專利名稱：化學(xué)品溶液供給系統(tǒng)和其所采用的化學(xué)品溶液用容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液體化學(xué)品用輸送液裝置。本發(fā)明特別是涉及貯藏電子工業(yè)用化學(xué)品等流體、對其進(jìn)行運送并且分配的一次性方式的容器；采用它的液體化學(xué)品用輸送液裝置。
背景技術(shù)：
一般用于制造半導(dǎo)體材料的化學(xué)品類，比如光致抗蝕劑組合物等被貯藏于化學(xué)品容器中而運送，在制造工廠處被開封而使用。這樣的化學(xué)品容器的使用方式分為稱作循環(huán)方式的反復(fù)使用同一容器的方式和稱作一次性方式的每次使用新容器的方式。在這里，一次性方式特別優(yōu)選用于對于化學(xué)品的純度重要的場合。但是，從經(jīng)濟(jì)角度看，具有改良的余地，還采用將上述兩個方式組合，化學(xué)品溶液直接接觸的內(nèi)側(cè)容器為一次性方式的復(fù)式收納型的容器。對于這種復(fù)式收納型的容器，一般內(nèi)側(cè)容器采用由通過非活性材料形成的撓性薄膜形成的袋。該內(nèi)側(cè)容器設(shè)置于外側(cè)容器中，化學(xué)品溶液填充于該內(nèi)側(cè)容器內(nèi)部。在使用容器后，即，在將化學(xué)品溶液從內(nèi)側(cè)容器排出之后，該內(nèi)側(cè)容器從外側(cè)容器取下而廢棄，并且將新內(nèi)側(cè)容器安裝于外側(cè)容器上。這樣作為化學(xué)品溶液用容器而再生，再次將化學(xué)品溶液填充于內(nèi)側(cè)容器的內(nèi)部。對于這種復(fù)式收納型的容器，人們對各種類型進(jìn)行了研究(比如，專利文獻(xiàn)1)。但是，由于在回收外側(cè)容器、清洗接頭和外側(cè)容器以及新安裝袋的再生等作業(yè)中，需要浪費很多時間和費用，故降低整體成本的效果小，反而在采用復(fù)式收納型的容器的場合，有成本相對變高的傾向。另一方面，在一次性方式的容器中，一般包括樹脂容器，其由已成型的耐化學(xué)品合成樹脂制造而成型，還包括復(fù)合容器，其具有已成型的耐化學(xué)品合成樹脂制的內(nèi)側(cè)容器被金屬制的外側(cè)容器包圍的雙層結(jié)構(gòu)。樹脂容器可低價格地制造，在使用后能容易廢棄，因此使用范圍較廣。另一方面，作為復(fù)合容器，人們開發(fā)了比如能低價格地制造，在使用后金屬和合成樹脂容易分離和解體并且作廢的液體化學(xué)品用罐桶(比如，參照專利文獻(xiàn)2)。但是，對于過去已知的樹脂容器和復(fù)合容器，一般在供給化學(xué)品溶液時，在該容器中將帶有輸送液管的連接器安裝于液體化學(xué)品容器中，將輸送液管插入容器內(nèi)，將液體化學(xué)品排出。在該方法中，在連接有輸送液管的容器為空時，必須重新在含化學(xué)品溶液的容器上連接輸送液管。此時，在輸送液管從使用后的空容器轉(zhuǎn)到化學(xué)品溶液進(jìn)入的新容器的期間，有時會發(fā)生輸送液管被空氣中浮游塵埃等雜質(zhì)污染，或因操作不當(dāng)導(dǎo)致輸送液管與地面或容器表面等接觸時，輸送液管被附著異物的情況。其結(jié)果是，這些雜質(zhì)或異物與輸送液管同時被攜帶進(jìn)容器的內(nèi)部。另外，在采用預(yù)先在內(nèi)部安裝輸送液管的容器的場合，由于化學(xué)品溶液附著于輸送液管的內(nèi)表面的整體上，故在將蓋打開時，具有下述缺點，很有可能附著于輸送液管上的化學(xué)品溶液被空氣中的雜質(zhì)污染，并且將異物攜帶進(jìn)裝置內(nèi)。此外，在過去的化學(xué)品溶液容器中，在插入輸送液管時，取下容器的蓋而敞開，故容器內(nèi)的化學(xué)品溶液與空氣接觸時間較長，另外，由于在插入輸送液管時，化學(xué)品溶液被攪拌，故化學(xué)品溶液與空氣接觸較多。由此，具有因氧化等空氣接觸導(dǎo)致的化學(xué)品溶液性能變差增加的傾向。還有，已有的化學(xué)品溶液容器在運輸途中失誤或故意地開封容器蓋的情況下，化學(xué)品溶液的使用者都不能夠在使用前知曉。比如，蓋松動的場合，氧被供給到容器的內(nèi)部， 雖然有可能化學(xué)品溶液性能因氧化等導(dǎo)致變差，但是不容易在使用時確認(rèn)是否已變差?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特開平6-100087號公報專利文獻(xiàn)2 日本特開2008-100715號公報

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供能低價格制造，并且能在容器使用時確認(rèn)處于未開封狀態(tài)，在容器替換時能減少化學(xué)品溶液和空氣的接觸機(jī)會的液體化學(xué)品溶液用輸送液管和其供給容器。本發(fā)明的化學(xué)品溶液供給系統(tǒng)為從填充有化學(xué)品溶液的化學(xué)品溶液用容器供給上述化學(xué)品溶液的化學(xué)品溶液供給系統(tǒng)，其特征在于，上述化學(xué)品溶液用容器包括具有開口部的容器主體；內(nèi)側(cè)蓋部件，其包括嵌合于上述開口部的內(nèi)側(cè)的中空圓筒狀的內(nèi)側(cè)蓋主體；輸送液管，其具有從上述內(nèi)側(cè)蓋主體的內(nèi)側(cè)中空部延伸到上述容器主體的內(nèi)側(cè)底部附近的液體通路；封閉部件，其將上述內(nèi)側(cè)蓋主體的外側(cè)開口端封閉，能通過將其破壞或去除，以不可逆的方式將上述外側(cè)開口端開口，具有輸送液用配管和氣體導(dǎo)入用配管的連接插塞與上述內(nèi)側(cè)蓋部件連接，此時， 在位于上述內(nèi)側(cè)蓋主體的內(nèi)側(cè)中空部且設(shè)置于上述輸送液管的末端的集液部上，連接有將上述封閉部件破壞或去除而插入的上述輸送液用配管的前端部，(a)將氣體從上述氣體導(dǎo)入用配管，通過導(dǎo)孔導(dǎo)入上述容器主體內(nèi)部，該導(dǎo)孔設(shè)置于上述內(nèi)側(cè)蓋部件上，從上述內(nèi)側(cè)蓋主體內(nèi)側(cè)中空部向容器主體內(nèi)部貫穿，通過上述氣體的壓力，上述化學(xué)品溶液經(jīng)由上述輸送液管和上述輸送液用配管，從上述容器主體內(nèi)部引出而供給到外部，或者(b)經(jīng)由上述輸送液用配管和上述輸送液管，從上述容器主體內(nèi)部吸引而供給上述化學(xué)品溶液。本發(fā)明的化學(xué)品溶液用容器包括具有開口部的容器主體；內(nèi)側(cè)蓋部件，其包括嵌合于上述開口部的內(nèi)側(cè)的中空圓筒狀的內(nèi)側(cè)蓋主體；輸送液管，其具有從上述內(nèi)側(cè)蓋主體的內(nèi)側(cè)中空部延伸到上述容器主體的內(nèi)側(cè)底部附近的液體通路；封閉部件，其將上述內(nèi)側(cè)蓋主體的外側(cè)開口端封閉，可通過將其破壞或去除，以不可逆的方式將上述外側(cè)開口端開口 ；其特征在于，為了將填充于上述容器主體中的化學(xué)品溶液排出，在將具有輸送液用配管和氣體導(dǎo)入用配管的插塞與上述內(nèi)側(cè)蓋部件連接時，在位于上述內(nèi)側(cè)蓋主體的內(nèi)側(cè)中空部的上述輸送液管的末端上，設(shè)置可與上述輸送液用配管的前端部連接的集液部，上述輸送液用配管將上述封閉部件破壞或去除而插入，并且上述內(nèi)側(cè)蓋部件具有導(dǎo)孔，該導(dǎo)孔將從上述氣體導(dǎo)入用配管而導(dǎo)入的氣體通到上述容器的內(nèi)部。由于本發(fā)明的化學(xué)品溶液用容器與輸送液管形成一體化，故用于化學(xué)品溶液供給系統(tǒng)，在內(nèi)部的化學(xué)品溶液被使用之后的容器被下一個新容器替換時，不但輸送液管不被異物或雜質(zhì)污染，也不會將它們攜帶進(jìn)容器的內(nèi)部。另外，由于在替換時，不必處置化學(xué)品溶液弄濕的輸送液管，故與已有的化學(xué)品溶液容器或化學(xué)品溶液供給系統(tǒng)相比，處置性良好。另外，本發(fā)明的化學(xué)品溶液用容器能夠用作一次性方式的容器，在使用后一起廢棄包括設(shè)置于內(nèi)部的輸送液管，不必進(jìn)行容器主體和輸送液管的清洗。另外，也不必進(jìn)行已有的具有二重結(jié)構(gòu)的復(fù)合容器所必須的向外側(cè)容器進(jìn)行袋的重新裝入。另外，如果考慮如上所述的因降低化學(xué)品溶液污染而使最終產(chǎn)品的合格率提高等，則能夠?qū)崿F(xiàn)從總體上經(jīng)濟(jì)的化學(xué)品溶液供給系統(tǒng)。


圖1為本發(fā)明的一個實施形式的化學(xué)品溶液用容器的外觀結(jié)構(gòu)圖；圖2為本發(fā)明的一個實施形式的化學(xué)品溶液用容器的開口部的外觀結(jié)構(gòu)剖視圖；圖3為本發(fā)明的一個實施形式的化學(xué)品溶液用容器所采用的內(nèi)側(cè)蓋部件的外觀結(jié)構(gòu)剖視圖；圖4為本發(fā)明的一個實施形式的化學(xué)品溶液容器所采用的薄膜狀封閉部件的外觀結(jié)構(gòu)俯視圖；圖5為包括本發(fā)明的一個實施形式的化學(xué)品溶液容器所采用的蓋狀封閉部件的內(nèi)側(cè)蓋部件的外觀結(jié)構(gòu)剖視5(a)和外觀結(jié)構(gòu)立體5(b)；另一實施形式的蓋狀封閉部件的外觀結(jié)構(gòu)剖視5(c)和圖5(d)；圖6為本發(fā)明的一個實施形式的化學(xué)品溶液供給系統(tǒng)的外觀結(jié)構(gòu)圖；圖7為本發(fā)明的一個實施形式的化學(xué)品溶液供給系統(tǒng)所采用的連接插塞的外觀結(jié)構(gòu)剖視圖；圖8為本發(fā)明的一個實施形式的化學(xué)品溶液供給系統(tǒng)的容器連接部分的外觀結(jié)構(gòu)剖視圖；圖9為表示實施例1和比較例1的光致抗蝕劑組合物中的平均微粒數(shù)量的曲線圖。
具體實施例方式下面對本發(fā)明的實施形式進(jìn)行具體說明。參照附圖，對實施本發(fā)明的一個實施形式進(jìn)行說明。圖1為本發(fā)明的化學(xué)品溶液用容器3的側(cè)視圖。容器主體5具有開口部6，在其內(nèi)部裝填有化學(xué)品溶液12，通過外側(cè)容器蓋10將開口部封閉。即，在外觀上與已有的普通化學(xué)品溶液用容器相同。容器主體和外側(cè)容器蓋的材質(zhì)可從樹脂或金屬等中任選，另外，也可設(shè)置把手等，以便改善處置性。
本發(fā)明的化學(xué)品溶液用容器的特征在于其內(nèi)部結(jié)構(gòu)。該內(nèi)部結(jié)構(gòu)的外觀剖視圖如圖2所示。在容器主體5的開口部的外側(cè)，車削有用于組裝外側(cè)容器蓋10的外螺紋6a。外側(cè)蓋的安裝也可以不是螺紋結(jié)構(gòu)，還可以采用比如嵌入結(jié)構(gòu)等，但是在本發(fā)明中，外螺紋6a 能夠用于固定后述的連接插塞而使用，因此優(yōu)選具有螺紋結(jié)構(gòu)。另一方面，在開口部的內(nèi)側(cè)組裝有內(nèi)側(cè)蓋部件20。內(nèi)側(cè)蓋部件20的結(jié)構(gòu)如圖3所示。中空圓筒狀的內(nèi)側(cè)蓋主體7為嵌合于容器主體的開口部6的內(nèi)側(cè)的圓筒狀的部件。在另外一端部設(shè)置輸送液管8，從內(nèi)部蓋主體的內(nèi)側(cè)中空部送液到達(dá)容器主體底部。在位于上述內(nèi)側(cè)蓋主體的內(nèi)側(cè)中空部的上述輸送液管的末端設(shè)置接合后述的輸送液配管的集液部8a。在該集液部8a上，為了使輸送液配管接合更容易，并且使接合部的密接性良好，防止液體泄漏或氣體泄漏，可設(shè)置如圖3所示的錐狀結(jié)構(gòu)。此外，還可設(shè)置用于改善密接性的連結(jié)器或密封環(huán)等。由于輸送液管的材料浸漬于容器主體內(nèi)的化學(xué)品溶液中，故對應(yīng)于化學(xué)品溶液的種類，選擇相對該化學(xué)品溶液耐性高的材料。比如，采用(a)聚烯烴樹脂，例如聚乙烯、聚丙烯、聚丁烯和它們的共聚物；(b)聚酯樹脂，例如聚對苯二甲酸乙二醇酯和聚對苯二甲酸丁二醇酯；(c)含氟樹脂，例如四氟乙烯、四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚的共聚物、四氟乙烯-乙烯的共聚物、三氟氯乙烯、聚偏氟乙烯、聚氟乙烯和三氟氯乙烯-乙烯的共聚物等。這些材料也可按照將兩種以上的材料組合的方式使用。另外，輸送液管既可以為剛性高的管，也可以為軟管，在采用剛性高的管的場合，輸送液管的長度一般為距容器主體的底部附近處的長度。其原因在于，如果較短，則導(dǎo)致殘留于主體內(nèi)的化學(xué)品溶液變多。另一方面，如果長度為輸送液管的末端接觸底部的程度，則導(dǎo)致難以從輸送液管的末端排出化學(xué)品溶液。在這樣的場合，也可通過在輸送液管的末端部的側(cè)面開設(shè)孔，使化學(xué)品溶液容易地排出。另外，還可采用軟的輸送液管，但是在這樣的場合，通過將輸送液管的長度延長為接觸容器主體的底部的程度，能減少排出時的化學(xué)品溶液殘留量。在內(nèi)側(cè)蓋主體中的沒有設(shè)置輸送液管一側(cè)的端部，即內(nèi)側(cè)蓋主體的外側(cè)開口端通過封閉部件7a而封閉。該封閉部件可通過將其破壞或去除，以不可逆的方式使上述外側(cè)開口端開口。這里所述的“以不可逆的方式使開口端開口 ”，是指在使開口端開口的場合，使封閉材料破壞或變形，實質(zhì)上無法返回到開口前的狀態(tài)。作為這樣的封閉材料的優(yōu)選材料，列舉有由樹脂等薄膜形成的薄膜狀封閉材料。通過將樹脂等薄膜與開口部粘接或熔接，為了使開口部開口，必須切斷或去除薄膜，將其恢復(fù)到原始的狀態(tài)這一點實質(zhì)上是不可能的。該薄膜狀封閉部件在化學(xué)品溶液的保存或搬運時，實質(zhì)上作為化學(xué)品溶液用容器的蓋發(fā)揮功能。一般在運送時或保存時，將上述的外側(cè)容器蓋10安裝于開口部，但是該外側(cè)容器蓋也兼具保護(hù)薄膜狀封閉部件的功能。另一方面，可在供給化學(xué)品溶液時，連接后述的連接用插塞的場合，將薄膜狀封閉材料破壞或去除，將輸送液管的端部導(dǎo)入內(nèi)側(cè)蓋部件的內(nèi)側(cè)中空部。S卩，薄膜狀封閉部件可通過例如呈尖銳形狀加工的連接用插塞的前端等被貫穿的方式破壞，或用刀具等而破壞打通，或剝離而去除。這樣，在通過將薄膜狀封閉部件破壞或去除的方式開口的開口部導(dǎo)入上述的輸送液用配管的端部，與輸送液管連接。這樣的薄膜狀封閉部件的材料優(yōu)選為從較柔軟的樹脂中選擇。具體來說，從作為上述輸送液管的材料而列舉的材料中選擇該材料。更具體地說，聚乙烯或聚丙烯的價格低，因為在將連接插塞連接時容易破壞或去除，故其為優(yōu)選的材料。該薄膜狀封閉部件比如通過粘接劑或熱熔接而固定于內(nèi)側(cè)蓋主體上。
對薄膜狀封閉部件的形狀沒有特別的限定，根據(jù)需要可以是任意形狀。這種薄膜狀封閉部件的形狀的例子如圖4所示。薄膜狀封閉部件7a也可具有均勻的厚度，但是可按照在將連接用插塞連接時容易破壞的方式，在薄膜上設(shè)置線狀的薄的部分，即所謂的槽11。 對槽11的形狀沒有特別的限定，既可呈輻射狀(圖4(a))設(shè)置于薄膜表面上，也可呈圓弧狀(圖4(b))。另外，槽的截面形狀最好為V形，但是也可為半圓形或矩形。另外，對于在使用時將薄膜狀封閉部件剝離的場合，為了使剝離容易，還可設(shè)置拉片12，使操作者容易持握 (圖4(c))。另外，作為使薄膜狀封閉部件大于開口部的外徑的情況，也可使外周部的整體為拉片(圖4(d))。此外，封閉部件并不限于薄膜狀，可為任意的形狀。圖5表示這樣的封閉部件的一個實施形式的構(gòu)思剖視圖。在該例子中示出嵌合于內(nèi)側(cè)蓋主體的內(nèi)側(cè)的蓋狀封閉部件10a。 該蓋狀封閉部件IOa如圖5(a)所示的那樣，具有截面呈梯形的圓錐臺形狀。即，越靠近底面，蓋狀封閉部件IOa的外周徑越大。通過具有這樣的形狀，在防止蓋狀封閉部件脫落的同時，還防止容器內(nèi)化學(xué)品溶液的泄漏。此時，優(yōu)選為在內(nèi)側(cè)蓋主體7的內(nèi)壁上形成與蓋狀封閉部件IOa的外側(cè)形狀一致的槽結(jié)構(gòu)，以實現(xiàn)相互的嵌合。另外，也可由具有彈性的材料形成蓋狀封閉部件，通過嵌入方式固定于內(nèi)側(cè)蓋主體上。蓋狀封閉部件IOa的底面也可與集液部8a接觸。另外，在使用時為了蓋部件能容易去除或破壞，如圖5(b)所示，優(yōu)選為在蓋狀封閉部件上設(shè)置拉片IOb和槽10c，其按照將拉片IOb上提，由此沿槽IOc使蓋部件形成破壞。另外，也可在拉片IOb或槽IOc中任意一個或這兩個上，貼有在剝離后無法再粘貼的密封件，能容易地確認(rèn)容器的開封。另外，在圖5(b)所示的例子中，槽呈直線狀形成于蓋狀封閉部件的底面上，拉片IOb形成于底面的槽端部，但是對該拉片和槽的形狀沒有特別的限定，比如拉片不僅可設(shè)置在薄膜狀封閉部件的底面上，也可設(shè)置于內(nèi)側(cè)側(cè)面或頂部，另外，槽還可以為圓形狀，而不是直線狀。另外，通過使蓋部件IOa嵌合于內(nèi)側(cè)蓋主體的內(nèi)側(cè)， 即使在搬運時，使用外側(cè)容器蓋10時，也沒有妨礙。如圖5所示的蓋狀封閉部件為優(yōu)選的一個形式，但是也可采用其以外的蓋狀部件。比如可在蓋狀封閉部件的外周上形成肋10d(圖5(c))，通過嵌合于設(shè)置在內(nèi)側(cè)蓋主體的內(nèi)周的槽而固定，或者通過粘接或熱熔接于內(nèi)側(cè)蓋部件上而固定。另外，也可在蓋狀封閉部件的頂面外周上形成止動件IOe (圖5 (d))。該止動件IOe 與內(nèi)側(cè)蓋主體的頂面肋部的表面接觸，有助于蓋狀封閉部件的固定。根據(jù)需要，也可將該止動部粘接或熱熔接于內(nèi)側(cè)蓋主體上。另外，也可采用嵌合于內(nèi)側(cè)蓋主體的頂面肋部和開口部的外側(cè)，覆蓋開口部的同時將容器封閉的蓋狀封閉材料。另外，如果這些蓋狀部件呈以物理方式嵌合于內(nèi)側(cè)蓋主體或容器開口部的形狀，也可不依賴于粘接或熱熔接等而固定。優(yōu)選為在開口時蓋狀封閉部件不可逆地變形或破損。另外，在進(jìn)行粘接時，也可采用如果一旦剝離粘接力降低，無法再次粘接的密封件等。此外，在內(nèi)側(cè)蓋部件上開設(shè)導(dǎo)孔9，該導(dǎo)孔9在內(nèi)側(cè)蓋部件嵌合于容器主體上的場合，從蓋主體內(nèi)側(cè)中空部貫穿容器主體內(nèi)部。該導(dǎo)孔9為下述的(a)或(b)的類型，(a)類型中，使從后述的氣體導(dǎo)入配管導(dǎo)入的氣體通過容器主體，使容器主體內(nèi)的壓力上升，由此， 用于排出容器主體內(nèi)的化學(xué)品溶液；(b)類型中，在經(jīng)由后述的輸送液用配管和輸送液管， 通過設(shè)置于外部的泵等吸引容器主體內(nèi)的化學(xué)品溶液的場合，用于通過導(dǎo)孔使外部的空氣流入容器的內(nèi)部，調(diào)整通過吸引而在容器內(nèi)部產(chǎn)生的負(fù)壓。
具有這種結(jié)構(gòu)的內(nèi)側(cè)蓋部件20嵌合于容器主體5的開口部6。此時，可在內(nèi)側(cè)蓋部件20上設(shè)置止動件7b，其用于防止內(nèi)側(cè)蓋部件20從開口部6脫落。通過設(shè)定為這種結(jié)構(gòu)，如果內(nèi)側(cè)蓋部件不采用特別的工具則難以取下。另外，也可通過粘接劑等，將內(nèi)側(cè)蓋部件20固定于開口部6。這樣，由于內(nèi)側(cè)蓋部件20難以脫落，故可防止故意或事故導(dǎo)致的不必要地將容器開封的情況。這樣，由于內(nèi)側(cè)蓋部件20 —旦與容器主體連接則難以脫離，故一般在將化學(xué)品溶液填充于容器主體5中之后，將其安裝于開口部6。但是，還可在將具有輸送液管8的內(nèi)側(cè)蓋主體7組裝于開口部6上之后填充化學(xué)品溶液，然后，將薄膜狀封閉部件熱熔接于內(nèi)側(cè)蓋主體7上。如下所述，對采用這種本發(fā)明的化學(xué)品溶液用容器的化學(xué)品溶液供給系統(tǒng)進(jìn)行說明。這種化學(xué)品溶液供給系統(tǒng)的整體的構(gòu)思圖如圖6所示。在這里給出的系統(tǒng)中，從氣體導(dǎo)入用配管，通過導(dǎo)孔而將氣體導(dǎo)入容器主體的內(nèi)部，該導(dǎo)孔設(shè)置于內(nèi)側(cè)蓋部件上，從內(nèi)側(cè)蓋主體的內(nèi)側(cè)中空部貫通在容器主體內(nèi)部，通過氣體的壓力而使化學(xué)品溶液經(jīng)由輸送液管和輸送液用配管，從容器主體內(nèi)部擠壓到外部而供給。在化學(xué)品溶液用容器3上，代替外側(cè)容器蓋10連接有連接插塞31。在該連接插塞31上，氣體導(dǎo)入用配管32與輸送液用配管 33連接。氣體導(dǎo)入用配管與比如氣罐4連接，通過開放閥41而將氣體導(dǎo)入容器主體內(nèi)部， 通過該氣體的壓力擠壓出容器主體內(nèi)的化學(xué)品溶液，經(jīng)過輸送液管8和輸送液用配管33， 供向化學(xué)品溶液容器之外。在這里，連接插塞31的構(gòu)思剖視圖如圖7所示。在連接插塞上設(shè)置輸送液用配管 33和氣體導(dǎo)入用配管32。輸送液用配管33的前端部33a形成能與內(nèi)側(cè)蓋部件的集液器8a 連接的形狀。在這里，如果前端部33a對應(yīng)于集液器8a的形狀呈錐狀，則有利于將薄膜狀封閉部件破壞。另外，氣體導(dǎo)入用配管32也按照如圖7所示，貫穿薄膜狀封閉部件的方式呈尖銳狀。但是，氣體導(dǎo)入用配管32不必一定貫穿到內(nèi)側(cè)蓋主體7的內(nèi)側(cè)，也可在連接插塞31上具有單獨的開口。其原因在于從氣體導(dǎo)入用配管導(dǎo)入的氣體可從輸送液用配管貫通時形成的裂縫流入容器內(nèi)部。另外，在去除薄膜狀封閉部件的場合，在從氣體導(dǎo)入用配管導(dǎo)入氣體時，沒有妨礙。圖8表示連接蓋31與內(nèi)側(cè)蓋部件8連接的狀態(tài)的構(gòu)思剖視圖。輸送液用配管33 的前端部33a與輸送液管8的集液部8a連接，為了在該狀態(tài)進(jìn)行固定，通過連接插塞固定螺紋30組裝于開口部6的外螺紋6a。此時，內(nèi)側(cè)蓋主體7的薄膜狀封閉部件通過輸送液用配管33的貫通而破壞。此時，也可預(yù)先將薄膜狀封閉部件剝離而去除。此外，從氣體導(dǎo)入用配管32導(dǎo)入的氣體經(jīng)由導(dǎo)孔9導(dǎo)入容器主體的內(nèi)部，通過該壓力，化學(xué)品溶液經(jīng)由輸送液管8和輸送液用配管33，從容器主體供給到外部。比如，供給的化學(xué)品溶液暫時貯留于收納容器1中，通過適合的計量機(jī)構(gòu)等計量而進(jìn)行使用。在這里，在氣體導(dǎo)入用配管上一般連接收納非活性氣體的氣體罐。對氣體的種類沒有特別的限定，為了維持容器內(nèi)的化學(xué)品溶液的品質(zhì)，一般非活性氣體采用比如氮等。但是，根據(jù)化學(xué)品溶液的種類，也可采用空氣，在這樣的場合，采用泵等也能將空氣導(dǎo)入容器內(nèi)部。還有，在圖6中，給出將供給的化學(xué)品溶液貯存在收納容器中的例子，但是也可采用其以外的供給方法。比如，還可將輸送液用配管與采用化學(xué)品溶液的裝置直接連接，將化學(xué)品溶液定量地供給到裝置。但是，會發(fā)生下述情況在化學(xué)品溶液用容器是空的時，無法將化學(xué)品溶液供給到裝置；或經(jīng)由氣體施加壓力，由此供給量不穩(wěn)定，故優(yōu)選為設(shè)置收納容
ο另外，在圖6中，將氣體導(dǎo)入容器內(nèi)部，伴隨該壓力將容器內(nèi)的化學(xué)品溶液排出， 但是，也可經(jīng)由輸送液用配管和輸送液管，從容器主體內(nèi)部吸引化學(xué)品溶液，進(jìn)行供給。在此場合，可在輸送液用配管的中途設(shè)置泵，吸引容器內(nèi)的化學(xué)品溶液；或通過密封收納容器和與其連接的輸送液用配管，減小收納容器內(nèi)部的壓力而吸引容器內(nèi)的化學(xué)品溶液，該收納容器收納已排出的化學(xué)品溶液。此時，導(dǎo)孔具有經(jīng)由氣體導(dǎo)入用配管，使外部氣體流入容器內(nèi)部，調(diào)整容器主體內(nèi)部的壓力的功能。實施例1準(zhǔn)備將通過清潔空氣而吹塑成型的高密度聚乙烯作為內(nèi)袋而設(shè)置的內(nèi)容積為20 升的包裝罐(株式會社”^〃 > 一&制)。該包裝罐購買后不進(jìn)行清洗而被使用。將光致抗蝕劑組合物過濾填充于該包裝罐中，設(shè)置具有帶有圖2所示的薄膜狀封閉部件的輸送液管的內(nèi)側(cè)蓋部件和外側(cè)容器蓋，將其密封。在該薄膜狀封閉部件上，如圖 4(a)所示，在薄膜表面上設(shè)置輻射線狀的槽11。準(zhǔn)備10個這樣密封有光致抗蝕劑組合物的容器。在室溫(約25°C )下，將已準(zhǔn)備的10個容器靜置1個小時。然后，在將最初的容器的外側(cè)容器蓋去除之后，通過連接插塞將設(shè)置于輸送液管上的薄膜狀封閉部件破壞，將輸送液用配管安裝于容器上，對容器的內(nèi)部施加壓力，取出光致抗蝕劑組合物。接著，不對輸送液用配管進(jìn)行清洗，連續(xù)使用，從全部的容器依次取出光致抗蝕劑組合物。比較例1與實施例1相同，將光致抗蝕劑組合物過濾而填充于包裝罐中，設(shè)置預(yù)先設(shè)置于上述包裝罐中的內(nèi)塞和外側(cè)容器蓋，將其密封。準(zhǔn)備10個這樣密封有光致抗蝕劑組合物的容器。與實施例1相同，將已準(zhǔn)備的10個容器在室溫(約25°C )下靜置1個小時。然后，在取下最初的容器的外側(cè)容器蓋和內(nèi)塞之后，將帶有輸送液管的連接器安裝于容器上， 對容器的內(nèi)部施加壓力，取出光致抗蝕劑組合物。接著，不對帶有相同的輸送液管的連接器進(jìn)行清洗，繼續(xù)使用，從全部的容器，依次取出光致抗蝕劑組合物。Mn采用微粒計數(shù)器測定在實施例1和比較例1中取出的光致抗蝕劑組合物中的微粒數(shù)量。針對相應(yīng)的組合物，測定到超過0. 23 μ m的微粒數(shù)量，超過0. 3 μ m的平均微粒數(shù)量。 已獲得的結(jié)果如圖1和圖9所示。另外，與表中的“容器號碼0”相對應(yīng)的平均微粒數(shù)量是指針對在容器填充之后封閉之前的光致抗蝕劑組合物而測定的平均微粒數(shù)量。根據(jù)已獲得的結(jié)果可知在比較例中，通過連續(xù)地采用相同的帶有該輸送液管的連接器，光致抗蝕劑組合物中的微粒數(shù)量增加，相對該情況，在本申請發(fā)明中，即使在連續(xù)地采用相同的該輸送液用配管的情況下，微粒數(shù)量也不增加。如上述可知，通過采用本發(fā)明的化學(xué)品溶液供給系統(tǒng)，能穩(wěn)定地供給化學(xué)品溶液。表 權(quán)利要求
1.一種化學(xué)品溶液供給系統(tǒng)，其用于從填充有化學(xué)品溶液的化學(xué)品溶液用容器供給上述化學(xué)品溶液，其特征在于，上述化學(xué)品溶液用容器包括具有開口部的容器主體；內(nèi)側(cè)蓋部件，其包括嵌合于上述開口部的內(nèi)側(cè)的中空圓筒狀的內(nèi)側(cè)蓋主體；輸送液管，其具有從上述內(nèi)側(cè)蓋主體的內(nèi)側(cè)中空部延伸到上述容器主體的內(nèi)側(cè)底部附近的液體通路；封閉部件，其將上述內(nèi)側(cè)蓋主體的外側(cè)開口端封閉，能通過將其破壞或去除，以不可逆的方式將上述外側(cè)開口端開口，具有輸送液用配管和氣體導(dǎo)入用配管而構(gòu)成的連接插塞與上述內(nèi)側(cè)蓋部件連接，此時，在位于上述內(nèi)側(cè)蓋主體的內(nèi)側(cè)中空部且設(shè)置于上述輸送液管的末端的集液部上，連接有將上述封閉部件破壞或去除而插入的上述輸送液用配管的前端部，(a)將氣體從上述氣體導(dǎo)入用配管，通過導(dǎo)孔導(dǎo)入上述容器主體內(nèi)部，該導(dǎo)孔設(shè)置于上述內(nèi)側(cè)蓋部件上，從上述內(nèi)側(cè)蓋主體內(nèi)側(cè)中空部向容器主體內(nèi)部貫穿，通過上述氣體的壓力，上述化學(xué)品溶液經(jīng)由上述輸送液管和上述輸送液用配管，從上述容器主體內(nèi)部引出而供給到外部，或者(b)經(jīng)由上述輸送液用配管和上述輸送液管，從上述容器主體內(nèi)部吸引上述化學(xué)品溶液，進(jìn)行供給。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)品溶液供給系統(tǒng)，其特征在于，上述氣體為非活性氣體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的化學(xué)品溶液供給系統(tǒng)，其特征在于，從上述容器主體內(nèi)部引出到外部的化學(xué)品溶液暫時地貯存于收納容器中。
4.一種化學(xué)品溶液用容器，其包括具有開口部的容器主體；內(nèi)側(cè)蓋部件，其包括嵌合于上述開口部的內(nèi)側(cè)的中空圓筒狀的內(nèi)側(cè)蓋主體；輸送液管，其具有從上述內(nèi)側(cè)蓋主體的內(nèi)側(cè)中空部延伸到上述容器主體的內(nèi)側(cè)底部附近的液體通路；封閉部件，其將上述內(nèi)側(cè)蓋主體的外側(cè)開口端封閉，能通過將其破壞或去除，以不可逆的方式將上述外側(cè)開口端開口，其特征在于，為了將填充于上述容器主體中的化學(xué)品溶液排出，在將具有輸送液用配管和氣體導(dǎo)入用配管的插塞與上述內(nèi)側(cè)蓋部件連接時，在位于上述內(nèi)側(cè)蓋主體的內(nèi)側(cè)中空部的上述輸送液管的末端上，設(shè)置可與上述輸送液用配管的前端部連接的集液部，上述輸送液用配管將上述封閉部件破壞或去除而插入，并且上述內(nèi)側(cè)蓋部件具有導(dǎo)孔，該導(dǎo)孔將從上述氣體導(dǎo)入用配管而導(dǎo)入的氣體通到上述容器的內(nèi)部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學(xué)品溶液用容器，其中，上述封閉部件為能破壞或去除加工的薄膜狀封閉部件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的化學(xué)品溶液用容器，其中，還包括外側(cè)容器蓋，其嵌合于上述開口部的外周，保護(hù)上述薄膜狀封閉部件。
7.根據(jù)權(quán)利要求4 6中的任何一項所述的化學(xué)品溶液用容器，其中，上述薄膜狀封閉部件由聚乙烯或聚丙烯構(gòu)成。
全文摘要
本發(fā)明的課題在于提供混入雜質(zhì)少的化學(xué)品溶液供給系統(tǒng)和其所采用的化學(xué)品溶液用容器。該化學(xué)品溶液供給系統(tǒng)采用了在容器的開口部嵌合有內(nèi)側(cè)蓋部件的化學(xué)品溶液用容器，該內(nèi)側(cè)蓋部件通過封閉部件封閉。在使用時，以將上述封閉部件破壞等方法使開口部開口，插入輸送液用配管，將其與設(shè)置于內(nèi)側(cè)蓋部件的內(nèi)側(cè)中空部的輸送液管的集液部連接。另外，從并設(shè)于輸送液用配管中的氣體導(dǎo)入用配管導(dǎo)入氣體，使容器內(nèi)部的壓力上升，將容器內(nèi)的化學(xué)品溶液供給到容器之外。
文檔編號B65D83/00GK102448851SQ20108002296
公開日2012年5月9日 申請日期2010年4月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月29日
發(fā)明者田仲宏和 申請人:Az電子材料(日本)株式會社