專利名稱：一種水基顯影光敏聚酰亞胺材料的制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于水基顯影光敏聚酰亞胺材料的制備方法。
背景技術(shù)：
聚酰亞胺以做LSI的緩沖涂層(Buffer Coat)膜材料為契機(jī)，確立了在電子領(lǐng)域的地位。緩沖涂層膜除屏蔽d射線的作用外，在樹脂灌封和導(dǎo)線架安裝的封裝工序還對LSI芯片所受熱和機(jī)械沖擊起保護(hù)作用。LSI的芯片在制成單片后，用膠粘劑將其裝入引線架上，這時(shí)要經(jīng)受300℃、30MPa的條件。這里使用的膠粘劑多為聚酰亞胺。封裝樹脂一般經(jīng)注射成型，這時(shí)的加工條件是180℃，300MPa。這就要求緩沖涂層能夠承受這種熱和機(jī)械沖擊，到目前為止還沒有使用聚酰亞胺以外的其它樹脂的報(bào)導(dǎo)。
緩沖涂層膜在硅片形成后覆蓋硅片的全部表面，要采用蝕刻法制成使電極部分露出的布線圖。蝕刻液是水合肼，由于這種蝕刻是等方性的，得不到解像度，在緩沖涂層上要形成耐堿的光刻膠作為掩膜，蝕刻后再清洗掉，工藝比較復(fù)雜。在光敏性聚酰亞胺樹脂應(yīng)用以后，使加工工序大大簡化，目前作為緩沖涂層幾乎全部使用光敏性聚酰亞胺。
光敏性聚酰亞胺和光刻膠一樣分為光敏部分留下的負(fù)型(交聯(lián)型)和光敏部分溶解掉的正型(極性變化型)。早期開發(fā)的負(fù)型光敏性聚酰亞胺有以聚酰胺酸酯形式將交聯(lián)劑引入的共價(jià)鍵型和以聚酰胺酸鹽形式引入交聯(lián)劑的離子型。一般共價(jià)型比離子型有更好的解像度，但亞胺化時(shí)要求在一定氧濃度的氣氛下進(jìn)行。負(fù)型光敏聚酰亞胺的生產(chǎn)主要集中在日美幾家公司，如日本東麗、美國杜邦等。正型光敏性聚酰亞胺在80年代末首次報(bào)導(dǎo)，正型光敏性聚酰亞胺的設(shè)計(jì)要比負(fù)型困難得多。隨著LSI的集成度和速度的提高，電極的間隔變窄，這就要求光敏性聚酰亞胺有更高的解像度。負(fù)型的光敏聚酰亞胺的顯影液是有機(jī)溶劑，在環(huán)境方面存在某些問題?，F(xiàn)在開發(fā)的正型比負(fù)型解像度有大幅度提高，顯影液也采用和一般光刻膠相同的環(huán)保型氫氧化四甲銨水溶液，今后正型光敏性聚酰亞胺將逐漸成為緩沖涂層的主流。
題目為“A novel photosensitive polyimidea polyimidecontaining the hydroxytriphenyamine structure withdiazonaphthoquinone(Satoshi Akimoto et al.High Perform.Polym.12(2000)177-184)的文獻(xiàn)中，作者將含有六氟的二酐作為結(jié)構(gòu)單體合成光敏聚酰亞胺來制備水基顯影光刻膠，薄膜在堿性顯影時(shí)容易脫落。
在題目為“Positive-type photosensitive polyimide precursorcomposition”(Masao Tomikawa et el.專利號為US6524764B1)的文獻(xiàn)中，作者用二酐和二胺直接聚合成聚酰胺酸，再用化學(xué)亞胺化法部分亞胺化，這樣不利于控制亞胺化程度，膠液穩(wěn)定性差。
在題為“含2，4-二硝基-1-萘酚的正性光刻膠組合物”的中國專利CN1227637A中，使用的是酚醛樹脂，盡管感光度很高但耐熱性很差。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種水基顯影光敏聚酰亞胺材料的制備方法。
本發(fā)明采用芳香二酯二酰氯同3，5-二胺基苯甲酸、4，4’-二胺基3，3’-二羥基二苯甲烷以及4，4’-二胺基3，3’-二羥基二苯砜等單體聚合，生成聚酰亞胺預(yù)聚物--聚酰胺酸酯，特性粘度在0.35-0.50范圍內(nèi)，加入2-重氮萘醌衍生物(NQD)為光敏劑，使之成為具有很高的感光性能和很好的成膜性以及耐熱性能的光敏材料。
曝光原理就是將含有2-重氮萘醌衍生物的聚酰亞胺光刻膠在365nm(i線)～436nm(g線)紫外光下曝光，2-重氮萘醌衍生物(NQD)分解為茚酸類衍生物，這類衍生物可以溶于氫氧化四甲胺等堿性水溶液中，這樣，曝光部分能溶于上述弱堿中，未曝光的部分在上述弱堿中不溶解，形成正膠圖形。
本發(fā)明合成的水基顯影光敏聚酰亞胺具有下列結(jié)構(gòu) 其中Ar1＝芳香族二胺A殘基，Ar2＝芳香族二胺B殘基，Ar3＝芳香族二酐殘基，n，m均為大于15的整數(shù)；本發(fā)明采用下列組份合成水性顯影光敏聚酰亞胺光刻膠(1)二酐4，4’-(六氟異丙撐基)二苯甲酸酐(6FDA)、3，3’，4，4’-二苯酮四酸二酐(BTDA)、3，3’，4，4’-聯(lián)苯四酸二酐(BPDA)、3，3’，4，4’-三苯二醚四酸二酐(HQDPA)、3，3’，4，4’-二苯醚四酸二酐(ODPA)或均苯四酸二酐(PMDA)其中的一種或二種；(2)芳香族二胺A2，2-(3，3’-二羥基4，4’-二氨基)二苯基丙烷(HDMMDA)、3，3’-二羥基4，4’-二氨基聯(lián)苯(HOTOL)、3，3’-二羥基4，4’-二氨基二苯砜(HDDS)，3，5-二胺基苯甲酸(3，5-DABA)，2，4-二氨基苯酚或2，2-(3，3’-二羥基4，4’-二氨基)二苯基六氟代丙烷(HD6FDA)；(3)芳香族二胺B醚二胺(ODA)，2，2-(4，4’-二氨基)二苯基丙烷(DMMDA)，4，4’-二氨基聯(lián)苯(OTOL)，4，4’-二氨基二苯砜(4，4’-DDS)，3，3’-二氨基二苯砜(3，3’-DDS)，間苯二胺(m-DA)，對苯二胺(p-DA)或4，4’-二氨基二苯基甲烷(MDA)；這些芳香族二胺A可以單獨(dú)使用，也可以是與芳香族二胺B混合使用；(4)酯化劑甲醇，乙醇，丙醇，異丙醇或丁醇其中的一種或二種；(5)顯影用的堿性水溶液為氫氧化四甲胺水溶液，碳酸鈉水溶液或氫氧化鈉水溶液，重量百分濃度在0.1-2.4％之間；(6)光敏劑
其中D為1-萘醌2-疊氮5-磺?；?-萘醌2-疊氮4-磺?；?7)溶劑環(huán)己酮、γ-丁內(nèi)酯、N-甲基吡咯烷酮、二甲基乙酰胺、乙二醇單丁醚、乙二醇單丁醚醋酸乙酯或乙二醇單乙醚醋酸乙酯，其中的一種或二種以上混合使用；工藝過程如下首先將二酐和酯化劑，摩爾比為1∶1.9-2.0反應(yīng)8-10小時(shí)生成二酯二酸，然后，向該二酯二酸中加入2-2.5摩爾的酰氯化試劑，反應(yīng)5-6小時(shí)，在低溫-10℃--25℃加入與二酐等摩爾的二胺反應(yīng)8-10小時(shí)，再將該樹脂沉入乙醇中，過濾，用去離子水和無水乙醇浸洗2-3次，自然干燥；再將已干燥的樹脂溶于溶劑中，體積比為2∶1的混合溶劑中，配成15～25％的聚酰胺酸樹脂溶液，然后加入10-30％的NQD衍生物，再將該樹脂溶液涂敷到拋光硅片上，在60-80℃下干燥20-30min，在365nm(i線)～436nm(g線)紫外光下曝光，在濃度為0.1-2.4％的氫氧化四甲胺水溶液或碳酸鈉水溶液或氫氧化鈉水溶液顯影，用去離子水漂洗，然后再250-360℃后烘30-60min，獲得很好的光刻膠膜。
具體實(shí)施例方式
如下實(shí)施例1將精制的6.44gBTDA(0.020摩爾)溶于25mlN二甲基乙酰胺中，攪拌下加入1.28g甲醇(0.040摩爾)，在室溫下反應(yīng)8hr，再加入精制的二氯亞砜4.76g(0.040摩爾)，在室溫下再反應(yīng)5hr，在低溫-10℃加入5.21HDMMDA(0.020摩爾)獲得聚酰胺酸樹脂溶液。
將上述聚酰胺酸樹脂沉入乙醇中，過濾，用去離子水和無水乙醇浸洗2次，自然干燥。再將已干燥的樹脂溶于N-甲基吡咯烷酮/γ-丁內(nèi)酯的體積比為2∶1的混合溶劑中，加入NQD-I衍生物1.5g配成20％的聚酰胺酸樹脂溶液。
將上述聚酰胺酸樹脂溶液用旋涂法涂于拋光的硅片上，在80℃下干燥20min，而后在365nm(i線)～436nm(g線)紫外光下曝光4min，在1％氫氧化四甲胺水溶液顯影，用去離子水漂洗。
實(shí)施例2將精制5.88gBPDA(0.02摩爾)溶于36ml二甲基乙酰胺中，攪拌下加入1.84g乙醇(0.04摩爾)，在室溫下反應(yīng)10hr，再加入精制的二氯亞砜4.76g(0.040摩爾)，在室溫下再反應(yīng)6hr，而后在低溫-15℃加入2.44gHOTOL(0.01摩爾)和2.00gODA(0.01摩爾)，反應(yīng)5hr獲得聚酰胺酸樹脂溶液。
將上述聚酰胺酸樹脂沉入乙醇中，過濾，用去離子水和無水乙醇浸洗3次，自然干燥。再將已干燥的樹脂溶于N-甲基吡咯烷酮/乙二醇單丁醚的體積比為2∶1的混合溶劑中，加入NQD-II衍生物1.8g配成20％的聚酰胺酸樹脂溶液將上述聚酰胺酸樹脂溶液用旋涂法涂于拋光的硅片上，在80℃下干燥20min，而后在365nm(i線)～436nm(g線)紫外光下曝光4min。在2.4％氫氧化四甲胺水溶液顯影，用去離子水漂洗。
實(shí)施例3將精制的3.6gPMDA(0.020摩爾)溶于70mlN-甲基吡咯烷酮中，攪拌下加入2.40g丙醇(0.040摩爾)，在室溫下反應(yīng)8hr，再加入精制的二氯亞砜4.76g(0.040摩爾)，在室溫下再反應(yīng)6hr，而后在低溫-20℃加入2.44gHOTOL(0.01摩爾)和2.00gODA(0.01摩爾)，反應(yīng)5hr獲得聚酰胺酸樹脂溶液。
將上述聚酰胺酸樹脂沉入乙醇中，過濾，用去離子水和無水乙醇浸洗3次，自然干燥。再將已干燥的樹脂溶于N-甲基吡咯烷酮/乙二醇單丁醚的體積比為2∶1的混合溶劑中，加入NQD-III衍生物1.4g配成20％的聚酰胺酸樹脂溶液將上述聚酰胺酸樹脂溶液用旋涂法涂于拋光的硅片上，在80℃下干燥20min，而后在365nm(i線)～436nm(g線)紫外光下曝光4min。在2％氫氧化四甲胺水溶液顯影，用去離子水漂洗。
實(shí)施例4將精制的8.05gHQDPA(0.020摩爾)溶于26mlN-甲基吡咯烷酮中，攪拌下加入2.40g異丙醇(0.040摩爾)，在室溫下反應(yīng)8hr，再加入精制的二氯亞砜4.76g(0.040摩爾)，在室溫下再反應(yīng)6hr，而后在低溫-25℃加入3.66gHD6FDA(0.01摩爾)和2.48g4，4’-DDS(0.01摩爾)，反應(yīng)5hr獲得聚酰胺酸樹脂溶液。
將上述聚酰胺酸樹脂沉入乙醇中，過濾，用去離子水和無水乙醇浸洗3次，自然干燥。再將已干燥的樹脂溶于N-甲基吡咯烷酮/乙二醇單丁醚的體積比為2∶1的混合溶劑中，加入NQD-III衍生物1.4g配成20％的聚酰胺酸樹脂溶液將上述聚酰胺酸樹脂溶液用旋涂法涂于拋光的硅片上，在80℃下干燥20min，而后在365nm(i線)～436nm(g線)紫外光源下曝光4min。在2％碳酸鈉水溶液顯影，用去離子水漂洗。
實(shí)施例5將精制的8.05gODPA(0.020摩爾)溶于26mlN-甲基吡咯烷酮中，攪拌下加入2.96g丁醇(0.040摩爾)，在室溫下反應(yīng)10hr，再加入精制的二氯亞砜4.76g(0.040摩爾)，在室溫下再反應(yīng)6hr，而后在低溫-25℃加入1.52g3，5-DABA(0.01摩爾)和2.48g4，4’-DDS(0.01摩爾)，反應(yīng)5hr獲得聚酰胺酸樹脂溶液。
將上述聚酰胺酸樹脂沉入乙醇中，過濾，用去離子水和無水乙醇浸洗3次，自然干燥。再將已干燥的樹脂溶于N-甲基吡咯烷酮/乙二醇單丁醚的體積比為2∶1的混合溶劑中，加入NQD-IV衍生物2.2g配成20％的聚酰胺酸樹脂溶液將上述聚酰胺酸樹脂溶液用旋涂法涂于拋光的硅片上，在80℃下干燥20min，而后在365nm(i線)～436nm(g線)紫外光下曝光4min。在0.5％氫氧化鈉水溶液顯影，用去離子水漂洗。
實(shí)施例6將精制的8.92g6FDA(0.020摩爾)溶于25mlN-甲基吡咯烷酮中，攪拌下加入2.96g丁醇(0.040摩爾)，在室溫下反應(yīng)8hr，再加入精制的二氯亞砜4.76g(0.040摩爾)，在室溫下再反應(yīng)6hr，而后在低溫-15℃加入1.52g3，5-DABA(0.01摩爾)和2.00gODA(0.01摩爾)，反應(yīng)5hr獲得聚酰胺酸樹脂溶液。其余實(shí)驗(yàn)條件同實(shí)施例5。
實(shí)施例7將精制的3.22gBTDA(0.020摩爾)溶于20mlN-甲基吡咯烷酮中，攪拌下加入2.40g異丙醇(0.040摩爾)，在室溫下反應(yīng)8hr，再加入精制的二氯亞砜4.76g(0.040摩爾)，在室溫下再反應(yīng)6hr，而后在低溫-20℃加入3.66gHD6FDA(0.01摩爾)和2.48g4，4’-DDS(0.01摩爾)，反應(yīng)5hr獲得聚酰胺酸樹脂溶液。其余實(shí)驗(yàn)條件同實(shí)施例4。
實(shí)施例8將精制的5.88gBPDA(0.020摩爾)溶于30mlN-甲基吡咯烷酮中，攪拌下加入1.84g乙醇(0.04摩爾)，在室溫下反應(yīng)10hr，再加入精制的二氯亞砜4.76g(0.040摩爾)，在室溫下再反應(yīng)6hr，而后在低溫-25℃加入2.44gHOTOL(0.01摩爾)和2.00gODA(0.01摩爾)，反應(yīng)5hr獲得聚酰胺酸樹脂溶液。其余實(shí)驗(yàn)條件同實(shí)施例1。
實(shí)施例9將精制的4.36gPMDA(0.020摩爾)溶于15ml二甲基乙酰胺中，攪拌下加入1.84g乙醇(0.04摩爾)，在室溫下反應(yīng)10hr，再加入精制的二氯亞砜4.76g(0.040摩爾)，在室溫下再反應(yīng)6hr，而后在低溫-10℃℃加入1.95gHOTOL(0.008摩爾)和2.98g3，3’-DDS(0.012摩爾)，反應(yīng)5hr獲得聚酰胺酸樹脂溶液。
除將實(shí)施例1中的“配成20％的聚酰胺酸樹脂溶液”改為“配成15％的聚酰胺酸樹脂溶液”外，其余實(shí)驗(yàn)條件同實(shí)施例1。
實(shí)施例10將精制的8.05gHQDPA(0.020摩爾)溶于15mlN-甲基吡咯烷酮中，攪拌下加入2.96g丁醇(0.040摩爾)，在室溫下反應(yīng)8hr，再加入精制的二氯亞砜4.76g(0.040摩爾)，在室溫下再反應(yīng)6hr，而后在低溫-20℃加入1.52g3，5-DABA(0.01摩爾)和2.00gODA(0.01摩爾)，反應(yīng)5hr獲得聚酰胺酸樹脂溶液。其余實(shí)驗(yàn)條件同實(shí)施例5。
實(shí)施例11將精制的8.80g6FDA(0.020摩爾)溶25ml二甲基乙酰胺中，攪拌下加入2.40g丙醇(0.040摩爾)，在室溫下反應(yīng)8hr，再加入精制的二氯亞砜4.76g(0.040摩爾)，在室溫下再反應(yīng)6hr，而后在低溫-25℃加入2.44gHOTOL(0.01摩爾)和2.00gODA(0.01摩爾)，反應(yīng)5hr獲得聚酰胺酸樹脂溶液。其余實(shí)驗(yàn)條件同實(shí)施例3。
實(shí)施例12將精制的6.44gBTDA(0.020毫摩爾)溶于25mlN-甲基吡咯烷酮中，攪拌下加入2.96g丁醇(0.040摩爾)，在室溫下反應(yīng)8hr，再加入精制的二氯亞砜4.76g(0.040摩爾)，在室溫下再反應(yīng)6hr，而后在低溫-10℃加入1.52g3，5-DABA(0.01摩爾)和2.00gODA(0.01摩爾)，反應(yīng)5hr獲得聚酰胺酸樹脂溶液。其余實(shí)驗(yàn)條件同實(shí)施例5。
實(shí)施例13將精制的6.20gODPA(0.020摩爾)和1.1gPMDA(5毫摩爾)溶于20ml二甲基乙酰胺中，攪拌下加入2.96g丁醇(0.040摩爾)，在室溫下反應(yīng)8hr，再加入精制的二氯亞砜4.76g(0.040摩爾)，在室溫下再反應(yīng)6hr，而后在低溫-15℃加入1.52g3，5-DABA(0.01摩爾)和2.00gODA (0.01摩爾)，反應(yīng)5hr獲得聚酰胺酸樹脂溶液。除將“加入NQD-IV衍生物”換為“加入NQD-V衍生物”外，其余實(shí)驗(yàn)條件同實(shí)施例5。
實(shí)施例14將精制的4.36gPMDA(0.020摩爾)溶于15mlN-甲基吡咯烷酮中，除將“加入3.66gHD6FDA(0.01摩爾)和2.48g4，4’-DDS(0.01摩爾)”換為“加入1.56gHDMMDA(0.006摩爾)和3.48g4，4’-DDS(0.014摩爾)”外，其余實(shí)驗(yàn)條件同實(shí)施例7。
實(shí)施例15將精制的6.44gBTDA(0.020摩爾)溶于15ml二甲基乙酰胺中，除將“加入1.52g3，5-DABA(0.01摩爾)和2.00gODA(0.01摩爾)”換為“加入4.89gHOTOL(0.020摩爾)”外，其余實(shí)驗(yàn)條件同實(shí)施例13。
實(shí)施例16將精制的4.02gHQDPA(0.010摩爾)和2.94gBPDA(0.010摩爾)溶于25mlN-甲基吡咯烷酮中，攪拌下加入2.96g丁醇(0.040摩爾)，其余實(shí)驗(yàn)條件同實(shí)施例3。
實(shí)施例17將精制的4.02gHQDPA(0.010摩爾)和2.94gBPDA(0.010摩爾)溶于20mlN-甲基吡咯烷酮中，攪拌下加入1.48g丁醇(0.020摩爾)和0.64g甲醇(0.020摩爾)，在室溫下反應(yīng)9hr，其余實(shí)驗(yàn)條件同實(shí)施例1。
測定實(shí)施例1～17光刻膠膜的光刻程度和熱穩(wěn)定性。這里，通過電子顯微鏡觀察光刻程度。熱穩(wěn)定性是這樣測定的將溫度升高到300℃，爾后再降至室溫，然后通過電子顯微鏡檢查膜圖形的變形程度。
測定結(jié)果是在實(shí)施例1～17中，用在365nm(i線)～436nm(g線)紫外光源下曝光4min都可以得到很好的光刻圖形。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于，光敏樹脂易得，制備的聚酰亞胺樹脂膠液具有很好地感光性能。
權(quán)利要求
1.一種水基顯影光敏聚酰亞胺材料的制備方法，合成的水基顯影光敏聚酰亞胺具有下列結(jié)構(gòu) 其中Ar1＝芳香族二胺A殘基，Ar2＝芳香族二胺B殘基，Ar3＝芳香族二酐殘基，n，m均為大于15的整數(shù)；采用下列組份合成水性顯影光敏聚酰亞胺光刻膠(1)二酐4，4’-(六氟異丙撐基)二苯甲酸酐、3，3’，4，4’-二苯酮四酸二酐、3，3’，4，4’-聯(lián)苯四酸二酐、3，3’，4，4’-三苯二醚四酸二酐、3，3’，4，4’-二苯醚四酸二酐或均苯四酸二酐其中的一種或二種；(2)芳香族二胺A2，2-(3，3’-二羥基4，4’-二氨基)二苯基丙烷、3，3’-二羥基4，4’-二氨基聯(lián)苯、3，3’-二羥基4，4’-二氨基二苯砜，3，5-二胺基苯甲酸，2，4-二氨基苯酚或2，2-(3，3’-二羥基4，4’-二氨基)二苯基六氟代丙烷；(3)芳香族二胺B醚二胺，2，2-(4，4’-二氨基)二苯基丙烷，4，4’-二氨基聯(lián)苯，4，4’-二氨基二苯砜，3，3’-二氨基二苯砜，間苯二胺(m-DA)，對苯二胺或4，4’-二氨基二苯基甲烷；這些芳香族二胺A可以單獨(dú)使用，也可以是與芳香族二胺B混合使用；(4)酯化劑甲醇，乙醇，丙醇，異丙醇或丁醇其中的一種或二種；(5)顯影用的堿性水溶液為氫氧化四甲胺水溶液，碳酸鈉水溶液或氫氧化鈉水溶液，重量百分濃度在0.1-2.4％之間；(6)光敏劑 其中D為1-萘醌2-疊氮5-磺酰基或1-萘醌2-疊氮4-磺?；?7)溶劑環(huán)己酮、γ-丁內(nèi)酯、N-甲基吡咯烷酮、二甲基乙酰胺、乙二醇單丁醚、乙二醇單丁醚醋酸乙酯或乙二醇單乙醚醋酸乙酯，其中的一種或二種以上混合使用；工藝過程如下首先將二酐和酯化劑，摩爾比為1∶1.9-2.0反應(yīng)8-10小時(shí)生成二酯二酸，然后向該二酯二酸中加入2-2.5摩爾的酰氯化試劑，反應(yīng)5-6小時(shí)，在低溫-10℃--25℃加入與二酐等摩爾的二胺反應(yīng)8-10小時(shí)，再將該樹脂沉入乙醇中，過濾，用去離子水和無水乙醇浸洗2-3次，自然干燥；再將已干燥的樹脂溶于溶劑中，體積比為2∶1的混合溶劑中，配成15～25％的聚酰胺酸樹脂溶液，然后加入10-30％的NQD衍生物，再將該樹脂溶液涂敷到拋光硅片上，在60-80℃下干燥20-30min，在365nm～436nm紫外光下曝光，在濃度為0.1-2.4％的氫氧化四甲胺水溶液或碳酸鈉水溶液或氫氧化鈉水溶液顯影，用去離子水漂洗，然后再250-360℃后烘30-60min，獲得光刻膠膜。
全文摘要
本發(fā)明屬于一種水基顯影光敏聚酰亞胺材料的制備方法。采用芳香二酯二酰氯同3，5－二胺基苯甲酸、4，4’－二胺基3，3’－二羥基二苯甲烷以及4，4’－二胺基3，3’－二羥基二苯砜等單體聚合，生成聚酰亞胺預(yù)聚物——聚酰胺酸酯，特性粘度在0.35－0.50范圍內(nèi)，加入2－重氮萘醌衍生物(NQD)為光敏劑，使之成為具有很高的感光性能和很好的成膜性以及耐熱性能的光敏材料。
文檔編號C08G73/00GK1648154SQ200410011390
公開日2005年8月3日 申請日期2004年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月24日
發(fā)明者張春華, 楊正華, 王彤, 朱丹陽, 吳作林 申請人:中國科學(xué)院長春應(yīng)用化學(xué)研究所