基、^十五烷基、^十八烷基、^十七烷基、^十八烷基、^十九烷基、異丙 基、異丁基、仲丁基、叔丁基、異戊基、叔戊基、新戊基、異己基、2-乙基己基、環(huán)丙基、環(huán)丁基、 環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)庚基、環(huán)辛基等。
[0052] 作為取代的碳原子數(shù)5以上且29以下的烷基的取代基，可以舉出碳原子數(shù)2以上且 10以下的烯基、異丙苯基、鹵原子、碳原子數(shù)5以上且29以下的芳基等。作為碳原子數(shù)5以上 且29以下的芳基的具體例，以下列舉的基團是適當(dāng)?shù)摹?br>[0053] 此外，作為碳原子數(shù)5以上且29以下的芳基，可以舉出多環(huán)苯基、苯基、萘基、蒽基、 芘基等。此外，作為取代的碳原子數(shù)5以上且29以下的芳基的取代基，除上述取代基以外，還 可以舉出碳原子數(shù)5以上且29以下的烷基等。作為碳原子數(shù)5以上且29以下的烷基，上述列 舉的基團是適合的。
[0054] 上述具有疏水部位的聚氧亞烷基醚優(yōu)選為以下：
[0055] Ζ-0-(Α0)ηΗ · · ·式（1)
[0056]式（1)中，
[0057] Z為疏水部位，該疏水部位為取代或未取代的、碳原子數(shù)5以上且29以下的烷基或 芳基，
[0058] A為碳原子數(shù)1以上且3以下的亞烷基，
[0059] N為1以上且50以下的整數(shù)。
[0060] 此處，式（1)中，關(guān)于取代或未取代的、碳原子數(shù)5以上且29以下的烷基或芳基，如 上所述，此外，作為碳原子數(shù)1以上且3以下的亞烷基，可以是直鏈狀、支鏈狀，例如可以舉出 亞甲基、亞乙基、三亞甲基、亞丙基等，特別是，若為亞乙基，則在能夠有效發(fā)揮本發(fā)明的期 望的效果的方面是適合的。
[0061] 此外，η為1以上且50以下的整數(shù)，從分散穩(wěn)定性的觀點出發(fā)，優(yōu)選為2以上且40以 下的整數(shù)，更優(yōu)選為3以上且30以下的整數(shù)。通過為這樣的范圍，在能夠有效地發(fā)揮本發(fā)明 的期望的效果這點是適合的。
[0062] 研磨用組合物中的添加劑的含量優(yōu)選為0.01質(zhì)量％以上，更優(yōu)選為0.05質(zhì)量％以 上，進一步優(yōu)選為0.1質(zhì)量％以上。添加劑的含量在上述范圍內(nèi)的情況下，可以有效地抑制 劃痕。研磨用組合物中的添加劑的含量優(yōu)選為10質(zhì)量％以下，更優(yōu)選為5質(zhì)量％以下，進一 步優(yōu)選為1質(zhì)量％以下。添加劑的含量為上述范圍以上的情況下，有研磨劑的穩(wěn)定性惡化的 擔(dān)心。
[0063] 此外，在添加劑為表面活性劑的情況下，質(zhì)均分子量（Mw)優(yōu)選為100以上且 1000000以下，更優(yōu)選為200以上且50000以下，進一步優(yōu)選為250以上且5000以下。
[0064] 需要說明的是，使用表面活性劑作為添加劑的情況下，該表面活性劑可以呈鹽的 形態(tài)。作為鹽的具體例，可以舉出一價或二價的金屬鹽、銨鹽、胺鹽等。作為一價或二價的金 屬鹽，可以舉出鋰鹽、鈉鹽、鉀鹽、鎂鹽、鈣鹽等。需要說明的是，該表面活性劑可以單獨使 用，也可以混合使用2種以上。
[0065] [pH 調(diào)節(jié)劑]
[0066]本發(fā)明的研磨用組合物優(yōu)選含有pH調(diào)節(jié)劑。pH調(diào)節(jié)劑對研磨用組合物的pH進行調(diào) 節(jié)，由此，能夠控制合金材料的研磨速度、磨粒的分散性等。該pH調(diào)節(jié)劑可以單獨使用或混 合使用2種以上。
[0067]作為ρ Η調(diào)節(jié)劑，可以使用公知的酸、堿、或它們的鹽。
[0068]作為能夠用作pH調(diào)節(jié)劑的酸的具體例，例如，可以舉出鹽酸、硫酸、硝酸、氫氟酸、 硼酸、碳酸、次亞磷酸、亞磷酸、以及磷酸等無機酸；甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、戊酸、2-甲基丁 酸、正己酸、3，3_二甲基丁酸、2-乙基丁酸、4-甲基戊酸、正庚酸、2-甲基己酸、正辛酸、2-乙 基己酸、苯甲酸、乙醇酸、水楊酸、甘油酸、草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸、馬 來酸、鄰苯二甲酸、蘋果酸、酒石酸、檸檬酸、乳酸、二乙醇酸、2-呋喃羧酸、2,5_呋喃二羧酸、 3_呋喃羧酸、2-四氫呋喃羧酸、甲氧基乙酸、甲氧基苯基乙酸、以及苯氧基乙酸等有機酸。使 用無機酸作為pH調(diào)節(jié)劑的情況下，特別是從研磨速度提高的觀點出發(fā)，硫酸、硝酸、磷酸等 是特別優(yōu)選的，使用有機酸作為pH調(diào)節(jié)劑的情況下，優(yōu)選乙醇酸、琥珀酸、馬來酸、檸檬酸、 酒石酸、蘋果酸、葡糖酸、以及衣康酸等。
[0069] 作為能夠用作pH調(diào)節(jié)劑的堿，可以舉出脂肪族胺、芳香族胺等胺;氫氧化季銨等有 機堿;氫氧化鉀等堿金屬的氫氧化物;堿土金屬的氫氧化物；以及氨等。
[0070] 其中，從獲得容易性出發(fā)，優(yōu)選氫氧化鉀或氨。
[0071] 此外，也可以使用前述酸的銨鹽、堿金屬鹽等鹽代替前述的酸或與前述的酸組合 作為pH調(diào)節(jié)劑。特別是在采用弱酸和強堿、強酸和弱堿、或弱酸和弱堿的組合的情況下，能 夠期待pH的緩沖作用，進而在采用強酸和強堿的組合的情況下，以少量不僅可以調(diào)節(jié)pH，還 能調(diào)節(jié)電導(dǎo)率。
[0072]對pH調(diào)節(jié)劑的添加量沒有特別限制，只要適宜調(diào)整使研磨用組合物為期望的pH即 可。
[0073] 本發(fā)明的研磨用組合物的pH的下限優(yōu)選為2以上，更優(yōu)選為8以上。隨著研磨用組 合物的pH變大，磨粒(例如二氧化硅顆粒)的分散性提高。此外，本發(fā)明的研磨用組合物的pH 的上限優(yōu)選為12以下，更優(yōu)選為11.5以下。隨著研磨用組合物的pH變小，除了研磨用組合物 的安全性進一步提高以外，從經(jīng)濟的觀點出發(fā)也是優(yōu)選的。
[0074] [水]
[0075] 對于本發(fā)明的研磨用組合物，作為用于將各成分分散或溶解的分散介質(zhì)或溶劑， 優(yōu)選包含水。從抑制對其他成分的作用的阻礙的觀點出發(fā)，優(yōu)選盡量不含有雜質(zhì)的水，具體 而言，優(yōu)選以離子交換樹脂除去雜質(zhì)離子后，通過過濾器除去了異物的純水、超純水、或蒸 留水。
[0076][含氧酸]
[0077] 本發(fā)明的研磨用組合物可以包含含氧酸。
[0078] "含氧酸(oxo acid)"也稱為含氧酸(oxy acid)、氧酸(oxygen acid)，其是可解離 為質(zhì)子(H+)的氫與氧原子結(jié)合而成的酸，以通式X0n(0H)m表示。典型的含氧酸中，有屬于不 含有金屬元素、半金屬原子的無機酸的硫酸(H 2S04)、硝酸(hn〇3)、以及磷酸(h3p〇 4)等。本發(fā) 明的優(yōu)選的方式的研磨用組合物也可以包含"含有金屬元素或半金屬元素"的酸作為含氧 酸。
[0079] 本說明書中，"金屬元素"是指:其單體表現(xiàn)出"具有金屬光澤，富有展性、延性、電 和熱的傳導(dǎo)性顯著"這樣的金屬性質(zhì)的元素，以往作為"金屬元素"已知的全部的元素被包 含在該概念中。此外，"半金屬元素"也稱為準(zhǔn)金屬，是表現(xiàn)出金屬和非金屬的中間性質(zhì)的元 素。關(guān)于半金屬元素，雖然不存在嚴密的唯一的定義，但在本說明書中，是指硼(B)、硅(Si)、 鍺(Ge)、砷(As)、硒(Se)、銻(Sb)、碲(Te)、針(Po)、以及砹(At)。
[0080] 在優(yōu)選的實施方式中，含氧酸中所含的金屬元素或半金屬元素優(yōu)選為屬于元素的 長周期型周期表中的第3族~第17族的元素，更優(yōu)選為以下的元素:B、Al、Si、Sc、Ti、V、Cr、 Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、As、Se、Y、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Te、La、Ce、Pr、 Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Tl、Pb、Bi、Po、At、Ac、Th、Pa、U、 Np、Pu。作為含氧酸中所含的金屬元素，特別優(yōu)選為鎢(W)、鉬(Mo)、釩(V)、錳(Mn)、銅(Cu)、 鐵(Fe)、鋁(A1)、鈷(Co)、鉭(Ta)、錫(Sn)、鎵(Ga)、銦（In)、鋅(Zn)、鉛(Pb)、或鈮(Nb)，最優(yōu) 選為鎢(W)或鉬(Mo)。此外，作為含氧酸所含的半金屬元素，特別優(yōu)選為碲(Te)、鍺(Ge)、銻 (Sb)、或硅(Si)，最優(yōu)選為碲(Te)。
[0081] 對于含有金屬元素或半金屬元素的含氧酸的具體例沒有特別限制，例如可以舉出 含有上述金屬元素或半金屬元素的含氧酸。更具體而言，例如可以舉出碲酸(Te(0H) 6)、鎢 酸（H2W〇4(W〇3 · H20)、H4W〇5(W〇3 · 2H20))、鉬酸（Μο03 · H20)、硅鎢酸（H4[SiW12040])、磷鎢酸 (H3 [PW12040])、偏釩酸(HV03)、高錳酸、鋁酸、錫酸、鍺酸、硅酸等。此外，上述硅鎢酸、磷鎢酸 等多酸的中心原子、金屬原子被其他原子取代而成的各種多酸也可以作為本實施方式的含 氧酸使用。也可以組合使用二種以上含氧酸。
[0082] 本說明書中，"含氧酸"的概念中也包含鹽或水合物的形態(tài)的物質(zhì)。含氧酸的鹽為 具有質(zhì)子(H+)從上述含氧酸脫離而成的結(jié)構(gòu)的陰離子和適當(dāng)?shù)年栯x子的鹽。作為構(gòu)成含氧 酸的鹽的陽離子，例如可以舉出鈉、鉀等堿金屬;鈣等堿土金屬;銨離子(NH4+ )、伯胺、仲胺、 叔胺、季胺等。此外，對與含氧酸的水合物中的含氧酸水合的水分子的數(shù)量沒有特別限制， 可以適宜參照以往公知的知識。需要說明的是，在研磨用組合物包含水等溶