專利名稱：：有機(jī)膦穩(wěn)定的2-?；?1,3-茚二酮銀配合物、其制備方法及其應(yīng)用的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及金屬有機(jī)配合物、其制備方法，具體地說(shuō)是涉及有機(jī)膦穩(wěn)定的含多種取代基的2-?；?1，3_茚二酮銀配合物、其制備方法及其在制備銀薄膜材料方面的應(yīng)用。二
背景技術(shù)：
：對(duì)于產(chǎn)品文獻(xiàn)上尚無(wú)報(bào)導(dǎo)，所合成的是一種新的有機(jī)膦穩(wěn)定的2-?；?l，3-茚二酮銀配合物。對(duì)于方法，目前合成這些配合物一般要在無(wú)水無(wú)氧條件下進(jìn)行。對(duì)于應(yīng)用，所合成的2-?；?1，3-茚二酮銀配合物是一種新的配合物，所以還沒(méi)有以它作為前驅(qū)物來(lái)生長(zhǎng)金屬薄膜材料方面的報(bào)道。金屬銀是所有金屬中導(dǎo)電性最好的一種金屬(電阻率1.59iiQ'cm)，所以它也是一種非常有前景的應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路的互連材料，采用銀作為互連材料比采用銅作為互連材料在傳輸延遲性能方面有7%的改進(jìn)，因此YosiShacham-Diamand等人提出了Ag互連技術(shù)。以銀為導(dǎo)線的器件可承受比銅為導(dǎo)線器件更密集的電路排列，還可以進(jìn)一步減少所需金屬層的數(shù)目。這一新型的金屬互連技術(shù)的應(yīng)用將進(jìn)一步改善互連性能，并將極大推動(dòng)今后互連技術(shù)的發(fā)展。([l]KodasT.T.，Hampden-SmithM.J.，TheChemistryofMetalCVD，VCH，Weinheim，1994;[2]黃浩，魏良，唐電，半導(dǎo)體金屬互連集成技術(shù)的進(jìn)展與趨勢(shì)，金屬熱處理，2004，29(8):26-31;[3]YosiShachamDiamand，AlexandraInbern，IelenaSverdlov，etal.，J.ElectrochemicalSoc.，2000，147(9):3345-3349)金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(M0CVD)是一種非常有效的制備高質(zhì)量的金屬薄膜技術(shù)。因?yàn)樗诙鄬拥慕饘倩Y(jié)構(gòu)中具有較快的沉積速率、較好的臺(tái)階覆蓋性和較高的縱橫比。銀薄膜的M0CVD生長(zhǎng)主要的是研究開(kāi)發(fā)出更多、更合適的前驅(qū)物，對(duì)各種沉積反應(yīng)條件的研究與優(yōu)化，以及對(duì)沉積反應(yīng)的過(guò)程、機(jī)理、反應(yīng)動(dòng)力學(xué)模型和反應(yīng)控制的深入研究等。然而，用M0CVD法生長(zhǎng)薄膜材料的關(guān)鍵是要尋找合適的金屬有機(jī)配合物作為前驅(qū)體。銀的前驅(qū)體大至文分為如下幾類LAg00CR、LAg(Cyclopentadienyl)、LnAg(P-diketonate)、AgX。LAg(Cyclopentadienyl)例如，Voorhoeve等([l]KodasT.T.，Hampden-SmithM.J.，TheChemistryofMetalCVD，VCH，Weinheim，1994)報(bào)道了用銀的氟化物為前驅(qū)體制備銀膜，具體的反應(yīng)方程Silvercarboxylates式如下<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>此反應(yīng)需要很高的反應(yīng)溫度(600°C)，另外，因?yàn)楣枰r底會(huì)參與反應(yīng)，所以會(huì)對(duì)襯底有一定的腐蝕性。Beach等([l]KodasT.T.，Hampden-SmithM.J.，TheChemistryofMetalCVD，VCH，Weinheim，1994)用環(huán)戊二烯和有機(jī)膦為配體合成了一系列的有機(jī)銀配合物，并申請(qǐng)了專利。R=CH3，C2H5，C6HSR=^KOCH3<^J^CH3對(duì)于M0CVD前驅(qū)體的物理與化學(xué)性質(zhì)有著嚴(yán)格的要求，其中一個(gè)主要的挑戰(zhàn)來(lái)自于如何合成合適的前驅(qū)物。一個(gè)合適的前驅(qū)體，應(yīng)該具備以下幾個(gè)條件(l)室溫下穩(wěn)定。(2)合適的揮發(fā)性MOCVD薄膜的生長(zhǎng)需要有一種易于操作的前驅(qū)物，如液態(tài)或者固態(tài)，它在20(TC以下要有足夠的揮發(fā)性以獲得其蒸汽。(3)適當(dāng)?shù)姆磻?yīng)性前驅(qū)物能夠在基材表面發(fā)生反應(yīng)，但反應(yīng)活性不能太強(qiáng)，不至于在通往反應(yīng)室的管道中就分解。(4)很高的純度薄膜的純度對(duì)材料的性能有非常大的影響，薄膜要求非常地清潔，不含污染物。為了達(dá)到這個(gè)要求，所有的雜質(zhì)都必須嚴(yán)格控制，排除在反應(yīng)室之外。(5)較小的環(huán)境影響環(huán)境問(wèn)題在當(dāng)今時(shí)代變的日益重要，所以，前驅(qū)物盡可能是無(wú)毒或是低毒的，殘留物最好能夠回收或者易于后處理。(6)合適的成本為了能夠應(yīng)用于工業(yè)化生產(chǎn)，前驅(qū)體最好能夠大量合成，至少是以千克計(jì)，并且采用盡可能簡(jiǎn)單的合成步驟。([4]J.Rickerby，J.H.G.Steinke，CurrentTrendsinPatterningwithCopper,Chem.Rev.，2002，102:1525-1549)人們?yōu)榱藢ふ业胶线m的前驅(qū)體，近年來(lái)不斷有一些新的Ag配合物陸續(xù)報(bào)道如以希夫堿和有機(jī)膦為配體的銀配合物。([5]ThomasHaase，ThomasHaase'sdoctorthesis,TechnischeUniversitStChemnitz,2004)
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種對(duì)襯底的污染小、合成方法簡(jiǎn)便，工藝操作簡(jiǎn)單，產(chǎn)率高，成本低的有機(jī)膦穩(wěn)定的含多種取代基的2-?；?1，3-茚二酮銀配合物及其合成方法與在制備銀薄膜材料方面的應(yīng)用。本發(fā)明的有機(jī)膦穩(wěn)定的2-?；?l，3-茚二酮銀配合物用下述通式表示4\(PR'3),其中n=1、2或3R'=0CH3、0CH2CH3、CH3、C2H5、i_Pr、n_Bu、t_Bu、Cy或Ph作為一種優(yōu)化方式，上述的R為CH30、CH3、C2H5?！N制備有機(jī)膦穩(wěn)定的2-?；?1，3-茚二酮銀配合物的方法，其特征在于其步驟如下(1)、制備2-?；?1，3-茚二酮銀在惰性氣體保護(hù)下，將2-?；?1，3-茚二酮和三乙胺加入醇類溶劑至溶清；在0°C_401:溫度且避光條件下，向上述清液滴加用乙腈/乙醇混合溶劑溶清的硝酸銀，滴加后攪拌23小時(shí)；過(guò)濾得白色固體，用乙醇、乙醚分別洗兩遍，抽干溶劑后固體為類白色，所得的固體為2-?；?l，3-茚二酮銀；上述2-?；?l，3-茚二酮、三乙胺、硝酸銀反應(yīng)過(guò)程中摩爾比為i:i:i;反應(yīng)方程式如下(2)、有機(jī)膦穩(wěn)定的2-?；?1，3-茚二酮銀配合物的合成方法將2-?；鵢1，3_茚二酮銀和有機(jī)膦配體[購(gòu)置]的混合物置于無(wú)水有機(jī)溶劑中進(jìn)行攪拌；在(TC-4(TC下攪拌反應(yīng)4小時(shí)以上；反應(yīng)結(jié)束后，過(guò)濾得澄清溶液，用油泵將溶劑抽干，即得到配合物；2-酰基-i，3-茚二酮銀和有機(jī)膦配體反應(yīng)過(guò)程中摩爾比為i:ii:3且制備過(guò)程在惰性氣氛且避光條件下進(jìn)行。上述的醇類溶劑可以為甲醇，乙醇等。上述的乙腈/乙醇混合溶劑能溶清硝酸銀即可，沒(méi)有指定比例。上述的惰性氣體是氮?dú)?，氬氣等，無(wú)水有機(jī)溶劑為二氯甲烷或氯仿或l，2-二氯乙烷。上述得到的配合物用核磁、紅外、質(zhì)譜、元素分析等檢測(cè)手段對(duì)其進(jìn)行了表征，證明是我們預(yù)期的化合物。上述2-?；?l，3-茚二酮銀配合物作為前驅(qū)體利用金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(M0CVD)手段制備了銀薄膜材料，具體操作參見(jiàn)文獻(xiàn)(J.Rickerby，J.H.G.Steinke，CurrentTrendsinPatterningwithCopper,Chem.Rev.，2002，102:1525-1549)掃描電鏡是利用靜止的或在樣品表面做光柵掃描的一束精細(xì)聚焦的電子束，轟擊5樣品表面產(chǎn)生各種信號(hào)(二次電子、背散射電子、俄歇電子、特征X射線及不同能量的光子等)，利用電磁透鏡系統(tǒng)成像，對(duì)固體材料進(jìn)行分析的儀器。廣泛應(yīng)用于生物、地質(zhì)、固體物理、電子及材料等科學(xué)領(lǐng)域。這些實(shí)驗(yàn)是用于分析在化學(xué)汽相沉積實(shí)驗(yàn)中各種前驅(qū)體的成膜效果以及薄膜的表面形貌。以配合物(CH30)3PAgCnH703為例，從圖1可以分析出，利用金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(M0CVD)手段制備得到的薄膜表面形貌很好，說(shuō)明這一系列配合物可以作為前驅(qū)物用于制備銀薄膜材料。<table>tableseeoriginaldocumentpage6</column></row><table>有益效果1、對(duì)于產(chǎn)品文獻(xiàn)上尚無(wú)報(bào)導(dǎo)，所合成的是一種新的有機(jī)膦穩(wěn)定的2-酰基-l，3-茚二酮銀配合物。2、對(duì)于方法目前合成這些配合物一般要在無(wú)水無(wú)氧條件下進(jìn)行。3、對(duì)于應(yīng)用所合成的2_?；?1，3_茚二酮銀配合物是一種新的配合物，所以還沒(méi)有以它作為前驅(qū)物來(lái)生長(zhǎng)金屬薄膜材料方面的報(bào)道。4、本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下顯著優(yōu)點(diǎn)(1)本發(fā)明的有機(jī)膦穩(wěn)定的2-?；?1，3-茚二酮銀配合物具有較好的穩(wěn)定性和較低的分解溫度，分解產(chǎn)物都為氣態(tài)，且對(duì)襯底的污染小，所以可以作為前驅(qū)物用化學(xué)氣相沉積等方法來(lái)生長(zhǎng)銀薄膜材料。(2)合成方法簡(jiǎn)便，工藝操作單，產(chǎn)率高，成本低。四圖1是銀薄膜的SEM2實(shí)施例3配合物的氫譜3實(shí)施例4配合物的氫譜4實(shí)施例5配合物的氫譜5實(shí)施例6配合物的氫譜6實(shí)施例7配合物的氫譜7實(shí)施例8配合物的氫譜8為實(shí)施例3配合物的碳譜9為實(shí)施例4配合物的碳譜10為實(shí)施例5配合物的碳譜11為實(shí)施例6配合物的碳譜12為實(shí)施例7配合物的碳譜13為實(shí)施例8配合物的碳譜圖五具體實(shí)施例方式實(shí)施例1.2-?；?l，3-茚二酮的合成取一個(gè)500ml的三口燒瓶，接上氮?dú)獗Ｗo(hù)管，抽換氣三次，加入鈉(7.4680g，0.32mol)，抽換氣兩次，N2下加入C2H50H(14.9607g，0.32mol)，干燥的甲苯(20ml)和苯(250ml)，常溫?cái)嚢鑜h，升溫至7(TC，攪拌4h，至鈉基本反應(yīng)完，冷至室溫，緩慢加入鄰苯二甲酸二甲酉旨(72.1604g，0.32mol)與丙酮(18.8583g，0.32mol)的混合物，升溫至85°C，攪拌20h，懸蒸除去溶劑得到黃色固體，加入到1.5L蒸餾水中，靜置過(guò)夜，分液除去下層油狀物，上層清夜用鹽酸酸化至ra=3-4，產(chǎn)生黃色固體，靜置24h，過(guò)濾，得黃色固體，干燥，用水和甲醇重結(jié)晶，得到亮黃色固體，11.43g，產(chǎn)率18.7%。Mp.:109ll(TC，熔點(diǎn)與文獻(xiàn)值一致(ErculesE.S.Teotonio，HermiF.Brito，HansViertler，etal.，Polyhedron,2006，25:3488-3494)。實(shí)施例2.2-?；?l，3-茚二酮銀的合成取一個(gè)100ml的三口燒瓶，接上氮?dú)獗Ｗo(hù)管，抽換氣三次，三口燒瓶用錫箔紙包起來(lái)，避光，N2下加入AgN03(l.0110g，5.95mmol)，CH30H(15ml)，CH3CN(0.2443g，5.95mmol)，(TC下攪拌20min，溶清，為無(wú)色透明溶液，設(shè)為溶液A。取一個(gè)50ml的三口燒瓶，插上氮?dú)獗Ｗo(hù)管，抽換氣三次，N2下加入2_?；鵢1，3_茚二酮(1.1200g，5.95,1)，CH30H(10ml)，(C2H5)3N(0.6022g，5.95mmol)，常溫?cái)嚢鑜Omin，溶清，為紅色溶液。N2下將次溶液加入到A中，立即產(chǎn)生黃色沉淀，冰浴攪拌2h，用砂芯漏斗過(guò)濾，甲醇洗2次，固體轉(zhuǎn)移至一支schlenk管中，室溫下真空干燥12h。得到1.31g(75%)。避光，低溫保存。實(shí)施例3.Ph3PAgCnH703的合成在N2氣氛下，將溶于20mL二氯甲烷的0.2048g(0.78mmol)三苯基膦無(wú)色澄清液，滴加到溶于lOmL二氯甲烷的0.2304g(0.78mmol)2-?；?1，3-茚二酮銀懸浮液中，(TC下攪拌1小時(shí)得黃色澄清液，在氮?dú)獗Ｗo(hù)下過(guò)濾，用油泵抽去溶劑，得淡黃色固體0.43g，即配合物。產(chǎn)率98%。Mp.:202203°Cdec.Anal,calcd.ForC29H2203AgP:C，62.49;H，3.98.Found:C，62.64;H，3.87H醒R(CDCl3):S2.6(s，3H，CH3_H)，7.47.6(m，19H，Ph_H)13C{H}NMR(CDC13):S28.5(CH3)，109.4(C)，120.7(C6H4)，129.3(JPC=10.7Hz，C6H5)，130.4(JPC=38.9Hz，C6H5)，131.2(JPC=1.97Hz，C6H5)，132.1(C6H4)，134.1(JPC=16.5Hz，C6H5)，196.1(C=0).IR(KBr)data(cm—0:3444(w)，3053(m)，1765(w)，1670(m)，1625(s)，1589(s)，1508(m)，1479(m)，1435(s)，1357(m)，1096(m)，882(m)，733(s)，693(s)，524(s)，506(m).實(shí)施例4.(Ph3P)2AgCnH703的合成在N2氣氛下，將溶于20mL二氯甲烷的0.3704g(l.41mmol)三苯基膦無(wú)色澄清液，滴加到溶于lOmL二氯甲烷的0.2083g(0.71mmol)2-?；?1，3-茚二酮銀懸浮液中，(TC下攪拌1小時(shí)得黃色澄清液，在氮?dú)獗Ｗo(hù)下過(guò)濾，用油泵抽去溶劑，得淡黃色固體0.57g，即配合物。產(chǎn)率98%。Mp.:219220°Cdec.Anal,calcd.forC47H3703AgP2:C，68.87;H，4.55.Found:C，68.43;H，4.45H醒R(CDCl3):S2.4(s，3H，CH3_H)，7.27.4(m，34H，Ph_H)13C{H}NMR(CDC13):S29.0(CH3)，109.5(C)，120.0(C6H4)，128.7(JPC=9.6Hz，C6H5)，130.2(C6H5)，131.4(C6H4)，132.7(JPC=26.6Hz，C6H5)，134.1(JPC=16.7Hz，C6H5)，194.8(C=0).IR(KBr)data(cm—1):3447(w)，3050(m)，1760(w)，1670(m)，1625(s)，1590(s)，1520(m)，1479(m)，1434(s)，1363(m)，1095(m)，880(m)，744(m)，694(s)，513(m).實(shí)施例5.(CH30)3PAgCnH703的合成在N2氣氛下，將溶于20mL二氯甲烷的0.1412g(l.14mmol)P(0CH3)3無(wú)色澄清液，滴加到溶于lOmL二氯甲烷的0.3358g(l.14mmol)2-酰基-1，3-茚二酮銀懸浮液中，(TC下攪拌1小時(shí)得黃色澄清液，在氮?dú)獗Ｗo(hù)下過(guò)濾，用油泵抽去溶劑，得淡黃色液體O.46g，即配合物。產(chǎn)率97%。Anal,calcd.forC14H1606AgP:C，40.12;H，3.85.Found:C，40.01;H，3.88HNMR(CDC13):S2.5(s，3H，CH3_H)，3.7(d，9H，CH30_H，Jra=13.5Hz)，7.47.5(m，4H，Ph-H).13C{H}NMR(CDC13):S27.7(CH3)，51.3(JPC=4.3Hz，CH3/CH30-)，108.8(C)，120.1(C6H4)，131.8(C6H4)，137.6(C6H4)，139.1(C6H4)，192.2(C=0)，194.9(C=0)IR(KBr)data(cm—0:3481(w)，2951(m)，2842(m)，1766(w)，1676(m)，1626(s)，1589(s)，1505(m)，1440(s)，1354(m)，1341(m)，1185(m)，1150(m)，1015(s)，883(m)，796(s)，766(s)，732(s)，529(s).實(shí)施例6.[(CH30)3P]2AgCuH703的合成在N2氣氛下，將溶于20mL二氯甲烷的0.1898g(l.53mmol)P(0CH3)3無(wú)色澄清液，滴加到溶于lOmL二氯甲烷的0.2258g(0.76mmol)2-?；?1，3-茚二酮銀懸浮液中，(TC下攪拌1小時(shí)得黃色澄清液，在氮?dú)獗Ｗo(hù)下過(guò)濾，用油泵抽去溶劑，得淡黃色液體O.40g，即配合物。產(chǎn)率96%。Anal,calcd.forC17H2509AgP2:C，37.59;H，4.64.Found:C，37.09;H，4.34.^NMR(CDC13):S2.5(s，3H，CH3_H)，3.6(d，18H，CH30_H，Jra=12.9Hz)，7.47.5(m，4H，Ph-H).13C{H}NMR(CDC13):S28.2(CH3)，50.6(JPC=5.OHz，CH3/CH30-)，108.6(C)，119.7(C6H4)，131.4(C6H4)，138.6(C6H4)，193.l(C=0)，194.4(C=0)IR(KBr)data(cm—0:3473(w)，2950(m)，2842(m)，1764(w)，1673(s)，1625(s)，1589(s)，1520(m)，1428(m)，1353(m)，1341(m)，1185(m)，1150(m)，1012(s)，881(m)，791(s)，754(s)，734(s)，528(s).實(shí)施例7.(C2H50)3PAgCuH703的合成在N2氣氛下，將溶于20mL二氯甲烷的0.1680g(1.Olmmol)P(OC2H5)3無(wú)色澄清液，滴加到溶于10mL二氯甲烷的0.2983g(l.01,1)2-?；鵢1，3_茚二酮銀懸浮液中，(TC下攪拌1小時(shí)得黃色澄清液，在氮?dú)獗Ｗo(hù)下過(guò)濾，用油泵抽去溶劑，得淡黃色固體O.46g，即配合物。產(chǎn)率98%。Anal,calcd.forC17H2206AgP:C，44.27;H，4.81.Found:C，44.55;H，4.45HNMR(CDC13):Sl.3(t，9H，CH3/CH3CH20_，J朋=7.OHz)，2.5(s，3H，CH3_H)，4.04.1(m，6H，CH2/CH3CH20_)，7.47.5(m，4H，Ph_H).13C{H}NMR(CDC13):S16.0(JPC=6.7Hz，CH3/CH3CH20_)，27.9(CH3)，61.0(JPC=5.OHz，CH2/CH3CH20_)，108.8(C)，120.1(C6H4)，131.6(C6H4)，137.6(C6H4)，139.2(C6H4)，192.4(C=0)，194.5(C=0)，195.1(C=0).IR(KBr)data(cm—1):3479(w)，2981(s)，2934(m)，2903(m)，1765(w)，1678(s)，1626(s)，1589(s)，1505(m)，1435(s)，1340(m)，1150(m)，1096(m)，1014(s)，948(s)，882(m)，790(s)，732(s)，530(m).實(shí)施例8.[(C2H50)3P]2AgCnH703的合成在N2氣氛下，將溶于20mL二氯甲烷的0.2585g(1.56mmol)P(OC2H5)3無(wú)色澄清液，滴加到溶于10mL二氯甲烷的0.2295g(0.78mmol)2-?；鵢1，3_茚二酮銀懸浮液中，(TC下攪拌1小時(shí)得黃色澄清液，在氮?dú)獗Ｗo(hù)下過(guò)濾，用油泵抽去溶劑，得淡黃色固體O.48g，即配合物。產(chǎn)率98%。Anal,calcd.forC23H3709AgP2:C，44.03;H，5.94.Found:C，43.95;H，5.81HNMR(CDC13):Sl.3(t，18H，CH3/CH3CH20_，JHH=7.OHz)，2.5(s，3H，CH3_H)，4.O(m，12H，CH2/CH3CH20_)，7.47.5(m，4H，Ph_H).13C{H}NMR(CDC13):S16.0(JPC=6.lHz，CH3/CH3CH20_)，28.0(CH3)，60.2(JPC=5.9Hz，CH2/CH3CH20_)，108.5(C)，119.7(C6H4)，131.4(C6H4)，138.4(C6H4)，194.4(C=0)IR(KBr)data(cm—0:3490(w)，2981(s)，2934(m)，2902(m)，1763(w)，1675(s)，1627(s)，1590(s)，1522(m)，1432(s)，1353(m)，1161(m)，1020(s)，943(s)，881(m)，774(s)，734(s)，529(m).實(shí)施例9.[(CH3)3P]2AgCuH703的合成在N2氣氛下，將溶于20mL二氯甲烷的0.1187g(1.56mmol)P(CH3)3無(wú)色澄清液，滴加到溶于lOmL二氯甲烷的0.2295g(0.78mmol)2-?；?1，3-茚二酮銀懸浮液中，(TC下攪拌l小時(shí)得黃色澄清液，在氮?dú)獗Ｗo(hù)下過(guò)濾，用油泵抽去溶劑，得淡黃色固體O.34g，即配合物。產(chǎn)率98%。實(shí)施例10.[(C2H5)3P]2AgCnH703的合成在N2氣氛下，將溶于20mL二氯甲烷的0.1843g(1.56mmol)P(C2H5)3無(wú)色澄清液，滴加到溶于lOmL二氯甲烷的0.2295g(0.78mmol)2-?；?1，3-茚二酮銀懸浮液中，(TC下攪拌1小時(shí)得黃色澄清液，在氮?dú)獗Ｗo(hù)下過(guò)濾，用油泵抽去溶劑，得淡黃色固體O.40g，即配合物。產(chǎn)率96%。實(shí)施例11.[(C3H7)3P]2AgCnH703的合成在N2氣氛下，將溶于20mL二氯甲烷的0.2500g(l.56mmol)P(C3H7)3無(wú)色澄清液，滴加到溶于lOmL二氯甲烷的0.2295g(0.78mmol)2-?；?1，3-茚二酮銀懸浮液中，(TC下攪拌1小時(shí)得黃色澄清液，在氮?dú)獗Ｗo(hù)下過(guò)濾，用油泵抽去溶劑，得淡黃色固體O.45g，即配合物。產(chǎn)率94%。實(shí)施例12.[(C4H9)3P]2AgCnH703的合成在N2氣氛下，將溶于20mL二氯甲烷的0.3156g(l.56mmol)P(C4H9)3無(wú)色澄清液，滴加到溶于lOmL二氯甲烷的0.2295g(0.78mmol)2-?；?1，3-茚二酮銀懸浮液中，(TC下攪拌1小時(shí)得黃色澄清液，在氮?dú)獗Ｗo(hù)下過(guò)濾，用油泵抽去溶劑，得淡黃色固體0.53g，即配合物。產(chǎn)率97%。實(shí)施例13.[PCy3]2'AgCnH703的合成在N2氣氛下，將溶于20mL二氯甲烷的0.3718g(l.56mmol)PCy3無(wú)色澄清液，滴加到溶于10mL二氯甲烷的0.2295g(0.78mmol)2-酰基-1，3-茚二酮銀懸浮液中，(TC下攪拌1小時(shí)得黃色澄清液，在氮?dú)獗Ｗo(hù)下過(guò)濾，用油泵抽去溶劑，得淡黃色固體O.59g，即配合物。產(chǎn)率98%。實(shí)施例14.[Ph3P]3AgCnH703的合成在N2氣氛下，將溶于20mL二氯甲烷的0.6144g(2.34mmol)三苯基膦無(wú)色澄清液，滴加到溶于lOmL二氯甲烷的0.2304g(0.78mmol)2-酰基-1，3-茚二酮銀懸浮液中，(TC下攪拌1小時(shí)得黃色澄清液，在氮?dú)獗Ｗo(hù)下過(guò)濾，用油泵抽去溶劑，得淡黃色固體O.83g，即配合物。產(chǎn)率98%。實(shí)施例15.分別用實(shí)施例3-14制備的配合物作為前驅(qū)體，用化學(xué)氣相沉積的方法([4]J.Rickerby，J.H.G.Steinke，CurrentTrendsinPatterningwithCopper,Chem.Rev.，2002,102:1525-1549)來(lái)生長(zhǎng)銀薄膜材料。在以下最適宜的條件下基底Si，Si02;載氣:N2，Ar氣，前驅(qū)體的氣化溫度150300°C，生長(zhǎng)溫度300500°C;載氣的流量為2550sccm，實(shí)施例3-14制備的配合物均能成功的沉積出高質(zhì)量的銀薄膜。其中，薄膜呈現(xiàn)好的形貌特征(如圖1)。權(quán)利要求一種有機(jī)膦穩(wěn)定的2-酰基-1，3-茚二酮銀配合物，其特征在于用下述通式表示其中n＝1、2或3R′＝OCH3、OCH2CH3、CH3、C2H5、i-Pr、n-Bu、t-Bu、Cy或Ph。F2009102645749C00011.tif2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)膦穩(wěn)定的2-?；?l，3-茚二酮銀配合物，其特征在于所述的R—為(^30、(^3或(:2115。3.—種制備有機(jī)膦穩(wěn)定的2-?；?l，3-茚二酮銀配合物的方法，其特征在于步驟如下(1)、制備2-?；?1，3-茚二酮銀在惰性氣體保護(hù)下，將2-?；?1，3-茚二酮和三乙胺加入醇類溶劑至溶清；在0°C_401:溫度且避光條件下，向上述清液滴加用乙腈/乙醇混合溶劑溶清的硝酸銀，滴加后攪拌23小時(shí)；過(guò)濾得白色固體，用乙醇、乙醚分別洗兩遍，抽干溶劑后固體為類白色，所得的固體為2-?；?l，3-茚二酮銀；上述2-?；?l，3-茚二酮、三乙胺、硝酸銀反應(yīng)過(guò)程中摩爾比為1:1:1;(2)、將2-?；?1，3-茚二酮銀和有機(jī)膦配體的混合物置于無(wú)水有機(jī)溶劑中進(jìn)行攪拌；在0°C_401:下攪拌反應(yīng)4小時(shí)以上；反應(yīng)結(jié)束后，過(guò)濾得澄清溶液，抽干溶劑，即得到配合物；2-酰基-l，3-茚二酮銀和有機(jī)膦配體反應(yīng)過(guò)程中摩爾比為l:11:3且制備過(guò)程在惰性氣氛且避光條件下進(jìn)行。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述制備有機(jī)膦穩(wěn)定的2-酰基-1，3-茚二酮銀配合物的方法，其特征在于所述的惰性氣氛為氮?dú)狻?.根據(jù)權(quán)利要求3所述制備有機(jī)膦穩(wěn)定的2-?；?1，3-茚二酮銀配合物的方法，其特征在于所述的無(wú)水有機(jī)溶劑為二氯甲烷或氯仿或1，2-二氯乙烷。6.—種有機(jī)膦穩(wěn)定的2-?；?1，3-茚二酮銀配合物在制備銀薄膜材料方面的應(yīng)用。(PR'3),全文摘要本發(fā)明公開(kāi)了一種有機(jī)膦穩(wěn)定的2-?；?1，3-茚二酮銀配合物、其制備方法及其在制備銀薄膜方面的應(yīng)用，涉及金屬有機(jī)配合物及其合成方法。該2-?；?1，3-茚二酮銀配合物用下述通式表示。該配合物具有穩(wěn)定性好，分解溫度低，合成簡(jiǎn)單，操作方便，產(chǎn)率高，成本低等優(yōu)點(diǎn)，可用來(lái)制作銀薄膜材料。文檔編號(hào)C07F9/142GK101775041SQ20091026457公開(kāi)日2010年7月14日申請(qǐng)日期2009年12月28日優(yōu)先權(quán)日2009年12月28日發(fā)明者徐慧華,李月琴,杜芳黎,沈應(yīng)中,王寧,陶弦申請(qǐng)人:南京航空航天大學(xué)