專利名稱：超高真空下運送機構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種輸送裝置，更具體地說是一種超高真空條件下高精度、長距離的樣品輸送機構(gòu)。
在超高真空條件下，工作元件、待處理樣品或要求在真空容器內(nèi)精確定位的光學(xué)元件等，若實現(xiàn)在真空容器內(nèi)超過50cm的長距離移動，是有一定的困難的。特別是對于高精度定位的操作，其難度就更大。傳統(tǒng)的方法是采用帶有超長焊接波紋管的滑動機構(gòu)，因為焊接波紋管的壓縮量為波紋管總長度的40％，所以需要真空容器外有大于移動距離一倍的空間來裝滑桿，同時要有長度是移動距離1.5倍的焊接波紋管，這大大增加了泄漏的可能性和制造費用，而且這種結(jié)構(gòu)難以實現(xiàn)高精度的要求。
本實用新型的目的是提供一種超高真空下高精度、長距離運送機構(gòu)。
本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的。
本實用新型所涉及的機構(gòu)采用螺桿傳動的方法，將轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)化為平動，從而實現(xiàn)工件在真空容器內(nèi)的移動。由絲桿驅(qū)動導(dǎo)向管內(nèi)的滑塊沿導(dǎo)向管軸向滑動，帶動連桿移動，從而實現(xiàn)樣品架的移動。其動密封方式采用焊接波紋管密封，但波紋管的長度與移動的距離無關(guān)。這種機構(gòu)的驅(qū)動方式可以是手動，也可以是電機驅(qū)動；其結(jié)構(gòu)可根據(jù)移動的位移精度的不一樣，作適當(dāng)調(diào)整，即滑塊可以是普通螺紋與絲桿的咬合實現(xiàn)傳動，也可以是帶彈性結(jié)構(gòu)的子螺母、套螺母實現(xiàn)無間隙螺紋傳動，同時可通過伺服電機驅(qū)動來控制移動量。對于長距離移動，采用光電計數(shù)器來記錄絲桿轉(zhuǎn)動的圈數(shù)，根據(jù)螺紋的螺距計算出移動件的位移。本機構(gòu)的最高軸向位移精度可控制到0.01mm；機構(gòu)所占空間上的距離與移動距離相當(dāng)。
本實用新型適用于真空鍍膜設(shè)備、真空熱處理設(shè)備、超高真空下實現(xiàn)測量元件和控制元件的精確定位。


圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本實用新型另一結(jié)構(gòu)示意圖。
以下結(jié)合附圖，通過實施例，對本實用新型作進一步描述。
實施例參見
圖1，本實用新型有固定壁1，固定壁1的上方為大氣側(cè)，下方為真空側(cè)，固定壁1可以是真空實驗設(shè)施的側(cè)壁，也可以是焊接或安裝在真空實驗設(shè)施的側(cè)壁上。固定壁1的內(nèi)側(cè)安裝有一導(dǎo)向管2，導(dǎo)向管2為橢圓形，導(dǎo)向管2內(nèi)有一絲桿4，絲桿4和滑塊3通過螺紋咬合，滑塊3也呈橢圓形，滑塊3的四周排布有4個滾珠7，滑塊3可以沿導(dǎo)向管軸向作直線運動，滑塊3前端固定有一連桿5，連桿5前端是樣品架6，固定壁1外側(cè)安裝有傳動管8，傳動管8外連接有波紋管11，傳動管8內(nèi)安裝有傳動桿13，傳動桿13套有軸承9，軸承9外圈固定在傳動管8內(nèi)。波紋管11內(nèi)安裝有操作桿10，傳動桿13一端和絲桿4固定連接，另一端和操作桿10固定連接。波紋管11頂端安裝有把手12。
實施例2參見圖2。
本實用新型有固定壁1，固定壁1的上方為大氣側(cè)，下方為真空側(cè)，固定壁1的內(nèi)側(cè)安裝有導(dǎo)向管2，導(dǎo)向管2內(nèi)有絲桿4，絲桿4和滑塊通過螺母咬合，滑塊由子螺母3A，套螺母3組成，子螺母3A、套螺母3均和絲桿咬合，子螺母3A和套螺母3之間有彈簧6，子螺母3A可以沿套螺母3內(nèi)的導(dǎo)向槽作直線運動。套螺母3外有二排滾珠7，導(dǎo)向管2內(nèi)有導(dǎo)向槽，套螺母3上有導(dǎo)向桿，子螺母3A上固定有二根連桿5，連桿5前端可以安裝樣品架，固定壁1的外側(cè)安裝有傳動管8，傳動管8外連接有波紋管，傳動管8內(nèi)安裝有傳動桿13，傳動桿13外套固有軸承9，軸承9固定在固定壁上。波紋管11內(nèi)安裝有操作桿10，操作桿10和傳動桿13為一體連接，傳動桿13和絲桿4固定連接，波紋管外安裝有蝸輪和蝸桿付12。蝸輪、蝸桿付通過伺服電機或步進電機驅(qū)動。
權(quán)利要求1.超高真空下運送機構(gòu)，包括有固定壁、連桿、操作桿、波紋管，其特征在于固定壁內(nèi)側(cè)安裝有一導(dǎo)向管，導(dǎo)向管內(nèi)有一絲桿，絲桿和滑塊通過螺絲咬合，滑塊可以沿導(dǎo)向管軸向作直線移動，滑塊前端固定有連桿，連桿前端是樣品架，固定壁外側(cè)安裝有傳動管，傳動管外連接有波紋管，傳動管內(nèi)安裝有傳動桿，傳動桿一端和絲桿固定連接，傳動桿另一端和操作桿固定連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空下運送機構(gòu)，其特征在于所述的導(dǎo)向管、滑塊呈橢圓形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空下運送機構(gòu)，其特征在于所述的滑塊上有一導(dǎo)向桿，和導(dǎo)向管內(nèi)導(dǎo)向槽配合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空下運送機構(gòu)，其特征在于所述的滑塊由子螺母，套螺母組成，子螺母和套螺母之間安裝有彈簧，子螺母可以沿套螺母內(nèi)的導(dǎo)向槽作直線運動。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空下運送機構(gòu)，其特征在于所述的傳動桿外固定有軸承，軸承外圈固定在傳動管內(nèi)或固定壁上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空下運送機構(gòu)，其特征在于所述的波紋管頂端安裝有把手或蝸輪蝸桿付。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空下運送機構(gòu)，其特征在于所述的連桿有二個，排布在拉桿兩側(cè)。
專利摘要本實用新型公開一種超高真空下運送機構(gòu),包括有固定壁、連桿、操作桿、波紋管,其技術(shù)要點是在固定壁內(nèi)側(cè)安裝有絲桿,驅(qū)動導(dǎo)向管內(nèi)的滑塊沿導(dǎo)向槽作軸向運動,滑塊前端安裝有連桿,連桿前端是樣品架,固定壁外側(cè)安裝有傳動管,傳動管內(nèi)有傳動桿,和絲桿和操作桿固定連接。本實用新型既可以采用手動,也可以采用電機驅(qū)動,滑塊可以是普通螺紋與螺桿的咬合實現(xiàn)傳動,也可以是帶彈簧的雙螺母結(jié)構(gòu)實現(xiàn)無間隙螺紋傳動。本實用新型實現(xiàn)了在超高真空下高精度、長距離樣品輸送。
文檔編號B65G33/00GK2496827SQ0122989
公開日2002年6月26日 申請日期2001年7月6日 優(yōu)先權(quán)日2001年7月6日
發(fā)明者姚達(dá)毛 申請人:中國科學(xué)院等離子體物理研究所