專利名稱：基板用盒的載放臺的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種在移載裝置或裝卸口等使用的基板用盒的載放臺。
背景技術：
液晶顯示器基板、等離子面板顯示器基板、太陽能電池基板等基板用的盒，為具備多個梁的骨架狀的結構，在內部收容多個基板。這種盒用于搬運以及保管大型的基板。 由于收容了基板的盒為重物，所以當載放到載放臺上時，載放臺變形并產生振動。該振動對基板產生不良影響。對此，在專利文獻1CJP2008-24461A)中，公開了實施傾斜控制以抑制載放臺的振動的內容。因此，需要使載放臺傾斜的傾斜機構和正確的控制。對此，本發(fā)明人對更加簡便地降低盒的振動的情況進行了研究，并得到本發(fā)明。另外，專利文獻 2(JP2008-298065A)公開了在無人搬送車的關節(jié)式臂(SCARAarm)上設置防震凝膠的內容。 但是，專利文獻2未研究通過載放臺支持基板用盒的內容。專利文獻1 JP2008-24461A專利文獻2 JP2008-298065A

發(fā)明內容
本發(fā)明的基本課題為，在通過載放臺支持基板用的大型盒時，簡單地降低振動。本發(fā)明的為一種載放臺，用于載放基板用盒，在底面具備多個梁，其特征在于，在載放臺主體上安裝有多個具備粘彈性體的、梁的支承臺，通過支承臺支持上述盒的底面。粘彈性體例如是建筑物等構造物的防振用的粘彈性體。當將盒載放到載放臺上時，由于盒的重量而載放臺變形，此時，由于超過來自盒的重力與載放臺的彈力相平衡的位置地變形，因此開始振動。在本發(fā)明中，由于通過具備粘彈性體的支承臺來支持盒，因此載放臺與盒的振動能量通過粘彈性體轉換為熱量，減小盒和載放臺的振動。如此，能夠通過較小的粘彈性體來降低較大的盒的振動。優(yōu)選為，從上下雙方由至少一對金屬板夾入粘彈性體，下方的金屬板固定在載放臺主體上，在上方的金屬板的上面?zhèn)劝惭b有對梁的底面進行支持的導電性樹脂的襯墊，并且設置有將襯墊與載放臺主體接地的地線。通過將粘彈性體從上下雙方由金屬板夾入，能夠將其簡單地安裝到載放臺主體上。一般來說，粘彈性體為絕緣體，但當在上方的金屬板的上面?zhèn)仍O置導電性樹脂的襯墊并進行接地時，能夠將盒可靠地接地，能夠防止靜電導致的顆粒向基板的附著以及基板的損傷。并且，在將盒載放到載放臺上時，導電性樹脂的襯墊支持梁的底面，因此能夠低沖擊地將盒載放到載放臺上。并且優(yōu)選為，上方的金屬板以及襯墊的寬度比梁的寬度大，在上述襯墊上，在梁的左右兩個外側的位置上，左右一對安裝板被按壓在襯墊的上面上，且左右一對安裝板緊固在上方的金屬板上。在本說明書中，梁的左右是指在水平面內與梁的長度方向成直角的方向上的左右。襯墊由于從梁的底面施加的力而磨耗，但當拆下安裝板時，能夠簡單地僅更換襯墊。并且，安裝板處于梁的左右兩個外側，與梁不接觸。
優(yōu)選為，在上述載放臺主體上設置有由一對導向部件構成的導向部，該導向部從兩側對梁進行引導。如此，梁由導向部引導而被載放到具備粘彈性體的支承臺上，來自盒的負荷以規(guī)定的模式施加到粘彈性體上。


圖1是實施例的基板用盒的載放臺的俯視圖。圖2是表示載放臺上的支承臺的主要部分放大俯視圖。圖3是表示載放臺上的支承臺的主要部分放大側面圖。圖4是表示載放臺上的導向部件的主要部分放大側面圖。附號的說明2載放臺；4框架；5、6梁；8雙臂的關節(jié)式臂；10臂；12軸；14安裝部；16液晶盒；18、19欞條；20、21支承臺；22導向部23安裝板；24、25金屬板J6粘彈性體；觀樹脂襯墊；30蓋；33安裝板；32地線；34 36小螺釘。
具體實施例方式下面，說明用于實施本發(fā)明的最佳實施例?；趯＠埱蠓秶挠涊d，參照說明書的記載和本領域的公知技術，根據(jù)本領域技術人員的理解，應該能夠確定本發(fā)明的范圍，在不脫離發(fā)明精神的范圍內能夠進行各種變更。特別是，本說明書中記載的多個實施方式和變形例能夠根據(jù)需要任意組合。圖1 圖4表示實施例的載放臺2。載放臺2用于載放液晶盒16等，用作為關節(jié)式臂、滑叉等移載裝置的一部分，但也可以用作為自動倉庫中的液晶盒16等的架。此外，也可以代替液晶盒16，而是等離子面板顯示器等的基板的盒。并且，在基于具備粘彈性體的支承臺20的減振中，還可以并用專利文獻1所記載的載放臺2的傾斜控制。在各圖中，載放臺2例如具備一對金屬制框架4、4，框架4、4之間通過梁5、6連接。 8是雙臂的關節(jié)式臂，載放臺2是關節(jié)式臂8前端的手，但也可以將載放臺2安裝于單臂的關節(jié)式臂或者滑叉等上。10、10是單個的臂，12是軸，14是載放臺2的安裝部，關節(jié)式臂8 例如安裝于堆裝起重機的升降臺、無人搬送車或裝卸口等。液晶盒16 (以下簡稱為盒16)為將多個柱(未圖示)和欞條18、19等結合了的長方體狀的形狀，欞條18、19以及未圖示的柱等部分以外開放，成為骨架狀的形狀。載放臺2 通過多個支承臺20、21來支持盒16的欞條18或19，通過導向部22對欞條18、19進行導向，將欞條18相對于支承臺20、21的左右方向進行定位。圖2、圖3表示支承臺20的結構，支承臺21也是同樣的。沈是板狀或層狀的粘彈性體，例如是丙烯樹脂等構造物防振用的粘彈性體。粘彈性體26的上下兩面粘接在金屬板 24,25上而被夾入，下方的金屬板M通過小螺釘34或螺栓等緊固在框架4上。導電性的樹脂襯墊觀例如通過金屬安裝板33、小螺釘35、螺栓、螺釘?shù)染o固件，緊固在上方的金屬板 25上。樹脂襯墊觀由聚氨基甲酸乙酯、聚乙烯等彈性材料構成，混合有碳等導電性材料而進行導電化。地線32例如通過小螺釘36等安裝在金屬板25上，并經(jīng)由設置在保護用的蓋 30上的小孔安裝到金屬制的框架4上而進行接地。另外，也可以不設置蓋30。地線32也可以通過導電性粘接劑等粘接在導電性樹脂襯墊觀上。粘彈性體沈的左右寬度為欞條18的左右寬度以上，例如比欞條18的寬度稍大。 金屬板25和樹脂襯墊28的左右寬度比欞條18的左右寬度大，在從欞條18向左右兩個外側離開的位置上配置安裝板33、33，通過小螺釘35等的緊固件，將夾入了樹脂襯墊觀的安裝板33緊固到金屬板25上。金屬板M、25需要剛性，所以使其為金屬，但安裝板33不需要較高的剛性，也可以是塑料板等，此外用于將地線32與框架4連接的結構是任意的。支承臺21的結構與支承臺20相同，但例如在不設置地線32這一點上不同。不需要在全部這些支承臺20、21上設置粘彈性體沈，在一部分支承臺20、21中，也可以代替粘彈性體20、21，而設置聚氨基甲酸乙酯橡膠、乙烯丙烯橡膠等彈性體，優(yōu)選設置通過導電性材料進行了導電化的彈性體。但是，粘彈性體26設置在多個支承臺20、21上，在多處吸收振動能量。此外，地線32不需要設在全部支承臺20、21上，但設置在多個支承臺20、21上。圖4表示導向部22的安裝。在導向部22中，隔開比欞條18、19稍大的間隔、以對欞條18等進行引導的方式，設置有一對金屬導向部件。在導向部件的上面設置有斜面40， 對欞條18等進行引導。23是將導向部22安裝到框架4、梁5、6等上的安裝板。說明實施例的作用效果。在將盒16載放到載放臺2上時，導向部22對欞條18、 19等進行引導，并以相對于支承臺20、21載放到規(guī)定位置的方式進行引導。支承臺20、21 的上面由導電性的樹脂襯墊觀等構成，所以盒16接觸載放臺2時的沖擊變小。此外，由于來自盒16的負荷，載放臺2變形且盒16和載放臺2振動，但該振動能量被粘彈性體沈吸收，減少振動。因此，例如不需要減振用的傾斜機構和傾斜控制。樹脂襯墊觀由于接觸欞條18、19等而損耗，但當拆下小螺釘35和安裝板33時，能夠容易地進行交換。此外，通過地線32能夠使盒16可靠地接地。
權利要求
1.一種基板用盒的載放臺，用于載放基板用盒，在底面具備多個梁，其特征在于，在載放臺主體上安裝有多個具備粘彈性體的、上述梁的支承臺，通過上述支承臺支持上述盒的底面。
2.根據(jù)權利要求1所述的基板用盒的載放臺，其特征在于，從上下雙方由至少一對金屬板夾入上述粘彈性體，下方的金屬板固定在上述載放臺主體上，在上方的金屬板的上面?zhèn)劝惭b有對上述梁的底面進行支持的導電性樹脂的襯墊， 并且設置有將上述襯墊與上述載放臺主體接地的地線。
3.根據(jù)權利要求2所述的基板用盒的載放臺，其特征在于， 上述上方的金屬板以及上述襯墊的寬度比上述梁的寬度大，在上述襯墊上，在上述梁的左右兩個外側的位置上，左右一對安裝板被按壓在上述襯墊的上面上，且上述左右一對安裝板緊固在上述上方的金屬板上。
4.根據(jù)權利要求1所述的基板用盒的載放臺，其特征在于，在上述載放臺主體上設置有由一對導向部件構成的導向部，該導向部從兩側對上述梁進行引導。
全文摘要
一種基板用盒的載放臺，用于降低基板用盒的振動。在底面具備多個梁、載放基板用盒的載放臺主體上，安裝多個具備粘彈性體的梁的支承臺，通過支承臺支持盒的底面。
文檔編號B65G1/04GK102372144SQ20111016550
公開日2012年3月14日 申請日期2011年6月20日 優(yōu)先權日2010年7月1日
發(fā)明者寺谷茂 申請人:村田自動化機械有限公司