專利名稱：真空設(shè)備的傳送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種真空設(shè)備的傳送裝置，特別是涉及一種用于傳送一基板的傳送裝置。
背景技術(shù)：
參閱圖1、2，為一種已知的真空設(shè)備的傳送裝置1，安裝在一真空腔體21上，用于傳送一個(gè)表面固定有數(shù)塊基板22的載具23，使所述基板22被傳送于該真空腔體21內(nèi)部的過(guò)程中，能同時(shí)進(jìn)行鍍膜作業(yè)。該真空腔體21界定出一個(gè)腔室211，并且包括兩個(gè)前后間隔的側(cè)壁212，以及一個(gè)連接在所述側(cè)壁212的頂緣的頂壁213。該傳送裝置I包括數(shù)個(gè)左右間隔的傳送機(jī)構(gòu)11、一個(gè)用于驅(qū)動(dòng)其中一傳送機(jī)構(gòu)11轉(zhuǎn)動(dòng)的馬達(dá)(圖未示)、一個(gè)用于連接所述傳送機(jī)構(gòu)11以使各個(gè)傳送機(jī)構(gòu)11可同步轉(zhuǎn)動(dòng)的 皮帶12，以及一個(gè)架設(shè)在該載具23的上方的導(dǎo)引機(jī)構(gòu)13。每一傳送機(jī)構(gòu)11包括一個(gè)位于其中一個(gè)側(cè)壁212的外側(cè)的連結(jié)輪111、一個(gè)自該連結(jié)輪111通過(guò)該側(cè)壁212而伸入該真空腔體21內(nèi)的連動(dòng)軸112，以及一個(gè)可同步轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在該連動(dòng)軸112的內(nèi)端的傳送輪113，該傳送輪113可供該載具23架設(shè)于其上方。各個(gè)傳送機(jī)構(gòu)11的連結(jié)輪111透過(guò)該皮帶12而連接，因此當(dāng)其中一傳送機(jī)構(gòu)11的連結(jié)輪111受到馬達(dá)驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，就可以透過(guò)該皮帶12帶動(dòng)其它的傳送機(jī)構(gòu)11轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)該載具23沿著一個(gè)如圖I箭頭所示的傳送方向前進(jìn)。該導(dǎo)引機(jī)構(gòu)13包括一個(gè)安裝在該載具23的頂部的軌條131，以及數(shù)個(gè)彼此間隔地安裝在該真空腔體21的頂壁213上并往下延伸的導(dǎo)引桿132，每一導(dǎo)引桿132具有一個(gè)伸入該軌條131的一個(gè)導(dǎo)引槽130內(nèi)的頭部133，透過(guò)所述頭部133與導(dǎo)引槽130的配合，可以防止載具23在被移送前進(jìn)的過(guò)程中產(chǎn)生晃動(dòng)、不穩(wěn)現(xiàn)象。雖然所述傳送機(jī)構(gòu)11可以達(dá)到輸送該載具23的目的，但由于每一個(gè)傳送機(jī)構(gòu)11都有部分構(gòu)件位于該真空腔體21外，且部分構(gòu)件伸入該真空腔體21內(nèi)，因此在該側(cè)壁212上供所述傳送機(jī)構(gòu)11設(shè)置的數(shù)個(gè)部位，都必需加裝較多精密且復(fù)雜的構(gòu)件(圖中未示意出)，以確實(shí)隔離腔體外部與內(nèi)部，從而確保腔體內(nèi)的真空度，如此一來(lái)導(dǎo)致整個(gè)真空設(shè)備的成本提高。而且該側(cè)壁212上被貫穿的部位較多時(shí)，也容易使腔體內(nèi)的真空度不易維持。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種能降低設(shè)備成本，并能保持腔體中的真空度的真空設(shè)備的傳送裝置。本實(shí)用新型真空設(shè)備的傳送裝置，安裝在一個(gè)真空腔體上并用于傳送一個(gè)基板，該真空腔體包括一個(gè)界定出一個(gè)腔室的腔壁，該真空設(shè)備的傳送裝置包含一個(gè)傳送機(jī)構(gòu)，以及一個(gè)安裝在該基板的上方與該腔壁之間，并用于導(dǎo)引該基板的移動(dòng)行程的導(dǎo)引機(jī)構(gòu)。該傳送機(jī)構(gòu)包括數(shù)個(gè)位于該腔室中并用于載送該基板的承載輪、一個(gè)動(dòng)力單元，以及一個(gè)連接該動(dòng)力單元及所述承載輪并將該動(dòng)力單元的轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)力傳送給所述承載輪的連結(jié)件，該動(dòng)力單元包括一個(gè)穿過(guò)該腔壁而伸入該腔室的帶動(dòng)件、一個(gè)連動(dòng)地結(jié)合在該帶動(dòng)件的內(nèi)端并位于該腔室中的動(dòng)力輪，以及一個(gè)位于該真空腔體的外部并連接且驅(qū)動(dòng)該帶動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)的動(dòng)力源。本實(shí)用新型所述的真空設(shè)備的傳送裝置，每一個(gè)承載輪包括一個(gè)與該連結(jié)件連接的連結(jié)輪部，以及一個(gè)具有一個(gè)導(dǎo)環(huán)溝的載送輪部，該導(dǎo)環(huán)溝供該基板的底部伸入。本實(shí)用新型所述的真空設(shè)備的傳送裝置，該傳送機(jī)構(gòu)還包括至少一個(gè)與所述承載輪間隔的調(diào)整輪，該調(diào)整輪連接該連結(jié)件并用于改變連結(jié)件的延伸方向。本實(shí)用新型所述的真空設(shè)備的傳送裝置，該連結(jié)件為一個(gè)鏈條，所述承載輪的連結(jié)輪部、所述調(diào)整輪以及該動(dòng)力輪都是一個(gè)鏈輪。本實(shí)用新型所述的真空設(shè)備的傳送裝置，該傳送機(jī)構(gòu)還包括一個(gè)供所述承載輪可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝的架設(shè)單元。本實(shí)用新型所述的真空設(shè)備的傳送裝置，該真空腔體的腔壁包括間隔的一個(gè)第一側(cè)壁部與一個(gè)第二側(cè)壁部，該帶動(dòng)件穿過(guò)該第一側(cè)壁部而伸入該腔室，該架設(shè)單元包括一個(gè)固定在該第二側(cè)壁部上的架板、一個(gè)自該架板朝上延伸的立板，以及數(shù)個(gè)位于該立板上且朝向該第一側(cè)壁部并分別供所述承載輪安裝的承載架體。本實(shí)用新型所述的真空設(shè)備的傳送裝置，該導(dǎo)引機(jī)構(gòu)包括數(shù)個(gè)間隔的導(dǎo)引單元，每一個(gè)導(dǎo)引單元包括一個(gè)自該腔壁的一個(gè)頂壁部朝下延伸的導(dǎo)引桿，以及兩個(gè)左右設(shè)置且可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在該導(dǎo)引桿的下方的導(dǎo)引輪，所述導(dǎo)引輪共同界定出一個(gè)供該基板的頂部伸入的導(dǎo)引空間。本實(shí)用新型所述的真空設(shè)備的傳送裝置，該連結(jié)件為一個(gè)齒型皮帶，所述承載輪的連結(jié)輪部、所述調(diào)整輪以及該動(dòng)力輪都是一個(gè)皮帶輪。本實(shí)用新型的有益效果在于由于所述承載輪都位于該腔室中，只有該動(dòng)力單元的帶動(dòng)件需要穿過(guò)該腔壁而伸入該腔室，因此該腔壁上只有安裝有該帶動(dòng)件的部位需要考慮到腔體的內(nèi)、外部的隔絕效果，如此可以降低設(shè)備成本，而且有利于維持腔體的真空度。

圖I是一立體圖，顯示一種已知真空設(shè)備的傳送裝置、一載具以及數(shù)塊基板；圖2是一剖視示意圖，主要顯示該傳送裝置、一真空腔體，以及該載具之間的相對(duì)關(guān)系;圖3是一前視圖，顯示本實(shí)用新型真空設(shè)備的傳送裝置的一較佳實(shí)施例為兩個(gè)一組地安裝在一真空腔體上；圖4是一局部的立體圖，顯不該較佳實(shí)施例與一基板；圖5是一剖視示意圖，主要顯示該較佳實(shí)施例、該真空腔體，以及該基板之間的相對(duì)關(guān)系。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。參閱圖3、4、5，本實(shí)用新型真空設(shè)備的傳送裝置5的較佳實(shí)施例，安裝在一真空腔體3上，用于傳送至少一塊基板41，使所述基板41被傳送于該真空腔體3內(nèi)的過(guò)程中，能同時(shí)進(jìn)行鍍膜作業(yè)。該真空腔體3包括一個(gè)界定出一腔室32的腔壁31，該腔壁31包括前后間隔的一個(gè)第一側(cè)壁部311與一個(gè)第二側(cè)壁部312，以及一個(gè)連接在所述第一側(cè)壁部311及第二側(cè)壁部312的頂緣的頂壁部313。本實(shí)施例的真空腔體3上設(shè)置有兩個(gè)本實(shí)用新型的傳送裝置5 (如圖3)，所述兩傳送裝置5可分別傳送一基板41，但在實(shí)際應(yīng)用上只要設(shè)置一個(gè)傳送裝置5就可以達(dá)到傳送目的。所述兩傳送裝置5所包含的元件都相同，每一傳送裝置5包含一個(gè)傳送機(jī)構(gòu)6，以及一個(gè)導(dǎo)引機(jī)構(gòu)7。該傳送機(jī)構(gòu)6位于該基板41的下方,并用于承載該基板41且將該基板41朝一個(gè)傳送方向8輸送。該傳送機(jī)構(gòu)6包括一個(gè)固定在該第二側(cè)壁部312上并且位于該腔室32中的架設(shè)單元61、數(shù)個(gè)可繞自身中心軸線轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在該架設(shè)單元61上的承載輪62、一個(gè)安裝在該第一側(cè)壁部311上的動(dòng)力單元63、一個(gè)連接該動(dòng)力單元63及所述承載輪62的連結(jié)件64，以及數(shù)個(gè)位于所述承載輪62下方的調(diào)整輪65。其中，該架設(shè)單元61包括一個(gè)固定在該第二側(cè)壁部312上的架板611、一個(gè)自該架板611朝上延伸的立板612,數(shù)個(gè)位于該立板612上且朝向該第一側(cè)壁部311的承載架體613，以及兩個(gè)位于該立板612上且朝向該第一側(cè)壁部311的調(diào)整架體614。該架板611為 一個(gè)沿著該傳送方向8長(zhǎng)向延伸的水平板片，該立板612為一個(gè)沿著該傳送方向8長(zhǎng)向延伸的直立板片。所述承載架體613的數(shù)量配合所述承載輪62的數(shù)量，并且彼此左右間隔地設(shè)置，本實(shí)施例的承載架體613為突出的桿件形式，但不限于此。所述調(diào)整架體614的數(shù)量配合所述調(diào)整輪65的數(shù)量，本實(shí)施例的調(diào)整架體614的數(shù)量為兩個(gè)并且彼此左右間隔，所述調(diào)整架體614為突出的桿件形式，但不限于此。所述承載輪62分別可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在所述承載架體613上，每一承載輪62包括一個(gè)與該立板612間隔的連結(jié)輪部621，以及一個(gè)位于該連結(jié)輪部621與該立板612之間的載送輪部622。本實(shí)施例的連結(jié)輪部621為鏈輪的形式，因此具有數(shù)個(gè)徑向突出的突齒。該載送輪部622具有一個(gè)導(dǎo)環(huán)溝623，可供該基板41的底部伸入，因此各個(gè)承載輪62的載送輪部622可以互相配合而承載并傳送該基板41。該動(dòng)力單元63包括一個(gè)穿過(guò)該真空腔體3的第一側(cè)壁部311而伸入該腔室32的帶動(dòng)件631、一個(gè)連動(dòng)地結(jié)合在該帶動(dòng)件631的內(nèi)端并位于該腔室32中的動(dòng)力輪632，以及一個(gè)位于該真空腔體3外部并連接在該帶動(dòng)件631的外端的動(dòng)力源633。該帶動(dòng)件631是一個(gè)軸桿的形式，并可受到該動(dòng)力源633驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而連動(dòng)該動(dòng)力輪632繞其自身中心軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。本實(shí)施例的動(dòng)力輪632是一個(gè)鏈輪，該動(dòng)力源633是一個(gè)馬達(dá)。本實(shí)施例的連結(jié)件64是一個(gè)鏈條，用于將該動(dòng)力單元63的轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)力傳送給所述承載輪62。該連結(jié)件64包括一個(gè)與該動(dòng)力輪632嚙合并且呈U字型的第一連結(jié)段641、一個(gè)嚙合在所述承載輪62的連結(jié)輪部621上方的第二連結(jié)段642、一個(gè)延伸于所述承載輪62與其中一個(gè)調(diào)整輪65之間并嚙合在該調(diào)整輪65上方的第三連結(jié)段643，以及一個(gè)連接在該第二連結(jié)段642及該第三連結(jié)段643之間并嚙合在另一個(gè)調(diào)整輪65的下方的第四連結(jié)段644。所述調(diào)整輪65分別可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在所述調(diào)整架體614上，本實(shí)施例的調(diào)整輪65為鏈輪的形式，用于改變連結(jié)件64的延伸方向并使該連結(jié)件64具有一定大小的張力，從而能傳送該動(dòng)力輪632的轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)力給所述承載輪62。需要說(shuō)明的是，本實(shí)用新型不限于鏈條與鏈輪配合，例如該連結(jié)件64也可以為一個(gè)皮帶，所述承載輪62的連結(jié)輪部621、所述調(diào)整輪65以及該動(dòng)力輪632則可以為表面不具有突齒的普通轉(zhuǎn)輪?；蛘咴撨B結(jié)件64也可以為一個(gè)齒型皮帶，此時(shí)所述連結(jié)輪部621、調(diào)整輪65以及該動(dòng)力輪632則分別為一個(gè)可以配合該齒型皮帶的皮帶輪。該導(dǎo)引機(jī)構(gòu)7位于該基板41上方并安裝在該真空腔體3的頂壁部313，用于導(dǎo)引該基板41的移動(dòng)行程，可以防止基板41被移送前進(jìn)的過(guò)程中產(chǎn)生晃動(dòng)、不穩(wěn)現(xiàn)象。該導(dǎo)引機(jī)構(gòu)7包括數(shù)個(gè)間隔的導(dǎo)引單元71，每一導(dǎo)引單元71包括一個(gè)自該頂壁部313朝下延伸的導(dǎo)引桿711，以及兩個(gè)左右設(shè)置且可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在該導(dǎo)引桿711的下方的導(dǎo)引輪712，所述兩導(dǎo)引輪712的自身中心軸線為鉛直延伸，所述兩導(dǎo)引輪712都可圍繞著其自身軸心軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，而且共同界定出一個(gè)導(dǎo)引空間713。由于該導(dǎo)引機(jī)構(gòu)7非本實(shí)用新型的改良重點(diǎn)，故不再說(shuō)明。本實(shí)用新型使用時(shí)，可以在不須配合載具的情況下直接輸送所述基板41，將該基板41架設(shè)在各個(gè)承載輪62上，而且該基板41的頂部伸入各個(gè)導(dǎo)引機(jī)構(gòu)7的導(dǎo)引空間713中。當(dāng)該傳送機(jī)構(gòu)6的動(dòng)力源633輸出轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)力后，可連動(dòng)該帶動(dòng)件631、該動(dòng)力輪632與 該連結(jié)件64轉(zhuǎn)動(dòng)，各個(gè)承載輪62進(jìn)而被帶動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)，并驅(qū)動(dòng)該基板41朝該傳送方向8前進(jìn)，達(dá)到輸送基板41的目的。由于在本實(shí)用新型的傳送裝置5中，每個(gè)承載輪62都是直接設(shè)置于該腔室32中，只有該動(dòng)力單元63的帶動(dòng)件631穿過(guò)該腔壁31而伸入該腔室32中，因此，該腔壁31的第一側(cè)壁部311上，只有安裝有該帶動(dòng)件631的部位需要考慮到該真空腔體3的內(nèi)、外部的隔絕效果，也就是說(shuō)，只有該部位必須以較精密、較復(fù)雜的構(gòu)件來(lái)確保腔體內(nèi)的真空度，相對(duì)于以往設(shè)備有數(shù)個(gè)部位要考慮真空隔絕處理而言，本實(shí)用新型確實(shí)能降低設(shè)備成本。而且本實(shí)用新型減少該腔壁31上被貫穿的部位，有助于維持腔體內(nèi)的良好真空度。
權(quán)利要求1.一種真空設(shè)備的傳送裝置，安裝在一個(gè)真空腔體上并用于傳送一個(gè)基板，該真空腔體包括一個(gè)界定出一個(gè)腔室的腔壁，該真空設(shè)備的傳送裝置包含一個(gè)傳送機(jī)構(gòu)，以及一個(gè)安裝在該基板的上方與該腔壁之間，并用于導(dǎo)引該基板的移動(dòng)行程的導(dǎo)引機(jī)構(gòu)；其特征在于該傳送機(jī)構(gòu)包括數(shù)個(gè)位于該腔室中并用于載送該基板的承載輪、一個(gè)動(dòng)力單元，以及一個(gè)連接該動(dòng)力單元及所述承載輪并將該動(dòng)力單元的轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)力傳送給所述承載輪的連結(jié)件，該動(dòng)力單元包括一個(gè)穿過(guò)該腔壁而伸入該腔室的帶動(dòng)件、一個(gè)連動(dòng)地結(jié)合在該帶動(dòng)件的內(nèi)端并位于該腔室中的動(dòng)力輪，以及一個(gè)位于該真空腔體的外部并連接且驅(qū)動(dòng)該帶動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)的動(dòng)力源。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空設(shè)備的傳送裝置，其特征在于每一個(gè)承載輪包括一個(gè)與該連結(jié)件連接的連結(jié)輪部，以及一個(gè)具有一個(gè)導(dǎo)環(huán)溝的載送輪部，該導(dǎo)環(huán)溝供該基板的底部伸入。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空設(shè)備的傳送裝置，其特征在于該傳送機(jī)構(gòu)還包括至少一個(gè)與所述承載輪間隔的調(diào)整輪，該調(diào)整輪連接該連結(jié)件并用于改變連結(jié)件的延伸方向。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空設(shè)備的傳送裝置，其特征在于該連結(jié)件為一個(gè)鏈條，所述承載輪的連結(jié)輪部、所述調(diào)整輪以及該動(dòng)力輪都是一個(gè)鏈輪。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的真空設(shè)備的傳送裝置，其特征在于該傳送機(jī)構(gòu)還包括一個(gè)供所述承載輪可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝的架設(shè)單元。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空設(shè)備的傳送裝置，其特征在于該真空腔體的腔壁包括間隔的一個(gè)第一側(cè)壁部與一個(gè)第二側(cè)壁部，該帶動(dòng)件穿過(guò)該第一側(cè)壁部而伸入該腔室，該架設(shè)單元包括一個(gè)固定在該第二側(cè)壁部上的架板、一個(gè)自該架板朝上延伸的立板，以及數(shù)個(gè)位于該立板上且朝向該第一側(cè)壁部并分別供所述承載輪安裝的承載架體。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空設(shè)備的傳送裝置，其特征在于該導(dǎo)引機(jī)構(gòu)包括數(shù)個(gè)間隔的導(dǎo)引單元，每一個(gè)導(dǎo)引單元包括一個(gè)自該腔壁的一個(gè)頂壁部朝下延伸的導(dǎo)引桿，以及兩個(gè)左右設(shè)置且可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在該導(dǎo)引桿的下方的導(dǎo)引輪，所述導(dǎo)引輪共同界定出一個(gè)供該基板的頂部伸入的導(dǎo)引空間。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空設(shè)備的傳送裝置，其特征在于該連結(jié)件為一個(gè)齒型皮帶，所述承載輪的連結(jié)輪部、所述調(diào)整輪以及該動(dòng)力輪都是一個(gè)皮帶輪。
專利摘要一種真空設(shè)備的傳送裝置，安裝在一真空腔體上并用于傳送一基板，該真空腔體包括一個(gè)界定出一腔室的腔壁，該傳送裝置包含一傳送機(jī)構(gòu)，以及一導(dǎo)引機(jī)構(gòu)。該傳送機(jī)構(gòu)包括數(shù)個(gè)位于該腔室中的承載輪、一個(gè)動(dòng)力單元，以及一個(gè)連接該動(dòng)力單元及所述承載輪的連結(jié)件。該動(dòng)力單元包括一個(gè)穿過(guò)該腔壁而伸入該腔室的帶動(dòng)件、一個(gè)連動(dòng)地結(jié)合在該帶動(dòng)件的內(nèi)端并位于該腔室中的動(dòng)力輪，以及一個(gè)連接且驅(qū)動(dòng)該帶動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)的動(dòng)力源。上述大部分構(gòu)件都位于該腔室中，能減少該腔壁被貫穿的部位的數(shù)量，如此可以降低用于維持腔體真空度的構(gòu)件成本。
文檔編號(hào)B65G49/06GK202414772SQ20122001504
公開(kāi)日2012年9月5日 申請(qǐng)日期2012年1月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月13日
發(fā)明者盧旭彬, 謝昆山, 鄭博仁, 黃泳釗 申請(qǐng)人:北儒精密股份有限公司