用于確定狹縫噴嘴的形狀的設備及方法
【專利摘要】提供了一種用于確定狹縫噴嘴的形狀的設備及方法。在該設備中，狹縫噴嘴包括第一噴嘴主體部分和第二噴嘴主體部分，第二噴嘴主體部分被安裝為以預定間隔與第一噴嘴主體部分分隔開并且在其間設置有分隔構件，從而使涂覆液通過其排出的狹縫形的開口形成在第一和第二噴嘴主體部分之間，第二噴嘴主體部分包括與第一噴嘴主體部分的一個區(qū)域一起形成所述開口的臺部，該設備包括：流速不均勻性決定單元，被構造為決定涂覆液進入到臺部上之前在寬度方向上的流速不均勻性的程度是否為預定值或更大值；以及臺部長度計算單元，被構造為當流速不均勻性的程度為預定值或更大值時計算在涂覆液排出的方向上的臺部的中央部分的長度和臺部的每個端部的長度之間的差。
【專利說明】用于確定狹縫噴嘴的形狀的設備及方法
[0001]本申請要求于2013年5月24日在韓國知識產權局提交的第10-2013-0058855號韓國專利申請的優(yōu)先權和權益，該韓國專利申請的全部內容通過引用全部被包含于此。

【技術領域】
[0002]本發(fā)明的一方面涉及一種用于確定狹縫噴嘴的形狀的設備及方法，更具體地說，涉及一種用于確定狹縫噴嘴的形狀的設備及方法，其使涂覆液能夠從狹縫噴嘴均勻排出。

【背景技術】
[0003]具有各種形式和方法的涂覆設備存在于若干工業(yè)中，包括半導體制造領域、液晶顯示器領域、電池領域等。在這些涂覆設備中，通過狹縫形的噴嘴將涂覆液以表面形狀均勻地涂覆的狹縫涂覆設備被用作具有高生產速度和優(yōu)良品質的涂覆設備。
[0004]涂覆液在狹縫噴嘴上的注射在狹縫噴嘴的中央處執(zhí)行。在這種情況下，在根據(jù)狹縫噴嘴的寬度方向上的長度的坐標處，在寬度方向上的涂覆液分別做不同的運動。因此，如果涂覆液在狹縫噴嘴中的流動方向不是無限長的，則涂覆液的排出壓力根據(jù)狹縫噴嘴的寬度方向是不相等的，因此，排出的涂覆液的流速沿狹縫噴嘴的寬度方向變得不相等。當涂覆液涂覆在基體材料上時，這種不均勻性引起工藝失敗。
[0005]此外，當狹縫噴嘴的寬度方向上的長度加長時，這種不均勻性變得更嚴重。然而，狹縫噴嘴的寬度方向上的長度應該被加長，以增加其上涂覆有涂覆液的基體材料的產量。因此，需要防止排出的涂覆液在寬度方向上的流速不均勻性隨著狹縫噴嘴的寬度方向上的長度的加長而增加。


【發(fā)明內容】

[0006]實施例提供一種用于確定狹縫噴嘴的形狀的設備及方法，其可以防止排出的涂覆液在狹縫噴嘴的寬度方向上的流速不均勻性。
[0007]根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種用于確定狹縫噴嘴的形狀的設備，所述狹縫噴嘴包括第一噴嘴主體部分和第二噴嘴主體部分，第二噴嘴主體部分被安裝為以預定間隔與第一噴嘴主體部分分隔開并且在第一噴嘴主體部分和第二噴嘴主體部分之間設置有分隔構件，從而使涂覆液通過其排出的狹縫形的開口形成在第一噴嘴主體部分和第二噴嘴主體部分之間，第二噴嘴主體部分包括與第一噴嘴主體部分的一個區(qū)域一起形成所述開口的臺部，所述設備包括:流速不均勻性決定單元，被構造為決定在涂覆液進入到臺部上之前在寬度方向上的流速不均勻性的程度是否為預定值或更大值；以及臺部長度計算單元，被構造為當流速不均勻性的程度為預定值或更大值時計算在涂覆液排出的方向上的臺部的中央部分的長度和臺部的每個端部的長度之間的差。
[0008]臺部長度計算單元可以計算出所述差，使得臺部的中央部分的長度比臺部的每個端部的長度長。
[0009]所述設備還可以包括流速不均勻性程度計算單元，所述流速不均勻性程度計算單元被構造為使用在涂覆液進入到臺部上之前在寬度方向上的流速差和涂覆液的平均排出流速來計算流速不均勻性的程度。
[0010]所述設備還可以包括流速差計算單元，所述流速差計算單元被構造為使用下述因素中的至少一個來計算在寬度方向上的流速差:在涂覆液進入到臺部上之前在寬度方向上的壓力差、所述開口的高度、涂覆液的絕對粘度以及臺部的中央部分的長度和臺部的每個端部的長度之間的差。
[0011]臺部長度計算單元可以使用下述因素中的至少一個來計算臺部的中央部分的長度和臺部的每個端部的長度之間的差:在涂覆液進入到臺部上之前在寬度方向上的壓力差、涂覆液的平均排出流速、所述開口的高度和涂覆液的絕對粘度。
[0012]在寬度方向上的壓力差可以指在涂覆液進入到臺部的中央部分上之前的壓力和在涂覆液進入到臺部的每個端部上之前的壓力之間的差。
[0013]所述設備還可以包括壓力差計算單元，所述壓力差計算單元被構造為使用臺部的參考寬度、根據(jù)參考寬度預先計算出的在寬度方向上的壓力差以及臺部的寬度方向上的長度來計算臺部的寬度方向上的壓力差。
[0014]所述設備還可以包括平均流速計算單元，所述平均流速計算單元被構造為使用下述因素中的至少一個來計算平均排出流速:涂覆液的涂覆厚度、所述開口的高度和將涂覆液涂覆于其上的基體材料的移動速度。
[0015]第二噴嘴主體部分還可以包括入口，涂覆液通過所述入口流到第二噴嘴主體部分中。
[0016]第二噴嘴主體部分可以包括臨時儲存涂覆液并形成在臺部和所述入口之間的空腔。
[0017]臺部的涂覆液從空腔進入到其上的中央部分可以被形成為朝空腔的方向突出。
[0018]當從第一噴嘴主體部分觀看時，涂覆液從空腔進入到其上的部分的形狀可以是三角形、梯形或半橢圓形。
[0019]根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種用于確定狹縫噴嘴的形狀的方法，所述狹縫噴嘴包括第一噴嘴主體部分和第二噴嘴主體部分，第二噴嘴主體部分被安裝為以預定間隔與第一噴嘴主體部分分隔開并且在第一噴嘴主體部分和第二噴嘴主體部分之間設置有分隔構件，從而使涂覆液通過其排出的狹縫形的開口形成在第一噴嘴主體部分和第二噴嘴主體部分之間，第二噴嘴主體部分包括與第一噴嘴主體部分的一個區(qū)域一起形成所述開口的臺部，所述方法包括:決定在涂覆液進入到臺部上之前的流速不均勻性的程度是否為預定值或更大值；以及當流速不均勻性的程度為預定值或更大值時，確定在涂覆液排出的方向上的臺部的中央部分的長度和臺部的每個端部的長度之間的差。
[0020]根據(jù)本發(fā)明，可以設計狹縫噴嘴的形狀，這可以防止排出的涂覆液在狹縫噴嘴的寬度方向上的流速不均勻性。因此，當通過狹縫噴嘴在基體材料上涂覆涂覆液時，可以使基體材料的涂覆失敗最少化。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]現(xiàn)在，將在下文中參照附圖更充分地描述示例實施例；然而，示例實施例可以以不同的形式來實施，且不應該解釋為局限于在這里所提出的實施例。相反，提供這些實施例使得本公開將是徹底和完全的，并將把示例實施例的范圍充分地傳達給本領域技術人員。
[0022]在附圖中，為了示出的清楚，可以夸大尺寸。將理解的是，當元件被稱作“在”兩個元件“之間”時，該元件可以是這兩個元件之間唯一的元件，或者也可以存在一個或更多個中間元件。同樣的附圖標記始終指示同樣的元件。
[0023]圖1是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明實施例的狹縫涂覆設備的圖。
[0024]圖2是根據(jù)本發(fā)明實施例的狹縫噴嘴的透視圖。
[0025]圖3是沿著A-A’線截取的根據(jù)本發(fā)明實施例的狹縫噴嘴的剖視圖。
[0026]圖4是根據(jù)本發(fā)明實施例的第二噴嘴主體部分的平面圖。
[0027]圖5是示出根據(jù)本發(fā)明實施例的用于確定狹縫噴嘴的形狀的設備的框圖，該設備確定臺部的中央部分的長度與臺部的每個端部的長度之間的差。
[0028]圖6是示出根據(jù)本發(fā)明實施例的用于確定狹縫噴嘴的形狀的方法的流程圖。

【具體實施方式】
[0029]在下面的詳細描述中，簡單地通過舉例說明的方式僅示出并描述了本發(fā)明的特定示例性實施例。如本領域技術人員所將認識到的，描述的實施例可以以各種不同的方式修改，而都沒有脫離本發(fā)明的精神或范圍。因此，附圖和描述將被認為本質上是說明性的而非限制性的。另外，當元件被稱作“在”另一元件“上”時，它可以直接地在所述另一元件上，或者可以在它們之間設置一個或更多個中間元件而間接地在所述另一元件上。此外，當元件被稱作“連接到”另一元件時，它可以直接地連接到所述另一元件，或者可以在它們之間設置一個或更多個中間元件而間接地連接到所述另一元件。在下文中，同樣的附圖標記指示同樣的元件。
[0030]圖1是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明實施例的狹縫涂覆設備的圖。
[0031]參照圖1，狹縫涂覆設備100可以包括輥110、狹縫噴嘴120、噴嘴支撐部分130和涂覆液供應部分140。
[0032]輥110使得其上涂覆有涂覆液的基體材料102沿一個方向移動。狹縫噴嘴120可以安裝在輥I1的一側，同時與輥110分隔開預定的間隔。狹縫噴嘴120在寬度方向上的長度可以對應于基體材料102的寬度。稍后將參照圖2詳細描述狹縫噴嘴120。噴嘴支撐部分130將狹縫噴嘴120支撐為位于預定的高度處，涂覆液供應部分140向狹縫噴嘴120供應涂覆液。
[0033]圖2是根據(jù)本發(fā)明實施例的狹縫噴嘴的透視圖。
[0034]參照圖2，狹縫噴嘴120可以包括第一噴嘴主體部分200和與第一噴嘴主體部分200分隔開預定間隔的第二噴嘴主體部分210，從而使涂覆液通過其排出的狹縫形的開口250形成在第一噴嘴主體部分200和第二噴嘴主體部分210之間。
[0035]圖3是沿著A-A’線截取的根據(jù)本發(fā)明實施例的狹縫噴嘴的剖視圖。
[0036]參照圖3，第二噴嘴主體部分210以預定間隔與第一噴嘴主體部分200分隔開并且在第一噴嘴主體部分200和第二噴嘴主體部分210之間設置有分隔構件220。
[0037]第二噴嘴主體部分210包括與第一噴嘴主體部分200的一個區(qū)域一起形成開口250的平坦的臺部(land port1n) 211。入口 213形成在第二噴嘴主體部分210中，涂覆液可以通過入口 213流到第二噴嘴主體部分210中。作為可以臨時儲存涂覆液的儲存空間的空腔215形成在臺部211和入口 213之間。
[0038]因此，通過入口 213流到第二噴嘴主體部分210中的涂覆液臨時地儲存在空腔215中，然后沿臺部211移動，以通過開口 250被排出。
[0039]圖4是根據(jù)本發(fā)明實施例的第二噴嘴主體部分的平面圖。
[0040]參照圖4，涂覆液通過形成在第二噴嘴主體部分210的中央處的入口 213被注射到第二噴嘴主體部分210中，然后散布在空腔215中。因此，在涂覆液進入到臺部211上之前，在第二噴嘴主體部分210的寬度W的方向上出現(xiàn)壓力差。這里，在涂覆液進入到臺部211上之前在寬度方向上的壓力差是指涂覆液進入到臺部211的中央部分上之前的壓力Pl與涂覆液進入到臺部211的兩端上之前的壓力P2之間的差。在這種情況下，從入口 213到臺部211的中央部分的距離比從入口 213到臺部211的每個端部的距離小，因此，壓力Pl大于壓力P2。
[0041]在涂覆液進入到臺部211的中央部分上之前的涂覆液的流速和在涂覆液進入到臺部211的每個端部上之前的涂覆液的流速之間的差是由寬度方向上的壓力差所引起。因此，出現(xiàn)基體材料102的涂覆失敗。
[0042]為了解決該問題，臺部211的中央部分在涂覆液的排出方向上的長度LI被形成為比臺部211的每個端部在涂覆液的排出方向上的長度L2長。S卩，臺部211的涂覆液從空腔215進入到其上的中央部分可以被形成為朝空腔215的方向突出。因此，當從第一噴嘴主體部分200觀看時，臺部211的涂覆液從空腔215進入到其上的該部分的形狀是三角形的形狀，如圖4中所示。然而，這僅是一個示例，只要臺部211的中央部分的長度LI被恰好形成為比臺部211的每個端部的長度L2長，臺部211就可以以各種形狀(包括梯形、半橢圓形等)以及圖4中的形狀形成。臺部211的中央部分的長度LI被形成得比臺部211的每個端部的長度L2長，從而可以防止由在涂覆液進入到臺部211上之前在寬度方向上的壓力差而導致的涂覆液在寬度方向上的流速不均勻性。
[0043]更具體地說，與進入到臺部211的每個端部上的涂覆液相比，進入到臺部211的中央部分上的涂覆液進一步前進，直到該涂覆液被排出。因此，進入到臺部211的中央部分上的涂覆液的壓力的減小量變得比進入到臺部211的每個端部上的涂覆液的壓力的減小量大。結果，能夠消除在涂覆液進入到臺部211上之前在寬度方向上的壓力差。
[0044]圖5是示出根據(jù)本發(fā)明實施例的用于確定狹縫噴嘴的形狀的設備的框圖，該設備確定臺部的中央部分的長度與臺部的每個端部的長度之間的差。
[0045]參照圖5，設備500可以包括流速不均勻性決定單元510和狹縫形狀確定單元520。
[0046]流速不均勻性決定單元510決定涂覆液進入到臺部211上之前在寬度方向上的流速不均勻性的程度是否為預定值或更大值。
[0047]流速不均勻性的程度指的是臺部211的中央部分處的流速和臺部211的每個端部處的流速之間的不均勻性程度。如稍后將描述的，流速不均勻性的程度可以是在狹縫形狀確定單元520中計算出的值。
[0048]在流速不均勻性的程度小于預定值的情況下，盡管臺部211的中央部分的長度LI與臺部211的每個端部的長度L2相同，但在涂覆液經過臺部211時，流速不均勻性可以被消除。然而，在流速不均勻性的程度為預定值或更大值的情況下，無法消除流速不均勻性。為了解決該問題，通過狹縫形狀確定單元520來計算臺部211的中央部分的長度LI和臺部211的每個端部的長度L2之間的差。預定值可以由用戶通過試驗來確定。
[0049]狹縫形狀確定單元520計算臺部211的中央部分的長度LI和臺部211的每個端部的長度L2之間的差。為了計算該差，狹縫形狀確定單元520被構造為計算在臺部211的寬度方向上的壓力差、涂覆液的平均排出流速、在寬度方向上的流速差等。
[0050]更具體地說，狹縫形狀確定單元520可以包括臺部長度計算單元521、平均流速計算單元523、壓力差計算單元525、流速差計算單元527和流速不均勻性程度計算單元529。
[0051]臺部長度計算單元521計算臺部211的中央部分的長度LI和臺部211的每個端部的長度L2之間的差，以消除在寬度方向上的流速不均勻性。
[0052]更具體地說，臺部長度計算單元521可以使用下述因素中的至少一個來計算臺部211的中央部分的長度LI和臺部211的每個端部的長度L2之間的差:在涂覆液進入到臺部211上之前在寬度方向上的壓力差、涂覆液的平均排出流速、作為第一噴嘴主體部分200和第二噴嘴主體部分210之間的分離間隔的開口 250的高度h、涂覆液的絕對粘度。所述差可以由下面的等式I表示。
[0053]等式I
AP D2
[0054]AL = ~-——
3μυ
[0055]這里，AL表示臺部211的中央部分的長度LI和臺部211的每個端部的長度L2之間的差，APeu表示在涂覆液進入到臺部211上之前在寬度方向上的壓力差，D表示開口250的高度h的一半，μ表示涂覆液的絕對粘度，U表示涂覆液的平均排出流速。
[0056]平均流速計算單元523計算涂覆液的平均排出流速。平均排出流速指的是從臺部211排出到基體材料102上的涂覆液的平均流速。平均排出流速可以使用下述因素中的至少一個來計算:涂覆液在基體材料102上的涂覆厚度、開口 250的高度和基體材料102的移動速度。涂覆液的平均排出流速可以由下面的等式2表示。
[0057]等式2
[0058]U = TD2 υ
[0059]這里，T表示涂覆液的涂覆厚度、υ表示基體材料102的移動速度。在本發(fā)明的狹縫涂覆設備中，基體材料102移動，因此υ被定義為基體材料102的移動速度。然而，在通過移動狹縫噴嘴來執(zhí)行涂覆的狹縫涂覆設備的情況下，υ可以被定義為狹縫噴嘴的移動速度。
[0060]根據(jù)實施例，壓力差計算單元525計算在涂覆液進入到臺部211上之前在寬度方向上的壓力差。這里，在寬度方向上的壓力差指的是涂覆液進入到臺部211的中央部分上之前的壓力和涂覆液進入到臺部211的每個端部上之前的壓力之間的差。壓力差可以通過壓力間的實際測量來計算。
[0061]根據(jù)另一實施例，壓力差計算單元525可以使用下述因素來計算在寬度方向上的壓力差(△&?):臺部的參考寬度、根據(jù)參考寬度預先計算出的在寬度方向上的壓力差、將要實際設計的臺部的在寬度方向上的長度。在寬度方向上的壓力差可以由下面的等式3表
/Jn ο
[0062]等式3
P W
[0063]^Piu = -fr~

W St
[0064]這里，Wst表示臺部的參考寬度，Pst表示根據(jù)參考寬度的在寬度方向上的壓力差，W表示將要實際設計的臺部的在寬度方向上的長度。
[0065]例如，在狹縫涂覆設備中的臺部的寬度從600mm增加到1200mm以制造寬的寬度的狹縫涂覆設備的情況下，當臺部的寬度被設計為1200mm時在寬度方向上的壓力差可以使用當臺部的寬度為600mm時在寬度方向上的壓力差來估算。因此，在寬度方向上的壓力差可以使用等式3來估算，而不需要實際制造狹縫噴嘴。此外，臺部211的中央部分的長度LI和臺部211的每個端部的長度L2之間的差可以使用估算出的在寬度方向上的壓力差以及等式I和2來計算，以消除涂覆液在寬度方向上的流速不均勻性。
[0066]流速差計算單元527計算在涂覆液進入到臺部211上之前在寬度方向上的流速差。
[0067]更具體地說，流速差計算單元527可以使用下述因素中的至少一個來計算在寬度方向上的流速差:在涂覆液進入到臺部211上之前在寬度方向上的壓力差、開口 250的高度h、涂覆液的絕對粘度、臺部211的中央部分的長度LI和臺部211的每個端部的長度L2之間的差(AL)。在寬度方向上的流速差可以由下面的等式4表示。
[0068]等式4
r π … APrDi
[0069]AUctj = ~^~
? 3uAL
[0070]這里，AUeu指的是在涂覆液進入到臺部211上之前在寬度方向上的流速差。
[0071]流速不均勻性程度計算單元529根據(jù)臺部211的在寬度方向上的長度來計算在涂覆液進入到臺部211上之前的流速不均勻性的程度。更具體地說，流速不均勻性程度計算單元529可以使用流速差和涂覆液的平均排出流速來計算流速不均勻性的程度。流速不均勻性的程度可以由下面的等式5表示。
[0072]等式5

\r j
[0073]Ud =^[±%]
[0074]這里，Ud指的是流速不均勻性的程度。
[0075]如上所述，流速不均勻性決定單元510可以使用計算出的流速不均勻性的程度來決定流速不均勻性的程度是否是預定值或更大值。在流速不均勻性的程度為預定值或更大值的情況下，狹縫形狀確定單元520計算臺部211的中央部分的長度LI和臺部211的每個端部的長度L2，以消除在寬度方向上的流速差。
[0076]S卩，在本發(fā)明中，當需要將設計從現(xiàn)有的狹縫涂覆設備改變?yōu)閷挼膶挾鹊莫M縫涂覆設備時，可以預先設計臺部211的中央部分的長度LI和臺部211的每個端部的長度L2，以消除隨著狹縫寬度方向上的長度增加而變得嚴重的涂覆液的流速不均勻性。
[0077]圖6是示出根據(jù)本發(fā)明實施例的用于確定狹縫噴嘴的形狀的方法的流程圖。
[0078]參照圖6，流速不均勻性決定單元510決定涂覆液進入到臺部211上之前的流速不均勻性的程度是否為預定值或更大值(S600)。
[0079]這里，可以使用在涂覆液進入到臺部上之前在寬度方向上的流速差和涂覆液的平均排出流速來確定流速不均勻性的程度。
[0080]在流速不均勻性的程度為預定值或更大值的情況下，狹縫形狀確定單元520將臺部的中央部分的在涂覆液排出的方向上的長度LI設計成比臺部211的每個端部的在涂覆液排出的方向上的長度L2長(S610)。
[0081]這里，可以使用下述因素中的至少一個來確定臺部211的中央部分的長度LI與臺部211的每個端部的長度L2之間的差:在涂覆液進入到臺部211上之前在寬度方向上的壓力差、涂覆液的平均排出流速、開口 250的高度和涂覆液的絕對粘度。
[0082]在流速不均勻性的程度小于預定值的情況下，狹縫形狀確定單元520將臺部211的中央部分的長度LI設計成與臺部211的每個端部的長度L2相同(S620)。
[0083]已經在此公開了示例實施例，雖然采用了特定的術語，但是這些術語僅是以一般的且描述性的意思來使用和解釋，而不是為了限制的目的。在某些情況下，如本領域普通技術人員將清楚的，自提交本申請之時起，除非另外特別地指出，否則結合具體實施例描述的特征、特性和/或元件可以單獨地使用或者與結合其它實施例描述的特征、特性和/或元件組合使用。因此，本領域技術人員將理解的是，在不脫離由權利要求中所闡述的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以進行形式和細節(jié)上的各種改變。
【權利要求】
1.一種用于確定狹縫噴嘴的形狀的設備，所述狹縫噴嘴包括第一噴嘴主體部分和第二噴嘴主體部分，第二噴嘴主體部分被安裝為以預定間隔與第一噴嘴主體部分分隔開并且在第一噴嘴主體部分和第二噴嘴主體部分之間設置有分隔構件，從而使涂覆液通過其排出的狹縫形的開口形成在第一噴嘴主體部分和第二噴嘴主體部分之間，第二噴嘴主體部分包括與第一噴嘴主體部分的一個區(qū)域一起形成所述開口的臺部，所述設備包括: 流速不均勻性決定單元，被構造為決定在涂覆液進入到臺部上之前在寬度方向上的流速不均勻性的程度是否為預定值或更大值；以及 臺部長度計算單元，被構造為當流速不均勻性的程度為預定值或更大值時計算在涂覆液排出的方向上的臺部的中央部分的長度和臺部的每個端部的長度之間的差。
2.如權利要求1所述的設備，其中，臺部長度計算單元計算出所述差，使得臺部的中央部分的長度比臺部的每個端部的長度長。
3.如權利要求1所述的設備，所述設備還包括流速不均勻性程度計算單元，所述流速不均勻性程度計算單元被構造為使用在涂覆液進入到臺部上之前在寬度方向上的流速差和涂覆液的平均排出流速來計算流速不均勻性的程度。
4.如權利要求3所述的設備，所述設備還包括流速差計算單元，所述流速差計算單元被構造為使用下述因素中的至少一個來計算在寬度方向上的流速差:在涂覆液進入到臺部上之前在寬度方向上的壓力差、所述開口的高度、涂覆液的絕對粘度以及臺部的中央部分的長度和臺部的每個端部的長度之間的差。
5.如權利要求4所述的設備，其中，臺部長度計算單元使用下述因素中的至少一個來計算臺部的中央部分的長度和臺部的每個端部的長度之間的差:在涂覆液進入到臺部上之前在寬度方向上的壓力差、涂覆液的平均排出流速、所述開口的高度和涂覆液的絕對粘度。
6.如權利要求4或5所述的設備，其中，在寬度方向上的壓力差指的是在涂覆液進入到臺部的中央部分上之前的壓力和在涂覆液進入到臺部的每個端部上之前的壓力之間的差。
7.如權利要求6所述的設備，所述設備還包括壓力差計算單元，所述壓力差計算單元被構造為使用臺部的參考寬度、根據(jù)參考寬度預先計算出的在寬度方向上的壓力差以及臺部的寬度方向上的長度來計算臺部的寬度方向上的壓力差。
8.如權利要求3或5所述的設備，所述設備還包括平均流速計算單元，所述平均流速計算單元被構造為使用下述因素中的至少一個來計算平均排出流速:涂覆液的涂覆厚度、所述開口的高度和將涂覆液涂覆于其上的基體材料的移動速度。
9.如權利要求1所述的設備，其中，第二噴嘴主體部分還包括入口，涂覆液通過所述入口流到第二噴嘴主體部分中。
10.如權利要求9所述的設備，其中，第二噴嘴主體部分包括臨時儲存涂覆液并形成在臺部和所述入口之間的空腔。
11.如權利要求10所述的設備，其中，臺部的涂覆液從空腔進入到其上的中央部分被形成為朝空腔的方向突出。
12.如權利要求11所述的設備，其中，當從第一噴嘴主體部分觀看時，涂覆液從空腔進入到其上的部分的形狀是三角形、梯形或半橢圓形。
13.一種用于確定狹縫噴嘴的形狀的方法，所述狹縫噴嘴包括第一噴嘴主體部分和第二噴嘴主體部分，第二噴嘴主體部分被安裝為以預定間隔與第一噴嘴主體部分分隔開并且在第一噴嘴主體部分和第二噴嘴主體部分之間設置有分隔構件，從而使涂覆液通過其排出的狹縫形的開口形成在第一噴嘴主體部分和第二噴嘴主體部分之間，第二噴嘴主體部分包括與第一噴嘴主體部分的一個區(qū)域一起形成所述開口的臺部，所述方法包括: 決定在涂覆液進入到臺部上之前的流速不均勻性的程度是否為預定值或更大值；以及當流速不均勻性的程度為預定值或更大值時，確定在涂覆液排出的方向上的臺部的中央部分的長度和臺部的每個端部的長度之間的差。
14.如權利要求13所述的方法，其中，使用在涂覆液進入到臺部上之前在寬度方向上的流速差和涂覆液的平均排出流速來確定流速不均勻性的程度。
15.如權利要求13所述的方法，其中，使用下述因素中的至少一個來確定臺部的中央部分的長度和臺部的每個端部的長度之間的差:在涂覆液進入到臺部上之前在寬度方向上的壓力差、涂覆液的平均排出流速、所述開口的高度和涂覆液的絕對粘度。
【文檔編號】B05C5/02GK104174548SQ201410171561
【公開日】2014年12月3日 申請日期:2014年4月25日 優(yōu)先權日:2013年5月24日
【發(fā)明者】金哲弘, 李濬燮, 全筆句, 黃元炯 申請人:三星Sdi株式會社