專(zhuān)利名稱(chēng)：超高真空角度調(diào)整器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及真空設(shè)備，特別是法蘭連接件。
背景技術(shù)：
真空設(shè)備對(duì)于密封性能要求特別高，但是許多部件為了適應(yīng)真空 環(huán)境需要制做成剛性部件，部件之間連接由于剛性連接，當(dāng)兩端均為 剛性連接時(shí)，對(duì)輸入要素進(jìn)行方位調(diào)整時(shí)操作較難，同時(shí)又要滿(mǎn)足兩 個(gè)連接面的密封，加工安裝難度大。 發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是克服上述不足問(wèn)題，提供一種超高真空角度 調(diào)整器，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，端面角度可調(diào)，安裝方便。
本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是超高真空角度 調(diào)整器，由上法蘭與下法蘭焊接波紋管構(gòu)成，上法蘭與下法蘭之間裝 有三個(gè)角度調(diào)整桿。
所述上法蘭和下法蘭圓周上三等固定有角度調(diào)整桿安裝孔，角度 調(diào)整桿為螺桿插裝在安裝孔內(nèi)，端頭螺紋連接調(diào)整螺母。
所述上法蘭和下法蘭均為金屬刀口法蘭。
本實(shí)用新型角度上法蘭和下法蘭之間由波紋管密封連接，波紋管 放出氣體少，活動(dòng)自由，法蘭之間三根調(diào)整螺桿，即達(dá)到了穩(wěn)定平衡的目的，又可用來(lái)實(shí)現(xiàn)角度調(diào)整。通過(guò)調(diào)整三根螺桿中的任意一根的調(diào)整螺母位置，由于三點(diǎn)確定一平面，則法蘭面的角度自然會(huì)傾斜。通過(guò)超高真空角度調(diào)整器的偏轉(zhuǎn)角度，達(dá)到調(diào)整超高真空連接端面的目的。


圖l為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中1上法蘭；2角度調(diào)整桿；3下法蘭；4波紋管；5調(diào)整螺母。
具體實(shí)施方式

如圖1所示的超高真空角度調(diào)整器，上法蘭1與下法蘭3焊接波紋管4構(gòu)成一體調(diào)整器，上法蘭和下法蘭均為金屬刀口法蘭，上法蘭和下法蘭圓周上三等分固定有角度調(diào)整桿安裝孔，角度調(diào)整桿2為螺桿，三個(gè)角度調(diào)整桿2插裝在安裝孔內(nèi)，角度調(diào)整桿端頭螺紋連接有調(diào)整螺母5。
使用時(shí)上法蘭和超高真空腔體連接，下法蘭和超高真空磁結(jié)合直線旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器連接。
權(quán)利要求1、超高真空角度調(diào)整器，其特征是由上法蘭與下法蘭焊接波紋管構(gòu)成，上法蘭與下法蘭之間裝有三個(gè)角度調(diào)整桿。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空角度調(diào)整器，其特征是上 法蘭和下法蘭圓周上三等固定有角度調(diào)整桿安裝孔，角度調(diào)整桿為螺 桿插裝在安裝孔內(nèi)，端頭螺紋連接調(diào)整螺母。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及真空設(shè)備。超高真空角度調(diào)整器，由上法蘭與下法蘭焊接波紋管構(gòu)成，上法蘭與下法蘭之間裝有三個(gè)角度調(diào)整桿。本實(shí)用新型角度上法蘭和下法蘭之間由波紋管密封連接，波紋管放出氣體少，活動(dòng)自由，法蘭之間三根調(diào)整螺桿，既達(dá)到了穩(wěn)定平衡的目的，又可用來(lái)實(shí)現(xiàn)角度調(diào)整。通過(guò)調(diào)整三根螺桿中的任意一根的調(diào)整螺母位置，由于三點(diǎn)確定一平面，則法蘭面的角度自然會(huì)傾斜。通過(guò)超高真空角度調(diào)整器的偏轉(zhuǎn)角度，達(dá)到調(diào)整超高真空連接端面的目的。
文檔編號(hào)F16L23/026GK201386873SQ20092001103
公開(kāi)日2010年1月20日 申請(qǐng)日期2009年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月27日
發(fā)明者郭方準(zhǔn) 申請(qǐng)人:大連齊維科技發(fā)展有限公司