搬運機器人和包括搬運機器人的設(shè)備前端模塊的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及搬運機器人和包括搬運機器人的設(shè)備前端模塊。根據(jù)實施方式的搬運機器人包括：臂單元、基部單元、引導(dǎo)單元、升降單元和通風(fēng)部。所述臂單元包括機器人手，所述機器人手能夠保持待被搬運的物體。所述基部單元形成為大體盒形形狀。所述引導(dǎo)單元包括豎直地設(shè)置在所述基部單元中的豎直軸。所述升降單元設(shè)置成能夠沿著所述豎直軸升降并且在上端部處支承所述臂單元。所述通風(fēng)部在所述基部單元的上表面中開口，并且將向下流從所述基部單元的外部引至其內(nèi)部。
【專利說明】搬運機器人和包括搬運機器人的設(shè)備前端模塊
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本文所公開的實施方式涉及搬運機器人和包括搬運機器人的設(shè)備前端模塊。
【背景技術(shù)】
[0002]常規(guī)上，已知有一種搬運機器人，該搬運機器人設(shè)置在形成于設(shè)備前端模塊(EFEM)中的空間內(nèi)并且搬運諸如半導(dǎo)體晶片的基板。
[0003]搬運機器人通常包括臂主體，并且例如通過在由臂主體保持基板的情況下沿水平方向移動臂主體以及移動設(shè)置在臂主體的末端部處的末端執(zhí)行器來搬運基板。臂主體自身通常由能夠執(zhí)行升降操作的升降單元來支承。
[0004]因為諸如半導(dǎo)體晶片的產(chǎn)品在EFEM中被操縱，因此特別需要保持EFEM內(nèi)的空氣極其清潔。因此，通常從EFEM的上部產(chǎn)生清潔空氣的向下流，然而，還是提出通過利用附加方法來防止被顆粒物污染的各種搬運機器人。
[0005]例如，提出一種這樣的搬運機器人，該搬運機器人通過利用罩構(gòu)件覆蓋包括上述的臂主體和升降單元的搬運單元來防止由向下流的擾動而分散的顆粒物的附著(例如，參見日本專利特開公報H10-261690)。
[0006]然而，常規(guī)的搬運機器人在抑制由升降操作產(chǎn)生的顆粒物方面具有進一步改進的余地。具體地，當搬運機器人具有其中上述升降單元借助從搬運機器人的主體單元(以下文中，描述為“基部單元”)突出而升降的結(jié)構(gòu)時，基板可能被因升降操作從基部單元的內(nèi)部分散的顆粒物污染。
[0007]考慮到以上內(nèi)容獲得實施方式的一方面，并且實施方式的一方面的目的在于提供一種搬運機器人和包括該搬運機器人的設(shè)備前端模塊，所述搬運機器人能夠抑制因升降操作而產(chǎn)生顆粒物。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]根據(jù)實施方式的一方面的搬運機器人包括:臂單元、基部單元、引導(dǎo)單元、升降單元以及通風(fēng)部。所述臂單元包括機器人手，所述機器人手能夠保持待被搬運的物體。所述基部單元形成為大體盒形形狀。所述引導(dǎo)單元包括豎直地設(shè)置在所述基部單元中的豎直軸。所述升降單元設(shè)置成能夠沿著所述豎直軸升降并且在上端部處支承所述臂單元。所述通風(fēng)部在所述基部單元的上表面中開口，并且將向下流從所述基部單元的外部引至其內(nèi)部。
[0009]根據(jù)實施方式的一方面，能夠抑制因升降操作而產(chǎn)生顆粒物。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]由于通過結(jié)合附圖參照下列詳細說明更好地理解對本發(fā)明的更全面的認識以及本發(fā)明的許多附帶優(yōu)點，因此能夠容易地獲得對本發(fā)明的更全面的認識以及本發(fā)明的許多附帶優(yōu)點，在附圖中:
[0011]圖1是示出根據(jù)一實施方式的搬運機器人的整體構(gòu)造的示意性立體圖；[0012]圖2A是從上方所看的基部單元的第一示意圖；
[0013]圖2B是示出從側(cè)表面所看的常規(guī)技術(shù)和當前實施方式之間的對比的示意圖；
[0014]圖2C是從上方所看的基部單元的第二示意圖；
[0015]圖3A是從Y軸的正向所看的基部單元的內(nèi)部示意圖；
[0016]圖3B是從Y軸的負向所看的基部單元的示意圖；
[0017]圖4A是從X軸的正向所看的基部單元的內(nèi)部示意圖；
[0018]圖4B是從上方所看的基部單元的示意圖，用于說明在表面A側(cè)的通風(fēng)部的寬度；以及
[0019]圖5是從X軸的正向所看的基部單元的內(nèi)部示意圖，示出了所引入的向下流的流路。
【具體實施方式】
[0020]在下文中，將參照附圖詳細地說明在本申請中公開的搬運機器人和包括搬運機器人的設(shè)備前端模塊的實施方式。本發(fā)明不局限于下列實施方式。
[0021]在下文中，以設(shè)置在EFEM中并且搬運作為待搬運物體的半導(dǎo)體晶片的搬運機器人為例進行說明。此外，“半導(dǎo)體晶片”被描述為“晶片”。而且，作為末端執(zhí)行器的“機器人手”被描述為“手”。
[0022]首先，將參照圖1說明根據(jù)一實施方式的搬運機器人的構(gòu)造。圖1是示出根據(jù)該實施方式的搬運機器人10的構(gòu)造的示意性立體圖。
[0023]為了便于理解說明，在圖1中，示出了包括Z軸的三維卡笛爾坐標系，在該Z軸中，正向為豎直向上方向，負向為豎直向下方向。因此，沿著XY平面的方向表示“水平方向”。在一些情況下，在用于下文說明的其它圖中也示出該卡笛爾坐標系。
[0024]而且，在下文中，對于由多個元件組成的部件，這些元件中的僅一個元件被標以附圖標記，并且在一些情況下省略其它元件的附圖標記。在該情況下，標記有附圖標記的那個元件以及其它元件具有相同的構(gòu)造。
[0025]如圖1所示，搬運機器人10包括手11、升降單元12、第一臂13、第二臂14和基部單元15。基部單元15包括通風(fēng)部15a和排風(fēng)部15b。
[0026]第一臂13和第二臂14構(gòu)成作為搬運機器人10的臂的臂單元。
[0027]基部單元15形成為大體盒形，并且是搬運機器人10的固定到EFEM的底壁部(未示出)的主體?；繂卧?5不必固定到EFEM的底壁部，并且例如可以固定到側(cè)壁部。而且，基部單元15可以形成為能夠沿著設(shè)置在EFEM中的行進機構(gòu)等移動而不固定。
[0028]通風(fēng)部15a是開通在基部單元15的上表面中的開口。通風(fēng)部15a將經(jīng)由設(shè)置在EFEM的上部中的過濾器單元(未示出)形成的清潔空氣的向下流引入基部單元15中，以進行通風(fēng)。
[0029]此外，排風(fēng)部15b豎直向下排出從外部通到基部單元15的內(nèi)部的向下流的排氣流。稍后將參照圖2A和隨后的附圖描述通風(fēng)部15a和排風(fēng)部15b的詳細構(gòu)造。
[0030]升降單元12設(shè)置成能夠沿著豎直地布置在基部單元15中的豎直軸升降(參見圖1中的雙頭箭頭al)，并且沿著豎直方向(Z軸方向)升降支承在上端部處的整個臂單元。
[0031]第一臂13經(jīng)由繞軸線a2的旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)(未示出)連接到升降單元12，以能夠相對于升降單元12樞轉(zhuǎn)(參見圖1中的繞軸線a2的雙頭箭頭)。
[0032]第二臂14經(jīng)由繞軸線a3的旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)(未示出)連接到第一臂13，以能夠相對于第一臂13樞轉(zhuǎn)(參見圖1中的繞軸線a3的雙頭箭頭)。
[0033]作為保持晶片的末端執(zhí)行器的手11經(jīng)由繞軸線a4的旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)(未示出)連接到第二臂14，以能夠相對于第二臂14樞轉(zhuǎn)(參見圖1中的繞軸線a4的雙頭箭頭)。因此，包括手11的整個臂單元沿水平方向移動。
[0034]上述各旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)均根據(jù)諸如馬達的驅(qū)動源的驅(qū)動而旋轉(zhuǎn)。例如，使旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)繞軸線a2旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動源設(shè)置在形成為包括開通在升降單元12的上表面中的開口 12a的空間中。
[0035]接下來，將參照圖2A和圖2C說明基部單元15的詳細構(gòu)造。圖2A和圖2C是從上方所看的基部單元15的示意圖。
[0036]如參照圖1已經(jīng)說明的,如圖2A所示,基部單元15在其上表面中包括通風(fēng)部15a。通風(fēng)部15a沿著升降單元12的外周形成。
[0037]如圖2A所示，開口 12a在升降單元12的上表面中設(shè)置在X軸的負向側(cè)的部分中。與開口 12a—起，升降單元12自身也設(shè)置在X軸的負向側(cè)。
[0038]這樣，開口 12a和升降單元12設(shè)置成沿預(yù)定方向偏移，因此，臂單元的樞轉(zhuǎn)區(qū)域在預(yù)定方向側(cè)能夠增大。
[0039]然后，在該情況下，如圖2A所示，通風(fēng)部15a沿著升降單元12的外周的一部分(即，沿著基部單元15的不包括沿上述預(yù)定方向的側(cè)壁的其他側(cè)壁)形成為由區(qū)域A、區(qū)域B和區(qū)域C構(gòu)成的大體U形。此時，通風(fēng)部15a形成為使得區(qū)域A、區(qū)域B和區(qū)域C均具有足夠的寬度。
[0040]將參照圖2B說明上述足夠的寬度。圖2B是示出從側(cè)表面所看的常規(guī)技術(shù)和本實施方式之間的對比的示意圖。圖2B示意性地示出位于紙面的左側(cè)的常規(guī)技術(shù)中的升降單元12和基部單元15’，并示出位于紙面的右側(cè)的本實施方式中的升降單元12和基部單元15。
[0041]如圖2B中的左側(cè)所示，在常規(guī)技術(shù)中，在升降單元12和基部單元15’之間設(shè)置有空間15a’，以能夠進行升降操作。然而，例如，當升降單元升起(參見圖2B中的箭頭201)時，容易產(chǎn)生通過空間15a’的紊流(參見圖2B中的彎曲箭頭)。
[0042]于是，在常規(guī)技術(shù)中，顆粒物P能借助紊流而分散并且擴散到EFEM中，并且會污染
曰
曰曰/T ο
[0043]因此，如圖2B中的右側(cè)所示，在本實施方式中，在升降單元12和基部單元15之間設(shè)置具有足夠?qū)挾鹊耐L(fēng)部15a。本實施方式中的足夠?qū)挾仁侵高@樣的寬度，該寬度足以使得難以造成紊流并且即使升降單元12例如升起(參見圖2B中的箭頭)也平滑地引導(dǎo)由箭頭202所示的向下流。
[0044]因而，因為可以使得顆粒物P難以因紊流而分散并且借助向下流容易將顆粒物P限制在基部單元15中，因此能夠抑制因升降操作而產(chǎn)生顆粒物P。
[0045]稍后將參照圖4B詳細地描述圖2A中所示的區(qū)域A的寬度WA被設(shè)定得大于通風(fēng)部15a中的區(qū)域B的寬度WB的方面的內(nèi)容。而且，在下文中，如圖2A所示，在一些情況下，區(qū)域A的形成基座單元15的一側(cè)的側(cè)壁被描述為“表面A”，并且區(qū)域B的形成基座單元15的一側(cè)的側(cè)壁被描述為“表面B”。
[0046]如圖2C所示，可以設(shè)置罩構(gòu)件15c來覆蓋通風(fēng)部15a，在該罩構(gòu)件的表面中形成有多個孔并且該罩構(gòu)件例如由被稱為網(wǎng)構(gòu)件或穿孔金屬的材料制成。這些孔的形狀、布置等不被具體限制，并且可以采用任何形狀和布置，只要其可以引導(dǎo)向下流而不在基座單元15中產(chǎn)生紊流即可。
[0047]圖2C通過畫陰影而示出其中在罩構(gòu)件15c的表面中大致均勻地形成多個孔的情況。這樣，因為能夠獲得整流作用并且使得在基部單元15中難以出現(xiàn)紊流，因此大致均勻地形成多個孔是更優(yōu)選的。
[0048]因而，向下流能夠被整流并且通過這些孔被平滑地排出到基部單元15中。在本實施方式中，罩構(gòu)件15c設(shè)置成覆蓋通風(fēng)部15a，然而，為了便于理解說明，在一些情況下在圖中省略了該罩構(gòu)件15c。
[0049]接下來，將參照圖3A和圖3B說明從側(cè)表面所看的基部單元15的詳細構(gòu)造。圖3A是從Y軸的正向所看的(即，從“表面A”側(cè)所看的)基部單元15的內(nèi)部示意圖。圖3B是從Y軸的負向所看的(即，從“表面B”側(cè)所看的)基部單元15的示意圖。
[0050]如圖3A所示，基部單元15中包括:滾珠絲杠15SS，該滾珠絲杠為豎直布置的豎直軸；以及一對導(dǎo)軌15SR。滾珠絲杠15SS和一對導(dǎo)軌15SR構(gòu)成引導(dǎo)單元15S。
[0051]此外，基部單元15包括馬達M。馬達M的輸出軸經(jīng)由正時帶TB連接到滾珠絲杠15SS的下端部，并且使?jié)L珠絲杠15SS繞軸心旋轉(zhuǎn)(參見圖3A中的雙頭箭頭301)。
[0052]如圖3A所示，在升降單元12的下端部處設(shè)置有升降基座12B。升降基座12B包括滾珠螺母13Ba和升降體12Bb。
[0053]滾珠螺母13Ba是這樣的構(gòu)件，其通過與滾珠絲杠15SS接合并且將滾珠絲杠15SS的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為直線運動而能夠沿著滾珠絲杠15SS移動。此外，升降體12Bb是以可滑動的方式與導(dǎo)軌15SR接合的構(gòu)件。
[0054]因而，升降基座12B能夠隨著滾珠絲杠15SS的旋轉(zhuǎn)而沿著引導(dǎo)單元15S移動(參見圖3A中的雙頭箭頭302)，并且升降所述升降單元12。
[0055]此外，如圖3B所示，基部單元15包括位于“表面B”中的排風(fēng)部15b。排風(fēng)部15b包括風(fēng)扇15ba和設(shè)置成覆蓋該風(fēng)扇15ba的排風(fēng)罩15bb。
[0056]風(fēng)扇15ba排出通入基部單元15中的向下流。排風(fēng)罩15bb是成形為豎直向下地排出來自風(fēng)扇15ba的排出流的罩構(gòu)件。
[0057]在圖3B中，以實線表示設(shè)置一個排風(fēng)部15b的情況，然而，排風(fēng)部15b的數(shù)量和排風(fēng)部15b的布置位置不受限制，例如，可以在與排風(fēng)部15b對稱的位置處設(shè)置另一排風(fēng)部15b,如由雙點劃線所表示的。
[0058]此外，如由圖3B中的雙點劃線所表示的，例如可以在排風(fēng)部15b的上方等設(shè)置空氣入口 15d。在設(shè)置有空氣入口 15d的情況下，當待被引導(dǎo)通過通風(fēng)部15a的向下流變得不足時，向下流例如能夠從側(cè)壁側(cè)能夠得以補償并且被引入其中大氣壓力降低的基部單元15中，并且能夠整流基部單元15中的向下流的排出流的由升降單元12的不規(guī)則性引起的擾動。
[0059]因此，能夠?qū)⑾蛳铝鞒浞值匾牖繂卧?5中并且能夠整流基部單元15中的向下流的排出流的擾動，因此能夠防止顆粒物分散。如圖3B所示，更優(yōu)選的是，以與通風(fēng)部15a的情況類似的方式提供罩構(gòu)件15c來覆蓋空氣入口 15d，以用于獲得整流向下流的整流作用。
[0060]此外，圖3B示出了其中空氣入口 15d設(shè)置在還設(shè)置有排風(fēng)部15b的“表面B”中的示例，然而，供設(shè)置空氣入口 15d的表面不被具體限制，并且該空氣入口 15d可以設(shè)置在形成基部單元15的任何側(cè)壁中。此外，圖3B的例示不限制空氣入口 15d的形狀和空氣入口15d的數(shù)量。
[0061]將參照圖4A闡述參照圖3A和圖3B說明的引導(dǎo)單元15S和排風(fēng)部15b之間的布置關(guān)系。圖4A是從X軸的正向所看的基部單元15的內(nèi)部示意圖。
[0062]如圖4A所示，包括滾珠絲杠15SS和導(dǎo)軌15SR的引導(dǎo)單元15S設(shè)置成鄰近于基部單元15的“表面A”。此外，如上所述，排風(fēng)部15b設(shè)置在基部單元15的“表面B”中。
[0063]因此，引導(dǎo)單元15S和排風(fēng)部15b設(shè)置在基部單元的兩個相對側(cè)壁上。馬達M設(shè)置在這兩個相對側(cè)壁之間。
[0064]基于以上方面的內(nèi)容，接下來，將說明通過風(fēng)部15a在表面A側(cè)的寬度(B卩，圖2A中所示的區(qū)域A的寬度WA)。圖4B是從上方所看的基部單元15的示意圖，用于說明通風(fēng)部15a在表面A側(cè)的寬度。
[0065]如圖4B所示并且以上的說明，構(gòu)成引導(dǎo)單元15S的滾珠絲杠15SS和導(dǎo)軌15SR設(shè)置成鄰近于基部單元15的“表面A”。
[0066]因此，升降基座12B的設(shè)置成能夠相對于引導(dǎo)單元15S滑動的升降體12Bb等也設(shè)置在基部單元15的“表面A”附近。
[0067]換言之，在本實施方式中，容易因升降單元12的升降操作而使顆粒物P分散的可動單元集中在基部單元15的“表面A”附近。基于此，通風(fēng)部15a的區(qū)域A的寬度WA設(shè)置得比其它寬度(例如區(qū)域B的寬度WB)大，由此將向下流積極地引入集中有可動單元的“表面A”中。
[0068]具體地，如圖4B所示，當從上方觀看時，通風(fēng)部15a形成為保持區(qū)域A的寬度WA，使得構(gòu)成引導(dǎo)單元15S的各構(gòu)件(諸如滾珠絲杠15SS和導(dǎo)軌15SR)的至少一部分與通風(fēng)部15a重疊。
[0069]因而，可以有效地抑制位于容易產(chǎn)生顆粒物P的可動部處的顆粒物P。
[0070]接下來，將參照圖5說明引入基部單元15中的向下流的流路。圖5是從X軸的正向所看的基部單元15的內(nèi)部示意圖，示出了所引入的向下流的流路。圖5僅以簡單的方式示出了為了說明所必需的構(gòu)件。
[0071]如圖5所示，通過移動升降基座12B而使得升降單元12升起(參見圖5中的箭頭501)。在該情況下，從位于“表面A”側(cè)的區(qū)域A引入的向下流(參見圖5中的箭頭502)在通過升降單元12的升起而形成的空間D中沿著基部單元15的內(nèi)壁繞流，并且遵循到達排風(fēng)部15b的流路(參見圖5中的箭頭504)。
[0072]以此方式形成的向下流的流路能夠冷卻馬達M，同時有效地抑制在可動單元處產(chǎn)生的顆粒物P。
[0073]此外，如圖5所示，從區(qū)域A以外的區(qū)域(例如，“表面B”側(cè)的區(qū)域B)引入的向下流(參見圖5中的箭頭503)沿著升降單元12的外周以豎直方向向下流動，并且遵循到達排風(fēng)部15b的流路(參見圖5中的箭頭505)。[0074]于是，該向下流與從區(qū)域A引入的向下流一起從排風(fēng)部15b豎直向下地排出(參見圖5中的箭頭506)。
[0075]換言之，引入到基部單元15中的向下流被排出，使得該向下流不干擾位于基部單元15外的整個EFEM中的向下流，同時在基部單元15中整流并抑制顆粒物P。
[0076]因此，能夠?qū)⒐┎贾冒徇\機器10的整個EFEM中的向下流環(huán)境保持在適當狀態(tài)，同時抑制因搬運機器人10的升降操作而產(chǎn)生顆粒物P。
[0077]如上所述，根據(jù)本實施方式的搬運機器人包括臂單元、基部單元、引導(dǎo)單元、升降單元以及通風(fēng)部。所述臂單元包括機器人手，該機器人手能夠保持待被搬運的物體。所述基部單元形成為大體盒形形狀。所述引導(dǎo)單元包括豎直地布置在基部單元中的豎直軸。所述升降單元設(shè)置成能夠沿著豎直軸升降并且在上端部處支承臂單元。所述通風(fēng)部在基部單元的上表面中開口并且將向下流從基部單元的外部引至其內(nèi)部。
[0078]因此，根據(jù)本實施方式中的搬運機器人，能夠抑制因升降操作而產(chǎn)生顆粒物。
[0079]上述實施方式示出了其中升降單元相對于基部單元設(shè)置在預(yù)定方向側(cè)的情況，然而，升降單元相對于基部單元的布置位置不受限制。因此，例如，升降單元可以設(shè)置在基部單元的中央。
[0080]此外，上述實施方式示出了其中將升降所述升降單元的機構(gòu)(在下文中，被描述為“升降機構(gòu)”)構(gòu)造成包括滾珠絲杠和滾珠螺母的情況，然而，升降機構(gòu)的部件不局限于此。例如，升降機構(gòu)可以構(gòu)造成通過驅(qū)動一帶或驅(qū)動一線性馬達來升降所述升降單元。
[0081]此外，上述實施方式例示了其中通風(fēng)部沿著升降單元的外周的一部分形成的情況，然而，通風(fēng)部可以形成為圍繞升降單元的整個外周。
[0082]此外，上述實施方式例示了其中升降單元支承沿水平方向移動的臂單元的情況，然而，臂單元的移動方向不受限制。
[0083]此外，上述實施方式通過例示出單臂機器人來進行說明，然而，臂單元的數(shù)量不受限制，只要包括支承臂單元的升降單元即可。因此，可以采用具有兩個或更多個臂的多臂機器人。
[0084]此外，上述實施方式通過例示了其中在臂單元的末端部設(shè)置一個手的情況來進行說明，然而，手的數(shù)量不受限制并且可以是兩個或更多個。
[0085]此外，上述實施方式通過例示了其中待搬運的物體主要為晶片的情況來進行說明，然而，待搬運的物體的類型不受限制。
【權(quán)利要求】
1.一種搬運機器人，所述搬運機器人包括: 臂單元，所述臂單元包括機器人手，所述機器人手能夠保持待被搬運的物體； 基部單元，所述基部單元形成為大體盒形形狀； 引導(dǎo)單元，所述引導(dǎo)單元包括豎直地設(shè)置在所述基部單元中的豎直軸； 升降單元，所述升降單元設(shè)置成能夠沿著所述豎直軸升降并且在上端部處支承所述臂單元；以及 通風(fēng)部，所述通風(fēng)部在所述基部單元的上表面中開口，并且將向下流從所述基部單元的外部引至其內(nèi)部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運機器人，其中，所述通風(fēng)部沿著所述升降單元的外周形成在所述基部單元的所述上表面中。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的搬運機器人，其中， 所述升降單元設(shè)置成與形成所述基部單元的側(cè)壁之中的一個側(cè)壁相鄰，并且 所述通風(fēng)部沿著除所述一個側(cè)壁之外的側(cè)壁形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的搬運機器人，其中，所述通風(fēng)部由表面中形成有多個孔的罩構(gòu)件覆蓋。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的搬運機器人，其中，所述通風(fēng)部是這樣的，即:在所述基部單元的所述上表面中與所述引導(dǎo)單元的上部對應(yīng)的那一部分的寬度被設(shè)定成大于在所述基部單元的所述上表面中不與所述引導(dǎo)單元的所述上部對應(yīng)的部分的寬度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的搬運機器人，其中， 所述弓I導(dǎo)單元設(shè)置成與形成所述基部單元的側(cè)壁之中的一個側(cè)壁相鄰，并且 當從上方觀看時所述通風(fēng)部形成為與所述引導(dǎo)單元的一部分重疊。
7.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的搬運機器人，該搬運機器人還包括排風(fēng)部，所述排風(fēng)部包括:風(fēng)扇，所述風(fēng)扇設(shè)置在所述基部單元的側(cè)壁中；以及排風(fēng)罩，所述排風(fēng)罩設(shè)置成覆蓋所述風(fēng)扇并且成形為豎直向下地排出來自所述風(fēng)扇的排出流。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的搬運機器人，其中，所述排風(fēng)部設(shè)置在位于所述引導(dǎo)單元所鄰近的側(cè)壁的相對側(cè)的側(cè)壁中。
9.一種設(shè)備前端模塊，該設(shè)備前端模塊包括根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運機器人。
【文檔編號】B65G49/07GK103448055SQ201210544862
【公開日】2013年12月18日 申請日期:2012年12月14日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月1日
【發(fā)明者】古市昌稔, 鈴木雅之 申請人:株式會社安川電機