功能層形成用油墨、發(fā)光元件的制造方法、發(fā)光裝置及電子設(shè)備技術(shù)區(qū)域本發(fā)明涉及功能層形成用油墨、發(fā)光元件的制造方法、發(fā)光裝置及電子設(shè)備。

背景技術(shù)：
作為發(fā)光元件的有機(jī)電致發(fā)光元件（發(fā)光元件）是具有在陽極與陰極之間插入至少1層發(fā)光性有機(jī)層（發(fā)光層）的結(jié)構(gòu)的發(fā)光元件。在這種發(fā)光元件中，通過在陰極與陽極之間施加驅(qū)動電壓，從而將電子從陰極側(cè)注入至發(fā)光層，并且將空穴從陽極側(cè)注入至發(fā)光層，在發(fā)光層中電子和空穴形成激子，在該激子消失時（電子與空穴再次結(jié)合時），能量的一部分成為熒光、磷光而被釋放。通常，對于發(fā)光元件，在陽極上設(shè)有空穴注入層，在該空穴注入層上設(shè)有空穴輸送層或發(fā)光層。作為形成這些層的方法（成膜方法），已知有使用將成膜材料溶解或分散而成的成膜用油墨進(jìn)行涂布的方法（例如，參照專利文獻(xiàn)1）。近年來，作為液滴噴出法等涂布法中使用的發(fā)光材料，不僅可以使用高分子材料，還可以使用低分子材料（例如，參照專利文獻(xiàn)2、3）。專利文獻(xiàn)1：日本特開2008-77958號公報專利文獻(xiàn)2：日本特開2006-190759號公報專利文獻(xiàn)3：日本特開2011-108462號公報

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
然而，專利文獻(xiàn)2、3中記載的發(fā)光元件中，存在下述課題，即，在發(fā)光層的成膜過程中，由于是低分子，所以存在油墨中的分子彼此因分子間相互作用而進(jìn)行凝集的趨勢，由此難以得到膜厚均勻的發(fā)光層。 另外，因凝集而有時會產(chǎn)生成膜不良，所以還存在發(fā)光不良這種課題。換言之，存在難以成品率高地制造具有所希望的光學(xué)特性的發(fā)光元件這樣的課題。本發(fā)明是為了至少解決上述課題中的一部分而進(jìn)行的，能夠通過以下方式或應(yīng)用例來實(shí)現(xiàn)。應(yīng)用例1本應(yīng)用例涉及的功能層形成用油墨是用液體涂布法形成功能層時使用的功能層形成用油墨，其特征在于，具有：含有高分子材料或低分子材料的功能層形成材料和含有溶劑A和溶劑B的混合溶劑C，其中，上述溶劑A的粘度為0.01Pa·s～0.05Pa·s，上述溶劑B的粘度小于0.01Pa·s，沸點(diǎn)低于上述溶劑A，上述混合溶劑C的粘度小于0.02Pa·s，沸點(diǎn)為200℃～350℃，含有0.1wt%～10wt%的上述溶劑A。根據(jù)本應(yīng)用例，在功能層形成用油墨的干燥過程中，溶劑B比溶劑A迅速蒸發(fā)，所以混合溶劑C的粘度隨著時間的經(jīng)過而增加，接近溶劑A的粘度。另外，溶劑B蒸發(fā)后，溶劑A的干燥成為主導(dǎo)，干燥速度變慢。通過基于該干燥機(jī)制的增粘和干燥延遲，從而能夠降低因功能層形成材料的分子間相互作用而引起的凝集速度，能夠抑制功能層形成材料的凝集。因此，可以提供在干燥后能夠形成均勻膜厚的功能層的、功能層形成用油墨。應(yīng)用例2如上述應(yīng)用例涉及的功能層形成用油墨，其特征在于，上述溶劑A和上述溶劑B為非水系溶劑。應(yīng)用例3如上述應(yīng)用例涉及的功能層形成用油墨，其中，上述溶劑A和上述溶劑B可以為水系溶劑。應(yīng)用例4如上述應(yīng)用例涉及的功能層形成用油墨，其中，可以是上述溶劑A 為非水系溶劑，上述溶劑B為水系溶劑。應(yīng)用例5如上述應(yīng)用例涉及的功能層形成用油墨，其中，可以是上述溶劑A為水系溶劑，上述溶劑B為非水系溶劑。如果溶劑A或溶劑B中的至少一方為水系溶劑，則與使用非水系溶劑的情況相比，能夠降低功能層形成用油墨的表面張力。由此，提高功能層形成用油墨對膜形成區(qū)域的潤濕性（填充性）。應(yīng)用例6本應(yīng)用例涉及發(fā)光元件的制造方法是具備含有有機(jī)發(fā)光層的功能層的發(fā)光元件的制造方法，其特征在于，使用上述應(yīng)用例的功能層形成用油墨形成上述功能層中至少1層的有機(jī)層。根據(jù)該方法，能夠在干燥后形成膜厚均勻的有機(jī)層，所以能夠成以高品率制造具有所希望的光學(xué)特性的發(fā)光元件。應(yīng)用例7如上述應(yīng)用例涉及的發(fā)光元件的制造方法，其中，可以是上述功能層包括空穴注入層、空穴輸送層以及上述有機(jī)發(fā)光層，使用上述應(yīng)用例的功能層形成用油墨形成上述空穴注入層。應(yīng)用例8如上述應(yīng)用例涉及的發(fā)光元件的制造方法，其中，可以是上述功能層包括空穴注入層、空穴輸送層以及上述有機(jī)發(fā)光層，使用上述應(yīng)用例的功能層形成用油墨形成上述空穴輸送層。應(yīng)用例9如上述應(yīng)用例涉及的發(fā)光元件的制造方法，其中，可以是上述功能層包括空穴注入層、空穴輸送層以及上述有機(jī)發(fā)光層，使用上述應(yīng)用例的功能層形成用油墨形成上述有機(jī)發(fā)光層。應(yīng)用例10本應(yīng)用例涉及的發(fā)光裝置，其特征在于，具備利用上述應(yīng)用例的發(fā)光元件的制造方法來制造的發(fā)光元件。由此，能夠提供具有所希望的光學(xué)特性的發(fā)光裝置。應(yīng)用例11本應(yīng)用例涉及的電子設(shè)備，其特征在于，具備上述應(yīng)用例的發(fā)光裝置。由此，能夠提供具有高顯示品質(zhì)的信息設(shè)備、減少了亮度不均而視感良好的照明裝置等電子設(shè)備。附圖說明圖1是表示實(shí)施方式涉及的噴出裝置的構(gòu)成的概略立體圖。圖2是表示實(shí)施方式涉及的噴出噴頭的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖3是表示實(shí)施方式涉及的噴頭單元中的噴出噴頭的配置的概略俯視圖。圖4是表示實(shí)施方式涉及的噴出裝置的控制系統(tǒng)的框圖。圖5是表示實(shí)施方式涉及的發(fā)光裝置的構(gòu)成的概略主視圖。圖6是表示實(shí)施方式涉及的發(fā)光裝置的結(jié)構(gòu)的要部概略截面圖。圖7是表示實(shí)施方式涉及的發(fā)光元件的制造方法的流程圖。圖8中（a）～（d）是表示實(shí)施方式涉及的有機(jī)EL元件的制造方法的概略截面圖。圖9中（e）～（i）是表示實(shí)施方式涉及的有機(jī)EL元件的制造方法的概略截面圖。圖10是表示實(shí)施例1、2、5、6的評價結(jié)果的表。圖11是表示實(shí)施例3、4、7、8的評價結(jié)果的表。圖12是表示比較例1～8的評價結(jié)果的表。圖13是表示作為電子設(shè)備的移動型（或筆記本型）的個人計(jì)算機(jī)的構(gòu)成的立體圖。圖14是表示作為電子設(shè)備的便攜式電話（也包括PHS）的構(gòu)成的立體圖。圖15是表示作為電子設(shè)備的數(shù)碼相機(jī)的構(gòu)成的立體圖。圖16中（a）是表示濾色器基板的構(gòu)成的概略俯視圖，（b）是表示濾色器基板的結(jié)構(gòu)的概略截面圖。具體實(shí)施方式以下，根據(jù)附圖對本實(shí)施方式進(jìn)行說明。應(yīng)予說明，使用的附圖中，以說明的部分成為可識別的狀態(tài)的方式適當(dāng)放大或縮小地表示。第1實(shí)施方式液滴的噴出裝置首先，參照圖1～圖4，對能夠使含有功能層形成材料的液狀體作為液滴噴出到被噴出物的噴出裝置進(jìn)行說明。圖1是表示本實(shí)施方式涉及的噴出裝置的構(gòu)成的概略立體圖。如圖1所示，本實(shí)施方式的噴出裝置2具備：使作為被噴出物的平板狀的被加工物W沿著作為第1方向的主掃描方向（Y軸方向）移動的被加工物移動機(jī)構(gòu)10，和使噴頭單元12沿著作為與主掃描方向正交的第2方向的副掃描方向（X軸方向）移動的噴頭移動機(jī)構(gòu)14。被加工物移動機(jī)構(gòu)10具備一對導(dǎo)軌16、沿著一對導(dǎo)軌16移動的移動臺18以及介由旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)20配設(shè)在移動臺18上的載置被加工物W的工作臺22。移動臺18通過設(shè)置于導(dǎo)軌16內(nèi)部的空氣滑塊和線性電機(jī)（省略圖 示）沿主掃描方向（Y軸方向）移動。在移動臺18設(shè)有作為定時信號生成部的編碼器24（參照圖4）。隨著移動臺18向主掃描方向（Y軸方向）的相對移動，編碼器24讀取在導(dǎo)軌16上并設(shè)的線性標(biāo)尺（省略圖示）的刻度，生成作為定時信號的編碼器脈沖。應(yīng)予說明，編碼器24的配設(shè)不限于此，例如，在使移動臺18以沿著旋轉(zhuǎn)軸相對于主掃描方向（Y軸方向）移動的方式構(gòu)成，進(jìn)而設(shè)置使旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動部時，可以將編碼器24設(shè)置于驅(qū)動部。作為驅(qū)動部，可舉出伺服電機(jī)等。工作臺22能夠吸附固定被加工物W，并且利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)20能夠?qū)⒈患庸の颳內(nèi)的基準(zhǔn)軸正確地與主掃描方向（Y軸方向）、副掃描方向（X軸方向）對應(yīng)。另外，也可以根據(jù)在被加工物W上噴出液狀體的膜形成區(qū)域的配置，使被加工物W例如旋轉(zhuǎn)90度。噴頭移動機(jī)構(gòu)14具備一對導(dǎo)軌26和沿著一對導(dǎo)軌26移動的移動臺28。在移動臺28設(shè)有介由旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)30吊設(shè)的滑架32。在滑架32安裝了搭載有多個噴出噴頭34（參照圖2）的噴頭單元12。另外，在噴出噴頭34設(shè)有用于供給液狀體的液狀體供給機(jī)構(gòu)（省略圖示）和多個用于進(jìn)行噴出噴頭34的電驅(qū)動控制的噴頭驅(qū)動器36（參照圖4）。移動臺28使滑架32沿著副掃描方向（X軸方向）移動，將噴頭單元12與被加工物W對置地配置。噴出裝置2除上述構(gòu)成以外，還在對著多個噴出噴頭34的位置配設(shè)有用于進(jìn)行搭載于噴頭單元12的多個噴出噴頭34的噴嘴堵塞的消除、噴嘴面的異物、污垢的除去等維護(hù)的維護(hù)機(jī)構(gòu)。另外，具備重量測定機(jī)構(gòu)38，其具有接收各個噴出噴頭34噴出的液狀體，測量其重量的電子天平等測量器（參照圖4）。并且，具備綜合控制這些構(gòu)成的控制部40。應(yīng)予說明，在圖1中，省略圖示維護(hù)機(jī)構(gòu)和 重量測定機(jī)構(gòu)38。圖2是表示本實(shí)施方式涉及的噴出噴頭的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖2（a）是立體圖，圖2（b）是表示噴嘴的配置狀態(tài)的俯視圖。如圖2（a）所示，本實(shí)施方式的噴出噴頭34是所謂2排的結(jié)構(gòu)，具備：具有2排連接針42的液狀體的導(dǎo)入部44、層疊于導(dǎo)入部44的噴頭基板46以及配置在噴頭基板46上且在內(nèi)部形成有液狀體的噴頭內(nèi)流路的噴頭主體48。連接針42經(jīng)由配管與上述液體供給機(jī)構(gòu)（省略圖示）連接，將液體供給至噴頭內(nèi)流路。在噴頭基板46設(shè)有介由撓性扁平電纜（省略圖示）與噴頭驅(qū)動器36（參照圖4）連接的2排連接器50。噴頭主體48具有加壓部52和在噴嘴面54a相互平行地形成有2排噴嘴列56a、56b的噴嘴板54，所述加壓部52具有由作為驅(qū)動單元的壓電元件構(gòu)成的腔室。如圖2（b）所示，對于2排噴嘴列56a、56b而言，各自多個（180個）噴嘴56以間距P1大致相等間隔地并列，相互以錯開間距P2的狀態(tài)配設(shè)于噴嘴面54a，所述間距P2為間距P1的一半。此時，間距P1大約為141μm。由此，從與噴嘴列56c正交的方向看時，360個噴嘴56成為以大約70.5μm的噴嘴間距排列的狀態(tài)。另外，噴嘴56的直徑為約27μm。對于噴出噴頭34而言，如果從噴頭驅(qū)動器36對壓電元件施加作為電信號的驅(qū)動信號，則能夠引起加壓部52的腔室的體積變化，通過由此產(chǎn)生的泵作用對填充于腔室的液狀體進(jìn)行加壓，從噴嘴56作為液滴噴出液狀體。噴出噴頭34的驅(qū)動單元不限于壓電元件?？梢詾橥ㄟ^靜電吸附使作為致動器的振動板發(fā)生位移的電機(jī)械轉(zhuǎn)換元件，或?qū)⒁籂铙w加熱，從噴嘴56作為液滴噴出的電熱轉(zhuǎn)換元件（熱方式）。圖3是表示本實(shí)施方式涉及的噴頭單元的噴出噴頭配置的概略俯視圖。詳細(xì)而言，是從與被加工物W對置的一側(cè)觀察的圖。如圖3所示，本實(shí)施方式的噴頭單元12具備配設(shè)有多個噴出噴頭 34的噴頭板12a。在噴頭板12a搭載有由3個噴出噴頭34構(gòu)成的噴頭組34A和同樣由3個噴出噴頭34構(gòu)成的噴頭組34B的總計(jì)6個噴出噴頭34。此時，噴頭組34A的噴頭R1（噴出噴頭34）和噴頭組34B的噴頭R2（噴出噴頭34）噴出同種液狀體。對于其它的噴頭G1和噴頭G2、噴頭B1和噴頭B2而言也同樣。即，成為可噴出3種不同的液狀體的構(gòu)成。將由一個噴出噴頭34可描繪的描繪寬度設(shè)為L0，并將其作為噴嘴列56c的有效長度。以下，噴嘴列56c是指由360個噴嘴56構(gòu)成的噴嘴列。此時，從主掃描方向（Y軸方向）看，噴頭R1和噴頭R2以相鄰的噴嘴列56c在與主掃描方向正交的副掃描方向（X軸方向）隔著1個噴嘴間距連續(xù)的方式并列地配設(shè)在主掃描方向。因此，噴出同種液狀體的噴頭R1和噴頭R2的有效的描繪寬度L1為描繪寬度L0的2倍。對于噴頭G1和噴頭G2、噴頭B1和噴頭B2而言，也同樣地并列地配置在主掃描方向（Y軸方向）。應(yīng)予說明，設(shè)置于噴出噴頭34的噴嘴列56c不限于2排，也可以為1排。另外，對噴頭單元12中的噴出噴頭34的配置沒有特別限定。接著，對噴出裝置2的控制系統(tǒng)進(jìn)行說明。圖4是表示本實(shí)施方式涉及的噴出裝置的控制系統(tǒng)的框圖。如圖4所示，本實(shí)施方式的噴出裝置2的控制系統(tǒng)具備驅(qū)動部58和控制部40，所述驅(qū)動部58具有驅(qū)動噴出噴頭34、被加工物移動機(jī)構(gòu)10、噴頭移動機(jī)構(gòu)14、重量測定機(jī)構(gòu)38等的各種驅(qū)動器，所述控制部40綜合控制包括驅(qū)動部58在內(nèi)的噴出裝置2。驅(qū)動部58具備：分別驅(qū)動控制被加工物移動機(jī)構(gòu)10和噴頭移動機(jī)構(gòu)14的各線性電機(jī)的移動用驅(qū)動器60、驅(qū)動控制噴出噴頭34的噴頭驅(qū)動器36以及驅(qū)動控制重量測定機(jī)構(gòu)38的重量測定用驅(qū)動器62。除此之外，還具備驅(qū)動控制維護(hù)機(jī)構(gòu)的維護(hù)用驅(qū)動器等，但省略了圖示?？刂撇?0具備CPU64、ROM66、RAM68以及P-CON70，它們相 互介由總線72連接。P-CON70與上位計(jì)算機(jī)74連接。ROM66具有：存儲由CPU64處理的控制程序等的控制程序區(qū)域和存儲用于進(jìn)行描繪動作、功能恢復(fù)處理等的控制數(shù)據(jù)等的控制數(shù)據(jù)區(qū)域。RAM68具有存儲用于在被加工物W上進(jìn)行描繪的描繪數(shù)據(jù)的描繪數(shù)據(jù)存儲部、存儲被加工物W和噴出噴頭34（實(shí)際上指噴嘴列56c）的位置數(shù)據(jù)的位置數(shù)據(jù)存儲部等各種存儲部，作為用于控制處理的各種作業(yè)區(qū)域使用。P-CON70與驅(qū)動部58的各種驅(qū)動器等連接，構(gòu)成用于有補(bǔ)償CPU64的功能的同時，處理與外圍電路的接口信號的邏輯電路并向其組入。因此，P-CON70將來自上位計(jì)算機(jī)74的各種指令等直接或加工后輸入至總線72的同時，與CPU64聯(lián)動，將從CPU64等輸出至總線72的數(shù)據(jù)、控制信號直接或加工后輸出至驅(qū)動部58。然后，CPU64根據(jù)ROM66內(nèi)的控制程序，介由P-CON70輸入各種檢測信號、各種指令、各種數(shù)據(jù)等，處理RAM68內(nèi)的各種數(shù)據(jù)等后，介由P-CON70向驅(qū)動部58等輸出各種控制信號，由此控制整個噴出裝置2。例如，CPU64控制噴出噴頭34、被加工物移動機(jī)構(gòu)10以及噴頭移動機(jī)構(gòu)14，使噴頭單元12與被加工物W對置地配置。然后，使噴頭單元12與被加工物W的相對移動同步，以從搭載于噴頭單元12的各噴出噴頭34的多個噴嘴56向被加工物W噴出作為液滴的液狀體的方式，向噴頭驅(qū)動器36發(fā)送控制信號。此時，將向Y軸方向的與被加工物W的移動同步地噴出液狀體的動作稱為主掃描，將使噴頭單元12沿著X軸方向移動的動作稱為副掃描。本實(shí)施方式的噴出裝置2通過多次反復(fù)組合主掃描和副掃描，能夠進(jìn)行液狀體的噴出描繪。主掃描不限于被加工物W相對于噴出噴頭34向一個方向移動，也可以使被加工物W進(jìn)行往返。編碼器24與噴頭驅(qū)動器36電連接，伴隨著主掃描而生成編碼脈沖。在主掃描中，由于以規(guī)定的移動速度移動移動臺18，所以周期性地產(chǎn)生編碼脈沖。例如，如果使主掃描中的移動臺18的移動速度為200mm/sec、使驅(qū)動噴出噴頭34的驅(qū)動頻率（換言之，連續(xù)噴出液滴時的噴出時間）為20kHz，則主掃描方向上的液滴的噴出分辨率可通過用驅(qū)動頻率除移動速度而得到，所以為10μm。即，能夠以10μm的間距將液滴配置于被 加工物W。實(shí)際的液滴的噴出正時是基于通過對周期性產(chǎn)生的編碼脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù)而生成的鎖存信號。上位計(jì)算機(jī)74將控制程序、控制數(shù)據(jù)等控制信息發(fā)送至噴出裝置2。另外，還具有生成配置信息的配置信息生成部的功能，所述配置信息是在被加工物W上的每個膜形成區(qū)域作為液滴配置規(guī)定量的液狀體的噴出控制數(shù)據(jù)。配置信息是將膜形成區(qū)域中的液滴的噴出位置（換言之，被加工物W與噴嘴56的相對位置）、液滴的配置數(shù)（換言之，每個噴嘴56的噴出數(shù)）、主掃描中的多個噴嘴56的ON/OFF、噴出時間等信息，例如表示為位圖的信息。上位計(jì)算機(jī)74不僅生成上述配置信息，還能夠修正暫時存放于RAM68的上述配置信息。發(fā)光裝置接下來，參照圖5和圖6，對具有使用本實(shí)施方式的發(fā)光元件的制造方法制造的發(fā)光元件的發(fā)光裝置進(jìn)行說明。圖5是表示本實(shí)施方式涉及的發(fā)光裝置的構(gòu)成的概略主視圖，圖6是表示本實(shí)施方式涉及的發(fā)光裝置的結(jié)構(gòu)的要部概略截面圖。如圖5所示，本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置100具備：具備R（紅）、G（綠）、B（藍(lán)）3色的發(fā)光像素107的元件基板101和隔著規(guī)定的間隔對置配置在元件基板101的密封基板102。密封基板102以密封設(shè)有多個發(fā)光像素107的發(fā)光區(qū)域106的方式，使用具有高氣密性的密封劑貼合于元件基板101。發(fā)光像素107具備作為后述的發(fā)光元件的有機(jī)EL元件112（參照圖6），獲得同色發(fā)光的發(fā)光像素107成為沿附圖上的縱向排列的所謂條紋方式。應(yīng)予說明，實(shí)際上發(fā)光像素107是微細(xì)的，為了方便圖示，進(jìn)行了放大顯示。元件基板101比密封基板102大一圈，在框狀突出的部分設(shè)有2個驅(qū)動發(fā)光像素107的掃描線驅(qū)動電路部103和1個數(shù)據(jù)線驅(qū)動電路部104。掃描線驅(qū)動電路部103、數(shù)據(jù)線驅(qū)動電路部104例如可以作為集成了電路的IC安裝于元件基板101，也可以將掃描線驅(qū)動電路部103和數(shù)據(jù)線驅(qū)動電路部104直接形成于元件基板101的表面。在元件基板101的端子部101a安裝有用于連接這些掃描線驅(qū)動電路部103、數(shù)據(jù)線驅(qū)動電路部104與外部驅(qū)動電路的中繼基板105。中繼基板105例如可以使用柔性電路基板等。如圖6所示，在有機(jī)EL裝置100中，有機(jī)EL元件112具有作為像素電極的陽極131、劃分陽極131的隔壁部133以及包含由形成于陽極131上的有機(jī)膜構(gòu)成的發(fā)光層的功能層132。另外，還具有介由功能層132，以與陽極131對置的方式形成的作為共同電極的陰極134。隔壁部133例如通過將CF4作為處理氣體的等離子處理進(jìn)行疏液化或使用對后述的功能層形成用油墨顯示疏液性的光致抗蝕劑而形成。作為該光致抗蝕劑，例如可舉出日本特開2008-287251號公報所示的在感光性的丙烯酸系樹脂中含有氟系聚合物的疏液抗蝕劑組合物。隔壁部133部分覆蓋構(gòu)成發(fā)光像素107的陽極131的周圍，以分別劃分多個陽極131的方式被設(shè)置。陽極131與形成在元件基板101上的TFT元件108的3個端子中的1個連接，例如，是將透明電極材料ITO（IndiumTinOxide）以厚度100nm左右進(jìn)行成膜而成的電極。陰極134例如利用Al、Ag等具有光反射性的金屬材料、該金屬材料與其它金屬（例如Mg）的合金等形成。本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置100為所謂的底部發(fā)射型結(jié)構(gòu)，在陽極131與陰極134之間通驅(qū)動電流，使功能層132中發(fā)光的光在陰極134反射，從元件基板101側(cè)射出。因此，元件基板101使用玻璃等透明基板。另外，密封基板102可以使用透明基板和不透明基板中的任一種。作為不透明基板，例如可舉出在氧化鋁等的陶瓷、不銹鋼等的金屬片上實(shí)施了表面氧化等絕緣處理而成的不透明基板，除此之外，還可舉出熱固性樹脂、熱塑性樹脂等。在元件基板101設(shè)有驅(qū)動有機(jī)EL元件112的電路部111。即，在元件基板101的表面形成了以SiO2為主體的襯底保護(hù)層121作為襯底，在其上形成了例如由多晶硅等形成的半導(dǎo)體層122。在該半導(dǎo)體層122的表面形成了以SiO2和/或SiN為主體的柵極絕緣膜123。另外，半導(dǎo)體層122中，將夾著柵極絕緣膜123與柵電極126重疊的區(qū)域作為溝道區(qū)域122a。應(yīng)予說明，該柵電極126為未圖示的掃描線的一部分。另一方面，在覆蓋半導(dǎo)體層122且形成有柵電極126的柵極絕緣膜123的表面形成了以SiO2為主體的第1層間絕緣層127。另外，半導(dǎo)體層122中，在溝道區(qū)域122a的源極側(cè)設(shè)有低濃度源極區(qū)域和高濃度源極區(qū)域122c，另一方面，在溝道區(qū)域122a的漏極側(cè)設(shè)有低濃度漏極區(qū)域和高濃度漏極區(qū)域122b，成為所謂LDD（LightDopedDrain）結(jié)構(gòu)。其中，高濃度源極區(qū)域122c介由穿過柵極絕緣膜123和第1層間絕緣層127開孔的接觸孔125a與源電極125連接。該源電極125構(gòu)成為電源線（未圖示）的一部分。另一方面，高濃度漏極區(qū)域122b介由穿過柵極絕緣膜123和第1層間絕緣層127開孔的接觸孔124a與漏電極124連接，所述漏電極124由與源電極125相同的層形成。在形成有源電極125和漏電極124的第1層間絕緣層127的上層形成有平坦化層128。該平坦化層128由丙烯酸系、聚酰亞胺系等的耐熱性絕緣性樹脂等形成，眾所周知是為了除去因TFT元件108、源電極125、漏電極124等引起的表面的凹凸而形成的層。并且，在該平坦化層128的表面上形成陽極131，并且介由設(shè)置于該平坦化層128的接觸孔128a與漏電極124連接。即，陽極131介由漏電極124與半導(dǎo)體層122的高濃度漏極區(qū)域122b連接。陰極134與GND連接。因此，通過作為開關(guān)元件的TFT元件108控制由上述電源線供給到陽極131并在陽極131與陰極134之間流通的驅(qū)動電流。由此，電路部111能夠使所希望的有機(jī)EL元件112發(fā)光而顯示彩色。應(yīng)予說明，驅(qū)動有機(jī)EL元件112的電路部111的構(gòu)成不限于此。功能層132由包括由有機(jī)膜形成的空穴注入層、空穴輸送層、發(fā)光層在內(nèi)的多個薄膜層形成，從陽極131側(cè)按該順序?qū)盈B。在本實(shí)施方式中，這些薄膜層使用液體涂布法或真空蒸鍍法進(jìn)行成膜。液體涂布法包括上述的使用噴出裝置2的液滴噴出法、旋涂法等。作為空穴注入層的材料沒有特別限定，例如可舉出聚（3,4-亞乙二氧基噻吩/苯乙烯磺酸）（PEDOT/PSS）、PEDOT/PSS/Nafion（注冊商標(biāo)）、 聚噻吩及其衍生物、聚苯胺及其衍生物、聚吡咯及其衍生物、N,N,N’,N’-四苯基對二氨基苯及其衍生物等，可以使用這些中的1種或組合2種以上使用。另外，如后詳述，該空穴注入層可以使用本發(fā)明的功能層形成用油墨來形成。對這種空穴注入層的平均厚度沒有特別限定，優(yōu)選為10nm～100nm左右，更優(yōu)選為10nm～50nm左右。中間層（空穴輸送層）設(shè)置在空穴注入層與發(fā)光層之間，是為了提高空穴向發(fā)光層的輸送性（注入性）的同時抑制電子從發(fā)光層侵入空穴注入層而設(shè)置的。即，改善因發(fā)光層中的空穴與電子的結(jié)合而產(chǎn)生的發(fā)光的效率。另外，如后詳述，該中間層可以使用本發(fā)明的功能層形成用油墨來形成。該中間層的構(gòu)成材料可以單獨(dú)或組合使用各種p型高分子材料、各種p型低分子材料。作為p型高分子材料（有機(jī)聚合物），例如可舉出聚（2,7-（9,9-二正辛基芴）-（1,4-亞苯基-（（4-仲丁基苯基）亞氨基）-1,4-亞苯））（TFB）等聚芳基胺這種具有芳基胺骨架的聚合物、芴-聯(lián)噻吩共聚物這種具有芴骨架的聚合物、芴-芳基胺共聚物這種具有芳基胺骨架和芴骨架這兩者的聚合物、聚（N-乙烯基咔唑）、聚乙烯基芘、聚乙烯基蒽、聚噻吩、聚烷基噻吩、聚己基噻吩、聚對苯撐乙炔、聚噻吩乙炔、芘甲醛樹脂、乙基咔唑甲醛樹脂或其衍生物等。這種p型高分子材料也可以作為與其它化合物的混合物來使用。作為一個例子，作為含有聚噻吩的混合物，可舉出聚（3,4-亞乙二氧基噻吩/苯乙烯磺酸）（PEDOT/PSS）等。另一方面，作為p型低分子材料，例如可舉出1,1-雙（4-二對甲苯基氨基苯基）環(huán)己烷、1,1’-雙（4-二對甲苯基氨基苯基）-4-苯基-環(huán)己烷這種芳基環(huán)烷烴系化合物，4,4’,4’’-三甲基三苯胺、N,N,N’,N’-四苯基-1,1’-聯(lián)苯-4,4’-二胺、N,N’-二苯基-N,N’-雙（3-甲基苯基）-1,1’-聯(lián)苯-4,4’-二胺（TPD1）、N,N’-二苯基-N,N’-雙（4-甲氧基苯基）-1,1’-聯(lián)苯-4,4’- 二胺（TPD2）、N,N,N’,N’-四（4-甲氧基苯基）-1,1’-聯(lián)苯-4,4’-二胺（TPD3）、N,N’-雙（1-萘基）-N,N’-二苯基-1,1’-聯(lián)苯-4,4’-二胺（α-NPD）、TPTE這種的芳基胺系化合物，N,N,N’,N’-四苯基對苯二胺、N,N,N’,N’-四（對甲苯基）對苯二胺、N,N,N’,N’-四（間甲苯基）間苯二胺（PDA）這種苯二胺系化合物，咔唑、N-異丙基咔唑、N-苯基咔唑這種咔唑系化合物，茋、4-二對甲苯基氨基茋這種茋系化合物，OxZ這種唑系化合物，三苯甲烷、m-MTDATA這種三苯甲烷系化合物，1-苯基-3-（對二甲氨基苯基）吡唑啉這種吡唑啉系化合物，苯炔（環(huán)己二烯）系化合物，三唑這種三唑系化合物，咪唑這種咪唑系化合物，1,3,4-二唑、2,5-二（4-二甲氨基苯基）-1,3,4-二唑這種二唑系化合物，蒽、9-（4-二乙氨基苯乙烯基）蒽這種蒽系化合物，芴酮、2,4,7,-三硝基-9-芴酮、2,7-雙（2-羥基-3-（2-氯苯基氨基甲?；?1-萘基偶氮）芴酮這種芴酮系化合物，聚苯胺這種苯胺系化合物，硅烷系化合物，1,4-二硫酮-3,6-二苯基-吡咯并（3,4-c）吡咯這種吡咯系化合物，芴這種芴系化合物，卟啉、金屬四苯基卟啉這種卟啉系化合物，喹吖啶酮這種喹吖啶酮系化合物，酞菁、銅酞菁、四（叔丁基）銅酞菁、鐵酞菁這種金屬或非金屬的酞菁系化合物，萘酞菁銅、萘酞菁氧釩、氯代萘酞菁鎵這種金屬或非金屬的萘酞菁系化合物，N,N’-二（萘-1-基）-N,N’-二苯基-聯(lián)苯胺、N,N,N’,N’-四苯基聯(lián)苯胺這種聯(lián)苯胺系化合物等。這種中間層的平均厚度沒有特別限定，優(yōu)選為10nm～150nm左右，更優(yōu)選為10nm～100nm左右。應(yīng)予說明，該中間層可以省略。紅色發(fā)光層紅色發(fā)光層含有發(fā)紅色光的紅色發(fā)光材料而構(gòu)成。應(yīng)予說明，該紅色發(fā)光層可以使用后述的本發(fā)明的功能層形成用油墨形成。作為這種紅色發(fā)光材料，沒有特別限定，可以使用各種紅色熒光材料、紅色磷光材料的1種或組合2種以上使用。作為紅色熒光材料，只要發(fā)出紅色的熒光就沒有特別限定，例如可 舉出苝衍生物、銪配位化合物、苯并吡喃衍生物、羅丹明衍生物、苯并噻噸衍生物、卟啉衍生物、尼羅紅、2-（1,1-二甲基乙基）-6-（2-（2,3,6,7-四氫-1,1,7,7-四甲基-1H,5H-苯并（ij）喹嗪-9-基）乙烯基）-4H-吡喃-4H-亞基)丙二腈（DCJTB）、4-(二氰基亞甲基)-2-甲基-6-(對二甲基氨基苯乙烯基)-4H-吡喃（DCM）等。作為紅色磷光材料，只要發(fā)出紅色的磷光就沒有特別限定，例如可舉出銥、釕、鉑、鋨、錸、鈀等的金屬配位化合物，還可舉出上述金屬配位化合物的配體中的至少一個具有苯基吡啶骨架、聯(lián)吡啶骨架、卟啉骨架等的金屬配位化合物。更具體而言，可舉出三（1-苯基異喹啉）銥、雙[2-(2’-苯并[4,5-α]噻吩基)吡啶-N,C3’]（乙酰丙酮）合銥（btp2Ir（acac））、2,3,101,12,13,17,18-八乙基-12H,23H-卟啉-鉑（II），雙［2-（2’-苯并［4,5-α］噻吩基）吡啶-N,C3’］銥、雙（2-苯基吡啶）（乙酰丙酮）合銥。另外，在紅色發(fā)光層中，除上述紅色發(fā)光材料以外，可以含有將紅色發(fā)光材料作為客體材料添加的主體材料。主體材料具有由注入的空穴和電子生成激子的同時，使該激子的能量遷移至紅色發(fā)光材料（Ferster遷移或Dexter遷移），激發(fā)紅色發(fā)光材料的功能。使用這種主體材料時，例如可將作為客體材料的紅色發(fā)光材料作為摻雜劑摻雜到主體材料中來使用。作為這種主體材料，只要對使用的紅色發(fā)光材料發(fā)揮如上所述的功能就沒有特別限定，紅色發(fā)光材料含有紅色熒光材料時，例如可舉出萘并萘衍生物、萘衍生物、蒽衍生物這種的并苯衍生物（并苯系材料）、二苯乙烯基芳撐衍生物、苝衍生物、二苯乙烯基苯衍生物、二苯乙烯基胺衍生物、三（8-羥基喹啉）鋁配位化合物（Alq3）等羥基喹啉系金屬配位化合物、三苯胺的四聚體等三芳基胺衍生物、二唑衍生物、噻咯衍生物、二咔唑衍生物、低聚噻吩衍生物、苯并吡喃衍生物、三唑衍生物、苯并唑衍生物、苯并噻唑衍生物、喹啉衍生物、4,4’-雙（2,2’-二苯基乙烯基）聯(lián)苯（DPVBi）等，可以單獨(dú)使用其中1種或組合2種以上使用。使用如上所述的紅色發(fā)光材料（客體材料）和主體材料時，紅色發(fā) 光層中的紅色發(fā)光材料的含量（摻雜量）優(yōu)選為0.01wt%～10wt%，更優(yōu)選為0.1wt%～5wt%。通過使紅色發(fā)光材料的含量在這樣的范圍內(nèi)，能夠使發(fā)光效率最優(yōu)化。這種紅色發(fā)光層的平均厚度沒有特別限定，優(yōu)選為10nm～150nm左右，更優(yōu)選為10nm～100nm左右。綠色發(fā)光層綠色發(fā)光層含有發(fā)綠色光的綠色發(fā)光材料而構(gòu)成。應(yīng)予說明，該綠色發(fā)光層可以使用后述的本發(fā)明的功能層形成用油墨來形成。作為這種綠色發(fā)光材料沒有特別限定，例如可舉出各種綠色熒光材料和綠色磷光材料，可以使用其中的1種或組合2種以上使用。作為綠色熒光材料，只要發(fā)出綠色的熒光就沒有特別限定，例如可舉出香豆素衍生物、喹吖啶酮及其衍生物、9,10-雙［（9-乙基-3-咔唑）-亞乙烯基］-蒽等。作為綠色磷光材料，只要發(fā)出綠色的熒光就沒有特別限定，例如可舉出銥、釕、鉑、鋨、錸、鈀等的金屬配位化合物，具體而言，可舉出面式-三(2-苯基吡啶)銥（Ir(ppy)3）、雙（2-苯基吡啶-N,C2’）（乙酰丙酮）合銥、面式-三[5-氟-2-(5-三氟甲基-2-吡啶)苯基-C,N]銥等。另外，在綠色發(fā)光層中，除上述綠色發(fā)光材料之外，可以含有將綠色發(fā)光材料作為客體材料添加的主體材料。作為這種主體材料，可以使用與上述的紅色發(fā)光層中說明的主體材料同樣的材料。藍(lán)色發(fā)光層藍(lán)色發(fā)光層含有發(fā)藍(lán)色光的藍(lán)色發(fā)光材料而構(gòu)成。應(yīng)予說明，該藍(lán)色發(fā)光層可以使用后述的本發(fā)明的功能層形成用油墨來形成。作為這種藍(lán)色發(fā)光材料，例如可舉出各種藍(lán)色熒光材料和藍(lán)色磷光材料，可以使用其中的1種或組合2種以上使用。作為藍(lán)色熒光材料，只要發(fā)出藍(lán)色的熒光就沒有特別限定，例如可舉出二苯乙烯基二胺系化合物等二苯乙烯基胺衍生物、熒蒽衍生物、芘衍生物、苝和苝衍生物、蒽衍生物、苯并唑衍生物、苯并噻唑衍生物、苯并咪唑衍生物、衍生物、菲衍生物、二苯乙烯基苯衍生物、四苯基丁二烯、4,4’-雙(9-乙基-3-咔唑乙烯基)-1,1’-聯(lián)苯（BCzVBi）等。作為藍(lán)色磷光材料，只要發(fā)出藍(lán)色的磷光就沒有特別限定，例如可舉出銥、釕、鉑、鋨、錸、鈀等的金屬配位化合物，具體而言，可舉出雙[4,6-二氟苯基吡啶-N,C2’]-吡啶甲酰合銥、三[2-(2,4-二氟苯基)吡啶-N,C2’]銥、雙[2-(3,5-三氟甲基)吡啶-N,C2’]-吡啶甲酰合銥、雙(4,6-二氟苯基吡啶-N,C2’)(乙酰丙酮)合銥等。另外，在藍(lán)色發(fā)光層中，除上述藍(lán)色發(fā)光材料以外，還可以含有將藍(lán)色發(fā)光材料作為客體材料而添加的主體材料。作為這種主體材料，可以使用與上述的紅色發(fā)光層中說明的主體材料同樣的材料。用于形成上述的紅色發(fā)光層、綠色發(fā)光層、藍(lán)色發(fā)光層的功能層形成材料是含有客體材料和主體材料的低分子材料，通常通過真空蒸鍍法等氣相沉積法進(jìn)行成膜，但低分子材料也能夠使用液滴噴出法進(jìn)行成膜。當(dāng)然，也可以制成適合液滴噴出法的高分子材料的構(gòu)成，應(yīng)用于功能層形成用油墨。在各色的發(fā)光層與陰極134之間，從發(fā)光層側(cè)起形成有電子輸送層和電子注入層。電子輸送層具有將從陰極134介由電子注入層注入的電子輸送至發(fā)光層的功能。作為電子輸送層的構(gòu)成材料（電子輸送材料），例如可舉出以三（8-羥基喹啉）鋁（Alq3）等8-羥基喹啉或其衍生物為配體的有機(jī)金屬配位化合物等喹啉衍生物、二唑衍生物、苝衍生物、吡啶衍生物、嘧啶衍生物、喹喔啉衍生物、二苯基醌衍生物、硝基取代芴衍生物等，可使用其中的1種或組合2種以上使用。電子輸送層的平均厚度沒有特別限定，優(yōu)選為0.5nm～100nm左右，更優(yōu)選為1nm～50nm左右。應(yīng)予說明，該電子輸送層可以省略。電子注入層具有提高來自陰極134的電子的注入效率的功能。作為該電子注入層的構(gòu)成材料（電子注入材料），例如可舉出各種無機(jī)絕緣材料、各種無機(jī)半導(dǎo)體材料。作為這種無機(jī)絕緣材料，例如可舉出堿金屬硫?qū)僭鼗铮ㄑ趸铩⒘蚧?、硒化物、碲化物）、堿土類金屬硫?qū)僭鼗铩A金屬的鹵化物和堿土類金屬的鹵化物等，可使用其中的1種或組合2種以上使用。通過將上述無機(jī)絕緣材料作為主材料來構(gòu)成電子注入層，從而能夠進(jìn)一步提高電子注入性。尤其是堿金屬化合物（堿金屬硫?qū)僭鼗铩A金屬的鹵化物等）的功函數(shù)非常小，通過使用堿金屬化合物構(gòu)成電子注入層，從而有機(jī)EL元件112可獲得高亮度。作為堿金屬硫?qū)僭鼗?，例如可舉出Li2O、LiO、Na2S、Na2Se、NaO等。作為堿土類金屬硫?qū)僭鼗铮缈膳e出CaO、BaO、SrO、BeO、BaS、MgO、CaSe等。作為堿金屬的鹵化物，例如可舉出CsF、LiF、NaF、KF、LiCl、KCl、NaCl等。作為堿土類金屬的鹵化物，例如可舉出CaF2、BaF2、SrF2、MgF2、BeF2等。另外，作為無機(jī)半導(dǎo)體材料，例如可舉出含有Li、Na、Ba、Ca、Sr、Yb、Al、Ga、In、Cd、Mg、Si、Ta、Sb以及Zn中的至少1種元素的氧化物、氮化物或氧化氮化物等，可使用其中的1種或組合2種以上使用。電子注入層的平均厚度沒有特別限定，優(yōu)選為0.1nm～1000nm左右，更優(yōu)選為0.2nm～100nm左右，進(jìn)一步優(yōu)選為0.2nm～50nm左右。應(yīng)予說明，該電子注入層可以省略。形成在發(fā)光層上的電子輸送層、電子注入層、陰極134的形成優(yōu)選采用可避開與容易降低作為有機(jī)薄膜層的發(fā)光層的功能的水、氧等的氣體接觸或熱的影響，在減壓下進(jìn)行成膜的真空蒸鍍法、濺射法。具有這種有機(jī)EL元件112的元件基板101介由將熱固型環(huán)氧樹脂等用作密封部件的密封層135，與密封基板102無間隙地進(jìn)行固封。本實(shí)施方式的有機(jī)EL元件112使用后述的制造方法制造，由于發(fā)光層具有幾乎恒定的膜厚和穩(wěn)定的膜形狀（截面形狀），所以在得到不同的發(fā)光色的功能層132R、132G、132B中可得到各自所希望的發(fā)光特性。應(yīng)予說明，本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置100不限于底部發(fā)射型，例如還可以為下述頂部發(fā)射型的結(jié)構(gòu)，即，使用光反射性的導(dǎo)電材料形成陽極131，使用透明的導(dǎo)電材料形成作為共同電極的陰極134，使有機(jī)EL元件112的發(fā)出光在陽極131反射，從密封基板102側(cè)射出。另外，作為頂部發(fā)射型時，可以是將與有機(jī)EL元件112的發(fā)光色對應(yīng)的濾色器設(shè)置于密封基板102側(cè)的構(gòu)成。此外，在密封基板102側(cè)具有濾色器時，有機(jī)EL元件112可以是得到白色發(fā)光的構(gòu)成。發(fā)光元件的制造方法接下來，參照圖7～圖9，對作為本實(shí)施方式的發(fā)光元件的制造方法的有機(jī)EL元件112的制造方法進(jìn)行說明。圖7是表示本實(shí)施方式涉及的有機(jī)EL元件的制造方法的流程圖，圖8（a）～（d）和圖9（e）～（i）是表示本實(shí)施方式涉及的有機(jī)EL元件的制造方法的概略截面圖。如圖7所示，本實(shí)施方式的有機(jī)EL元件112的制造方法至少具備：隔壁部形成工序（步驟S10）、對形成有隔壁部的基板實(shí)施表面處理的表面處理工序（步驟S20）、空穴注入層形成工序（步驟S30）、中間層形成工序（步驟S40）、發(fā)光層形成工序（步驟S50）、陰極形成工序（步驟S60）以及使形成了有機(jī)EL元件的元件基板101與密封基板102接合的密封基板接合工序（步驟S70）。應(yīng)予說明，在元件基板101上形成電路部111的工序和形成與電路部111電連接的陽極131的工序，使 用公知的制造方法即可，在本實(shí)施方式中省略其詳細(xì)說明。圖7的步驟S10為隔壁部形成工序。如圖8（a）所示，在步驟S10中，以覆蓋陽極131的周圍的一部分并按每個陽極131分割的方式形成隔壁部133。作為形成方法，例如，在形成有陽極131的元件基板101的表面以大約1μm～3μm左右的厚度涂布感光性的酚醛樹脂或聚酰亞胺樹脂。作為涂布方法，可舉出轉(zhuǎn)印法、狹縫涂布法等。然后，通過使用與發(fā)光像素107的形狀對應(yīng)的掩模進(jìn)行曝光、顯影，從而能夠形成與發(fā)光像素107對應(yīng)的隔壁部133。以下，將通過隔壁部133劃分的發(fā)光像素107的區(qū)域稱為膜形成區(qū)域A。然后，進(jìn)行步驟S20。圖7的步驟S20為表面處理工序。在步驟S20中，對形成有隔壁部133的元件基板101的表面實(shí)施親液處理和疏液處理。首先，進(jìn)行將氧作為處理氣體的等離子處理，對主要由無機(jī)材料形成的陽極131的表面實(shí)施親液處理。接著，進(jìn)行將CF4等氟系氣體作為處理氣體的等離子處理，在由有機(jī)材料形成的隔壁部133的表面導(dǎo)入氟，實(shí)施疏液處理。然后，進(jìn)行步驟S30。圖7的步驟S30為空穴注入層形成工序。在步驟S30中，首先，如圖8（b）所示，將含有空穴注入層形成材料的液狀體75涂布于膜形成區(qū)域A。液狀體75是本發(fā)明的功能層形成用油墨的一個例子，使用含有后述的成膜用的混合溶劑C且以重量比0.5%左右含有上述的p型高分子材料或低分子材料作為空穴注入層形成材料的液狀體。作為涂布液狀體75的方法，使用之前說明的能夠?qū)⒁籂铙w（油墨）從噴出噴頭34的噴嘴56噴出的噴出裝置2。使噴出噴頭34與作為被加工物W的元件基板101對置，將液狀體75從噴出噴頭34噴出。被噴出的液狀體75成為液滴著落在經(jīng)親液處理的陽極131而潤濕擴(kuò)展。另外，以干燥后的空穴注入層的膜厚成為大約50nm～70nm的方式作為液滴噴出相應(yīng)于膜形成區(qū)域A的面積的需要量。然后，進(jìn)行干燥工序。在干燥工序中，通過用例如減壓干燥和燈退火等方法對元件基板101進(jìn)行干燥加熱，從而干燥除去液狀體75的溶劑成分，如圖8（c）所示地在膜形成區(qū)域A的陽極131上形成空穴注入層132a。應(yīng)予說明，在本實(shí)施方式中，雖然在各膜形成區(qū)域A形成了由相同材料形成的空穴 注入層132a，但可以對應(yīng)之后形成的發(fā)光層按各發(fā)光色改變空穴注入層132a的材料。然后，進(jìn)行步驟S40。圖7的步驟S40為中間層形成工序。在步驟S40中，如圖8（d）所示，將含有中間層形成材料的液狀體80賦予于膜形成區(qū)域A。將在中間層上形成的發(fā)光層用液體涂布法形成時，作為液狀體80，例如使用含有環(huán)己基苯作為溶劑，以重量比0.25%左右含有上述的p型高分子材料或低分子材料的材料作為中間層形成材料的液狀體。另外，如圖9（h）所示，用真空蒸鍍法形成發(fā)光層90（90r、90g、90b）時，例如可以使用含有后述的成膜用的混合溶劑C作為溶劑，以重量比0.25%左右含有上述的p型高分子材料或低分子材料的材料作為中間層形成材料的液狀體。換言之，發(fā)光層90的形成方法不限于液體涂布法，也可以使用真空蒸鍍法。作為涂布液狀體80的方法，與涂布液狀體75的情況同樣地使用噴出裝置2。以干燥后的中間層的膜厚成為大約10nm～30nm的方式作為液滴噴出與膜形成區(qū)域A的面積相應(yīng)的需要量。然后，進(jìn)行干燥工序。在干燥工序中，例如通過用減壓干燥和燈退火等方法干燥加熱元件基板101，從而干燥除去液狀體80的溶劑成分，如圖9（e）所示地在膜形成區(qū)域A的空穴注入層132a上形成中間層132c。然后，進(jìn)行步驟S50。圖7的步驟S50為發(fā)光層形成工序。在步驟S50中，如圖9（f）所示，將含有發(fā)光層形成材料的液狀體85R、85G、85B分別涂布于對應(yīng)的膜形成區(qū)域A。液狀體85R、85G、85B是本發(fā)明的功能層形成用油墨的一個例子，使用含有后述的成膜用的混合溶劑C且以重量比1.5%含有上述的高分子或低分子的發(fā)光層形成材料的液狀體。涂布液狀體85R、85G、85B的方法仍然使用噴出裝置2，將液狀體85R、85G、85B分別填充到不同的噴出噴頭34，進(jìn)行噴出。發(fā)光層成膜時，使用能夠?qū)⒁籂铙w85R、85G、85B向膜形成區(qū)域A 不發(fā)生噴出不均且穩(wěn)定地噴出需要量的液滴噴出法。以干燥后的發(fā)光層的膜厚成為大約50nm～100nm的方式作為液滴噴出與膜形成區(qū)域A的面積相應(yīng)的需要量。然后，進(jìn)行干燥工序。本實(shí)施方式中的噴出的液狀體85R、85G、85B的干燥工序是通過用減壓干燥和燈退火等方法干燥加熱來進(jìn)行。通過利用液滴噴出法，在膜形成區(qū)域A均勻地涂布需要量的液狀體85R、85G、85B。因此，如圖9（g）所示，對于干燥后形成的發(fā)光層132r、132g、132b而言，每個膜形成區(qū)域A具有幾乎恒定的膜厚。然后，進(jìn)行步驟S60。圖7的步驟S60為陰極形成工序。在步驟S60中，如圖9（i）所示，以覆蓋隔壁部133和各功能層132R、132G、132B的方式形成陰極134。由此構(gòu)成有機(jī)EL元件112。陰極134優(yōu)選組合使用上述的材料。應(yīng)予說明，在功能層132R、132G、132B與陰極134之間，優(yōu)選根據(jù)需要導(dǎo)入電子輸送層、電子注入層。作為陰極134的形成方法，可舉出真空蒸鍍法、濺射法、CVD法等。特別是從能夠防止功能層132R、132G、132B的因熱的損傷的角度出發(fā)，優(yōu)選真空蒸鍍法。然后，進(jìn)行步驟S70。圖7的步驟S70為密封基板接合工序。步驟S70中，在形成了有機(jī)EL元件112的元件基板101涂布透明的密封層135，與透明的密封基板102無間隙地進(jìn)行固封（參照圖6）。此外，優(yōu)選在密封基板102的外周區(qū)域設(shè)置防止水分、氧等進(jìn)入的粘接層而進(jìn)行接合。接下來，舉出具體的實(shí)施例和比較例進(jìn)一步對有機(jī)EL元件112的制造方法進(jìn)行說明。實(shí)施例1首先，在形成有陽極層的基板上通過噴墨法形成層厚50nm～60nm的空穴注入層，真空干燥后，實(shí)施在150℃下加熱的燒成處理。在此，作為空穴注入層材料，使用將屬于聚噻吩衍生物的3,4-聚亞乙二氧基噻吩分散在作為分散介質(zhì)的聚苯乙烯磺酸中，再將其分散在水中的而成的PEDOT/PSS（1/20）。在此，為了能夠進(jìn)行穩(wěn)定的噴出，向?qū)儆诟叻肿硬牧系腜EDOT/PSS中添加高沸點(diǎn)溶劑。作為高沸點(diǎn)溶劑，可舉出芳香 族烴、異丙醇（IPA）、正丁醇、γ-丁內(nèi)酯、N-甲基吡咯烷酮（NMP）、二甲基甲酰胺（DMF）、六甲基磷酰胺（HMPA）、二甲基亞砜（DMSO）、1,3-二甲基-2-咪唑啉酮（DMI）及其衍生物、卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯等二元醇醚類。另外，也可以使用PEDOT/PSS/Nafion（注冊商標(biāo)）、聚噻吩衍生物、聚苯胺衍生物、聚吡咯衍生物等作為PEDOT/PSS以外的空穴注入材料。接著，使用含有0.25wt%的屬于高分子材料的TFB的環(huán)己基苯溶液，通過噴墨法噴出到空穴注入層上而形成中間層（空穴輸送層）。然后，在減壓干燥后形成膜厚為20nm的中間層（空穴輸送層）。其后，在氮?dú)猸h(huán)境下，在180℃加熱1小時，燒成涂布膜，利用二甲苯溶劑除去TFB的可溶層，在有機(jī)溶劑中形成不溶的TFB層（中間層）。然后，使用含有1.5wt%的上述紅色、綠色、藍(lán)色低分子發(fā)光材料的混合溶劑C（非水系溶劑A＋非水系溶劑B），通過液滴噴出法（噴墨法）噴出到空穴輸送層上，經(jīng)減壓干燥形成層厚60nm～80nm的層后，將其在氮?dú)猸h(huán)境下，在160℃實(shí)施10分鐘的燒成處理，形成發(fā)光層。此外，在真空度為10-6Torr（1.33×10-4Pa）的真空下，通過真空蒸鍍法層疊任意的電子輸送層、電子注入層而形成陰極層。實(shí)施例2使用含有1.5wt%的實(shí)施例1的紅色、綠色、藍(lán)色低分子發(fā)光材料的混合溶劑C（水系溶劑A＋水系溶劑B）同樣地形成發(fā)光層。實(shí)施例2的有機(jī)EL元件的制造方法中的其它工序與實(shí)施例1相同。實(shí)施例3使用含有1.5wt%的實(shí)施例1的紅色、綠色、藍(lán)色低分子發(fā)光材料的混合溶劑C（非水系溶劑A＋水系溶劑B）同樣地形成發(fā)光層。實(shí)施例3的有機(jī)EL元件的制造方法中的其它工序與實(shí)施例1相同。實(shí)施例4使用含有1.5wt%的實(shí)施例1的紅色、綠色、藍(lán)色低分子發(fā)光材料的混合溶劑C（水系溶劑A＋非水系溶劑B）同樣地形成發(fā)光層。實(shí)施 例4的有機(jī)EL元件的制造方法中的其它工序與實(shí)施例1相同。實(shí)施例5首先，在形成有陽極層的基板上通過噴墨法形成層厚50nm～60nm的空穴注入層，真空干燥后，實(shí)施在150℃加熱的燒成處理。在此，作為空穴注入層材料，使用將屬于聚噻吩衍生物的3,4-聚亞乙二氧基噻吩分散在作為分散介質(zhì)的聚苯乙烯磺酸中而成的PEDOT/PSS（1/20）。在此，為了能夠進(jìn)行穩(wěn)定的噴出，向?qū)儆诟叻肿硬牧系腜EDOT/PSS中添加高沸點(diǎn)溶劑。作為高沸點(diǎn)溶劑，可舉出芳香族烴、異丙醇（IPA）、正丁醇、γ-丁內(nèi)酯、N-甲基吡咯烷酮（NMP）、二甲基甲酰胺（DMF）、六甲基磷酰胺（HMPA）、二甲基亞砜（DMSO）、1,3-二甲基-2-咪唑啉酮（DMI）及其衍生物、卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯等二元醇醚類。另外，也可以使用PEDOT/PSS/Nafion（注冊商標(biāo)）、聚噻吩衍生物、聚苯胺衍生物、聚吡咯衍生物等作為除PEDOT/PSS以外的空穴注入材料。其后，使用上述的含有0.25wt%的低分子材料的混合溶液C（非水系溶劑A＋非水系溶劑B）作為中間層形成材料，通過噴墨法噴出到空穴注入層上。然后，在減壓干燥后形成膜厚為20nm的中間層。其后，在氮?dú)猸h(huán)境下，在180℃加熱1小時來燒成涂布膜。接著，將紅色、綠色、藍(lán)色低分子發(fā)光材料在真空度為10-6Torr（1.33×10-4Pa）的真空下通過真空蒸鍍法進(jìn)行掩模蒸鍍，形成發(fā)光層。接著，層疊電子輸送層、電子注入層而形成陰極層。實(shí)施例6使用含有0.25wt%的實(shí)施例5的低分子材料的中間層形成材料的混合溶劑C（水系溶劑A＋水系溶劑B）形成中間層。實(shí)施例6的有機(jī)EL元件的制造方法中的其它工序與實(shí)施例5相同。實(shí)施例7使用含有0.25wt%的實(shí)施例5的低分子材料的中間層形成材料的混合溶劑C（非水系溶劑A＋水系溶劑B）同樣地形成中間層。實(shí)施例7 的有機(jī)EL元件的制造方法中的其它工序與實(shí)施例5相同。實(shí)施例8使用含有0.25wt%的實(shí)施例5的低分子材料的中間層形成材料的混合溶劑C（水系溶劑A＋非水系溶劑B）同樣地形成中間層。實(shí)施例8的有機(jī)EL元件的制造方法中的其它工序與實(shí)施例5相同。上述實(shí)施例1～實(shí)施例8中，在所有功能層形成用油墨中，混合溶劑C均以0.1wt%～10wt%的范圍含有溶劑A。比較例1使用含有1.5wt%的實(shí)施例1的紅色、綠色、藍(lán)色低分子發(fā)光材料的B溶液（非水系溶劑B）形成發(fā)光層。比較例1的有機(jī)EL元件的制造方法中的其它工序與實(shí)施例1相同。比較例2使用含有1.5wt%的實(shí)施例1的紅色、綠色、藍(lán)色低分子發(fā)光材料的B溶液（水系溶劑B）形成發(fā)光層。比較例2的有機(jī)EL元件的制造方法中的其它工序與實(shí)施例1相同。比較例3使用含有0.25wt%的實(shí)施例5的低分子材料的中間層形成材料的B溶液（非水系溶劑B）形成中間層。比較例3的有機(jī)EL元件的制造方法中的其它工序與實(shí)施例1相同。比較例4使用含有0.25wt%的實(shí)施例5的低分子材料的中間層形成材料的B溶液（水系溶劑B）形成中間層。比較例4的有機(jī)EL元件的制造方法中的其它工序與實(shí)施例1相同。比較例5使用含有1.5wt%的實(shí)施例1的紅色、綠色、藍(lán)色低分子發(fā)光材料 的A溶液（非水系溶劑A）形成發(fā)光層。比較例5的有機(jī)EL元件的制造方法中的其它工序與實(shí)施例1相同。比較例6使用含有1.5wt%的實(shí)施例1的紅色、綠色、藍(lán)色低分子發(fā)光材料的A溶液（水系溶劑A）形成發(fā)光層。比較例6的有機(jī)EL元件的制造方法中的其它工序與實(shí)施例1相同。比較例7使用含有0.25wt%的實(shí)施例5的低分子材料的中間層形成材料的A溶液（非水系溶劑A）形成中間層。比較例7的有機(jī)EL元件的制造方法中的其它工序與實(shí)施例1相同。比較例8使用含有0.25wt%的實(shí)施例5的低分子材料的中間層形成材料的A溶液（水系溶劑A）形成中間層。比較例8的有機(jī)EL元件的制造方法中的其它工序與實(shí)施例1相同。在圖10～圖12中示出實(shí)施例和比較例的評價結(jié)果。另外，在圖10和圖11中示出了構(gòu)成實(shí)施例1～實(shí)施例8中的功能層形成用油墨所含的混合溶劑C時的溶劑A和溶劑B的具體例。另外，在圖12中示出了比較例1～比較例8中的功能層形成用油墨所含的非水系溶劑或水系溶劑的具體例。根據(jù)實(shí)施例1～實(shí)施例8，與比較例1～比較例8相比，在功能層形成用油墨的干燥過程中，能夠降低因各種功能層形成材料的分子間相互作用而引起的凝集的速度，由此，能夠有效果地抑制凝集。因此，能夠獲得均勻的發(fā)光。在比較例5～比較例8中，由于僅用高沸點(diǎn)且高粘度的溶劑A進(jìn)行油墨化，所以溶劑A與材料的相互作用強(qiáng)，減壓干燥后的去溶劑性變差。由此，在其后的燒成處理中，功能層形成材料遷移，結(jié)果發(fā)生凝集。因此，無法獲得均勻的發(fā)光。此外，觀測到因去溶劑性變差而元件特性下降。應(yīng)予說明，本實(shí)施例中，其結(jié)果是本發(fā)明的功能層形成用油墨適合應(yīng)用于低分子材料，但同樣也能夠使用于高分子材料。第2實(shí)施方式電子設(shè)備接下來，參照圖13～圖15對本實(shí)施方式的電子設(shè)備進(jìn)行說明。作為上述第1實(shí)施方式的發(fā)光裝置的有機(jī)EL裝置100可以為單色顯示，另外，通過選擇各有機(jī)EL元件112中使用的發(fā)光材料，也能夠進(jìn)行彩色顯示。這種有機(jī)EL裝置100能夠安裝于各種電子設(shè)備。圖13是表示作為電子設(shè)備的移動型（或筆記本型）的個人計(jì)算機(jī)的構(gòu)成的立體圖。該圖中，個人計(jì)算機(jī)1100由具備鍵盤1102的主體部1104和具備顯示部的顯示單元1106構(gòu)成，顯示單元1106介由鉸鏈結(jié)構(gòu)部被主體部1104可旋轉(zhuǎn)地支撐。該個人計(jì)算機(jī)1100中，具備顯示單元1106的顯示部由上述有機(jī)EL裝置100構(gòu)成。圖14是表示作為電子設(shè)備的便攜式電話（也包括PHS）的構(gòu)成的立體圖。該圖中，便攜式電話1200具備多個操作按鍵1202、聽器1204、話器1206以及顯示部。便攜式電話1200中，該顯示部由上述有機(jī)EL裝置100構(gòu)成。圖15是表示作為電子設(shè)備的數(shù)碼相機(jī)的構(gòu)成的立體圖。應(yīng)予說明，該圖中，還簡單示出了與外部設(shè)備的連接。數(shù)碼相機(jī)1300通過CCD（ChargeCoupledDevice）等攝像元件將被攝物的光學(xué)圖像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換而生成攝像信號（圖像信號）。在數(shù)碼相機(jī)1300的機(jī)體（主體）1302的背面設(shè)有顯示部，是基于 由CCD生成的攝像信號進(jìn)行顯示的構(gòu)成，作為將被攝物顯示為電子圖像的取景器而發(fā)揮功能。在數(shù)碼相機(jī)1300中，該顯示部由上述的有機(jī)EL裝置100構(gòu)成。在機(jī)體1302的內(nèi)部設(shè)有電路基板1308。該電路基板1308設(shè)有能存放（存儲）攝像信號的存儲器。另外，在機(jī)體1302的正面?zhèn)龋▓D示的結(jié)構(gòu)中的背面?zhèn)龋┰O(shè)有包括光學(xué)透鏡（攝像光學(xué)系統(tǒng)）、CCD等的受光單元1304。攝影者確認(rèn)顯示部所顯示的被攝物像，按下快門按鈕1306，則這時的CCD的攝像信號被轉(zhuǎn)送·存放到電路基板1308的存儲器中。另外，在該數(shù)碼相機(jī)1300中，在機(jī)體1302的側(cè)面設(shè)有視頻信號輸出端子1312和數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314。并且，如圖所示，視頻信號輸出端子1312根據(jù)需要例如與電視監(jiān)視器1430連接，數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314根據(jù)需要例如與個人計(jì)算機(jī)1440連接。此外，通過規(guī)定的操作使存放于電路基板1308的存儲器中的攝像信號輸出到電視監(jiān)視器1430、個人計(jì)算機(jī)1440。根據(jù)以上說明的這些電子設(shè)備，由于在顯示部分別具視感良好的有機(jī)EL裝置100，所以能夠視覺性好地確認(rèn)文字、圖像等信息。應(yīng)予說明，本發(fā)明的電子設(shè)備除適用于圖13的個人計(jì)算機(jī)（移動型個人計(jì)算機(jī)）1100、圖14的便攜式電話1200、圖15的數(shù)碼相機(jī)1300以外，還可以適用于例如電視機(jī)、攝像機(jī)、取景器型或直接監(jiān)視器型的磁帶錄像機(jī)、便攜型個人電腦、汽車導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本（還包括附帶通信功能的電子記事本）、電子詞典、計(jì)算器、電子游戲機(jī)、文字處理器、工作站、電視電話、防盜用電視監(jiān)視器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、POS終端、具備觸摸面板的設(shè)備（例如金融機(jī)構(gòu)的自動提款機(jī)、自動售票機(jī)）、醫(yī)療設(shè)備（例如電子體溫計(jì)、血壓計(jì)、血糖儀、心電顯示裝置、超聲波診斷裝置、內(nèi)窺鏡用顯示裝置）、魚群探測機(jī)、各種測定設(shè)備、度量儀表類（例如，車輛、飛機(jī)、船舶的度量儀表類）、飛行模擬裝置、其它各種監(jiān)視器類、投影儀等投射型顯示裝置等。另外，在上述實(shí)施方式中說明了將有機(jī)EL裝置100組裝于顯示部的例子，但本發(fā)明的作為發(fā)光裝置的有機(jī)EL裝置100不限于此，例如，也可以用作電致變色調(diào)光玻璃、電子紙、照明裝置、電子照片方式的打印機(jī)的曝光裝置的光源。本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式，在不違反從權(quán)利要求和說明書整體中得到的發(fā)明的主旨或思想的范圍內(nèi)能夠適當(dāng)變更，伴隨這種變更的功能層形成用油墨和發(fā)光元件的制造方法、發(fā)光裝置及電子設(shè)備也包括在本發(fā)明的技術(shù)的范圍內(nèi)。除上述實(shí)施方式以外，也可考慮各種變形例。以下，舉出變形例進(jìn)行說明。變形例1上述實(shí)施方式的功能層形成用油墨不限于在有機(jī)EL元件112的制造方法中使用。圖16（a）是表示濾色器基板的構(gòu)成的概略俯視圖，同圖（b）是表示濾色器基板的結(jié)構(gòu)的概略截面圖。如圖16（a）和（b）所示，濾色器基板200具有：玻璃等透明的基材201、形成于基材201上的隔壁202以及形成于由隔壁202劃分的膜形成區(qū)域上的對應(yīng)于紅（R）、綠（G）、藍(lán)（B）各色的著色層203R、203G、203B。因此，用液滴噴出法涂布含有按各色準(zhǔn)備的著色層形成材料的功能液時也能夠?qū)⒈緦?shí)施方式的功能層形成用油墨用于作為設(shè)備的濾色器基板的制造方法。由此，能夠制造具備了具有所希望的膜厚和膜形狀的著色層203R、203G、203B的濾色器基板200。符號說明75、80、85…作為功能層形成油墨的液狀體，100…作為發(fā)光裝置的有機(jī)EL裝置，101…作為基板的元件基板，112…作為發(fā)光元件的有機(jī)EL元件，131…作為像素電極的陽極，132a…空穴注入層，132c…中間層（空穴輸送層），132r、132g、132b…發(fā)光層，132R、132G、132B…功能層，134…陰極，1100…作為電子設(shè)備的個人計(jì)算機(jī)，1200…作為電子設(shè)備的便攜式電話，1300…數(shù)碼相機(jī)，A…膜形成區(qū)域。