C下暴露于吸附劑兩天的試樣，TEPO中的砷含量分別從76ppb的最初值下降到8.1ppb和7.2ppb。數(shù)據(jù)總結(jié)在表3中。實施例13使用吸附劑BPAC-6從摻入了TEASAT的TEPO中除去痕量砷本實施例使用摻入了30ppb的作為TEASAT的砷的TEPO。該TEPO試樣經(jīng)分析含有117ppb的砷。在氮氣手套箱中操作，將27.0克的TEPO和3.0克的吸附劑BPAC-6順序放入兩個100毫升的Pyrex瓶的每一個中。如實施例1中所述，預(yù)先將BPAC-6活化。使用由Teflon覆蓋的蓋子蓋住所述瓶，并通過旋動液體在一個小時期間周期性地攪動，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將一個瓶放在處于環(huán)境溫度的手套箱中；將另一個瓶放到預(yù)熱到80。C的烘箱中。一天和兩天后從兩個瓶的每一個中取出小等分試樣用于由ICP-MS進行的砷分析。分析顯示對于在環(huán)境溫度下和在80。C下暴露于吸附劑兩天的試樣，TEPO中的砷含量分別從117ppb的最初值下降到11.1ppb和9.7ppb。數(shù)據(jù)總結(jié)在表3中。實施例14使用吸附劑BPAC-7從TEPO中除去痕量砷本試驗使用由與8wt.%Na2C03共形成的八1203組成的吸附劑。該吸附劑在本文中稱為BPAC-7。在氮氣手套箱中操作，將27.0克的TEPO和3.0克的吸附劑BPAC-7順序放入兩個100毫升的Pyrex瓶的每一個中。所述TEPO預(yù)先通過ICP-MS分析含有76ppb的砷。如實施例1中所述，預(yù)先將BPAC-7活化。使用由Teflon覆蓋的蓋子蓋住所迷瓶，并通過旋動液體在一個小時期間周期性地攪動，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將瓶放在處于環(huán)境溫度的手套箱中。一天和兩天后取出小等分試樣用于由ICP-MS進行的砷分析。分析顯示在環(huán)境溫度下暴露于吸附劑兩天后，TEPO中的砷含量從76ppb的最初值下降到10.0ppb。數(shù)據(jù)總結(jié)在表3中。實施例15使用吸附劑BPAC-8從TEPO中除去痕量砷本試驗使用由與8wt.%K2C03共形成的Ab03組成的吸附劑。該吸附劑在本文中稱為BPAC-8。在氮氣手套箱中操作，將27.0克的TEPO和3.0克的吸附劑BPAC-8順序放入100毫升的Pyrex瓶中。如實施例1中所述，預(yù)先將BPAC-8活化。所述TEPO預(yù)先通過ICP-MS分析含有76ppb的砷。使用由Teflon覆蓋的蓋子蓋住所述瓶，并通過旋動液體在一個小時期間周期性地攪動，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將瓶放在處于環(huán)境溫度的手套箱中。一天和兩天后取出小等分試樣用于由ICP-MS進行的砷分析。分析顯示在環(huán)境溫度下暴露于吸附劑兩天后，TEPO中的砷含量從76ppb的最初值下降到12.5ppb。數(shù)據(jù)總結(jié)在表3中。表3靜態(tài)吸附試驗(BPAC-5到BPAC-8)<table>tableseeoriginaldocumentpage21</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage22</column></row><table>實施例16使用不同加載水平的吸附劑BPAC-2從TEPO中除去痕量砷在氮氣手套箱中操作，將45.0克的TEPO和5.0克的吸附劑BPAC-2順序放入100毫升的Pyrex瓶中以制備具有10.0wt.o/o吸附劑的TEPO。使用28.5克TEPO和1.5克吸附劑以類似的方式制備5.0wt.。/o吸附劑試樣。使用29.4克TEPO和0.6克吸附劑制備2.0wt.o/。吸附劑試樣。使用29.7克TEPO和0.3克吸附劑制備1.0wt，o吸附劑試樣。如實施例1中所述，預(yù)先將BPAC-2活化。所述TEPO預(yù)先通過ICP-MS分析含有76ppb的砷。使用由Teflon覆蓋的蓋子蓋住所述四個瓶，并通過旋動液體在一個小時期間周期性地攪動，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將所述瓶放在環(huán)境溫度手套箱中。在1天、2天和3天后從所述瓶取出小等分試樣用于由ICP-MS進行的砷分析。分析顯示對于暴露于10.0wt.%吸附劑3天的TEPO,所述TEPO中的砷含量從76ppb的最初值下降到6.4ppb。對于暴露于5.0、2.0和1.0wt.o/o吸附劑的試樣，在環(huán)境溫度下2天后砷含量分別從最初值76ppb下降到9.2ppb、11.3ppb和14.6ppb。數(shù)據(jù)總結(jié)在表4中。實施例17使用不同加載水平的吸附劑BPAC-2從摻入了TEASAT的TEPO中除去痕量砷本實施例中使用摻入了30ppb的作為TEASAT的砷的TEPO。該TEPO試樣經(jīng)分析含有117ppb的砷。在氮氣手套箱中操作，將45.0克的TEPO和5.0克的吸附劑BPAC-2順序放入100毫升的Pyrex瓶中以制備具有10.0wt.o/o吸附劑的TEPO。使用28.5克TEPO和1.5克吸附劑以類似的方式制備5.0wt.o/。吸附劑試樣。使用29.4克TEPO和0.6克吸附劑制備2.0wt。/。吸附劑試樣。使用29.7克TEPO和0.3克吸附劑制備1.0wt.。/o吸附劑試樣。如實施例1中所述，預(yù)先將BPAC-2活化。使用由Teflon覆蓋的蓋子蓋住所述四個瓶，并通過旋動液體在一個小時期間周期性地攪動，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將所述瓶放在環(huán)境溫度手套箱中。在1、2和3天后從所述瓶取出小等分試樣用于通過ICP-MS進行砷分析。分析顯示對于暴露于10.0wt.。/。吸附劑三天的TEPO，所述TEPO中的砷含量從117ppb的最初值下降到10.5ppb。對于暴露于5.0、2.0和1.0\￥1%吸附劑的試樣，在環(huán)境溫度下2天砷含量分別從最初值117ppb下降到5.2ppb、7.5ppb和21.4ppb。數(shù)據(jù)總結(jié)在表4中。表4吸附劑(BPAC-2)加載水平的影響<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>BPAC-2順序放入裝備有進口和出口Teflon閥組件的1.5升的石英鼓泡器中。如實施例1中所述，預(yù)先將BPAC-2活化。該TEPO預(yù)先通過ICP-MS分析含有76ppb的砷。通過旋動液體在數(shù)小時期間周期性地攪動鼓泡器，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將鼓泡器在手套箱中保持在環(huán)境溫度。5天后將液體潷析到第二Pyrex瓶中，以將液體從吸附劑珠分離。將潷析的TEPO分成兩部分A級分(~770克)和B級分(~300克)。從A級分取出小等分試樣液體用于砷分析。使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀閃蒸B級分。取來自B級分的小等分試樣餾出物用于砷分析。閃蒸前和閃蒸后的經(jīng)吸附劑處理的試樣的砷含量經(jīng)測試分別為8.5ppb和2.5ppb。實施例20使用兩步法從216克TEPO試樣中除去痕量砷(1)使用10.0wt。/。吸附劑BPAC-4的靜態(tài)吸附；和(2)閃蒸在氮氣手套箱中操作，將216克TEPO和24.0克吸附劑BPAC-4順序放入500毫升Pyrex瓶中。如實施例1中所述，預(yù)先將BPAC-4活化。該TEPO預(yù)先通過ICP-MS分析含有76ppb的砷。使用由Teflon覆蓋的蓋子蓋住所述瓶，并通過旋動液體在數(shù)小時期間周期性地攪動，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將所述瓶在手套箱中保持在環(huán)境溫度。3天后將液體潷析到第二Pyrex瓶中，以將液體從吸附劑珠分離。將潷析的液體分成兩等份A級分和B級分。從A級分取出小等分試樣液體用于砷分析。使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀閃蒸B級分。取來自B級分的小等分試樣餾出物用于砷分析。閃蒸前和閃蒸后的經(jīng)吸附劑處理的試樣的砷含量經(jīng)測試分別為8.2ppb和4.1ppb。實施例21使用兩步法從1070克TEPO試樣中除去痕量砷(1)使用10.0wt.。/。吸附劑BPAC-4的靜態(tài)吸附；和(2)閃蒸在氮氣手套箱中操作，將1070克TEPO和119克DD-"0珠順序放入裝備有進口和出口Teflon閥組件的1.5升的石英鼓泡器中。如實施例1中所述，預(yù)先將吸附劑BPAC-4活化。該TEPO預(yù)先通過ICP-MS分析含有76ppb的砷。通過旋動液體在數(shù)小時期間周期性地攪動鼓泡器，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將鼓泡器在手套箱中保持在環(huán)境溫度。6天后將液體潷析到第二Pyrex瓶中，以將液體從吸附劑珠分離。將潷析的TEPO分成兩部分A級分(~770克)和B級分(~300克)。從A級分取出小等分試樣液體用于砷分析。使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀閃蒸B級分。取來自B級分的小等分試樣餾出物用于砷分析。閃蒸前和閃蒸后的經(jīng)吸附劑處理的試樣的砷含量經(jīng)測試分別為4.7ppb和0.5ppb。實施例22使用吸附劑BPAC-10從TEPO中除去痕量砷通過將含有溶解的四水醋酸鎂(Mg(OAc)2.4H20)和醋酸鉀(KOAc)的水溶液浸漬到多孔氧化鋁基質(zhì)中制備MgO(K2C03)2負(fù)載在氧化鋁上的試樣(在本文中稱為BPAC-10)。對于制備該4:1K:Mg堿式碳酸鹽，需要使用約35wt.%Mg(OAc)2'4H20對65wt/。的KOAc的重量比，以制備所述水溶液。隨后將使用所述方式制備的經(jīng)浸漬的氧化鋁基質(zhì)在550。C煅燒4小時。將這樣制備的約3.31克吸附劑BP-10加入到在40毫升玻璃小瓶中的23.45克TEPO中。在24小時浸泡試驗后，留出經(jīng)處理的TEPO的試樣用于砷分析。分析前后顯示，砷從109ppb到85ppb降低了約20%。制備吸附劑BPAC-10的另一試樣，這次將經(jīng)浸潰的氧化鋁珠在430。C煅燒過夜。煅燒進行一段較長的時間以除去游離水、結(jié)晶水，并將Mg(OAc)2轉(zhuǎn)化成MgO和將KOAc轉(zhuǎn)化成K2C03,力圖生產(chǎn)具有MgO(K2C03)2在A1203上的近似組成的最終負(fù)載材料。另一個浸泡試驗使用重量比為4.1:1的TEPO和氧化鋁負(fù)載的吸附劑實施。24小時后，對TEPO進行取樣，顯示砷減少了80%達到22ppb。實施例23使用吸附劑IE-1、AC-1和SG-1從TEPO中除去痕量砷使用與實施例22(砷濃度為109ppb)中相同的TEPO原料進料實施替代吸附劑的額外篩選。將TEPO轉(zhuǎn)移到40毫升的小瓶中到約一半體積。小瓶中已經(jīng)預(yù)先裝入約15體積％的吸附劑，其產(chǎn)生不同的重量比。使用13.27的TEPO對吸附劑重量比，吸附劑IE-1將砷減少12%到96ppb。使用5.883的TEPO對吸附劑重量比，吸附劑AC-1將砷減少43%到62ppb。使用吸附劑SG-1(TEPO比凝膠的重量比為8.398:1)進26行處理對砷水平無影響。吸附劑IE-1、AC-1和SG-1都是非氧化鋁吸附劑，在表1中對其有更詳細(xì)的描述。實施例24使用BPAC-9從26克TEPO中除去痕量砷在本試驗中使用由K2C02:MgO:Al203的20:56:24混合物組成的吸附劑。該吸附劑在此處稱為BPAC-9。用于本試驗的粗制TEPO經(jīng)分析含有117ppb的砷。吸附劑BP-9購買得來不經(jīng)任何進一步的活化直接使用。在氮氣手套箱中操作，將26.5916克TEPO放入裝備有螺旋蓋的40毫升玻璃小瓶中。將所述小瓶從手套箱中移出。將5.0572克的BP-9在環(huán)境空氣條件下加入到所述小瓶中，相當(dāng)于TEPO與BPAC-9吸附劑的重量比為~5:1。在一或兩分鐘內(nèi)攪動所述玻璃小瓶以混合幾次，然后使其靜置過夜。約24小時后將小瓶放回手套箱，并從吸附劑BPAC-9分離4毫升TEPO，過濾通過0.45微米針頭式過濾器并經(jīng)受砷分析。結(jié)果顯示在經(jīng)過濾的試樣中砷含量為16.7ppb,從而將砷濃度降低了超過85%。實施例25使用吸附劑BPAC-9從TEPO中除去痕量砷使用16千克TEPO本實施例使用砷濃度為85.2ppb的粗制TEPO。將16千克TEPO轉(zhuǎn)移到含1.6千克BPAC-9吸附劑的兩個不銹鋼容器的每一個中，以提供10:1的TEPO對BPAC-9重量比。在真空下裝填容器并置于減壓的液面上空間下。通過在地板上滾動簡單地攪動容器以優(yōu)化TEPO與'J、球的接觸。裝填后笫三天(約72小時接觸時間)，對兩個容器取樣。從每個容器抽出含有約50毫升液體的安瓿。將兩個安瓿放入手套箱中，將4毫升的每個試樣過濾通過0.45微米過濾器。所述兩個容器的結(jié)果顯示第一個為2.378ppb,第二個為0.982ppb。在這種情況下，基本上從TEPO中除去了所有的砷，不幸的是所述TEPO的鉀和鈉都顯著增加。鉀分別增加到187ppb和161ppb,鈉增加到10.44和8.64ppb。在未處理原料中這兩種元素的典型水平少于lppb。實施例26使用BPAC-2和BPAC-4吸附劑純化含有高水平砷的TEPO在氮氣手套箱中操作，將18.0克TEPO和2.0克吸附劑BPAC-2順序放入50毫升的Pyrex瓶中。將18.0克TEPO和2.0克吸附劑BPAC-4放入第二Pyrex瓶中。如實施例1中所述，預(yù)先將吸附劑BPAC-2和BPAC-4活化。該TEPO預(yù)先通過ICP-MS分析含有超過10,000ppb的砷。使用由Teflon覆蓋的蓋子蓋住所述瓶，并通過旋動液體在一個小時期間周期性地攪動，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將所述瓶在環(huán)境溫度置于手套箱中3天，之后移出小等分試樣用于通過ICP-MS的砷分析。分析顯示，對于經(jīng)BPAC-2處理的TEPO,TEPO中的砷含量從超過10,000ppb的最初值降低到23ppb,而對于經(jīng)BPAC-4處理的TEPO降低到97ppb。這相應(yīng)于從經(jīng)BPAC-2和BPAC-4處理的試樣分別除去了99.8%和99.0%的砷。實施例27使用BPAC-2和BPAC-4吸附劑純化含有高水平砷的TEPO本實施例使用摻入了3,300ppb的作為TEASAT(砷酸三乙酯)的砷的TEPO。在氮氣手套箱中操作，將18.0克TEPO和2.0克吸附劑BPAC-2順序放入50毫升Pyrex瓶中。將18.0克TEPO和2.0克吸附劑BPAC-4放入第二Pyrex瓶中。如實施例1中所述，預(yù)先將吸附劑BPAC-2和BPAC-4活化。使用由Teflon覆蓋的蓋子蓋住所述并瓦，并通過旋動液體在一個小時期間周期性地攪動，以確保吸附劑小球被均勻地潤濕。將所述瓶在環(huán)境溫度置于手套箱中3天，之后移出小等分試樣用于通過ICP-MS的砷分析。分析顯示，對于經(jīng)BPAC-2處理的TEPO，TEPO中的砷含量降低到llppb,而對于經(jīng)BPAC-4處理的TEPO降低到20ppb。這相應(yīng)于從經(jīng)BPAC-2和BPAC-4處理的試樣分別除去了99.7%和99.4%的砷。以上列舉的本發(fā)明的實施方案，包括操作實施例，是可以由本發(fā)明構(gòu)成的許多實施方案的示例。已經(jīng)設(shè)想可以采用所迷方法的許多其它配置，并且所述方法中使用的材料可以從除明確公開的那些以外的許多材料中選擇。權(quán)利要求1.一種從具有含砷雜質(zhì)的粗制磷酸三乙酯中除去含砷雜質(zhì)的方法，包括提供與磷酸三乙酯相比選擇性吸附所述含砷雜質(zhì)的吸附劑；使所述具有含砷雜質(zhì)的粗制磷酸三乙酯與所述吸附劑接觸；和從所述具有含砷雜質(zhì)的粗制磷酸三乙酯吸附所述含砷雜質(zhì)，以產(chǎn)生具有減少的含砷雜質(zhì)的產(chǎn)品磷酸三乙酯。2.權(quán)利要求l的方法，其中所述吸附劑是含氧化鋁的吸附劑。3.權(quán)利要求2的方法，其中所述含氧化鋁的吸附劑是經(jīng)堿增強的含氧化鋁的吸附劑。4.權(quán)利要求3的方法，其中所述經(jīng)堿增強的含氧化鋁的吸附劑由下式表示ZxWy;其中x是所述吸附劑中Z的重量百分?jǐn)?shù)，范圍為30%-99.999%;y是所述吸附劑中W的重量百分?jǐn)?shù)，并且x+y=100%;Z選自由氧化鋁(A1203)、基于鎂-氧化鋁的分層的雙氫氧化物(MgO-Al203)、氧化鋁-沸石和它們的混合物組成的組；和W選自由至少一種堿性金屬氧化物、至少一種堿性金屬碳酸鹽和它們的混合物組成的組。5.權(quán)利要求4的方法，其中所述至少一種堿性金屬氧化物是至少一種堿性堿金屬氧化物，和所述至少一種堿性金屬碳酸鹽是至少一種堿性堿金屬碳酸鹽。6.權(quán)利要求4的方法，其中W選自由MgO、CaO、Na20、K20、K2C03、Na2C03和它們的混合物組成的組。7.權(quán)利要求1的方法，其中所述吸附劑包含離子交換樹脂或活性炭。8.權(quán)利要求1的方法，其中所迷接觸在0。C-140。C的溫度范圍實施。9.權(quán)利要求l的方法，其中所述接觸是靜態(tài)接觸。10.權(quán)利要求l的方法，其中所述接觸是動態(tài)接觸，包括使所述粗制的磷酸三乙酯通過用所述吸附劑填充的柱。11.權(quán)利要求l的方法，其中所述吸附劑在所述接觸前通過在真空下或在干燥惰性氣體氣氛下加熱而活化。12.權(quán)利要求l的方法，其中所述具有含砷雜質(zhì)的粗制磷酸三乙酯中的含砷雜質(zhì)在50ppb-10,000ppb的范圍，和所述具有減少的含砷雜質(zhì)的產(chǎn)品磷酸三乙酯中的所述減少的含砷雜質(zhì)少于10ppb。13.—種從具有含砷雜質(zhì)的粗制磷酸三乙酯中除去含砷雜質(zhì)的方法，包括提供與磷酸三乙酯相比選擇性吸附所述含砷雜質(zhì)的吸附劑；使所述具有含砷雜質(zhì)的粗制磷酸三乙酯與所述吸附劑接觸；和從所述具有含砷雜質(zhì)的粗制磷酸三乙酯中吸附所述含砷雜質(zhì)，以生產(chǎn)具有減少的含砷雜質(zhì)的產(chǎn)品磷酸三乙酯；和蒸鎦所述具有減少的含砷雜質(zhì)的產(chǎn)品磷酸三乙酯，從而從所述具有減少的含砷雜質(zhì)的產(chǎn)品磷酸三乙酯中進一步除去所述含砷雜質(zhì)。14.權(quán)利要求13的方法，其中所述吸附劑是含氧化鋁的吸附劑。15.權(quán)利要求14的方法，其中所述含氧化鋁的吸附劑是經(jīng)堿增強的含氧化鋁的吸附劑。16.權(quán)利要求15的方法，其中所述經(jīng)堿增強的含氧化鋁的吸附劑由下式表示ZxWy;其中x是所述吸附劑中Z的重量百分?jǐn)?shù)，范圍為30%-99.999%;y是所述吸附劑中W的重量百分?jǐn)?shù)，并且x+y-100o/o;Z選自由氧化鋁(A1203)、基于鎂-氧化鋁的分層的雙氫氧化物(MgO-Al203)、氧化鋁-沸石和它們的混合物組成的組；和W選自由至少一種堿性金屬氧化物、至少一種堿性金屬碳酸鹽和它們的混合物組成的組。17.權(quán)利要求16的方法，其中所述至少一種堿性金屬氧化物是至少一種堿性堿金屬氧化物，和所迷至少一種堿性金屬碳酸鹽是至少一種堿性堿金屬碳酸鹽。18.權(quán)利要求16的方法，其中W選自由CaO、MgO、Na20、K20、K2C03、Na2C03和它們的混合物組成的組。19.權(quán)利要求13的方法，其中所述吸附劑包含離子交換樹脂或活性炭。20.權(quán)利要求13的方法，其中所述接觸在0。C-140。C的溫度范圍實施。21.權(quán)利要求13的方法，其中所述接觸是靜態(tài)接觸。22.權(quán)利要求13的方法，其中所述接觸是動態(tài)接觸，包括使所述粗制的磷酸三乙酯通過用所述吸附劑填充的柱。23.權(quán)利要求13的方法，其中所述吸附劑在所述接觸前通過在真空下或在干燥惰性氣體氣氛下加熱而活化。24.權(quán)利要求13的方法，其中所述粗制磷酸三乙酯中的含砷雜質(zhì)在50ppb-10,000ppb的范圍，和所述蒸餾步驟后所述產(chǎn)品磷酸三乙酯中的含砷雜質(zhì)少于10ppb。25.—種從具有含砷雜質(zhì)的粗制磷酸三乙酯中除去含砷雜質(zhì)的方法，包括提供與磷酸三乙酯相比選擇性吸附所述含砷雜質(zhì)的吸附劑；使所述具有含砷雜質(zhì)的粗制磷酸三乙酯與所述吸附劑接觸；和從所述具有含砷雜質(zhì)的粗制磷酸三乙酯吸附所述含砷雜質(zhì)，以產(chǎn)生具有減少的含砷雜質(zhì)的產(chǎn)品磷酸三乙酯；和蒸餾所述具有減少的含砷雜質(zhì)的產(chǎn)品磷酸三乙酯，以進一步除去所述含砷雜質(zhì)，并從所述具有減少的含砷雜質(zhì)的產(chǎn)品磷酸三乙酯除去揮發(fā)性的有機副產(chǎn)物和非揮發(fā)性的殘余金屬雜質(zhì)。全文摘要本發(fā)明涉及從磷酸三乙酯(TEPO)中除去痕量砷雜質(zhì)。本發(fā)明公開了一種從粗制的磷酸三乙酯(TEPO)中除去痕量水平的含砷雜質(zhì)的方法。所述方法使用吸附，或吸附后閃蒸。所述方法包括使粗制的磷酸三乙酯(TEPO)與選擇性吸附粗制的磷酸三乙酯(TEPO)中的含砷雜質(zhì)的吸附劑接觸。所述吸附劑是含經(jīng)堿增強的氧化鋁的吸附劑，由下式表示Z_xW_y；其中x是吸附劑中Z的重量百分?jǐn)?shù)，范圍在30％-99.999％；y是吸附劑中W的重量百分?jǐn)?shù)，且x+y＝100％；Z選自由氧化鋁(Al₂O₃)、基于鎂-氧化鋁的分層的雙氫氧化物(MgO-Al₂O₃)、氧化鋁-沸石和它們的混合物組成的組；和W選自由至少一種堿性金屬氧化物、至少一種堿性金屬碳酸鹽和它們的混合物組成的組。所述方法將得到含砷雜質(zhì)為少許ppb至少于1ppb的最終磷酸三乙酯(TEPO)。文檔編號C07F9/11GK101633670SQ20091016091公開日2010年1月27日申請日期2009年7月24日優(yōu)先權(quán)日2008年7月25日發(fā)明者H·R·博文,K·A·錢德勒,S·G·馬約加申請人:氣體產(chǎn)品與化學(xué)公司