專利名稱：滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種為傳輸裝置提供動(dòng)力的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，尤其涉及一種驅(qū)動(dòng)真空腔內(nèi)的
用于傳輸基片的滾輪裝置的滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
玻璃基材等薄板已廣泛用于制造LCD-TFT顯示屏、有機(jī)發(fā)光顯示器件(0LED)面 板、薄膜太陽(yáng)能面板應(yīng)用及其他類似者。于此類應(yīng)用中大多在潔凈玻璃上鍍覆薄膜晶體管， 這類大型玻璃基材的制程通常包含實(shí)施多個(gè)連續(xù)步驟，包括如化學(xué)氣相沉積制程(CVD)、物 理氣相沉積制程(PVD)、有機(jī)物質(zhì)蒸鍍、磁控濺射沉積或蝕刻制程。用于處理玻璃基材的系 統(tǒng)可包括一或多個(gè)制程處理室，以進(jìn)行前述所述制程。目前趨勢(shì)面板加工朝向大面積基材 尺寸發(fā)展，以使基材上可形成更多顯示器、或制造更大型的顯示器以及更大型的太陽(yáng)能面 板。 由于此類制程的工藝要求比較嚴(yán)格，即必須在真空狀態(tài)下以及完全潔凈的空間環(huán) 境中進(jìn)行，如有機(jī)發(fā)光二極管的蒸鍍制程，其沉積物為呈蒸汽狀的有機(jī)物質(zhì)，如有空氣、水 汽等存在的話極易與有機(jī)蒸鍍材料發(fā)生反應(yīng)進(jìn)而改變基材上的沉積物成分，影響其發(fā)光效 應(yīng)；再如，磁控濺射沉積制程過(guò)程中，等離子體輝光放電后相互撞擊空間內(nèi)惰性氣體使離子 化程度達(dá)到雪崩狀態(tài)，從而大面積、大范圍的撞擊金屬靶材，金屬原子或/和原子團(tuán)脫離靶 材在磁力引導(dǎo)下沉積到基底上，然此過(guò)程如密封不好、真空環(huán)境不足將嚴(yán)重影響輝光放電 的程度，同時(shí)空氣中的氧氣和水汽也會(huì)將靶材侵蝕，導(dǎo)致磁控濺射制程中斷或/和沉積薄 膜受到影響；類此種種玻璃等基材的鍍膜、覆膜制程，都必須要保證整個(gè)制程的真空系統(tǒng)的 絕對(duì)可靠性。這樣，在此類制程中，真空傳動(dòng)就凸顯了重要意義，真空傳動(dòng)的設(shè)計(jì)程度往往 考驗(yàn)著整個(gè)制程的真空系統(tǒng)的可靠性。 真空環(huán)境的獲得全賴于能夠密封，針對(duì)不同真空室的工作要求，在真空傳動(dòng)系統(tǒng) 中，動(dòng)力源一般由外部傳到內(nèi)部這樣首先就要解決的是傳動(dòng)系統(tǒng)與真空室間的密封，同時(shí) 基于制造的要求必須保證所有傳動(dòng)的執(zhí)行機(jī)構(gòu)都能同步運(yùn)動(dòng)，而現(xiàn)有技術(shù)中，對(duì)真空腔的 動(dòng)力傳動(dòng)大都采用動(dòng)密封傳動(dòng)，以往的動(dòng)密封傳動(dòng)一方面動(dòng)密封不容易實(shí)現(xiàn)，對(duì)于元部件 的要求較高，另一方面動(dòng)密封存在不穩(wěn)定性，多次重復(fù)動(dòng)作容易導(dǎo)致密封元器件的壞損影 響密封要求。在真空腔體內(nèi)的傳輸采用大量的滾輪、滾珠頂桿等，一方面滾輪與被傳輸器件 接觸會(huì)產(chǎn)生避免不了的磨損，另一方面大量采用大量的滾輪、滾珠頂桿也會(huì)給真空環(huán)境帶 來(lái)污染。腔體內(nèi)部的同步聯(lián)系，由于鏈輪與鏈條或/和同步帶輪與同步帶間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)以 及直接的物理接觸會(huì)使來(lái)自驅(qū)動(dòng)裝置的污染源增多。 因此，急需一種密封效果好、不易損壞、高清潔度、超靜音的非接觸式的滾輪裝置 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種密封效果好、不易損壞、高清潔度、超靜音的采用非接觸式傳輸動(dòng)力的滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為提供一種滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，適用于 驅(qū)動(dòng)平行安裝于真空腔內(nèi)的用于傳輸基片的滾輪裝置，所述滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)裝 置、磁力傳動(dòng)裝置及密封蓋，所述真空腔的腔壁開(kāi)設(shè)有安裝孔，所述密封蓋密封地安裝于所 述安裝孔內(nèi)，所述密封蓋具有中空結(jié)構(gòu)的凸起，所述磁力傳動(dòng)裝置包括傳動(dòng)齒輪、外磁環(huán)套 和內(nèi)磁環(huán)套，所述傳動(dòng)齒輪套于所述外磁環(huán)套外，所述凸起樞接地穿過(guò)所述外磁環(huán)套并與 所述傳動(dòng)齒輪樞接，所述傳動(dòng)齒輪與所述驅(qū)動(dòng)裝置連接，所述內(nèi)磁環(huán)套固定套設(shè)在所述滾 輪裝置的滾輪軸上并容置于所述密封蓋的凸起的中空結(jié)構(gòu)內(nèi)，所述外磁環(huán)套與所述內(nèi)磁環(huán) 套均內(nèi)嵌有永磁體，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，所述傳動(dòng)齒輪帶動(dòng)所述外磁環(huán) 套旋轉(zhuǎn)，所述外磁環(huán)套帶動(dòng)所述內(nèi)磁環(huán)套旋轉(zhuǎn)，所述內(nèi)磁環(huán)套帶動(dòng)所述滾輪裝置的滾輪軸 旋轉(zhuǎn)。 較佳地，所述外磁環(huán)套上開(kāi)設(shè)有外磁鐵安裝槽，所述內(nèi)磁環(huán)套于所述外磁鐵安裝 槽相應(yīng)的位置上開(kāi)設(shè)有內(nèi)磁鐵安裝槽，所述永磁體分別安裝于所述外磁鐵安裝槽和內(nèi)磁鐵 安裝槽內(nèi)。采用開(kāi)設(shè)外磁鐵安裝槽和內(nèi)磁鐵安裝槽并在其內(nèi)安裝永磁體的方式使所述外 磁環(huán)套和內(nèi)磁環(huán)套之間建立磁性連接，使本發(fā)明滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且制造成本 低。 較佳地，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括第一鏈傳動(dòng)輪、第二鏈傳動(dòng)輪、鏈條、驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸、驅(qū)動(dòng) 齒輪及馬達(dá)，所述鏈條纏繞于所述第一鏈傳動(dòng)輪和第二鏈傳動(dòng)輪上且與所述第一鏈傳動(dòng)輪 和第二鏈傳動(dòng)輪相嚙合，所述第一鏈傳動(dòng)輪固定于所述馬達(dá)的輸出軸上，所述驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸 樞接于所述真空腔的外壁上，所述第二鏈傳動(dòng)輪與所述驅(qū)動(dòng)齒輪同軸固定于所述驅(qū)動(dòng)傳動(dòng) 軸上，所述驅(qū)動(dòng)齒輪與所述傳動(dòng)齒輪嚙合。 一方面，所述驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)鏈條將動(dòng)力從馬達(dá)上 傳輸?shù)津?qū)動(dòng)傳動(dòng)軸上，并通過(guò)驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸使得固定于其上的驅(qū)動(dòng)齒輪實(shí)現(xiàn)同步轉(zhuǎn)動(dòng)；另一 方面，所述驅(qū)動(dòng)齒輪與所述傳動(dòng)齒輪嚙合，通過(guò)齒輪之間的相互嚙合進(jìn)行動(dòng)力傳動(dòng)，可有效 的起到減速的作用，使得被傳輸基片或物體在傳輸動(dòng)力時(shí)更加平穩(wěn)，并且結(jié)構(gòu)的布局更加 緊湊合理，避免因驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)不平穩(wěn)而造成滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和真空腔發(fā)生振動(dòng)。 較佳地，所述驅(qū)動(dòng)裝置還包括軸承座，所述軸承座固定于所述真空腔的外壁上，所 述驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸與所述軸承座樞接。當(dāng)滾輪軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，物體可以直接承載于所述滾輪軸上隨 之移動(dòng)，而軸安裝架使得滾輪軸可以穩(wěn)固的承載傳輸物體，防止?jié)L輪軸變形或者斷裂。
較佳地，所述滾輪裝置還包括支架及滾輪，所述支架安裝于所述真空腔內(nèi)的滾輪 軸兩側(cè)，所述滾輪軸的一端與所述內(nèi)磁環(huán)套固定連接，所述滾輪軸的另一端依次穿過(guò)兩所 述滾輪并與所述支架樞接，被同一所述滾輪軸穿過(guò)的兩所述滾輪之間形成基片傳輸區(qū)。所 述支架使所述滾輪軸平穩(wěn)地安裝在真空腔內(nèi)，防止?jié)L輪軸由于自身重量而產(chǎn)生的變形，或 由于承載于其上的被傳輸物體過(guò)重而導(dǎo)致的斷裂。所述滾輪使得所述滾輪裝置方便地傳輸 物體，所述滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)工作時(shí)，基片或者被傳輸物體直接承載于滾輪上，利用滾輪和 基片之間的摩擦力，使得所述基片或被傳輸物體隨著滾輪軸的轉(zhuǎn)動(dòng)而移動(dòng)，最終實(shí)現(xiàn)基片 或者物體的傳輸。 較佳地，所述滾輪開(kāi)設(shè)有臺(tái)階，被同一所述滾輪軸穿過(guò)的兩所述滾輪的臺(tái)階相對(duì) 設(shè)置并形成所述基片傳輸區(qū)。當(dāng)所述滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)工作時(shí)，基片或者被傳輸物體承載 于所述臺(tái)階較低的一階上，且通過(guò)較高的一階的側(cè)壁對(duì)被傳輸物體進(jìn)行限位，實(shí)現(xiàn)物體在傳輸時(shí)的平穩(wěn)，并且能有效的防止物體發(fā)生傳輸?shù)钠啤?較佳地，所述滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括密封圈，所述密封圈連接于所述密封蓋與 所述安裝孔之間。所述密封圈使得真空腔的密封效果更好，更加穩(wěn)定。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用非接觸式傳輸動(dòng)力的靜密封傳 動(dòng)，通過(guò)密封蓋將真空腔密封，并通過(guò)磁力傳動(dòng)裝置將機(jī)械傳動(dòng)轉(zhuǎn)變成磁力傳動(dòng)。由于所 述磁力傳動(dòng)裝置一部分位于密封蓋外，一部分位于密封蓋內(nèi)，并通過(guò)非接觸的方式實(shí)現(xiàn)磁 力傳動(dòng)，因此，一方面，通過(guò)密封蓋將所述真空腔完全密封使得本發(fā)明滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的 密封效果好，容易實(shí)現(xiàn)，克服了傳統(tǒng)的動(dòng)密封傳動(dòng)中對(duì)于元部件的要求較高，密封不容易實(shí) 現(xiàn)，不穩(wěn)定性，多次重復(fù)動(dòng)作容易導(dǎo)致密封元器件的壞損影響密封要求等缺點(diǎn)；另一方面， 通過(guò)設(shè)置在真空腔外的外磁環(huán)套和設(shè)置在真空腔內(nèi)的內(nèi)磁環(huán)套之間的磁連接來(lái)進(jìn)行動(dòng)力 傳動(dòng)，使得本發(fā)明滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)行時(shí)，外部的噪音不會(huì)傳輸?shù)秸婵涨粌?nèi)部，且將機(jī)械 傳動(dòng)轉(zhuǎn)換為磁力傳動(dòng)，克服了傳統(tǒng)的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)中，由于機(jī)械傳動(dòng)時(shí)各部件的相對(duì)運(yùn)動(dòng)以及 直接的物理接觸使得腔體內(nèi)部的污染源增多，影響真空腔內(nèi)的真空環(huán)境，因此本發(fā)明的滾 輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用了非接觸式的傳動(dòng)方式，密封效果好、不易損壞、高清潔度、且超靜音 無(wú)噪音。


圖1是本發(fā)明滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是沿圖1中A-A線的剖視圖。
圖3是圖2中B部分的放大圖。
具體實(shí)施例方式
如圖1、圖2和圖3所示，本發(fā)明滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20，適用于驅(qū)動(dòng)平行安裝于真 空腔15內(nèi)的用于傳輸基片4的滾輪裝置，所述滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20包括驅(qū)動(dòng)裝置、磁力傳 動(dòng)裝置及密封蓋8，所述真空腔15的腔壁開(kāi)設(shè)有安裝孔，所述密封蓋8密封地安裝于所述安 裝孔內(nèi)，所述密封蓋8具有中空結(jié)構(gòu)的凸起81，所述磁力傳動(dòng)裝置包括傳動(dòng)齒輪5、外磁環(huán) 套10和內(nèi)磁環(huán)套12，所述傳動(dòng)齒輪5套于所述外磁環(huán)套10夕卜，所述凸起81樞接地穿過(guò)所 述外磁環(huán)套10并與所述傳動(dòng)齒輪5樞接，所述傳動(dòng)齒輪5與所述驅(qū)動(dòng)裝置連接，所述內(nèi)磁 環(huán)套12固定套設(shè)在所述滾輪裝置的滾輪軸13上并容置于所述密封蓋8的凸起81的中空 結(jié)構(gòu)內(nèi)，所述外磁環(huán)套10與所述內(nèi)磁環(huán)套12均內(nèi)嵌有永磁體，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng) 齒輪5轉(zhuǎn)動(dòng)，所述傳動(dòng)齒輪5帶動(dòng)所述外磁環(huán)套10旋轉(zhuǎn)，所述外磁環(huán)套10帶動(dòng)所述內(nèi)磁環(huán) 套12旋轉(zhuǎn)，所述內(nèi)磁環(huán)套12帶動(dòng)所述滾輪裝置的滾輪軸13旋轉(zhuǎn)。 較佳者，所述外磁環(huán)套10上開(kāi)設(shè)有外磁鐵安裝槽9，所述內(nèi)磁環(huán)套12于所述外磁 鐵安裝槽9相應(yīng)的位置上開(kāi)設(shè)有內(nèi)磁鐵安裝槽ll，所述永磁體分別安裝于所述外磁鐵安裝 槽9和內(nèi)磁鐵安裝槽11內(nèi)。采用開(kāi)設(shè)內(nèi)外磁鐵安裝槽并在其內(nèi)安裝永磁體的方式在所述 外磁環(huán)套IO和內(nèi)磁環(huán)套12之間建立同步的磁性連接，使本發(fā)明滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20的結(jié) 構(gòu)簡(jiǎn)單且制造成本低。 較佳者，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括第一鏈傳動(dòng)輪21、第二鏈傳動(dòng)輪22、鏈條3、驅(qū)動(dòng)傳動(dòng) 軸7、驅(qū)動(dòng)齒輪25及馬達(dá)，所述鏈條3纏繞于所述第一鏈傳動(dòng)輪21和第二鏈傳動(dòng)輪22上且
5與所述第一鏈傳動(dòng)輪21和第二鏈傳動(dòng)輪22相嚙合，所述第一鏈傳動(dòng)輪21固定于所述馬達(dá) 的輸出軸1上，所述驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸7樞接于所述真空腔15的外壁上，所述第二鏈傳動(dòng)輪22與 多個(gè)驅(qū)動(dòng)齒輪25同軸固定于所述驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸7上，所述驅(qū)動(dòng)齒輪25與所述傳動(dòng)齒輪5嚙 合。當(dāng)所述滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20工作時(shí)，所述馬達(dá)的輸出軸1帶動(dòng)固定于其上的第一鏈傳 動(dòng)輪21轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第一鏈傳動(dòng)輪21通過(guò)所述鏈條3帶動(dòng)所述第二鏈傳動(dòng)輪22同步轉(zhuǎn)動(dòng)， 所述第二鏈傳動(dòng)輪22通過(guò)驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸7帶動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)齒輪25轉(zhuǎn)動(dòng)，所述驅(qū)動(dòng)齒輪25帶動(dòng) 與之嚙合的傳動(dòng)齒輪5轉(zhuǎn)動(dòng)，所述傳動(dòng)齒輪5通過(guò)所述磁力傳動(dòng)裝置帶動(dòng)滾輪軸13轉(zhuǎn)動(dòng)。
具體地，所述真空腔15的外壁上還固定有軸承座71，所述驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸7樞接地穿 過(guò)在所述軸承座71，并通過(guò)軸承座71樞接在真空腔15的外壁上，使得安裝在驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸7 上的驅(qū)動(dòng)齒輪25與所述傳動(dòng)齒輪5之間的嚙合關(guān)系更加穩(wěn)固，從而防止由于所述驅(qū)動(dòng)傳動(dòng) 軸7在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的位置發(fā)生偏移致使驅(qū)動(dòng)齒輪25與傳動(dòng)齒輪5錯(cuò)位。更具體地，所述真空腔 15上還包括密封腔蓋6，所述密封腔蓋6位于所述真空腔15的頂部，通過(guò)真空腔15可以實(shí) 現(xiàn)腔內(nèi)部件的安裝和維修。 較佳者，所述滾輪裝置還包括支架16及滾輪17，所述支架16安裝于所述真空腔 15內(nèi)的滾輪軸13兩側(cè)，所述滾輪軸13的一端與所述內(nèi)磁環(huán)套12固定連接，另一端則依次 穿過(guò)兩個(gè)滾輪17并與所述支架16樞接，被同一滾輪軸13穿過(guò)的兩滾輪17之間形成基片 傳輸區(qū)。具體地，所述滾輪17開(kāi)設(shè)有臺(tái)階，被同一所述滾輪軸13穿過(guò)的兩滾輪17的臺(tái)階 相對(duì)設(shè)置并形成所述基片傳輸區(qū)。當(dāng)所述滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20工作時(shí)，基片4承載于所述 滾輪17較低的一階臺(tái)階上，而較高的一階臺(tái)階則通過(guò)側(cè)壁對(duì)基片4進(jìn)行限位，所述驅(qū)動(dòng)裝 置帶動(dòng)所述磁力傳動(dòng)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)，所述磁力傳動(dòng)裝置的內(nèi)磁環(huán)套12帶動(dòng)固定于其上的滾輪 軸13轉(zhuǎn)動(dòng)，所述滾輪軸13上的滾輪17隨之轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)承載于其上的基片4移動(dòng)。
以下結(jié)合圖1-圖3詳細(xì)敘述所述滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20的工作過(guò)程所述滾輪裝 置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20工作時(shí)，所述基片4承載于平行安裝于真空腔15內(nèi)的一排滾輪軸13上，且 位于兩滾輪13的臺(tái)階相對(duì)設(shè)置并形成所述基片傳輸區(qū)內(nèi)，由馬達(dá)驅(qū)動(dòng)其輸出軸1轉(zhuǎn)動(dòng)，輸 出軸1帶動(dòng)固定于其上的第一鏈傳動(dòng)輪21轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第一鏈傳動(dòng)輪21通過(guò)所述鏈條3帶 動(dòng)所述第二鏈傳動(dòng)輪22同步轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第二鏈傳動(dòng)輪22帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸7轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)傳動(dòng) 軸7帶動(dòng)安裝于其上的多個(gè)驅(qū)動(dòng)齒輪25轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)齒輪25帶動(dòng)與之嚙合的傳動(dòng)齒輪5轉(zhuǎn) 動(dòng)，從而將動(dòng)力從驅(qū)動(dòng)裝置傳遞到磁力傳動(dòng)裝置上；所述傳動(dòng)齒輪5帶動(dòng)所述外磁環(huán)套10 旋轉(zhuǎn)，所述外磁環(huán)套10帶動(dòng)所述內(nèi)磁環(huán)套12同步旋轉(zhuǎn)，所述內(nèi)磁環(huán)套12帶動(dòng)所述滾輪裝 置的滾輪軸13旋轉(zhuǎn)，從而將機(jī)械傳動(dòng)轉(zhuǎn)換為非接觸式的磁力傳動(dòng)，動(dòng)力從磁力傳動(dòng)裝置傳 動(dòng)到滾輪裝置上；所述滾輪軸13的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)其上的滾輪17轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)承載于滾輪17 上的基片4移動(dòng)。 以上所揭露的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來(lái)限定本發(fā)明之權(quán)利 范圍，因此依本發(fā)明申請(qǐng)專利范圍所作的等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
一種滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，適用于驅(qū)動(dòng)平行安裝于真空腔內(nèi)的用于傳輸基片的滾輪裝置，其特征在于所述滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)裝置、磁力傳動(dòng)裝置及密封蓋，所述真空腔的腔壁開(kāi)設(shè)有安裝孔，所述密封蓋密封地安裝于所述安裝孔內(nèi)，所述密封蓋具有中空結(jié)構(gòu)的凸起，所述磁力傳動(dòng)裝置包括傳動(dòng)齒輪、外磁環(huán)套和內(nèi)磁環(huán)套，所述傳動(dòng)齒輪套于所述外磁環(huán)套外，所述凸起樞接地穿過(guò)所述外磁環(huán)套并與所述傳動(dòng)齒輪樞接，所述傳動(dòng)齒輪與所述驅(qū)動(dòng)裝置連接，所述內(nèi)磁環(huán)套固定套設(shè)在所述滾輪裝置的滾輪軸上并容置于所述密封蓋的凸起的中空結(jié)構(gòu)內(nèi)，所述外磁環(huán)套與所述內(nèi)磁環(huán)套均內(nèi)嵌有永磁體，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，所述傳動(dòng)齒輪帶動(dòng)所述外磁環(huán)套旋轉(zhuǎn)，所述外磁環(huán)套帶動(dòng)所述內(nèi)磁環(huán)套旋轉(zhuǎn)，所述內(nèi)磁環(huán)套帶動(dòng)所述滾輪裝置的滾輪軸旋轉(zhuǎn)。
2. 如權(quán)利要求1所述的滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述外磁環(huán)套上開(kāi)設(shè)有外磁 鐵安裝槽，所述內(nèi)磁環(huán)套于所述外磁鐵安裝槽相應(yīng)的位置上開(kāi)設(shè)有內(nèi)磁鐵安裝槽，所述永 磁體分別安裝于所述外磁鐵安裝槽和內(nèi)磁鐵安裝槽內(nèi)。
3. 如權(quán)利要求1所述的滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)裝置包括第一鏈傳 動(dòng)輪、第二鏈傳動(dòng)輪、鏈條、驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸、驅(qū)動(dòng)齒輪及馬達(dá)，所述鏈條纏繞于所述第一鏈傳動(dòng) 輪和第二鏈傳動(dòng)輪上且與所述第一鏈傳動(dòng)輪和第二鏈傳動(dòng)輪相嚙合，所述第一鏈傳動(dòng)輪固 定于所述馬達(dá)的輸出軸上，所述驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸樞接于所述真空腔的外壁上，所述第二鏈傳動(dòng) 輪與所述驅(qū)動(dòng)齒輪同軸固定于所述驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸上，所述驅(qū)動(dòng)齒輪與所述傳動(dòng)齒輪嚙合。
4. 如權(quán)利要求3所述的滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)裝置還包括軸承座， 所述軸承座固定于所述真空腔的外壁上，所述驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸與所述軸承座樞接。
5. 如權(quán)利要求1所述的滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述滾輪裝置還包括支架及 滾輪，所述支架安裝于所述真空腔內(nèi)的滾輪軸兩側(cè)，所述滾輪軸的一端與所述內(nèi)磁環(huán)套固 定連接，所述滾輪軸的另一端依次穿過(guò)兩所述滾輪并與所述支架樞接，被同一所述滾輪軸 穿過(guò)的兩所述滾輪之間形成基片傳輸區(qū)。
6. 如權(quán)利要求5所述的滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述滾輪開(kāi)設(shè)有臺(tái)階，被同一 所述滾輪軸穿過(guò)的兩所述滾輪的臺(tái)階相對(duì)設(shè)置并形成所述基片傳輸區(qū)。
7. 如權(quán)利要求l所述的滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于還包括密封圈，所述密封圈連 接于所述密封蓋與所述安裝孔之間。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，適用于驅(qū)動(dòng)平行安裝于真空腔內(nèi)用于傳輸基片的滾輪裝置，包括驅(qū)動(dòng)裝置、磁力傳動(dòng)裝置及密封蓋，真空腔的腔壁開(kāi)設(shè)有安裝孔，密封蓋密封地安裝于安裝孔內(nèi)，密封蓋具有中空結(jié)構(gòu)的凸起，磁力傳動(dòng)裝置包括傳動(dòng)齒輪、外磁環(huán)套和內(nèi)磁環(huán)套，傳動(dòng)齒輪套于外磁環(huán)套外，凸起穿過(guò)外磁環(huán)套并與傳動(dòng)齒輪樞接，傳動(dòng)齒輪與驅(qū)動(dòng)裝置連接，內(nèi)磁環(huán)套固定套設(shè)在滾輪裝置的滾輪軸上并容置于凸起的中空結(jié)構(gòu)內(nèi)，外磁環(huán)套與內(nèi)磁環(huán)套均內(nèi)嵌有永磁體，驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)傳動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，傳動(dòng)齒輪帶動(dòng)外磁環(huán)套旋轉(zhuǎn)，外磁環(huán)套帶動(dòng)內(nèi)磁環(huán)套旋轉(zhuǎn)，內(nèi)磁環(huán)套帶動(dòng)滾輪裝置的滾輪軸旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)密封效果好、不易損壞、高清潔度、無(wú)噪音。
文檔編號(hào)B65G39/04GK101704452SQ20091019202
公開(kāi)日2010年5月12日 申請(qǐng)日期2009年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月3日
發(fā)明者余超平, 劉惠森, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司