設(shè)置于內(nèi)袋復(fù)合容器105。對(duì)于加 壓范圍為上述約80Kpa至約120Kpa場(chǎng)合的排出管250的長(zhǎng)度，現(xiàn)以一例子進(jìn)行說(shuō)明。在加 壓前的內(nèi)袋復(fù)合容器105中，在將安裝在內(nèi)側(cè)容器110-2出入口部111上的排出管250直 線狀地配置至殘留液體用凹部113-2底面時(shí)的長(zhǎng)度設(shè)為L(zhǎng)l的場(chǎng)合，在該長(zhǎng)度Ll的基礎(chǔ)上 作為一例子例如加上20mm后的長(zhǎng)度L2被設(shè)定為排出管250的長(zhǎng)度。當(dāng)排出管250具有長(zhǎng) 度L2時(shí)，則在加壓前的內(nèi)袋復(fù)合容器105中，排出管250如圖9A所示那樣成為稍許彎曲的 狀態(tài)。
[0097] 這里，作為確定排出管250的長(zhǎng)度L2的方法，可用圖6所示那樣的曲線圖來(lái)設(shè)定 與加壓壓力對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度L2。對(duì)于該確定方法的詳細(xì)情況如后述。
[0098] 接著，如圖9B所示，在內(nèi)側(cè)容器110-2內(nèi)的液體排出過(guò)程中，即內(nèi)側(cè)容器110-2內(nèi) 在上述流體排出用加壓范圍內(nèi)進(jìn)行加壓的過(guò)程中，如已說(shuō)明的那樣，內(nèi)側(cè)容器110-2的底 面112及頂面114-2,以及外側(cè)容器120-2的底板122及頂板123-2產(chǎn)生鼓出變形，內(nèi)袋復(fù) 合容器105的軸向長(zhǎng)度延伸。如此，通過(guò)內(nèi)袋復(fù)合容器105向軸向變長(zhǎng)，從而具有長(zhǎng)度L2 并撓曲的排出管250,其撓曲因復(fù)原力而消失且恢復(fù)到原形的直線狀。在該恢復(fù)狀態(tài)下，位 于排出管250頂端的吸液口 251就位于殘留液體用凹部113-2內(nèi)，且非接觸即接近地位于 殘留液體用凹部113-2的底面。
[0099] S卩，排出管250的長(zhǎng)度L2,可以說(shuō)是當(dāng)內(nèi)側(cè)容器內(nèi)在上述的流體排出用加壓范圍 被加壓時(shí)，排出管250頂端的吸液口251位于內(nèi)側(cè)容器的殘留液體用凹部?jī)?nèi)，且非接觸即接 近地位于殘留液體用凹部112-2底面那樣的長(zhǎng)度。
[0100] 另外，作為被收納在內(nèi)側(cè)容器110U10-2內(nèi)的上述流體的一例子，是包括收納時(shí) 也被要求高清潔度地進(jìn)行處理的藥液，例如，相當(dāng)于半導(dǎo)體領(lǐng)域及液晶領(lǐng)域中至少一方所 使用的藥液。如上所述，作為半導(dǎo)體領(lǐng)域中的藥液，例如是CMP漿料、光致抗蝕劑、顯影液、 蝕刻液和清洗液等，在液晶領(lǐng)域中，是光致抗蝕劑、彩色抗蝕劑和濾色器材料等。
[0101] 另外，如本標(biāo)題"【具體實(shí)施方式】"開(kāi)頭所記載的那樣，可使用各種內(nèi)容量的外側(cè)容 器120,但在上述的實(shí)施形態(tài)中說(shuō)明的內(nèi)容，對(duì)于使用了各種外側(cè)容器120的場(chǎng)合也包含底 板122及頂板123的變形量，同樣可適用。
[0102] 接著，作為本發(fā)明的第2實(shí)施形態(tài)，可例舉上述的內(nèi)袋復(fù)合容器用分配裝置200的 制造方法。
[0103] 如上所述，在內(nèi)袋復(fù)合容器用分配裝置200中，對(duì)容器內(nèi)加壓從而進(jìn)行收納液體 的排出，隨此加壓，內(nèi)袋復(fù)合容器1〇〇、1〇5也變形。并且，與該變形量對(duì)應(yīng)地適當(dāng)設(shè)定內(nèi)袋 復(fù)合容器用分配裝置200中的排出管250的長(zhǎng)度，這對(duì)容器內(nèi)殘留液體量的減少有較大影 響。
[0104] 因此，在第2實(shí)施形態(tài)中的上述制造方法中，進(jìn)行下面動(dòng)作而獲得殘留液體量的 減少。這里，作為一例子以采用內(nèi)袋復(fù)合容器105為例子進(jìn)行說(shuō)明。
[0105] 即，如已說(shuō)明的那樣，首先，在加壓前的內(nèi)袋復(fù)合容器105中，求出當(dāng)將安裝在內(nèi) 側(cè)容器110-2的出入口部111上的排出管250直線狀地配置至殘留液體用凹部113-2底面 時(shí)的基本長(zhǎng)度L1。接著，例如如圖6所示那樣，以預(yù)先求出的加壓壓力和容器變形量之間的 關(guān)系為基礎(chǔ)，求出與容器的加壓壓力對(duì)應(yīng)的底板122及頂板123-2的總計(jì)變形量。并且，將 所求出的總計(jì)變形量加上基本長(zhǎng)度Ll而確定排出管250的設(shè)定長(zhǎng)度L2。
[0106] 如此，通過(guò)確定當(dāng)將內(nèi)袋復(fù)合容器用分配裝置200安裝在出入口部111上時(shí)的 排出管250的設(shè)定長(zhǎng)度L2,從而在收納液體排出時(shí)的容器加壓狀態(tài)下，排出管250的吸液 口 251可從出入口部111設(shè)置至殘留液體用凹部113-2內(nèi)，且可延伸至與殘留液體用凹部 113-2底面非接觸即接近的位置。因此，可將殘留液體用凹部113-2中的收納液體的殘留液 體量作成最小限度。
[0107] 另外，在本發(fā)明中可采用如下那樣的方式。
[0108] 作為第3方式的內(nèi)袋復(fù)合容器用分配裝置，是在所述第1方式的內(nèi)袋復(fù)合容器用 分配裝置中，所述底板及所述頂板分別具有因向該內(nèi)袋復(fù)合容器內(nèi)的流體排出用加壓而向 容器外側(cè)變形底板及頂板直徑的基本3~5%的變形量，在所述底板及所述頂板以該變形 量進(jìn)行變形后的狀態(tài)下，所述排出管也可具有從內(nèi)側(cè)容器的所述出入口部直線狀地延伸至 所述殘留液體用凹部的長(zhǎng)度。
[0109] 另外，在第4方式中，是在所述第1方式的內(nèi)袋復(fù)合容器用分配裝置中還具有塞子 主體，該塞子主體旋合安裝于從所述開(kāi)口突出的所述出入口部，該塞子主體對(duì)所述排出管 及所述氣體供給機(jī)構(gòu)進(jìn)行保持，該塞子主體也可具有與該塞子主體一體成型且卡合專用扳 手的頭部，由所述專用扳手帶動(dòng)所述頭部旋轉(zhuǎn)從而將該塞子主體緊固在所述出入口部。
[0110] 另外，第5方式是，在所述第1、3、4方式中任一內(nèi)袋復(fù)合容器用分配裝置中，所述 外側(cè)容器的所述頂板也可具有卡合部，所述內(nèi)側(cè)容器在該內(nèi)側(cè)容器的頂面具有止轉(zhuǎn)部，該 止轉(zhuǎn)部與所述卡合部嵌合，防止內(nèi)側(cè)容器以所述中心軸為中心在外側(cè)容器內(nèi)旋轉(zhuǎn)。
[0111] 本發(fā)明可適用于對(duì)收納在將樹(shù)脂制的內(nèi)側(cè)容器設(shè)在鋼制的外側(cè)容器內(nèi)的內(nèi)袋復(fù) 合容器中的收納流體進(jìn)行分配的內(nèi)袋復(fù)合容器用分配裝置，以及該分配裝置的制造方法。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種內(nèi)袋復(fù)合容器用分配裝置，是安裝于內(nèi)袋復(fù)合容器的內(nèi)袋復(fù)合容器用分配裝 置，其特征在于， 所述內(nèi)袋復(fù)合容器，由標(biāo)稱容量為10~60升的提桶罐形成，具有： 樹(shù)脂制的內(nèi)側(cè)容器，該內(nèi)側(cè)容器是收納流體的袋形狀且具有所述流體的出入口部；以 及外側(cè)容器，該外側(cè)容器由收納所述內(nèi)側(cè)容器的鋼制容器形成，將底板卷邊接縫于筒狀的 殼體而成形該鋼制容器，且頂板與所述底板相對(duì)地安裝于所述殼體，所述頂板形成有可使 所述出入口部突出的開(kāi)口， 所述內(nèi)側(cè)容器的所述出入口部以及所述外側(cè)容器的所述開(kāi)口位于通過(guò)該內(nèi)袋復(fù)合容 器的直徑的中心的中心軸上， 在所述中心軸上的所述出入口部的正下方，所述內(nèi)側(cè)容器具有從該內(nèi)側(cè)容器的底面向 外側(cè)突出地成形并收集貯存殘留液體的殘留液體用凹部， 該內(nèi)袋復(fù)合容器用分配裝置具有： 樹(shù)脂制的排出管，該排出管是可安裝于從所述外側(cè)容器的開(kāi)口突出的所述內(nèi)側(cè)容器的 出入口部的管子，該排出管的頂端位于內(nèi)側(cè)容器的所述殘留液體用凹部?jī)?nèi)，從而將收納于 內(nèi)側(cè)容器的流體引導(dǎo)到容器外部；以及 氣體供給機(jī)構(gòu)，該氣體供給機(jī)構(gòu)可安裝于從所述開(kāi)口突出的所述出入口部，該氣體供 給機(jī)構(gòu)將氣體供給到內(nèi)袋復(fù)合容器內(nèi)，從而使收納在所述內(nèi)側(cè)容器內(nèi)的流體通過(guò)所述排出 管排出到容器外部， 所述排出管具有可撓性及形狀復(fù)原性，在由所述氣體供給機(jī)構(gòu)對(duì)容器內(nèi)進(jìn)行加壓前， 所述排出管利用可撓性而撓曲，另一方面，在由所述氣體供給機(jī)構(gòu)對(duì)容器內(nèi)進(jìn)行加壓，從而 底板及頂板向內(nèi)袋復(fù)合容器外側(cè)變形的狀態(tài)下，所述排出管具有利用形狀復(fù)原性而從內(nèi)側(cè) 容器的所述出入口部直線狀地延伸到所述殘留液體用凹部的長(zhǎng)度，此外，所述排出管的外 徑為巾l〇mm，所述排出管的壁厚為1mm。
2. 如權(quán)利要求1所述的內(nèi)袋復(fù)合容器用分配裝置，其特征在于，所述底板及所述頂板 分別具有底板及頂板的直徑的基本3~5%的變形量，該變形量因向該內(nèi)袋復(fù)合容器內(nèi)的 流體排出用加壓以使底板及頂板向容器外側(cè)變形而產(chǎn)生，在所述底板及所述頂板以該變形 量進(jìn)行變形后的狀態(tài)下，所述排出管具有從內(nèi)側(cè)容器的所述出入口部直線狀地延伸至所述 殘留液體用凹部的長(zhǎng)度。
3. 如權(quán)利要求1所述的內(nèi)袋復(fù)合容器用分配裝置，其特征在于，還具有塞子主體，該塞 子主體旋合安裝于從所述開(kāi)口突出的所述出入口部，該塞子主體對(duì)所述排出管及所述氣體 供給機(jī)構(gòu)進(jìn)行保持，該塞子主體具有與該塞子主體一體成型且卡合專用扳手的頭部，由所 述專用扳手帶動(dòng)所述頭部旋轉(zhuǎn)從而將該塞子主體緊固在所述出入口部。
4. 如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的內(nèi)袋復(fù)合容器用分配裝置，其特征在于， 所述外側(cè)容器的所述頂板具有卡合部， 所述內(nèi)側(cè)容器在該內(nèi)側(cè)容器的頂面具有止轉(zhuǎn)部，該止轉(zhuǎn)部與所述卡合部嵌合，防止內(nèi) 側(cè)容器以所述中心軸為中心在外側(cè)容器內(nèi)旋轉(zhuǎn)。
5. -種如權(quán)利要求1所述的內(nèi)袋復(fù)合容器用分配裝置的制造方法，其特征在于，具有 如下工序： 在由氣體供給機(jī)構(gòu)對(duì)容器內(nèi)進(jìn)行加壓前的內(nèi)袋復(fù)合容器中，求出將安裝于內(nèi)側(cè)容器的 出入口部的排出管直線狀地配置至殘留液體用凹部的底面時(shí)的基本長(zhǎng)度的工序； 以加壓壓力與容器變形量的關(guān)系為基礎(chǔ)，求出與容器的加壓壓力對(duì)應(yīng)的底板及頂板的 總計(jì)變形量的工序；以及 將所求出的總計(jì)變形量加上所述基本長(zhǎng)度確定所述排出管的設(shè)定長(zhǎng)度的工序。
【專利摘要】一種內(nèi)袋復(fù)合容器用分配裝置，安裝與以往相比可減少殘留液體量及其偏差的內(nèi)袋復(fù)合容器上，對(duì)該內(nèi)袋復(fù)合容器內(nèi)的收納流體進(jìn)行分配。內(nèi)袋復(fù)合容器(100)是在鋼制的容器內(nèi)收納有樹(shù)脂制內(nèi)側(cè)容器(110)而成的容器。內(nèi)側(cè)容器的出入口部(111)位于內(nèi)袋復(fù)合容器的中心軸(101)上，在中心軸上的出入口部的正下方內(nèi)側(cè)容器具有收集貯存殘留液體的殘留液體用凹部(113)。分配裝置具有排出管(250)和氣體供給機(jī)構(gòu)，在容器內(nèi)加壓時(shí)，排出管具有從內(nèi)側(cè)容器的出入口部直線狀地延伸至殘留液體用凹部的長(zhǎng)度。采用本發(fā)明，可減少殘留液體量及其偏差。
【IPC分類】B65D25-14, B65D8-02
【公開(kāi)號(hào)】CN104691906
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410748627
【發(fā)明人】松田賢治, 藤野貴成, 古川隆一, 森岡貴宏
【申請(qǐng)人】日本鋼提桶制造株式會(huì)社
【公開(kāi)日】2015年6月10日
【申請(qǐng)日】2014年12月9日