專利名稱：由非晶體氟樹脂制成的模及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于在基片上形成具有不同尺寸(范圍從nm到cm)的布線圖案的模；更具體的是涉及由非晶體氟樹脂制成的模，其用于在制造集成電路、電子設(shè)備、光電設(shè)備、磁設(shè)備以及類似物的過程中在基片(硅基片、陶瓷基片、金屬層、聚合體層以及類似物)上形成布線圖案(超精細(xì)圖案、微圖案、圖案以及類似物)，并且涉及這種模的制造方法。
背景技術(shù)：
如本領(lǐng)域眾所周知的那樣，為了制造半導(dǎo)體設(shè)備、電子設(shè)備、光電設(shè)備、磁設(shè)備、顯示設(shè)備、微機(jī)電設(shè)備以及類似物，需要執(zhí)行在基片上形成微布線圖案的過程。作為在基片上形成微布線圖案的代表性的技術(shù)，有一種通過使用光來形成微布線圖案的光刻方法。
根據(jù)光刻方法，具有光敏性的聚合材料(例如光致抗蝕劑及其類似物)被涂敷在該基片上，待布圖的材料層壓或沉積在基片上，然后聚合材料通過曝光工藝暴露在光線中，這個(gè)工藝使用了設(shè)計(jì)有一定的目標(biāo)圖案的標(biāo)線片(reticle)。然后，暴露的聚合材料通過顯影工藝被移除，使得具有目標(biāo)圖案的圖案掩?；蛘呶g刻掩?？梢栽诖紙D的材料上形成。此后，通過利用圖案掩模的蝕刻工藝，層壓在基片上的材料可以被刻上預(yù)期的圖案。
同時(shí)，在上面描述的光刻方法中，電路線寬或者圖案線寬依賴于在曝光工藝中使用的光線的帶寬。因此，通過使用傳統(tǒng)的光刻方法在基片上形成線寬小于或等于例如100nm的超精細(xì)圖案是非常困難的。
而且，因?yàn)檫@種傳統(tǒng)光刻方法需要多個(gè)步驟(比如基片清潔過程，基片表面處理，感光聚合體涂敷過程，低溫?zé)崽幚磉^程，曝光，顯影，清潔，高溫?zé)崽幚硪约邦愃七^程)，方法本身變得復(fù)雜且需要相當(dāng)多的處理時(shí)間。此外，還需要高價(jià)的處理設(shè)備，因此增加了制造成本且降低了生產(chǎn)率。
為了克服傳統(tǒng)光刻方法的限制，已經(jīng)提出了非傳統(tǒng)的平板印方法。
一種非傳統(tǒng)的平板印方法是納米壓印方法，用于將硬模上的圖案轉(zhuǎn)印到基片的聚合體薄膜圖案上，過程如下準(zhǔn)備由硅(Si)制成的預(yù)期圖案形成于其上的硬模以及表面涂敷有熱塑性聚合體薄膜的基片，使硬模面對(duì)基片，通過使用壓板在高溫和高壓下在硬模和基片上執(zhí)行壓制，并且將壓制的模與基片分離。
這種納米壓印方法的一個(gè)優(yōu)勢(shì)在于，容易形成超精細(xì)圖案，因?yàn)槭褂昧擞晒杓邦愃莆镏瞥傻挠材?。?shí)際上，根據(jù)研究，已知的圖案的最小尺寸是大約7nm。
然而，傳統(tǒng)的納米壓印方法的缺陷如下描述。首先，在高溫和高壓下壓制結(jié)束以后很難將模從基片分離。而且，壓制過程中的高壓導(dǎo)致可能損壞模和基片。再者，由于布圖是通過使用高溫聚合材料流質(zhì)來實(shí)現(xiàn)的，所以需要相當(dāng)多的時(shí)間來完成上面描述的布圖，尤其是在大尺寸布圖的情況下，因此處理時(shí)間也增加。
非傳統(tǒng)的平板印方法的其他例子包括微接觸印(μCP)，毛細(xì)管中的微模制(MIMIC)，微轉(zhuǎn)印模制(μTM)，軟模制，毛細(xì)作用平板印(CFL)以及類似方法。在這些方法中，一種聚二甲基硅氧烷(PDMS)的聚合彈性體被用作模是常見的。
因?yàn)樵趥鹘y(tǒng)的納米壓印方法中使用的PDMS模是彈性體，PDMS模與待布圖的基片的表面共形接觸是容易的。而且，由于PDMS模具有低的表面能，PDMS模附著到其他材料表面上的附著力很低，足以能夠在布圖終止以后使PDMS模容易地與基片表面分離。此外，由于三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)而產(chǎn)生的高的氣體滲透性導(dǎo)致溶劑容易吸收進(jìn)去。
同時(shí)，由于PDMS模是具有低機(jī)械強(qiáng)度的彈性體，PDMS模會(huì)容易變形，使得PDMS模不會(huì)被用于形成尺寸小于或等于例如大約500μm的微圖案，并且高度依賴于待形成的圖案的縱橫比。此外，PDMS模被像甲苯和類似物那樣的通常的有機(jī)溶劑而膨脹和變形，使得在布圖中使用的聚合體和溶劑的選擇會(huì)受到限制。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種由非晶體氟樹脂制成的模，其容易與圖案將形成于其上的基片分離，并且具有高的氣體滲透性，同時(shí)適當(dāng)保持柔性和機(jī)械強(qiáng)度，以及還提供其制造方法。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，提供了一種模，用于通過使用在所述模的一側(cè)上形成的圖案來在一基片上形成目標(biāo)布線圖，其中，所述模由非晶體氟樹脂制成。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，提供了一種模，用于通過使用在所述模的一側(cè)上形成的圖案來在一基片上形成目標(biāo)布線圖，其中，所述模由非晶體氟樹脂和聚合彈性體混合而成的組合物制成。
根據(jù)本發(fā)明的再一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，提供了一種用于制造模的方法，所述模用于通過使用在所述模的一側(cè)上形成的圖案來在一基片上形成目標(biāo)布線圖，其中，所述模使用其上具有面對(duì)所述圖案的圖案結(jié)構(gòu)的一主模通過壓模技術(shù)制造，并且所述模由非晶體氟樹脂制成。
根據(jù)本發(fā)明的再一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，提供了一種用于制造模的方法，所述模用于通過使用在所述模的一側(cè)上形成的圖案來在一基片上形成目標(biāo)布線圖，其中，所述模使用其一側(cè)具有面對(duì)布線圖案的圖案結(jié)構(gòu)的一型箱(mold box)通過注模技術(shù)制造，并且所述模由非晶體氟樹脂制成。
根據(jù)本發(fā)明的再一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，提供了一種用于制造模的方法，所述模用于通過使用在所述模的一側(cè)上形成的圖案來在一基片上形成目標(biāo)布線圖，所述方法包括以下步驟將其上具有面對(duì)所述圖案的圖案結(jié)構(gòu)的一主模布置在一容器中的某一位置，使所述圖案結(jié)構(gòu)面向上；給所述容器填充非晶體氟樹脂溶液；將所述非晶體氟樹脂溶液硬化，以產(chǎn)生硬化的非晶體氟樹脂；以及將硬化的非晶體氟樹脂與所述主模分離。
根據(jù)本發(fā)明的再一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，提供了一種用于制造模的方法，所述模用于通過使用在所述模的一側(cè)上形成的圖案來在一基片上形成目標(biāo)布線圖，所述方法包括以下步驟將聚合彈性體低聚物與非晶體氟樹脂溶液混合，以產(chǎn)生混合溶液；
蒸發(fā)溶劑，以產(chǎn)生溶劑蒸發(fā)的混合溶液；給所述溶劑蒸發(fā)的混合溶液添加硬化劑，以產(chǎn)生組合物；將所述組合物注入其內(nèi)布置有一主模的一容器內(nèi)，所述主模具有面對(duì)所述圖案的圖案結(jié)構(gòu)；硬化所述組合物，以產(chǎn)生硬化組合物；以及將硬化組合物與所述主模分離。
根據(jù)本發(fā)明的再一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，提供了一種用于制造模的方法，所述模用于通過使用在所述模的一側(cè)上形成的圖案來在一基片上形成目標(biāo)布線圖，所述方法包括步驟將聚合彈性體低聚物、非晶體氟樹脂以及硬化劑混合，以產(chǎn)生組合物；將所述組合物注入其內(nèi)布置有一主模的一容器內(nèi)，所述主模具有面對(duì)所述圖案的圖案結(jié)構(gòu)；硬化所述組合物，以產(chǎn)生硬化組合物；以及將硬化組合物與所述主模分離。


本發(fā)明的上面的以及其他目的和特征將通過后面的對(duì)結(jié)合附圖的優(yōu)選實(shí)施例的描述而變得清楚，圖中圖1A和1B示出了根據(jù)本發(fā)明第一優(yōu)選實(shí)施例的由非晶體氟樹脂制成的模的制造過程；圖2A和2B示出了根據(jù)本發(fā)明第二優(yōu)選實(shí)施例的由非晶體氟樹脂制成的模的制造過程；以及圖3A和3B示出了根據(jù)本發(fā)明第三優(yōu)選實(shí)施例的由非晶體氟樹脂制成的模的制造過程。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的上面的以及其他特征將通過后面參考附圖的優(yōu)選實(shí)施例的描述而變得清楚。
此后，本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例將參考附圖詳細(xì)描述。
在聚二甲基硅氧烷(PDMS)，也就是一種聚合彈性體，被用于制造用于在基片上形成圖案的模的現(xiàn)有技術(shù)中具有的缺陷在于，由于其低的機(jī)械強(qiáng)度以及其被有機(jī)溶劑膨脹，PDMS容易變形。然而，與現(xiàn)有技術(shù)不同，本發(fā)明使用非晶體特氟綸(amorphous teflone)來制造用于在基片上形成圖案(尺寸范圍從nm到cm)的模，因?yàn)榉蔷w特氟綸作為氟樹脂容易從模中分離，這是因?yàn)槠涞偷谋砻婺懿⑶揖哂羞m當(dāng)?shù)臋C(jī)械強(qiáng)度，高的氣體滲透性，抵抗有機(jī)溶劑的非膨脹特性，以及與基片表面的共形接觸。本發(fā)明的目的可以通過使用這種技術(shù)裝置來實(shí)現(xiàn)。
此后，根據(jù)本發(fā)明的由非晶體氟樹脂制成的模可以使用非晶體氟樹脂粉末通過壓模、注模以及類似方法制造，或者使用非晶體氟樹脂溶液通過涂布、鑄造和類似方法制造。
作為用作模的主材的非晶體氟樹脂，可以使用在美國杜邦開發(fā)的Teflon AF。作為一種非晶體特氟綸的Teflon AF是TFE(四氟乙烯)和PDD(2，2-二(三氟甲基)-4，5-二氟-1，3-二噁烷)的共聚聚合樹脂。共聚率范圍可以在0-100％之間，并且具有商業(yè)產(chǎn)品，包括AF-1600、AF-2400以及類似物，它們具有TFE和PDD之間不同的共聚率。
非晶體氟樹脂制成的模與傳統(tǒng)PDMS模相比具有如下優(yōu)點(diǎn)。
首先，由于在制作布線圖案過程終止后非晶體氟樹脂低的表面能，由非晶體氟樹脂制成的模容易與基片分離。
第二，由非晶體氟樹脂制成的模提供了高的滲透性，但抵抗特定溶劑而不膨脹，因此不容易變形。
第三，由非晶體氟樹脂制成的模具有與彈性體相比相對(duì)較高的機(jī)械強(qiáng)度，因此模能夠超精細(xì)地制作布線圖案，其中圖案尺寸小于或等于例如500nm。
第四，因?yàn)橛煞蔷w氟樹脂制成的模可以用于制作非常薄和柔性的薄膜，因此有可能實(shí)施與基片的共形接觸。
此后，將描述由非晶體氟樹脂制造模的過程。
圖1A和1B提供了流程圖，示出了根據(jù)本發(fā)明的第一優(yōu)選實(shí)施例的由非晶體氟樹脂制成的模的制造過程。
參考圖1A，圖中示出了安裝在夾具102的內(nèi)部的一個(gè)主模104。主模104具有某些圖案結(jié)構(gòu)，也就是面對(duì)將被制造的模的圖案的圖案結(jié)構(gòu)，該模的圖案結(jié)構(gòu)面向上。然后，夾具102的內(nèi)部填充預(yù)期厚度的Teflon AF粉末106a。
接著，一個(gè)壓板用于壓制；或者更具體的，內(nèi)部具有一個(gè)加熱器110的壓板108被準(zhǔn)備且用來在一定時(shí)間(例如120分鐘)里以一定的處理?xiàng)l件，包括340℃的溫度和3000psi(磅/平方英寸)的壓力下，執(zhí)行在Teflon AF粉末106a上的壓模。
此后，壓板108被提升，并且壓模成的Teflon AF粉末106a與夾具102分離，借此完成模106的制造，模具有例如圖1B所示的圖案。由非晶體氟樹脂制成的模106被用于在基片上形成布線圖案(尺寸范圍在nm到cm之間)。
同時(shí)，與上面提到的方法不同，模106可以使用壓模方法(一種壓印方法)形成，包括以下步驟給夾具中填充Teflon AF粉末；用壓板壓縮Teflon AF粉末以形成一平板；以及通過使用具有一定圖案結(jié)構(gòu)的主模來壓制該平板。
而且，根據(jù)本發(fā)明的由氟樹脂制成的模可以通過使用注模方法來制造，其中為了上面描述的壓模方法，使用了在其一側(cè)具有一定的圖案結(jié)構(gòu)(也就是面對(duì)將通過注模制造的模的圖案的圖案結(jié)構(gòu))的型箱。
圖2A和2B描述了流程圖，闡釋了根據(jù)本發(fā)明的第二優(yōu)選實(shí)施例的由非晶體氟樹脂制成的模的制造過程。
參考圖2A，圖中示出了安裝在容器202的內(nèi)部的一個(gè)主模204。主模具有某些圖案結(jié)構(gòu)，也就是面對(duì)將被制造的模的圖案的圖案結(jié)構(gòu)，該模的圖案結(jié)構(gòu)面向上。然后，容器202的內(nèi)部填充預(yù)期量的Teflon AF溶液206a。在這種情況下，給容器202填充溶液206a的方法包括例如旋轉(zhuǎn)涂布、噴濺涂布、浸漬涂布、溶液澆鑄以及類似方法。
此后，通過在一定處理溫度(例如25℃)下蒸發(fā)溶液一定的時(shí)間(例如240分鐘)，從而Teflon AF溶液被硬化。通過在高溫條件下(或者高溫真空條件)執(zhí)行熱處理，以及在高速下旋轉(zhuǎn)容有Teflon AF溶液的容器202來便于蒸發(fā)容納在溶液中的溶劑，從而更快速地實(shí)現(xiàn)這種硬化過程。
接著，通過將硬化的Teflon AF與容器202分離，借此完成模206的制造，模具有例如圖2B所示的圖案結(jié)構(gòu)。由非晶體氟樹脂制成的模206被用于在基片上形成布線圖案(尺寸范圍在nm到cm之間)。
同時(shí)，在這個(gè)實(shí)施例中，具有目標(biāo)厚度的?？梢酝ㄟ^將給其內(nèi)具有主模204的容器202填充Teflon AF溶液并且蒸發(fā)溶劑這個(gè)過程重復(fù)預(yù)期時(shí)間而實(shí)現(xiàn)。
圖3A和3B提供了流程圖，示出了根據(jù)本發(fā)明的第三優(yōu)選實(shí)施例的由非晶體氟樹脂制成的模的制造過程。
參考圖3A，圖中示出了安裝在夾具或容器302內(nèi)部的一個(gè)主模304，主模的圖案結(jié)構(gòu)面向上。接著，通過使用前面提到的根據(jù)第一和第二實(shí)施例及其修改的方法，具有厚度范圍從幾μm到幾百μm的壓模或硬化Teflon AF模層306在夾具或容器302中形成。
此后，壓?；蛴不疶eflon AF模層306的頂部填充有一定量的例如由PDMS和PU制成的聚合彈性體前體308a，并且然后執(zhí)行硬化過程以將聚合彈性體模前體308a硬化來形成聚合彈性體模層308。
接著，具有由Teflon AF模層306和聚合彈性體模層308構(gòu)成的兩層結(jié)構(gòu)的模與夾具或容器302分離，借此完成具有兩層結(jié)構(gòu)的模的制造，例如圖3B所示的圖案結(jié)構(gòu)。由非晶體氟樹脂制成的兩層模被用于在基片上形成布線圖案(尺寸范圍在nm到cm之間)。
根據(jù)這個(gè)實(shí)施例制造的模具有一種結(jié)構(gòu)，其中聚合彈性體(由PDMS、PU以及類似物制成)與由非晶體氟樹脂制成的模相連，使得有可能容易地形成模，模具有在基片上的不同尺寸的布線圖案。
同時(shí)，根據(jù)本發(fā)明的模的材料和結(jié)構(gòu)并不是分別限制于像teflone那樣的非晶體樹脂以及其中聚合彈性體(由PDMS、PU以及類似物制成)與teflone結(jié)構(gòu)(其上沒有布線圖案)的一部分相連的兩層結(jié)構(gòu)。而且，?？梢杂煞蔷w氟樹脂和聚合彈性體混合的組合材料制成。
由像teflone以及類似物那樣的非晶體氟樹脂與像PDMS、PU以及類似物那樣的聚合彈性體混合而成的材料制成的組合物模可以通過使用這樣的方法來制造，該方法包括以下步驟以適當(dāng)?shù)幕旌媳壤龑⒕酆蠌椥泽w低聚物與非晶體氟樹脂溶液混合；蒸發(fā)溶劑；添加硬化劑以通過混合過程產(chǎn)生組合物；對(duì)其內(nèi)具有主模的容器填充這種組合物；通過使用例如加熱、紫外線以及類似方法來硬化組合物；以及將硬化的組合物與主模分離。
在這種情況下，為了方便溶劑的移除，有可能在前面提到的實(shí)施例中的高溫條件下或者高溫真空條件下或者高速旋轉(zhuǎn)容器條件下實(shí)現(xiàn)熱處理。
而且，與上面描述的方法不同，組合物模還可以通過使用這樣的方法來制造，該方法包括以下步驟同時(shí)混合具有毫微米尺寸的非常精細(xì)的非晶體氟樹脂粉末、聚合彈性體低聚物以及硬化劑來產(chǎn)生它們的組合物；將組合物灌注到其內(nèi)具有主模的容器內(nèi)；將組合物硬化；以及將硬化的組合物與主模分離。此時(shí)，硬化可以通過使用像上面描述的方法中的加熱、紫外線以及類似方法來實(shí)現(xiàn)。
本發(fā)明的應(yīng)用制造了由非晶體氟樹脂制成的模，并且然后通過使用模執(zhí)行了在基片上形成微布線圖案的試驗(yàn)。
當(dāng)通過使用其上具有圖案的硅基片，在包括340℃的溫度、2000psi的壓力以及5分鐘的處理時(shí)間和自然冷卻至溫度達(dá)到室溫的處理?xiàng)l件下，將非晶體teflone模制造成主模的時(shí)候，該非晶體teflone模具有線和間距為1μm的布線圖案。在這個(gè)試驗(yàn)例子中，硅基片被用作主模且聚苯乙烯被用作聚合體。而且，通過用非晶體teflone模(在150℃溫度和30分鐘處理時(shí)間的處理?xiàng)l件下)使用毛細(xì)作用平板印而實(shí)現(xiàn)布線圖案。
根據(jù)由本發(fā)明的應(yīng)用所實(shí)現(xiàn)的試驗(yàn)的結(jié)果，本發(fā)明的非晶體氟teflone模在布線圖案結(jié)束后容易與基片分離，并且具有高的滲透性、高的抵抗特定溶劑的不變形性、與彈性體相比相對(duì)較高的機(jī)械強(qiáng)度、以及由于其柔性而產(chǎn)生的與基片的共形接觸。而且，通過使用這種非晶體teflone模，可以在基片上形成穩(wěn)定且可靠的微布線圖案。
在PDMS，也就是一種聚合彈性體，被用于制造用于在基片上形成圖案的模的現(xiàn)有技術(shù)中具有的缺陷在于，由于其低的機(jī)械強(qiáng)度以及其被有機(jī)溶劑膨脹，PDMS容易變形。然而，與現(xiàn)有技術(shù)不同，本發(fā)明使用非晶體teflone，也就是非晶體氟樹脂來制造用于在基片上形成不同尺寸的圖案的模，因?yàn)槠涞偷谋砻婺懿⑶姨峁┝诉m當(dāng)?shù)臋C(jī)械強(qiáng)度，高的氣體滲透性，抵抗有機(jī)溶劑的非膨脹特性，以及與基片表面的共形接觸，使得非晶體teflone能夠容易地從模中分離，因此?？梢匀菀椎嘏c基片分離，并且模具有高的氣體滲透性、抵抗特效溶劑的非變形性，與彈性體相比相對(duì)較高的機(jī)械強(qiáng)度、以及由于其柔性而產(chǎn)生的與基片的共形接觸。
本發(fā)明已經(jīng)參考優(yōu)選實(shí)施例示出且描述了，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，在不脫離本發(fā)明的由后面的權(quán)利要求所限定的范圍和精神的條件下可以做出多種修改和變化。
權(quán)利要求
1.一種模，用于通過使用在所述模的一側(cè)上形成的圖案來在一基片上形成目標(biāo)布線圖，其中，所述模由非晶體氟樹脂制成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的模，其特征在于，所述模是兩層結(jié)構(gòu)，其中，具有一定厚度的聚合彈性體附著在所述模的與所述圖案相對(duì)的另一側(cè)。
3.一種模，用于通過使用在所述模的一側(cè)上形成的圖案來在一基片上形成目標(biāo)布線圖，其中，所述模由非晶體氟樹脂和聚合彈性體混合而成的組合物制成。
4.一種用于制造模的方法，所述模用于通過使用在所述模的一側(cè)上形成的圖案來在一基片上形成目標(biāo)布線圖，其中，所述模使用其上具有面對(duì)所述圖案的圖案結(jié)構(gòu)的一主模通過壓模技術(shù)制造，并且所述模由非晶體氟樹脂制成。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步驟將所述主模布置在一夾具中的某一位置，使所述主模的所述圖案結(jié)構(gòu)面向上；給所述夾具填充非晶體氟樹脂粉末；布置一壓板，以能夠同所述非晶體氟樹脂粉末接觸；以及在一定的處理?xiàng)l件下在所述非晶體氟樹脂粉末上執(zhí)行壓模，以產(chǎn)生壓模非晶體氟樹脂；以及將所述壓模非晶體氟樹脂與所述主模分離，以獲得所述模。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步驟將所述主模布置在一夾具內(nèi)部的某一位置，所述主模的所述圖案結(jié)構(gòu)面向上；給所述夾具填充非晶體氟樹脂粉末；布置一壓板，以能夠同所述非晶體氟樹脂粉末接觸；以及在一定的處理?xiàng)l件下在所述非晶體氟樹脂粉末上執(zhí)行壓模，以產(chǎn)生壓模非晶體氟樹脂；以及給在所述夾具中的所述壓模非晶體氟樹脂的頂部填充PDMS彈性體前體；硬化所述PDMS彈性體前體，以獲得PDMS彈性體；以及將包括所述壓模非晶體氟樹脂和所述PDMS彈性體的兩層結(jié)構(gòu)與所述主模分離，以獲得具有兩層結(jié)構(gòu)的所述模。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步驟給一夾具中填充一定厚度的非晶體氟樹脂粉末；布置一壓板，以能夠同所述非晶體氟樹脂粉末接觸；在一定的處理?xiàng)l件下在所述非晶體氟樹脂粉末上執(zhí)行壓模，以形成非晶體氟樹脂板；將所述非晶體氟樹脂板與所述主模的所述圖案結(jié)構(gòu)對(duì)齊；在所述非晶體氟樹脂板上執(zhí)行壓模，以獲得壓模非晶體氟樹脂；以及將所述壓模非晶體氟樹脂與所述主模分離，以獲得所述模。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步驟給一夾具中填充一定厚度的非晶體氟樹脂粉末；布置一壓板，以能夠同所述非晶體氟樹脂粉末接觸；在一定的處理?xiàng)l件下在所述非晶體氟樹脂粉末上執(zhí)行壓模，以形成非晶體氟樹脂板；將所述非晶體氟樹脂板與所述主模的所述圖案結(jié)構(gòu)對(duì)齊；在所述非晶體氟樹脂板上執(zhí)行壓模，以獲得壓模非晶體氟樹脂；以及給在所述夾具中的所述壓模非晶體氟樹脂的頂部填充PDMS彈性體前體；硬化所述PDMS彈性體前體，以獲得PDMS彈性體；以及將包括所述壓模非晶體氟樹脂和所述PDMS彈性體的兩層結(jié)構(gòu)與所述主模分離，以獲得具有兩層結(jié)構(gòu)的所述模。
9.一種用于制造模的方法，所述模用于通過使用在所述模的一側(cè)上形成的圖案來在一基片上形成目標(biāo)布線圖，其中，所述模使用其一側(cè)具有面對(duì)布線圖案的圖案結(jié)構(gòu)的一型箱通過注模技術(shù)制造，并且所述模由非晶體氟樹脂制成。
10.一種用于制造模的方法，所述模用于通過使用在所述模的一側(cè)上形成的圖案來在一基片上形成目標(biāo)布線圖，所述方法包括以下步驟將其上具有面對(duì)所述圖案的圖案結(jié)構(gòu)的一主模布置在一容器中的某一位置，所述圖案結(jié)構(gòu)面向上；給所述容器填充非晶體氟樹脂溶液；將所述非晶體氟樹脂溶液硬化，以產(chǎn)生硬化的非晶體氟樹脂；以及將硬化的非晶體氟樹脂與所述主模分離。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，所述硬化步驟通過高溫?zé)崽幚砉に噷?shí)現(xiàn)。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，所述硬化步驟通過高溫真空熱處理工藝實(shí)現(xiàn)。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，所述硬化步驟通過高速旋轉(zhuǎn)所述容器實(shí)現(xiàn)。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，在所述分離步驟之前，所述制造方法進(jìn)一步包括以下步驟給所述硬化的非晶體氟樹脂的頂部填充PDMS彈性體前體；以及硬化所述PDMS彈性體前體，以產(chǎn)生PDMS彈性體，其中，所述模是包括硬化的非晶體氟樹脂和所述PDMS彈性體的兩層結(jié)構(gòu)。
15.一種用于制造模的方法，所述模用于通過使用在所述模的一側(cè)上形成的圖案來在一基片上形成目標(biāo)布線圖，所述方法包括以下步驟將聚合彈性體低聚物與非晶體氟樹脂溶液混合，以產(chǎn)生混合溶液；蒸發(fā)溶劑，以產(chǎn)生溶劑蒸發(fā)的混合溶液；給所述溶劑蒸發(fā)的混合溶液添加硬化劑，以產(chǎn)生組合物；將所述組合物注入其內(nèi)布置有一主模的一容器內(nèi)，所述主模具有面對(duì)所述圖案的圖案結(jié)構(gòu)；硬化所述組合物，以產(chǎn)生硬化組合物；以及將硬化組合物與所述主模分離。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其特征在于，所述蒸發(fā)步驟通過高溫?zé)崽幚砉に噷?shí)現(xiàn)。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其特征在于，所述蒸發(fā)步驟通過高溫真空熱處理工藝實(shí)現(xiàn)。
18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其特征在于，所述蒸發(fā)步驟通過高速旋轉(zhuǎn)所述容器實(shí)現(xiàn)。
19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其特征在于，所述硬化步驟通過使用加熱或者紫外線來實(shí)現(xiàn)。
20.一種用于制造模的方法，所述模用于通過使用在所述模的一側(cè)上形成的圖案來在一基片上形成目標(biāo)布線圖，所述方法包括以下步驟將聚合彈性體低聚物、非晶體氟樹脂以及硬化劑混合，以產(chǎn)生組合物；將所述組合物注入其內(nèi)布置有一主模的一容器內(nèi)，所述主模具有面對(duì)所述圖案的圖案結(jié)構(gòu)；硬化所述組合物，以產(chǎn)生硬化組合物；以及將硬化組合物與所述主模分離。
全文摘要
一種模，用于通過使用在由非晶體氟樹脂制成的所述模的一側(cè)上形成的圖案來在一基片上形成目標(biāo)布線圖。所述模使用其上具有面對(duì)所述圖案的圖案結(jié)構(gòu)的一主模(104)通過壓模技術(shù)制造。
文檔編號(hào)B29C33/40GK1976790SQ200480043498
公開日2007年6月6日 申請(qǐng)日期2004年5月4日 優(yōu)先權(quán)日2004年5月4日
發(fā)明者李弘熙, 姜逹榮 申請(qǐng)人:米紐塔技術(shù)株式會(huì)社