專利名稱：真空設(shè)備的抽氣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種真空設(shè)備的抽氣裝置，尤其涉及一種真空鍍膜設(shè)備 的高效節(jié)能抽氣裝置。
背景技術(shù)：
鍍膜技術(shù)發(fā)展很快，從四十年代開(kāi)始，到如今已成為以電子學(xué)為中心的 電子、光學(xué)、鐘表、宇航等工業(yè)部門(mén)不可缺少的新技術(shù)、新方法，有著十分 廣泛的應(yīng)用前途，尤其鍍膜中的真空鍍膜技術(shù)，發(fā)展越來(lái)越迅速，真空鍍膜 就是利用真空設(shè)備的抽氣裝置對(duì)真空室抽真空，使得在真空中通過(guò)電流加熱 使薄膜材料蒸發(fā)成為原子或分子，它們隨即以較大的自由程作直線運(yùn)動(dòng)，碰 撞基片表面而凝結(jié)，形成一層薄膜。如圖1所示，為現(xiàn)已成熟應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)中的真空設(shè)備的抽氣裝置，所述真空設(shè)備的抽氣裝置使真空設(shè)備的真空室la形成并維持真空狀態(tài)，所述抽 氣裝置包括對(duì)真空室la進(jìn)行抽氣的真空設(shè)備抽氣系統(tǒng)2a,所述真空設(shè)備抽氣 系統(tǒng)2a對(duì)真空室1 a抽氣時(shí)分成初級(jí)抽氣階段和深度抽氣階段兩個(gè)抽氣階段進(jìn) 行，所述真空設(shè)備抽氣系統(tǒng)2a由粗抽排氣系統(tǒng)3a和精抽排氣系統(tǒng)7a組成， 上述粗抽排氣系統(tǒng)3a用于對(duì)真空室la進(jìn)行初級(jí)抽氣階段的抽氣，上述精抽排 氣系統(tǒng)7a用于對(duì)真空室la進(jìn)行深度抽氣階段的抽氣，所述粗抽排氣系統(tǒng)3a 和精抽排氣系統(tǒng)7a都有與其配套的真空管道(圖中未標(biāo)出)和真空閥(圖中 未標(biāo)出)，真空設(shè)備抽氣系統(tǒng)2a使真空室la在工作周期內(nèi)形成并維持高真空 狀態(tài)，上述粗抽排氣系統(tǒng)3a由羅茨泵31a及粗抽泵30a組成，經(jīng)真空閥和真 空管道連接到真空室la上，對(duì)真空室la進(jìn)行初級(jí)抽氣，而在需要繼續(xù)提高真 空室la內(nèi)的真空度時(shí)，則需由精抽泵71a及維持泵73a組成的精抽排氣系統(tǒng)7a對(duì)真空室la進(jìn)行深度抽氣，精抽泵71a經(jīng)過(guò)真空閥與粗抽排氣系統(tǒng)3a的 真空管道合并后連接到真空室la,而上述精抽泵71a不工作時(shí)是靠維持泵73a 維持其泵腔內(nèi)真空度。根據(jù)真空度使各真空泵與真空閥依次開(kāi)啟，使真空室 la達(dá)到所需的真空度，為下一工序提供必要的工藝條件。 一般情況下，在整 個(gè)抽氣過(guò)程中從大氣壓抽至500Pa為初級(jí)抽氣的第一階段，由粗抽排氣系統(tǒng) 3a的粗抽泵30a來(lái)完成，此時(shí)再開(kāi)啟羅茨泵31a,將真空室la內(nèi)的氣壓從500Pa 抽到3Pa為初級(jí)抽氣的第二階段，由粗抽排氣系統(tǒng)3a的羅茨泵31a及粗抽泵 30a共同來(lái)完成，這個(gè)初級(jí)抽氣階段耗費(fèi)大量時(shí)間，且每個(gè)工作周期中打開(kāi)真 空室門(mén)裝卸工件時(shí)粗抽泵依然是運(yùn)轉(zhuǎn)的，為空載運(yùn)轉(zhuǎn)，電能損耗較大，無(wú)疑 大為增加生產(chǎn)成本。因此，急需一種能縮短抽氣時(shí)間、節(jié)約電能且能提高工作效率的真空設(shè) 備的抽氣裝置。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種能縮短抽氣時(shí)間、節(jié)約電能且能提高工 作效率的真空設(shè)備的抽氣裝置。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為提供一種真空設(shè)備的抽氣 裝置，使真空設(shè)備的真空室形成并維持真空狀態(tài)，所述抽氣裝置包括真空管 道、粗抽排氣系統(tǒng)、放氣閥及負(fù)壓站系統(tǒng)，所迷真空管道連接于所述真空室 上，所述粗抽排氣系統(tǒng)通過(guò)所述真空管道與所迷真空室連通，包括粗抽閥及 粗抽泵，所述粗抽閥及粗抽泵依次串聯(lián)于所述真空管道上，所述放氣閥一端 通過(guò)真空管道分別與所述真空室和粗抽排氣系統(tǒng)連通，另 一端與外界相通， 所述負(fù)壓站系統(tǒng)包括負(fù)壓站閥及密閉的負(fù)壓站室，所述負(fù)壓站閥 一 端分別與 所述粗抽泵和粗抽閥連通，另一端與所述負(fù)壓站室連通。較佳地，所述粗抽排氣系統(tǒng)還包括羅茨泵，所述抽氣裝置還包括旁通閥 和停泵放氣閥，所述羅茨泵串接于所述粗抽泵與所述粗抽閥之間，所述旁通 閥連接于粗抽閥與粗抽泵之間，并與所述羅茨泵并聯(lián)，所述停泵放氣閥一端分別與所述旁通閥、粗抽泵及羅茨泵連通，另一端與外界相通。較佳地，所述抽氣裝置還包括精抽排氣系統(tǒng)，所述精抽排氣系統(tǒng)包括精 抽閥、精抽泵、維持泵閥、維持泵及前置閥，所述精抽閥、精抽泵及前置閥 依次串聯(lián)，且所述精抽閥連通于所述真空室與粗抽閥之間的真空管道，而所 述前置閥分別與所述旁通閥、羅茨泵及粗抽閥連通，所述維持泵閥一端分別與所述精抽泵和前置閥連通，另一端與所述維持泵連通；所述負(fù)壓站系統(tǒng)包 括負(fù)壓站閥及密閉的負(fù)壓站室，所述負(fù)壓站閥一端分別與旁通閥、粗抽泵和 羅茨泵連通，另一端與所述負(fù)壓站室連通。本實(shí)用新型和現(xiàn)有技術(shù)相比，由于增加了分別與粗抽泵和粗抽閥連通的 負(fù)壓站系統(tǒng)，這樣使得，當(dāng)對(duì)真空室進(jìn)行抽氣時(shí)一部分氣體經(jīng)負(fù)壓站閥竄到 負(fù)壓站室里，這部分氣體無(wú)需粗抽泵抽到戶外從而縮短了抽氣時(shí)間；當(dāng)打開(kāi) 真空室門(mén)裝卸工件時(shí)負(fù)壓站閥自動(dòng)開(kāi)啟，這時(shí)粗抽泵對(duì)負(fù)壓站室抽氣使之具 備一定的真空狀態(tài)，使粗抽泵不至于空載運(yùn)轉(zhuǎn)從而節(jié)約電能；所以負(fù)壓站系 統(tǒng)有效地縮短了抽氣時(shí)間，使整套設(shè)備生產(chǎn)率大大的提高。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的真空設(shè)備的抽氣裝置結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型真空設(shè)備的抽氣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實(shí)用新型真空設(shè)備的抽氣裝置第一種典型變化的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本實(shí)用新型真空設(shè)備的抽氣裝置第二種典型變化的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖2所示，本實(shí)用新型真空設(shè)備的抽氣裝置，使真空設(shè)備的真空室1 形成并維持真空狀態(tài)，所述真空設(shè)備的抽氣裝置包括真空管道2、粗抽排氣系 統(tǒng)3、放氣閥4、旁通閥5、停泵放氣閥6、精抽排氣系統(tǒng)7及負(fù)壓站系統(tǒng)8， 所述真空管道2連接于所述真空室1上，并用于將各部件連通使其形成導(dǎo)氣 通路。所述粗抽排氣系統(tǒng)3通過(guò)所述真空管道2與所述真空室1連通，所述粗抽排氣系統(tǒng)3包括粗抽閥30、羅茨泵31及粗抽泵32,所述粗抽閥30、羅 茨泵31及粗抽泵32依次串聯(lián)于所述真空管道2上，所述放氣閥4 一端通過(guò) 真空管道2分別與所述真空室l和粗抽排氣系統(tǒng)3連通，另一端與外界相通， 上述粗抽排氣系統(tǒng)3用于對(duì)真空室1執(zhí)行初級(jí)抽氣階段的任務(wù)。所述旁通閥5 一端連接于粗抽閥30與粗抽泵32之間，并與所述羅茨泵31并聯(lián)。所述停泵 放氣閥6—端分別與所述旁通閥5、粗抽泵32及羅茨泵31連通，另一端與外 界相通。所述精抽排氣系統(tǒng)7包括精抽閥70、精抽泵71、維持泵閥72、維持 泵73及前置閥74，所述精抽閥70、精抽泵71及前置閥74依次串聯(lián)，且所 述精抽閥70連通于所述真空室1與粗抽閥30之間的真空管道2，而所述前置 閥74分別與所述旁通閥5、羅茨泵31及粗抽閥30連通，所述維持泵閥72 — 端分別與所述精抽泵71和前置閥74連通，另一端與所述維持泵73連通，上 述精抽排氣系統(tǒng)7用于對(duì)已進(jìn)行過(guò)初級(jí)抽氣階段的真空室1進(jìn)行進(jìn)一步的深 度抽氣的任務(wù)，即精抽排氣系統(tǒng)7執(zhí)行深度抽氣階段的任務(wù)。所述負(fù)壓站系 統(tǒng)8包括負(fù)壓站岡80及密閉的負(fù)壓站室81,所述負(fù)壓站閥80—端分別與所 述旁通閥5、粗抽泵32和羅茨泵31連通，另一端與所述負(fù)壓站室81連通， 當(dāng)對(duì)真空室1進(jìn)行第一階段的初級(jí)抽氣時(shí)開(kāi)啟粗抽閥30,這時(shí)負(fù)壓站閥80也 已開(kāi)啟，真空室1內(nèi)的氣體分為兩路， 一路經(jīng)粗抽泵32排出戶外，另一路經(jīng) 負(fù)壓站閥80竄到與其連通的負(fù)壓站室81里面，這樣就縮短了初級(jí)抽氣階段 的抽氣時(shí)間且節(jié)約電能。較佳地，所述粗抽泵32為滑閥泵，所述精抽泵71為擴(kuò)散泵，所述維持 泵73為旋片泵，能更好的實(shí)現(xiàn)對(duì)真空室l抽氣。較佳地，所述放氣閥4及停泵放氣閥6均為氣動(dòng)閥，所述精抽閥70、前 置閥74、粗抽閥30、旁通閥5及負(fù)壓站閥80均為高真空擋板閥，所述維持 泵閥72為電磁閥，能更好的匹配與其連接的設(shè)備，密閉性好。如圖2所示，對(duì)本實(shí)用新型真空設(shè)備的抽氣裝置的工作原理做一詳細(xì)的 說(shuō)明本實(shí)用新型對(duì)真空室1抽氣分為兩個(gè)階段的抽氣，第一階革史為初級(jí)抽 氣階段，由粗抽排氣系統(tǒng)3完成；第二階段為深度抽氣階段，由精抽排氣系統(tǒng)7串聯(lián)粗抽排氣系統(tǒng)3完成；工作過(guò)程如下工作前先啟動(dòng)維持泵73,此 時(shí)維持泵閥72自動(dòng)開(kāi)啟，再啟動(dòng)精抽泵71讓精抽泵71的油加熱，當(dāng)精抽泵 71油足夠熱時(shí)，約1小時(shí)后啟動(dòng)粗抽泵32、粗抽閥30,此時(shí)負(fù)壓站閥80和 旁通閥5已自動(dòng)開(kāi)啟，再過(guò)約10秒(這個(gè)時(shí)間據(jù)真空室和負(fù)壓站容積而定) 自動(dòng)關(guān)閉負(fù)壓站閥80，待真空室1中的真空度達(dá)到約500Pa時(shí)，啟動(dòng)4fi抽排 氣系統(tǒng)3中的羅茨泵31，此時(shí)上述旁通閥5自動(dòng)關(guān)閉，由粗抽排氣系統(tǒng)3中 粗抽泵與羅茨泵對(duì)真空室1繼續(xù)抽真空，待真空室1中的真空度達(dá)到3Pa時(shí)， 開(kāi)啟精抽排氣系統(tǒng)7中的前置閥74,過(guò)5秒關(guān)閉上述粗抽閥30，并開(kāi)啟精抽 閥70,這時(shí)精抽泵71對(duì)真空室1進(jìn)行深度抽真空，待真空室1中的真空度到 達(dá)工藝條件時(shí)可進(jìn)行鍍膜等下一工序操作；待上述鍍膜等工序完畢后，關(guān)閉 上述精抽閥70，過(guò)5秒后關(guān)閉前置閥74、關(guān)閉羅茨泵31、此時(shí)負(fù)壓站閥80 和旁通閥5自動(dòng)開(kāi)啟，于是粗抽泵32又對(duì)負(fù)壓站室81進(jìn)行抽氣，并開(kāi)啟放 氣閥4對(duì)真空室1卸真空，再打開(kāi)真空室1門(mén)裝卸工件，當(dāng)需要繼續(xù)鍍膜時(shí)， 再關(guān)閉真空室1門(mén)進(jìn)入下一工作循環(huán)；當(dāng)不需要再進(jìn)行鍍膜時(shí)，關(guān)閉粗抽泵 32,并自動(dòng)開(kāi)啟停泵放氣閥6, 15秒后上述停泵放氣閥6自動(dòng)關(guān)閉，關(guān)閉上 述精抽泵71，使其停止對(duì)精抽泵71的油加熱，待精抽泵71的油冷卻到6(TC 以下時(shí)，約1小時(shí)后關(guān)閉維持泵73，此時(shí)維持泵閥72自動(dòng)關(guān)閉，以上所設(shè)計(jì) 的操作時(shí)間均根據(jù)具體情況而定。本實(shí)用新型真空設(shè)備的抽氣裝置，所涉及的具體時(shí)間及泵與閥的自動(dòng)關(guān) 啟的技術(shù)均為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所熟知，在此不再做詳細(xì)的說(shuō)明。本實(shí)用新型真空設(shè)備的抽氣裝置，由于增加了分別與粗抽泵32和羅茨泵 31連通的負(fù)壓站系統(tǒng)8,這樣使得，當(dāng)對(duì)真空室1進(jìn)行初級(jí)階段抽氣時(shí)一部 分氣體經(jīng)負(fù)壓站閥80竄到負(fù)壓站室81里，這部分氣體無(wú)需粗抽泵32抽到戶 外從而縮短了抽氣時(shí)間；當(dāng)打開(kāi)真空室門(mén)裝卸工件時(shí)負(fù)壓站閥80自動(dòng)開(kāi)啟， 這時(shí)粗抽泵32對(duì)負(fù)壓站室81抽氣使之具備一定的真空狀態(tài)，使粗4由泵32不 至于空載運(yùn)轉(zhuǎn)從而節(jié)約電能；整個(gè)工作循環(huán)中初級(jí)抽氣階段時(shí)間約占總抽氣 時(shí)間一半，負(fù)壓站系統(tǒng)8有效地縮短初級(jí)抽氣階,更抽氣時(shí)間；所以4吏整套設(shè)備生產(chǎn)率大大的提高。以上所揭露的僅為本實(shí)用新型真空設(shè)備的抽氣裝置應(yīng)用于立式真空鍍膜機(jī)的一種實(shí)施例而已，可使真空室的氣壓降至3Pa以下。還有兩種典型的等 同變化均屬本實(shí)用新型之權(quán)利范圍，將其應(yīng)用于臥式真空鍍膜生產(chǎn)線也能有 甚佳的效果。具體等同變化如下如圖3所示，第一種典型的等同變化是在附圖2所示的結(jié)構(gòu)中去除精抽 排氣系統(tǒng)7而得，也同樣使得在每個(gè)工作周期中打開(kāi)真空室1門(mén)裝卸工件時(shí) 粗抽泵32對(duì)負(fù)壓站室81抽真空，為非空載運(yùn)轉(zhuǎn)。當(dāng)粗抽泵32對(duì)真空室1進(jìn) 行初級(jí)階段抽氣時(shí)一部分氣體經(jīng)負(fù)壓站閥80竄到負(fù)壓站室81里，這部分氣 體無(wú)需粗抽泵32抽到戶外從而縮短抽氣時(shí)間。所以本抽氣裝置同樣節(jié)約電能 且能提高工作效率，且適用于對(duì)真空室的氣壓要求在3Pa以上者。如圖4所示，第二種典型的等同變化是在附圖3所示的結(jié)構(gòu)中去除羅茨 泵31和傍通閥5得到如附圖4所示的結(jié)構(gòu)，也同樣使得在每個(gè)工作周期中打 開(kāi)真空室1門(mén)裝卸工件時(shí)粗抽泵32對(duì)負(fù)壓站室81抽真空，為非空載運(yùn)轉(zhuǎn)， 縮短抽氣時(shí)間、節(jié)約電能且能提高工作效率。本抽氣裝置適用于對(duì)真空室的 氣壓要求在500Pa以上者。圖2、圖3及圖4三種具體實(shí)施方式
的選擇，根據(jù)對(duì)真空室1內(nèi)的真空度 的要求而選擇最佳的實(shí)施方式即可。本實(shí)用新型實(shí)施方式還有很多，不限于 上述圖2、圖3及圖4所揭露的三種，當(dāng)然不能以此來(lái)限定本實(shí)用新型之權(quán)利 范圍，因此依本實(shí)用新型申請(qǐng)專利范圍所作的等同變化，仍屬本實(shí)用新型所 涵蓋的范圍。
權(quán)利要求1.一種真空設(shè)備的抽氣裝置，使真空設(shè)備的真空室形成并維持真空狀態(tài)，所述抽氣裝置包括真空管道，所述真空管道連接于所述真空室上；粗抽排氣系統(tǒng)，所述粗抽排氣系統(tǒng)通過(guò)所述真空管道與所述真空室連通，包括粗抽閥及粗抽泵，所述粗抽閥及粗抽泵依次串聯(lián)于所述真空管道上；放氣閥，所述放氣閥一端通過(guò)真空管道分別與所述真空室和粗抽排氣系統(tǒng)連通，另一端與外界相通；其特征在于包括負(fù)壓站系統(tǒng)，所述負(fù)壓站系統(tǒng)包括負(fù)壓站閥及密閉的負(fù)壓站室，所述負(fù)壓站閥一端分別與所述粗抽泵和粗抽閥連通，另一端與所述負(fù)壓站室連通。
2. 如權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備的抽氣裝置，其特征在于所述粗抽排氣 系統(tǒng)還包括羅茨泵，所述抽氣裝置還包括旁通閥和停泵放氣閥，所述羅茨泵 串接于所述粗抽泵與所述粗抽閥之間，所述旁通閥連接于粗抽閥與粗抽泵之 間，并與所述羅茨泵并聯(lián)，所述停泵放氣閥一端分別與所述旁通閥、粗抽泵 及羅茨泵連通，另一端與外界相通。
3. 如權(quán)利要求2所述的真空設(shè)備的抽氣裝置，其特征在于還包括精抽排 氣系統(tǒng)，所述精抽排氣系統(tǒng)包括精抽閥、精抽泵、維持泵閥、維持泵及前置 閥，所述精抽閥、精抽泵及前置閥依次串聯(lián)，且所述精抽閥連通于所述真空 室與粗抽閥之間的真空管道，而所述前置閥分別與所述旁通閥、羅茨泵及粗 抽閥連通，所述維持泵閥一端分別與所述精抽泵和前置閥連通，另一端與所 述維持泵連通。
4. 如權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備的抽氣裝置，其特征在于所述粗抽泵為滑閥泵。
5. 如權(quán)利要求3所述的真空設(shè)備的抽氣裝置，其特征在于所述精抽泵為 擴(kuò)散泵。
6. 如權(quán)利要求3所述的真空設(shè)備的抽氣裝置，其特征在于所述維持泵為 旋片泵。
7. 如權(quán)利要求2所述的真空設(shè)備的抽氣裝置，其特征在于所述放氣閥及 停泵放氣閥均為氣動(dòng)閥。
8. 如權(quán)利要求3所述的真空設(shè)備的抽氣裝置，其特征在于所述精抽閥、 前置閥、粗抽閥、旁通閥及負(fù)壓站閥均為高真空擋板閥。
9. 如權(quán)利要求3所述的真空設(shè)備的抽氣裝置，其特征在于所述維持泵閥 為電-茲閥。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種真空設(shè)備的抽氣裝置，使真空設(shè)備的真空室形成并維持真空狀態(tài)，其包括真空管道、粗抽排氣系統(tǒng)、放氣閥及負(fù)壓站系統(tǒng)，粗抽排氣系統(tǒng)通過(guò)真空管道與真空室連通，包括依次串聯(lián)于真空管道上粗抽閥及粗抽泵，放氣閥一端通過(guò)真空管道分別與真空室和粗抽排氣系統(tǒng)連通，另一端與外界相通，負(fù)壓站系統(tǒng)包括負(fù)壓站閥及密閉的負(fù)壓站室，負(fù)壓站閥一端與粗抽泵和粗抽閥連通，另一端與負(fù)壓站室連通。由于增加了負(fù)壓站系統(tǒng)，使得當(dāng)對(duì)真空室進(jìn)行抽氣時(shí)一部分氣體經(jīng)負(fù)壓站閥竄到真空室里，則無(wú)需抽到戶外縮短了時(shí)間，裝卸工件時(shí)粗抽泵對(duì)負(fù)壓站室抽氣使之具備一定的真空狀態(tài)，不至于空載運(yùn)轉(zhuǎn)而節(jié)約電能，且減輕對(duì)粗抽泵的負(fù)載，提高了生產(chǎn)率。
文檔編號(hào)C23C14/56GK201121208SQ200720059168
公開(kāi)日2008年9月24日 申請(qǐng)日期2007年11月5日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月5日
發(fā)明者蘇貴方 申請(qǐng)人:蘇貴方