專利名稱：脫模薄膜的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種兼顧抗皺性和脫模性的脫模薄膜。

背景技術(shù)：
進行了如下所述的方法，即通過對依次層疊印刷基板、熱固型粘合劑或熱固性粘合片、覆蓋薄膜或加強板、脫模薄膜、緩沖薄膜、沖壓熱板而成的層疊體進行加熱加壓沖壓，來制造利用覆蓋薄膜或加強板保護形成有電路的印刷基板本體的回路面的層疊基板的方法。這樣的制造方法尤其在柔性印刷基板等的制造中被廣泛進行。
近年來，在制造印刷基板時，存在的問題在于，在沖壓時易轉(zhuǎn)印在脫模薄膜中發(fā)生的皺紋，從而印刷基板的成品率悪化。
針對脫模薄膜的皺紋的發(fā)生的問題，例如在專利文獻1～4中記載了向脫模薄膜的表面賦予凹凸形狀從而防止皺紋的發(fā)生的方法。例如在專利文獻2中記載了在將具有滿足表面粗糙度(Ra)等一定條件的凹凸形狀的表面粗化薄膜用作印刷基板制造的脫模薄膜時，可以防止皺紋的發(fā)生。但是，如果向脫模薄膜的表面賦予凹凸形狀，則存在起模性低下的問題。
專利文獻1特開平6-23840號公報 專利文獻2特開2007-83459號公報 專利文獻3特開平2-238911號公報 專利文獻4特開平3-61011號公報

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種同時具有抗皺性與起模性的脫模薄膜。
本發(fā)明的脫模薄膜中，對于至少一方的表面性狀而言，利用基于JISB06012001的方法，使用前端半徑2μm、圓錐的錐角60°的觸針，在測定力為0.75mN、截斷值λs＝2.5μm、λc＝0.8mm的條件下測定的粗糙度曲線的最大高度粗糙度Rz為0.5～20μm且粗糙度曲線要素的平均長度RSm為50～500μm。
以下詳述本發(fā)明。
通常，作為提高脫模薄膜的起模性的方法，已知有實施在薄膜的表面涂布或散布脫模劑，或者在薄膜的表面實施化學(xué)的、物理的處理等脫模處理的方法。但是，即使對于專利文獻1～4中記載的賦予了凹凸形狀的薄膜實施這些脫模處理，也不能得到需要的脫模性能。本發(fā)明人等發(fā)現(xiàn)，即使向這些已賦予凹凸形狀的薄膜實施脫模處理，也不能得到需要的起模性能的原因在于，在薄膜表面賦予的凹凸形狀的間隔過細，不能充分地實施脫模處理直至凹部的底部，以及，由于凹凸而脫模薄膜與被脫模體之間的接觸面積增大。另外，本發(fā)明人等還發(fā)現(xiàn)，越加大凹凸的間隔，則越提高起模性，在薄膜的表面平坦部分越多，則越提高脫模處理的効果。
接著，本發(fā)明人等著眼于薄膜表面的凹凸形狀的粗糙度曲線，以使作為高度方向的參數(shù)的最大高度粗糙度Rz與作為橫方向的參數(shù)的粗糙度曲線要素的平均長度RSm在一定的范圍內(nèi)的情況下，才可以兼顧高抗皺性和起模性，以至完成本發(fā)明。
本發(fā)明的脫模薄膜中，對于至少一方的表面(以下也稱為“脫模面”。)的性狀而言，利用基于JIS B06012001的方法，使用前端半徑2μm、圓錐的錐角60°的觸針，在測定力為0.75mN，截斷值為λs＝2.5μm，λc＝0.8mm的條件下測定的粗糙度曲線的最大高度粗糙度Rz的下限為0.5、上限為20μm。如果上述粗糙度曲線的最大高度粗糙度Rz不到0.5μm，則抗皺性差，如果超過20μm，則起模性差。上述粗糙度曲線的最大高度粗糙度Rz的優(yōu)選上限為10μm。
此外，上述脫模面可以為本發(fā)明的脫模薄膜的至少一方的表面，也可以為兩面。
上述脫模面在利用基于JIS B06012001的方法，使用前端半徑2μm、圓錐的錐角60°的觸針，在測定力為0.75mN，截斷值為λs＝2.5μm，λc＝0.8mm的條件下測定的粗糙度曲線要素的平均長度RSm的下限為50μm、上限為500μm。如果上述粗糙度曲線要素的平均長度RSm不到50μm，則起模性差，如果超過500μm，則抗皺性差。上述粗糙度曲線要素的平均長度RSm的優(yōu)選下限為200μm，優(yōu)選上限為400μm。
上述脫模面利用基于JIS B06012001的方法，使用前端半徑2μm、圓錐的錐角60°的觸針，在測定力為0.75mN、截斷值為λs＝2.5μm、λc＝0.8mm的條件下測定的粗糙度曲線的偏斜度Rsk優(yōu)選超過0.05。如果上述粗糙度曲線的偏斜度Rsk為0.05以下，則表面粗糙度曲線的分布為均等或偏向正側(cè)，因此接觸面積增加或者發(fā)生脫模處理的効果不充分的部分，有時不能得到充分的起模性。更優(yōu)選粗糙度曲線的偏斜度Rsk超過0.1。
上述脫模面利用基于JIS B06011994的方法，利用原子力顯微鏡(AFMAtomic Force Microscope，以下稱為AFM。)測定的谷部的以50μm正方形觀察測定的表面粗糙度Rz(AFM)優(yōu)選為500nm以下。如果上述表面粗糙度Rz(AFM)超過500nm，則有時不能得到充分的起模性。上述表面粗糙度Rz(AFM)的更優(yōu)選上限為100nm。
本發(fā)明的脫模薄膜可以由單層構(gòu)成，也可以為層疊多層的層疊薄膜。
在本發(fā)明的脫模薄膜由單層構(gòu)成的情況下，在單層的薄膜的單面或兩面形成滿足上述要件的凹凸形狀(以下也稱為“單層薄膜”。)。
在本發(fā)明的脫模薄膜為層疊薄膜的情況下，例如可以舉出在單面形成有滿足上述要件的凹凸形狀的薄膜(以下也稱為“脫模層”。)的沒有形成上述凹凸形狀的一側(cè)的面上層疊其他樹脂薄膜(以下也稱為“樹脂層”。)的2層結(jié)構(gòu)體，或者，在上述樹脂層的兩面層疊有上述脫模層且使形成有上述凹凸形狀的側(cè)成為最外面的3層結(jié)構(gòu)體等。
此外，在本發(fā)明的脫模薄膜為包含上述脫模層與樹脂層的層疊體的情況下，上述脫模層與樹脂層可以利用熱粘接層疊，也可以借助粘合劑層疊。
作為構(gòu)成上述單層薄膜或脫模層的樹脂，沒有特別限定，可以使用在通常的脫模薄膜中使用的樹脂。具體而言，例如可以舉出聚酯樹脂、聚苯乙烯系樹脂、聚烯烴系樹脂等。另外，構(gòu)成本發(fā)明的脫模薄膜的樹脂可以為包含2種以上的單體成分的單體混合物共聚合而成的共聚物。這些樹脂可以單獨使用，也可以并用2種以上。其中，從耐熱性出色出發(fā)，優(yōu)選聚對苯二甲酸丁二醇酯系樹脂、聚對苯二甲酸萘二酯(polynaphthaleneterephthalate)系樹脂、間規(guī)聚苯乙烯系樹脂、聚丙烯系樹脂等。
在構(gòu)成上述單層薄膜或脫模層的樹脂含有結(jié)晶成分的情況下，可以通過提高該結(jié)晶成分的結(jié)晶度來提高起模性、抗皺性。另外，由于已提高結(jié)晶度的薄膜的透明性低，成為乳白色，所以在將柔性印刷基板、覆蓋薄膜、脫模薄膜層疊進而加熱沖壓時，與透明的薄膜相比，變得容易進行對位。
作為提高上述結(jié)晶成分的結(jié)晶度的方法，例如可以舉出并用結(jié)晶成核劑等促進結(jié)晶化的添加劑的方法或者在制造脫模薄膜時將溶融成形時的薄膜的冷卻輥的溫度或賦予形狀的輥的溫度設(shè)定成樹脂的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以上或樹脂的結(jié)晶化溫度附近的方法等。
作為上述冷卻輥或賦予形狀的輥的表面溫度，例如可以舉出70～160℃的范圍，可以對應(yīng)使用的樹脂等設(shè)定。
構(gòu)成上述單層薄膜或脫模層的樹脂也可以含有彈性體成分。通過含有彈性體成分，可以提高本發(fā)明的脫模薄膜的撓性，減低空隙。
上述彈性體成分可以以單獨的樹脂的形式配合，也可以以共聚物的成分的形式配合。
作為上述彈性體成分，沒有特別限定，例如可以舉出天然橡膠、苯乙烯-丁二烯共聚物、聚丁二烯、聚異戊二烯、丙烯腈-丁二烯共聚物、乙烯-丙烯共聚物(EPM、EPDM)、氯丁橡膠、丁基橡膠、丙烯酸橡膠、硅橡膠、聚氨酯橡膠、烯烴系熱塑性彈性體、苯乙烯系熱塑性彈性體、氯乙烯系熱塑性彈性體、酯系熱塑性彈性體、酰胺系熱塑性彈性體等。
作為上述彈性體成分的配合量，沒有特別限定，相對構(gòu)成上述單層薄膜或脫模層的樹脂成分整體，優(yōu)選下限為5重量％、優(yōu)選上限為50重量％。如果上述彈性體成分的配合量不到5重量％，則有時不能得到空隙低減的効果，如果超過50重量％，則脫模薄膜的彈性變?nèi)?，有時操作性變差或者起模性降低。
作為上述樹脂層，沒有特別限定，優(yōu)選包含具有撓性的薄膜。通過使用包含具有撓性的薄膜的樹脂層，在使用本發(fā)明的脫模薄膜而在具有凹凸的回路基板上層疊帶粘合劑的覆蓋薄膜時等，可以減低空隙的發(fā)生。
作為上述具有撓性的薄膜，可以舉出硅酮系橡膠、聚氨酯系橡膠、丙烯酸系橡膠等的耐熱橡膠制薄膜或聚氨酯樹脂系彈性體、聚酯樹脂系彈性體、丙烯酸樹脂系彈性體等彈性體制薄膜或甲基丙烯酸亞乙基甲基酯系樹脂、亞乙基乙烯基醇系樹脂、聚乙烯系樹脂、聚丙烯系樹脂等的烯烴系樹脂薄膜等。
作為本發(fā)明的脫模薄膜的厚度，沒有特別限定，優(yōu)選下限為10μm，優(yōu)選上限為200μm。如果脫模薄膜的厚度不到10μm，則有時皺紋的發(fā)生增加或者由于強度不足而起模性降低或者變得容易破裂而操作性降低。如果脫模薄膜的厚度超過200μm，則在具有凹凸的回路基板上層疊帶粘合劑的覆蓋薄膜等時，有時發(fā)生空隙，另外，有時脫模薄膜的制造成本上升到必要以上。脫模薄膜的厚度的更優(yōu)選下限為20μm，更優(yōu)選上限為120μm。
在本發(fā)明的脫模薄膜為包含上述脫模層與上述樹脂層的層疊體的情況下，相對上述脫模層的上述樹脂層的厚度的優(yōu)選下限為0.5倍、優(yōu)選上限為6倍。如果上述樹脂層的厚度不到0.5倍，則有時不能得到空隙低減的効果，如果超過6倍，則有時會將壓接的壓力提高到必要以上或者制造成本上升到必要以上。上述樹脂層的厚度的更優(yōu)選下限為2倍、更優(yōu)選上限為4倍。
作為本發(fā)明的脫模薄膜的制造方法，沒有特別限定，例如可以舉出使用擠出機(例如、GM engineering公司制、GM30-28(螺桿直徑30mm、L/D28))，從T模頭擠出上述樹脂，進行成形，由此來制作樹脂薄膜，通過在得到的樹脂薄膜的表面轉(zhuǎn)印在冷卻輥表面上加工的花紋，來向表面賦予凹凸的方法等。
上述已加工花紋的冷卻輥例如可以在平滑的輥的表面形成凹花紋之后，調(diào)整該輥的平滑部分的粗糙度來制造。
通過向這樣的冷卻輥上按壓樹脂薄膜從而轉(zhuǎn)印花紋，可以得到具有上述粗糙度曲線的最大高度粗糙度Rz為0.5～20μm而且粗糙度曲線要素的平均長度RSm為50～500μm的表面性狀的脫模面的脫模薄膜。另外，還可以得到脫模面的粗糙度曲線的偏斜度Rsk超過0.05的脫模薄膜。進而，還可以通過調(diào)整上述冷卻輥的平滑部分的精加工度(滑平性)，得到脫模面的表面粗糙度Rz(AFM)為500nm以下的脫模薄膜。
此外，作為在上述冷卻輥的表面加工的花紋，除了單一的形狀的凹凸花紋以外，還可以舉出利用大的噴射(blast)材料的在凹凸花紋上重疊細的凹凸而成的多形狀的凹凸花紋等。
為了提高起模性，本發(fā)明的脫模薄膜優(yōu)選在表面實施脫模處理。
作為上述脫模處理的具體的方法，例如可以使用在脫模薄膜的表面涂布或散布硅酮系或氟系等的脫模劑的方法或進行熱處理或摩擦處理等的方法等公知的方法。這些脫模處理可以單獨使用，也可以并用2種以上。
作為上述熱處理的方法，沒有特別限定，例如可以舉出使其通過加熱至一定的處理溫度的輥間的方法或投入到加熱烘箱中的方法等。
作為上述熱處理的溫度，只要是在構(gòu)成上述單層薄膜或脫模層的樹脂的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以上而且在熔點以下，即可，沒有特別限定，優(yōu)選下限為120℃、優(yōu)選上限為200℃。如果熱處理溫度不到120℃，則有時幾乎不能得到利用熱處理的起模性的提高効果，如果超過200℃，則在熱處理時，單層薄膜或脫模層變得容易變形，有時不能制造。熱處理溫度的更優(yōu)選下限為170℃、更優(yōu)選上限為190℃。
作為上述摩擦處理的方法，沒有特別限定，例如可以舉出使用金屬輥等的旋轉(zhuǎn)物、刷子、紗布等布，摩擦上述單層薄膜或脫模面的方法。
作為上述摩擦?xí)r的速度，沒有特別限定，相對脫模面的速度的優(yōu)選下限為30m/分鐘。
本發(fā)明的脫模薄膜例如可以在印刷線路板、柔性印刷線路板或多層印刷線路板的制造工序中，在借助預(yù)成型料或耐熱薄膜對貼銅箔層疊板或銅箔進行熱壓成形時很好地使用。
本發(fā)明的脫模薄膜例如可以在柔性印刷基板的制造工序中，利用熱壓成形，在用熱固性粘合劑或熱固性粘合片粘合覆蓋薄膜或加強板時很好地使用。
如果利用本發(fā)明，則可以提供兼顧抗皺性與起模性的脫模薄膜。

具體實施例方式 以下舉出實施例，更詳細地說明本發(fā)明，但本發(fā)明不被這些實施例所限定。
(實施例1) 在包含可以3層共擠出的模具和3個擠出機的成形裝置中，使用擠出機(GM engineering公司制、GM30-28(螺桿直徑30mm、L/D28))，利用T模頭寬度400mm，對聚酯樹脂與烯烴樹脂進行共擠出、成形，得到利用厚度20μm的聚酯樹脂(脫模層)夾持厚度80μm的烯烴層(樹脂層)的表背的結(jié)構(gòu)的全部厚度為120μm的乳白色的3層樹脂薄膜。
接著，通過對得到的3層樹脂薄膜的表面，轉(zhuǎn)印在冷卻輥表面加工的花紋，由此在3層樹脂薄膜的表面形成凹凸，從而得到Rz＝0.5μm、RSm＝50μm的脫模薄膜。
進而，通過在該表面涂布硅酮系脫模劑，來實施脫模處理。(實施例2～12、比較例1～18) 除了改變凹凸的形狀以外，與實施例1同樣地進行，制作脫模薄膜。Rz、RSm的值如表1所示。
[表1] <評價> 對實施例1～12及比較例1～18得到的脫模薄膜進行以下評價。將結(jié)果示于表2～4。
(1)表面形狀評價 將脫模薄膜裁斷成10cm×10cm的尺寸，利用基于JIS B06012001的方法，使用三豐(ミツトヨ)公司制surftestSJ-301，測定Rz及RSm。
(2)皺紋性能評價 從下面開始依次堆積CCL(20cm×20cm、聚酰亞胺厚25μm、銅箔35μm)、覆蓋膜(20cm×20cm、聚酰亞胺厚15μm、環(huán)氧系樹脂粘合劑層25μm)及得到的脫模薄膜，使用滑動式真空加熱沖壓機(MKP-3000V-WH-ST、Mikado-Technos公司制)，置于預(yù)先利用180℃加熱的沖壓模具間，對位后，開始沖壓(從設(shè)置開始直至實際施加壓力約為10秒鐘)、以50kg/cm2沖壓2分鐘，由此制作包含CCL和覆蓋薄膜的柔性印刷基板(FPC)評價樣本。
之后，取出FPC評價樣本及脫模薄膜，在剝下脫模薄膜之后，測定在覆蓋表面上轉(zhuǎn)印的皺紋的個數(shù)。
此外，在皺紋的個數(shù)為30個以內(nèi)的情況下，可以說在制造印刷基板時作為脫模薄膜具有充分的抗皺性。更優(yōu)選皺紋的個數(shù)為5個以內(nèi)。另一方面，在皺紋的個數(shù)超過30個的情況下，在制造印刷基板時作為脫模薄膜的抗皺性不充分。
(3)起模性評價 從下面開始依次堆積CCL(20cm×20cm、聚酰亞胺厚25μm、銅箔35μm)、覆蓋膜(20cm×20cm、聚酰亞胺厚25μm、環(huán)氧系樹脂粘合劑層35μm)及得到的脫模薄膜，使用滑動式真空加熱沖壓機(MKP-3000V-WH-ST、Mikado-Technos公司制)，置于預(yù)先利用180℃加熱的沖壓模具間，對位后，開始沖壓(從設(shè)置開始直至實際施加壓力約為10秒鐘)、以50kg/cm2沖壓2分鐘，由此制作包含CCL和覆蓋膜的FPC評價樣本。
之后，取出FPC評價樣本及脫模薄膜，在機上放置，計測脫模薄膜從FPC評價樣本剝離的時間。
脫模薄膜從FPC評價樣本剝離的指標(biāo)如下所述。
從脫模薄膜與FPC評價樣本附著的狀態(tài)開始，在脫模薄膜與FPC評價樣本間進入空氣時，從脫模薄膜側(cè)觀察的色調(diào)會發(fā)生改變，所以將取出FPC評價樣本及脫模薄膜時開始直至上述色調(diào)的變化結(jié)束的時間作為剝離的時間。
在脫模薄膜從FPC評價樣本剝離的時間為30秒鐘以內(nèi)的情況下，可以說作為制造印刷基板時的脫模薄膜，具有充分的起模性。更優(yōu)選脫模薄膜從FPC評價樣本剝離為止的時間為10秒鐘以內(nèi)。另一方面，在脫模薄膜從FPC評價樣本剝離為止的時間超過30秒鐘的情況下，作為制造印刷基板時的脫模薄膜，起模性不充分。
(4)粘合劑流出量評價 從下面開始依次堆積CCL(20cm×20cm、聚酰亞胺厚25μm、銅箔35μm)、覆蓋膜(20cm×20cm、聚酰亞胺厚25μm、環(huán)氧系樹脂粘合劑層35μm)及得到的脫模薄膜，使用滑動式真空加熱沖壓機(MKP-3000V-WH-ST、Mikado-Technos公司制)，置于預(yù)先利用180℃加熱的沖壓模具間，對位后，開始沖壓(從設(shè)置開始直至實際施加壓力為止約為10秒鐘)、以50kg/cm2沖壓2分鐘，制作包含CCL與覆蓋膜的FPC評價樣本。此外，預(yù)先在覆蓋膜中制作粘合劑流出量評價用的穴(Ф1mm)。
之后，取出FPC評價樣本及脫模薄膜，利用顯微鏡觀察覆蓋膜上的粘合劑流出量評價用的穴，由此測定流出的粘合劑的長度。將流出的粘合劑的長度不到100μm的情況評價為“○”，將100μm以上、不到120μm的情況評價為“△”，將120μm以上的情況評價為“×”。
[表2] 皺紋的數(shù)目(個)
[表3] 剝離時間(秒)
[表4] 粘合劑流出量評價
(實施例13～21、比較例19～24) 使用擠出機(GM engineering公司制、GM30-28(螺桿直徑30mm、L/D28))，利用T模頭寬度400mm，共擠出聚酯樹脂與烯烴樹脂并使其成形，由此得到利用聚酯樹脂(脫模層、20μm)夾持烯烴層(樹脂層、80μm)的表背的3層樹脂薄膜(120μm)。
接著，對該3層樹脂薄膜的表面，轉(zhuǎn)印在冷卻輥表面加工的花紋，由此在3層樹脂薄膜的表面形成凹凸。
Rz、RSm及Rz(AFM)的值如表5所示。
<評價> 對實施例13～21及比較例19～24得到的脫模薄膜進行以下評價。將結(jié)果示于表5。
(1)表面形狀評價 將脫模薄膜裁斷成10cm×10cm的尺寸，利用基于JIS B06012001的方法，使用三豐公司制surftestS J-301，測定Rz及RSm。
將脫模薄膜裁斷成1cm×1cm的尺寸，使用原子力顯微鏡(AFM)，特定相當(dāng)于谷部的區(qū)域。接著，使用KEYENCE VN-8000系列，基于JISB06011994，測定表面粗糙度Rz(AFM)。測定是在薄膜的谷部，在長度為50μm、測定間隔為0.0976μm、沒有截斷值的條件下進行的。此外，在基準長度及測定長度不滿足基于JIS B06011994的長度的情況下，與測定方向平行地約偏離2μm地進行測定，將數(shù)據(jù)加在一起，得到與必要的長度相當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)。
(2)皺紋性能評價 利用與上述相同的方法，制作包含CCL與覆蓋膜的柔性印刷基板(FPC)評價樣本。之后，取出FPC評價樣本及脫模薄膜，剝離脫模薄膜，然后測定在覆蓋膜表面上轉(zhuǎn)印的皺紋的個數(shù)。
(3)起模性評價 利用與上述相同的方法，制作包含CCL與覆蓋膜的FPC評價樣本。之后，取出FPC評價樣本及脫模薄膜，在機上放置，計測脫模薄膜從FPC評價樣本剝離為止的時間。
[表5] (實施例22、實施例23) 使用擠出機(GM engineering公司制、GM30-28(螺桿直徑30mm、L/D28))，利用T模頭寬度400mm共擠出聚酯樹脂與烯烴樹脂并使其成形，得到利用聚酯樹脂(脫模層、20μm)夾持烯烴層(樹脂層、80μm)的表背的3層樹脂薄膜(120μm)。
接著，對該3層樹脂薄膜的表面，轉(zhuǎn)印在冷卻輥表面加工的花紋，由此在3層樹脂薄膜的表面形成凹凸。
Rz、RSm及Rsk的值如表6所示。
<評價> 對實施例22及實施例23得到的脫模薄膜進行以下評價。將結(jié)果示于表6。
(1)表面形狀評價 將脫模薄膜裁斷成10cm×10cm的尺寸，利用基于JIS B06012001的方法，使用三豐公司制surftest SJ-301，測定Rz、RSm及RSk。
(2)皺紋性能評價 利用與上述相同的方法，制作包含CCL與覆蓋膜的柔性印刷基板(FPC)評價樣本。之后，取出FPC評價樣本及脫模薄膜，剝離脫模薄膜，然后測定在覆蓋膜表面上轉(zhuǎn)印的皺紋的個數(shù)。
(3)起模性評價 利用與上述相同的方法，制作包含CCL與覆蓋膜的FPC評價樣本。之后，取出FPC評價樣本及脫模薄膜，在機上放置，計測脫模薄膜從FPC評價樣本剝離為止的時間。
[表6] 產(chǎn)業(yè)上的可利用性 如果利用本發(fā)明，則可以提高兼顧抗皺性和起模性的脫模薄膜。
權(quán)利要求
1.一種脫模薄膜，其特征在于，
對于至少一方的表面性狀而言，利用基于JIS B06012001的方法，使用前端半徑2μm、圓錐的錐角60°的觸針，在測定力為0.75mN、截斷值λs＝2.5μm、λc＝0.8mm的條件下測定的粗糙度曲線的最大高度粗糙度Rz為0.5～20μm且粗糙度曲線要素的平均長度RSm為50～500μm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的脫模薄膜，其特征在于，
粗糙度曲線的最大高度粗糙度Rz為0.5～10μm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的脫模薄膜，其特征在于，
粗糙度曲線要素的平均長度RSm為200～400μm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的脫模薄膜，其特征在于，
對于粗糙度曲線的最大高度粗糙度Rz為0.5～20μm且粗糙度曲線要素的平均長度RSm為50～500μm的表面的性狀而言，利用基于JIS B06012001的方法，使用前端半徑2μm、圓錐的錐角60°的觸針，在測定力為0.75mN、截斷值λs＝2.5μm、λc＝0.8mm的條件下測定的粗糙度曲線的偏斜度Rsk超過0.05。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的脫模薄膜，其特征在于，
對于粗糙度曲線的最大高度粗糙度Rz為0.5～20μm且粗糙度曲線要素的平均長度RSm為50～500μm的表面的性狀而言，利用基于JIS B06011994的方法，用原子力顯微鏡測定的谷部的以50μm正方形觀察測定的表面粗糙度Rz(AFM)為500nm以下。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的脫模薄膜，其特征在于，
表面粗糙度Rz(AFM)為100nm以下。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任意一項所述的脫模薄膜，其特征在于，
所述脫模薄膜是單層結(jié)構(gòu)體。
8.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任意一項所述的脫模薄膜，其特征在于，
所述脫模薄膜是包括具有粗糙度曲線的最大高度粗糙度Rz為0.5～20μm且粗糙度曲線要素的平均長度RSm為50～500μm的表面的脫模層和層疊于所述脫模層的單面的樹脂層的2層結(jié)構(gòu)體。
9.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任意一項所述的脫模薄膜，其特征在于，
所述脫模薄膜是在樹脂層的兩面層疊有具有粗糙度曲線的最大高度粗糙度Rz為0.5～20μm且粗糙度曲線要素的平均長度RSm為50～500μm的表面的脫模層的3層結(jié)構(gòu)體。
10.根據(jù)權(quán)利要求1～9中任意一項所述的脫模薄膜，其特征在于，
所述脫模薄膜是，在印刷線路板的制造中對預(yù)成型料和銅箔進行熱壓成形時，用于防止沖壓熱板與預(yù)成型料之間的粘合或者預(yù)成型料之間的粘合的脫模薄膜。
11.根據(jù)權(quán)利要求1～9中任意一項所述的脫模薄膜，其特征在于，
所述脫模薄膜是，在印刷線路板的制造中在對熱固性樹脂薄膜和銅箔進行熱壓成形時，用于防止沖壓熱板與熱固性樹脂薄膜之間的粘合或者熱固性樹脂薄膜之間的粘合的脫模薄膜。
12.根據(jù)權(quán)利要求1～9中任意一項所述的脫模薄膜，其特征在于，
所述脫模薄膜是，在印刷基板的制造中在利用熱壓成形用熱固性粘合劑粘合覆蓋薄膜時，用于防止覆蓋薄膜與熱沖壓板之間的粘合或者覆蓋薄膜之間的粘合的脫模薄膜。
全文摘要
本發(fā)明提供一種兼顧抗皺性和起模性的脫模薄膜。本發(fā)明的脫模薄膜的至少一方的表面性狀在利用基于JIS B06012001的方法，使用前端半徑2μm、圓錐的錐角60°的觸針，測定力為0.75mN，截斷值為λs＝2.5μm，λc＝0.8mm的條件下測定的粗糙度曲線的最大高度粗糙度Rz為0.5～20μm而且粗糙度曲線要素的平均長度RSm為50～500μm。
文檔編號B29C59/04GK101678605SQ200880016639
公開日2010年3月24日 申請日期2008年9月18日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月21日
發(fā)明者土谷雅弘, 松本弘丈, 五藤靖志, 森伸浩 申請人:積水化學(xué)工業(yè)株式會社