靠性等的觀點(diǎn)特別優(yōu)先苯氧基樹脂。
[0028] 作為熱硬化性樹脂，無特別限定，能舉出例如市售的環(huán)氧樹脂、丙烯樹脂等。
[0029] 作為環(huán)氧樹脂，無特別限定，但是能舉出例如萘型環(huán)氧樹脂、聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂、酚 醛清漆型環(huán)氧樹脂、雙酚型環(huán)氧樹脂、芪型環(huán)氧樹脂、三酚甲烷型環(huán)氧樹脂、酚醛芳烷基型 環(huán)氧樹脂、萘酚型環(huán)氧樹脂、二聚環(huán)戊二烯型環(huán)氧樹脂、三苯基甲烷型環(huán)氧樹脂等。這些既 可以單獨(dú)也可以組合2種以上。
[0030] 作為丙烯樹脂，無特別限制，能夠根據(jù)目的適宜選擇丙烯化合物、液態(tài)丙烯酸酯 等。能夠舉出例如丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸異丙酯、丙烯酸異丁酯、環(huán)氧丙烯酸酯、 二丙烯酸乙二醇酯、二丙烯酸二乙二醇酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、二羥甲基三環(huán)葵烷二 丙烯酸酯、1，4一丁二醇四丙烯酸酯、2-羥基一 1，3 -二丙烯酰氧基丙烷、2, 2-雙[4一 (丙烯酰氧基甲氧基）苯基]丙烷、2, 2-雙[4一（丙烯酰氧基乙氧基）苯基]丙烷、二環(huán) 戊烯基丙烯酸酯、三環(huán)葵基丙烯酸酯、樹狀（丙烯酰氧基乙基）異氰脲酸酯、尿烷丙烯酸酯、 環(huán)氧丙烯酸酯等。此外，也能使用丙烯酸酯為甲基丙烯酸酯的材料。這些既可以單獨(dú)使用 1種，也可以并用2種以上。
[0031] 作為潛在性硬化劑，無特別限定，但是能舉出例如加熱硬化型、UV硬化型等的各種 硬化劑。潛在性硬化劑通常不反應(yīng)，通過熱、光、加壓等的根據(jù)用途選擇的各種觸發(fā)而激活， 并開始反應(yīng)。熱激活型潛在性硬化劑的激活方法有：以利用加熱進(jìn)行的離解反應(yīng)等生成活 性種（陽(yáng)離子或陰離子、自由基）的方法；在室溫附近穩(wěn)定地分散在環(huán)氧樹脂中而在高溫與 環(huán)氧樹脂相溶/溶解，并開始硬化反應(yīng)的方法；在高溫使分子篩封入類型的硬化劑熔出而 開始硬化反應(yīng)的方法；利用微膠囊進(jìn)行的熔出/硬化方法等。作為熱激活型潛在性硬化劑 有咪唑類、酰肼類、三氟化硼一胺絡(luò)化物、锍鹽、胺化酰亞胺、聚胺鹽、雙氰胺等或這些的改 性物，這些可為單獨(dú)，也可為2種以上的混合物。其中，優(yōu)選微膠囊型咪唑類潛在性硬化劑。
[0032] 作為硅烷耦聯(lián)劑，無特別限定，能夠舉出例如環(huán)氧類、氨類、巰基/硫化物類、脲化 物類等。通過添加硅烷親聯(lián)劑，提尚有機(jī)材料與無機(jī)材料的界面上的粘接性。
[0033] [導(dǎo)電性粒子] 作為導(dǎo)電性粒子3,可舉出例如鎳、鐵、銅、錯(cuò)、錫、鉛、絡(luò)、鈷、銀、金等各種金屬或金屬合 金的粒子；在金屬氧化物、碳、石墨、玻璃、陶瓷、塑料等的粒子表面涂敷金屬的粒子等。在 向樹脂粒子表面涂敷金屬的粒子的情況下，作為樹脂粒子，能夠舉出例如環(huán)氧樹脂、酚醛樹 月旨、丙烯樹脂、丙烯腈苯乙烯（AS)樹脂、苯代三聚氰胺樹脂、二乙烯基苯類樹脂、苯乙烯類樹 脂等的粒子。
[0034] 如圖2所示，導(dǎo)電性粒子3表面被絕緣材料覆蓋而形成絕緣被膜3a。由此，導(dǎo)電性 粒子3能夠使絕緣被膜3a帶電荷。
[0035] 作為構(gòu)成絕緣被膜3a的絕緣材料，能舉出丙烯類、聚氨酯類、環(huán)氧類、酰亞胺類、 酰胺類等的各聚合物。另外，作為絕緣被膜的制造方法，能舉出"雜合（hybridyzation)處 理"。雜合處理是將微粒子對(duì)微粒子進(jìn)行復(fù)合化的處理，使母粒子和子粒子分散在氣相中， 并且向粒子提供以沖擊力為主體的機(jī)械熱能量，從而進(jìn)行粒子的固定化及成膜處理。
[0036] [絕緣被膜的膜厚] 另外，絕緣被膜3a優(yōu)選以導(dǎo)電性粒子3的粒徑的0. 1~50%的膜厚形成。如后述那樣， 由于需要以帶電的狀態(tài)在粘合劑樹脂2排列導(dǎo)電性粒子3,所以當(dāng)帶電荷的絕緣被膜3a的 厚度較薄時(shí)在附著到粘合劑樹脂2之前帶電性會(huì)下落，有不能按既定圖案排列的擔(dān)憂。另 一方面，導(dǎo)電性粒子3在絕緣被膜3a過厚時(shí)，連接端子間的導(dǎo)通電阻會(huì)上升。因此，絕緣被 膜3a優(yōu)選以導(dǎo)電性粒子3的粒徑的0. 1~50%的膜厚形成。
[0037]具體而言，絕緣被膜3a的膜厚能夠基于構(gòu)成絕緣被膜3a的材料的介電常數(shù)確定。 例如，在使用（材料名：聚甲基丙烯酸甲酯，介電常數(shù)：3)作為形成在平均粒徑4μπι的導(dǎo)電 性粒子3的表面的絕緣被膜3a的情況下，膜厚可為0. 004~2. 0μm左右。
[0038]各向異性導(dǎo)電膜1如后述那樣，導(dǎo)電性粒子3以既定排列圖案有規(guī)則地排列，防止 因?qū)щ娦粤Ｗ拥哪l(fā)生粗密。因而，依據(jù)各向異性導(dǎo)電膜1，即便進(jìn)行連接端子間的窄 小化也能防止因?qū)щ娦粤Ｗ拥哪w造成的端子間短路，另外在微小化的連接端子中也能 捕獲導(dǎo)電性粒子，能夠響應(yīng)高密度安裝的要求。
[0039]此外，各向異性導(dǎo)電膜1的形狀，無特別限定，例如，如圖1所示，設(shè)為能夠卷繞到 卷取筒6的長(zhǎng)尺帶形狀，并且能夠切割成既定長(zhǎng)度而使用。
[0040] 另外，上述實(shí)施方式中，作為各向異性導(dǎo)電膜1，以將在粘合劑樹脂2中含有導(dǎo)電 性粒子3的熱硬化性樹脂組合物以膜狀成形的粘接膜為例進(jìn)行了說明，但本發(fā)明所涉及的 粘接劑并不局限于此，例如能夠采用層疊僅由粘合劑樹脂2構(gòu)成的絕緣性粘接劑層和由含 有導(dǎo)電性粒子3的粘合劑樹脂2構(gòu)成的導(dǎo)電性粒子含有層的結(jié)構(gòu)。
[0041][各向異性導(dǎo)電膜的制造方法] 接著，對(duì)各向異性導(dǎo)電膜1的制造方法進(jìn)行說明。各向異性導(dǎo)電膜1的制造工序具有 對(duì)在第一基底膜4的一個(gè)面形成的粘合劑樹脂2以既定圖案排列導(dǎo)電性粒子3的工序。排 列在粘合劑樹脂2的導(dǎo)電性粒子3,通過粘合劑樹脂2的排列該導(dǎo)電性粒子3的面被第二基 底膜5層壓，壓入粘合劑樹脂2中。
[0042]導(dǎo)電性粒子的排列工序中，如圖3所示，使用支撐在一面設(shè)有粘合劑樹脂2的第一 基底膜4的導(dǎo)電性的支撐板10 ;與被支撐板10支撐的第一基底膜4的粘合劑樹脂2對(duì)峙 配置，并形成多個(gè)以與導(dǎo)電性粒子3的排列圖案對(duì)應(yīng)的圖案排列的貫通孔12的排列板11 ; 以及配置在排列板11的上方，一邊對(duì)導(dǎo)電性粒子3施加電壓一邊與液體一起噴霧帶電的導(dǎo) 電性粒子3的噴霧器13。
[0043] 支撐板10通過在與噴霧器13之間施加電壓，使設(shè)在第一基底膜4的粘合劑樹脂 2吸附帶電的導(dǎo)電性粒子3,例如用鎳板形成。支撐板10只要具有導(dǎo)電性就不論材料都可 以。
[0044] 排列板11在粘合劑樹脂2上接近配置，從而使通過貫通孔12的導(dǎo)電性粒子3以 該貫通孔12的排列圖案排列在粘合劑樹脂2的表面。排列板11按照導(dǎo)電性粒子3的既定 排列圖案形成有多個(gè)貫通孔12。例如，排列板11以使多個(gè)貫通孔以均勻間隔格子狀形成。 由此，通過貫通孔12的導(dǎo)電性粒子在粘合劑樹脂2的表面以格子狀均勻配置。此外，貫通 孔12能夠利用激光加工等公知的加工技術(shù)來形成。
[0045] 貫通孔12的開口直徑具有導(dǎo)電性粒子3的平均粒徑的100%以上的直徑，優(yōu)選為 導(dǎo)電性粒子3的平均粒徑的120~200%。若貫通孔12的開口直徑為小于導(dǎo)電性粒子3的 平均粒徑的100%的直徑，則難以使導(dǎo)電性粒子3通過。另外，若貫通孔12的開口直徑成為 導(dǎo)電性粒子3的平均粒徑的200%以上，則有多個(gè)導(dǎo)電性粒子3通過一個(gè)貫通孔12的擔(dān)憂， 不能均勻地分散配置導(dǎo)電性粒子，另外有招致粒子凝集的擔(dān)憂。
[0046] 此外，排列板11通過防止帶電，防止帶電的導(dǎo)電性粒子3附著或反彈而阻礙貫通 孔12的通過。例如，排列板11通過使用鎳等導(dǎo)電性材料來形成并且接地，從而防止帶電。 或者，排列板11也可以用難以帶電的材料來形成，從而防止帶電。
[0047] 噴霧器13設(shè)在排列板11上，向隔著排列板11被支撐板10支撐的第一基底膜4 的粘合劑樹脂2,與水等液體一起噴霧分散在該液體的導(dǎo)電性粒子3。此時(shí)，噴霧器13對(duì)導(dǎo) 電性粒子3施加與施加在支撐板10的電壓相反的極性的電荷。噴霧器13例如能夠通過在 噴嘴前端進(jìn)行電暈放電而使導(dǎo)電性粒子3帶電。
[0048] 在利用這些支撐板10、排列板11及噴霧器13,使導(dǎo)電性粒子3以既定圖案排列在 形成在第一基底膜4的一面的粘合劑樹脂2時(shí)，一邊在噴霧器13與以使粘合劑樹脂2朝上 的狀態(tài)支撐第一基底膜4的支撐板10之間施加電壓，一邊從噴霧器13與液體一起噴霧帶 電荷的導(dǎo)電性粒子3。
[0049] 噴出的導(dǎo)電性粒子3因靜電而均勻分散并且通過排列板11的貫通孔12,以與貫通 孔12的排列圖案對(duì)應(yīng)的圖案附著到被施加相反極性的支撐板10支撐的第一基底膜4上的 粘合劑樹脂2的表面（圖4(A))。此外，附著在導(dǎo)電性粒子3的水分在下落過程中從導(dǎo)電性 粒子3的表面甩下來。
[0050] [絕緣被膜3a的膜厚] 在此，導(dǎo)電性粒子3被施加成相反極性的支撐板10拉近而附著到粘合劑樹脂2的表 面，因此至少附著到粘合劑樹脂2的表面之前需要帶電荷。因此，如上所述，通過使帶電荷 的絕緣被膜3a的膜厚以導(dǎo)電性粒子3的粒徑的0. 1%以上的厚度形成，導(dǎo)電性粒子3在附 著到粘合劑樹脂2之前帶電性不會(huì)下降，而可靠地按照排列板11的貫通孔12的圖案均勻 地分散配置。另一方面，導(dǎo)電性粒子3在絕緣被膜3a過厚時(shí)，連接端子間的導(dǎo)通電阻會(huì)上 升。因此，絕緣被膜3a優(yōu)選以導(dǎo)電性粒子3的粒徑的0. 1~50%的膜厚形成。
[0051] 另外，導(dǎo)電性粒子3因?yàn)榉謩e帶相同極性的電荷而互相排斥。由此，能夠防止一個(gè) 貫通孔12中