輥狀模具的制造方法和表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種輥狀模具的制造方法，該輥狀模具的制造方法包括以下工序：浸漬工序，將輥狀的模具主體浸漬在處理劑中；第1取出工序，以使模具主體的中心軸線相對于水平面傾斜的狀態(tài)，使模具主體的一部分自處理劑的液面露出來；第2取出工序，在模具主體的露出來的部分與處理劑的液面之間維持彎液面的狀態(tài)下，使模具主體和處理劑的液面相對移動，而使模具主體進(jìn)一步露出來；以及第3取出工序，以使模具主體的中心軸線相對于水平面傾斜的狀態(tài)，將模具主體的整體從處理劑取出，在第3取出工序中，在處理劑是有機溶液的情況下，使模具主體的中心軸線傾斜0.6°以上，在處理劑是水溶液的情況下，使模具主體的中心軸線傾斜2°以上。
【專利說明】輥狀模具的制造方法和表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制
造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及輥狀模具的制造方法和表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法。
[0002]本申請基于2011年06月22日在日本提出申請的日本特愿2011-138300號主張優(yōu)先權(quán)，在此引用其內(nèi)容。
【背景技術(shù)】
[0003]由于發(fā)現(xiàn)了表面具有可見光波長以下的周期的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的光學(xué)薄膜等物品具有防反射效果功能等，因此其有用性受到關(guān)注。特別是，眾所周知:在被稱為蛾眼(Moth-Eye)結(jié)構(gòu)的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)中，折射率從空氣的折射率向材料的折射率連續(xù)地增大，從而發(fā)現(xiàn)了有效的防反射功能。
[0004]作為表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的光學(xué)薄膜的制造方法，可列舉出將形成在模具表面上的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到基材薄膜(被轉(zhuǎn)印體)的表面上的壓印法。作為該壓印法，例如，公知有下述的方法。
[0005]在光壓印法中，在紫外線固化性樹脂介于在外周面形成有具有多個細(xì)孔的陽極氧化鋁的輥狀模具與透明的基材薄膜之間的狀態(tài)下，向紫外線固化性樹脂照射紫外線來使紫外線固化性樹脂固化，由此形成在表面具有將陽極氧化鋁的細(xì)孔翻轉(zhuǎn)而得到的多個凸部的固化樹脂層，將基材薄膜與該固化樹脂層一并從輥狀模具剝離。
[0006]另外，作為上述壓印法所使用的輥狀模具的制造方法，例如，具有重復(fù)進(jìn)行以下工序的方法:在電解液中對輥狀的鋁基材進(jìn)行陽極氧化，由此形成在鋁基材的外周面具有多個細(xì)孔的陽極氧化鋁的工序和使該細(xì)孔的孔徑擴大的工序。
[0007]對于由上述方法制造的輥狀模具，通常，為了提高形成有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的一側(cè)的表面的脫模性，要利用處理劑進(jìn)一步處理該輥狀模具。
[0008]作為用于提高脫模性的模具的表面處理方法，例如，公知有將模具浸潰在氟樹脂系潤滑處理劑中而在模具表面上設(shè)置氟系樹脂的覆蓋層的模具的表面處理方法(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。采用專利文獻(xiàn)1，通過使作為被加工物的模具上下移動，從而將模具浸潰在收容有氟樹脂系潤滑處理劑的處理槽內(nèi)并取出該模具，以對模具進(jìn)行表面處理。
[0009]通常，氟樹脂系潤滑處理劑含有用于形成覆蓋層的氟樹脂和用于溶解該氟樹脂的稀釋劑，通過使附著在模具表面上的氟樹脂系潤滑處理劑的稀釋劑揮發(fā)，從而在模具表面上形成氟樹脂的覆蓋層。
[0010]專利文獻(xiàn)1:日本特開平8-267464號公報
[0011]另外，在使用專利文獻(xiàn)I所記載的表面處理方法(在將模具浸潰在收容有氟樹脂系潤滑處理劑的處理槽內(nèi)之后、自處理槽取出模具而對模具進(jìn)行表面處理的方法)對輥狀模具進(jìn)行表面處理時，在將輥狀模具的中心軸線設(shè)成鉛垂或水平的狀態(tài)下使輥狀模具上下移動，從而將輥狀模具浸潰在處理槽中以及自處理槽取出輥狀模具。
[0012]然而，在將輥狀模具的中心軸線設(shè)成鉛垂的狀態(tài)下進(jìn)行表面處理時，存在花費時間直至將輥狀模具自浸潰在氟樹脂系潤滑處理劑中的狀態(tài)取出為止這樣的問題。特別是在輥狀模具的全長較長的情況下，上述問題很明顯。另外，還需要加深處理槽，從而需要大型設(shè)備。
[0013]另外，若在短時間內(nèi)取出輥狀模具，則表面處理會變得不均勻而容易產(chǎn)生覆蓋不均。
[0014]另一方面，在將輥狀模具的中心軸線設(shè)成水平狀態(tài)下進(jìn)行表面處理時，與將輥狀模具的中心軸線設(shè)成鉛垂時相比，能夠在短時間內(nèi)將輥狀模具自浸潰在氟樹脂系潤滑處理劑中的狀態(tài)取出。
[0015]但是，在使輥狀模具離開氟樹脂系潤滑處理劑的液面時，氟樹脂系潤滑處理劑的液滴會殘留在水平狀態(tài)的輥狀模具表面的最下部(以重力方向為基準(zhǔn)時的最下部)整體上。成為在殘留有液滴的部位的氟樹脂的涂敷厚度厚于其他部位的氟樹脂的涂敷厚度的狀態(tài)，從而存在圖5所示那樣在輥狀模具50的表面上產(chǎn)生I條污斑(日文:'> ^ )S這樣的問題。此外，圖5是使表面處理后的輥狀模具50的中心軸線旋轉(zhuǎn)180度時的立體圖。
[0016]污斑產(chǎn)生的機理如下。雖然用于溶解氟樹脂的稀釋劑具有揮發(fā)性，但氟樹脂本身并不會揮發(fā)，因此，在因表面張力而殘留在水平狀態(tài)的輥狀模具表面的最下部的稀釋劑揮發(fā)時，稀釋劑中的氟樹脂聚集而以污斑形式殘留在最下部整體。
[0017]形成在輥狀模具的表面上的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)通過例如輥到輥法進(jìn)行無縫轉(zhuǎn)印。輥到輥法的特征是，模具的全長越長，越能夠?qū)嵤┐竺娣e且無縫地進(jìn)行轉(zhuǎn)印，生產(chǎn)率越高。在采用輥到輥法的轉(zhuǎn)印時，并不使用模具的整個表面，為了防止樹脂超出模具，如圖5所示，不將模具的端部的表面(非轉(zhuǎn)印部52)用于轉(zhuǎn)印，而將中央部的表面(轉(zhuǎn)印部53)用于轉(zhuǎn)印。
[0018]如圖5所示，當(dāng)在輥狀模具50的表面上產(chǎn)生I條污斑S時，轉(zhuǎn)印部53也存在污斑，因此，該污斑S的圖案會被轉(zhuǎn)印到成形品上而成為產(chǎn)品的缺陷。特別是在為用于轉(zhuǎn)印納米級的凹凸結(jié)構(gòu)的輥狀模具的情況下，上述問題很明顯。
[0019]此外，在將輥狀模具的中心軸線設(shè)成鉛垂的狀態(tài)下進(jìn)行表面處理時，氟樹脂系潤滑處理劑的液滴也會殘留在鉛垂?fàn)顟B(tài)的輥狀模具表面的最下部(以重力方向為基準(zhǔn)時的最下部)整體，從而有時因氟樹脂的覆蓋層的厚度不均而產(chǎn)生污斑。在該情況下，污斑以環(huán)狀形成在輥狀模具的一個端部的緣部。
[0020]但是，如上所述，由于模具的端部的表面(非轉(zhuǎn)印部)不用于轉(zhuǎn)印，因此，即使在端部的緣部產(chǎn)生環(huán)狀的污斑，該污斑的圖案也不會被轉(zhuǎn)印到成形品上。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0021]本發(fā)明是考慮到上述情況而做成的，其提供即使在對全長較長的輥狀模具進(jìn)行表面處理時也能夠抑制在輥狀模具表面的轉(zhuǎn)印部產(chǎn)生污斑并能夠在短時間內(nèi)均勻地進(jìn)行表面處理的輥狀模具的制造方法和表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法。
[0022]本發(fā)明具有以下技術(shù)方案。
[0023](I) 一種輥狀模具的制造方法，其是制造輥狀的模具主體的表面被處理劑處理過的輥狀模具的方法，其中，該輥狀模具的制造方法包括以下工序:浸潰工序，將上述模具主體浸潰在上述處理劑中；第I取出工序，以使上述模具主體的中心軸線相對于水平面傾斜的狀態(tài)，使上述模具主體的一部分自上述處理劑的液面露出來；第2取出工序，在上述模具主體的露出來的部分與上述處理劑的液面之間維持彎液面的狀態(tài)下，使上述模具主體和上述處理劑的液面相對移動，而使上述模具主體自上述處理劑的液面進(jìn)一步露出來；以及第3取出工序，以使上述模具主體的中心軸線相對于水平面傾斜的狀態(tài)，將上述模具主體的整體從上述處理劑取出，上述處理劑是有機溶液，在上述第3取出工序中，使上述模具主體的中心軸線相對于水平面傾斜0.6°以上。
[0024](2)—種輥狀模具的制造方法，其是制造輥狀的模具主體的表面被處理劑處理過的輥狀模具的方法，其中，該輥狀模具的制造方法包括以下工序:浸潰工序，將上述模具主體浸潰在上述處理劑中；第I取出工序，以使上述模具主體的中心軸線相對于水平面傾斜的狀態(tài)，使上述模具主體的一部分自上述處理劑的液面露出來；第2取出工序，在上述模具主體的露出來的部分與上述處理劑的液面之間維持彎液面的狀態(tài)下，使上述模具主體和上述處理劑的液面相對移動，而使上述模具主體自上述處理劑的液面進(jìn)一步露出來；以及第3取出工序，以使上述模具主體的中心軸線相對于水平面傾斜的狀態(tài)，將上述模具主體的整體從上述處理劑取出，上述處理劑是水溶液，在上述第3取出工序中，使上述模具主體的中心軸線相對于水平面傾斜2°以上。
[0025](3)根據(jù)技術(shù)方案(I)或(2)所記載的輥狀模具的制造方法，其中，在上述第I取出工序、第2取出工序以及第3取出工序中，使上述模具主體的中心軸線相對于水平面傾斜。
[0026](4)根據(jù)技術(shù)方案(I)?(3)中任一項所記載的輥狀模具的制造方法，其中，該輥狀模具的制造方法在上述浸潰工序之前還包括，在上述模具主體的表面形成微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)形成工序。
[0027](5)根據(jù)技術(shù)方案(4)所記載的輥狀模具的制造方法，其中，上述微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)是通過陽極氧化處理來形成的。
[0028](6) 一種表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法，其中，該表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法包括將通過技術(shù)方案(4)或(5)所記載的輥狀模具的制造方法得到的輥狀模具的表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面的轉(zhuǎn)印工序。
[0029]采用本發(fā)明，能夠提供即使在對全長較長的輥狀模具進(jìn)行表面處理時也能夠抑制在輥狀模具表面的轉(zhuǎn)印部產(chǎn)生污斑并能夠在短時間內(nèi)均勻地進(jìn)行表面處理的輥狀模具的制造方法和表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0030]圖1是表示在本發(fā)明中使用的表面處理裝置的一個例子的概略結(jié)構(gòu)圖。
[0031]圖2是示意性表示由本發(fā)明得到的輥狀模具的一個例子的立體圖。
[0032]圖3是表示具有由本發(fā)明得到的輥狀模具的、表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造裝置的一個例子的概略結(jié)構(gòu)圖。
[0033]圖4是表示由本發(fā)明得到的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的一個例子的剖視圖。
[0034]圖5是示意性表示通過以往的方法得到的表面處理后的輥狀模具的一個例子的立體圖。
【具體實施方式】
[0035]詳細(xì)說明以下本發(fā)明。[0036]此外，在本發(fā)明中，“(甲基)丙烯酸酯”是指“丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯”，“(甲
基)丙烯?；笔侵浮凹谆；?或丙烯酰基”。
[0037]另外，“活性能量射線”是指電子射線、紫外線、可見光線、等離子體以及紅外線等熱線。
[0038]輥狀模具的制造方法
[0039]本發(fā)明的輥狀模具的制造方法是制造輥狀的模具主體的表面被處理劑處理過的輥狀模具的方法。
[0040]本發(fā)明的輥狀模具的制造方法包括浸潰工序、第I取出工序、第2取出工序以及第3取出工序。
[0041]上述輥狀模具的制造方法也可以在浸潰工序之前還包括，在模具主體的表面形成微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)形成工序(主體制作工序)。
[0042]以下，說明各工序。此外，在本說明書中，將浸潰工序、第I取出工序、第2取出工序以及第3取出工序統(tǒng)稱為“表面處理工序”。
[0043]微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)形成工序(主體制作工序)
[0044]微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)形成工序(主體制作工序)是制作在模具基材的表面形成有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的輥狀的模具主體的工序。
[0045]作為模具基材的材質(zhì)，可列舉出純鋁、鋁合金等通常能夠用作模具的材質(zhì)。模具基材的形狀是輥狀。
[0046]模具主體的制作方法并沒有特別限定，但可列舉出例如使用激光干涉的方法和利用陽極氧化(陽極氧化處理)的方法等。特別是，在能夠以無縫方式簡便地制造輥狀的模具主體這點上，優(yōu)選通過以下方法來形成微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)，即，利用陽極氧化在鋁基材的表面上形成具有多個細(xì)孔(凹部)的陽極氧化鋁(鋁的多孔氧化覆膜:防蝕鋁)。
[0047]表面具有陽極氧化鋁的模具主體能夠經(jīng)由例如下述工序(a)?工序(e)來制造。
[0048](a)在電解液中、且在恒定電壓下對輥狀的鋁基材進(jìn)行陽極氧化而形成氧化覆膜的工序。
[0049](b)去除氧化覆膜的至少一部分而形成陽極氧化的細(xì)孔產(chǎn)生點的工序。
[0050](C)在電解液中對輥狀的鋁基材再次進(jìn)行陽極氧化，形成在細(xì)孔產(chǎn)生點具有細(xì)孔的氧化覆膜的工序。
[0051](d)使細(xì)孔的孔徑擴大的工序。
[0052](e)重復(fù)進(jìn)行上述工序(C)和工序(d)的工序。
[0053]工序(a):
[0054]在工序(a)中，在電解液中、且在恒定電壓下對輥狀的鋁基材進(jìn)行陽極氧化而形成氧化覆膜。在對鋁基材進(jìn)行陽極氧化后，形成具有細(xì)孔的氧化覆膜。
[0055]鋁基材的純度優(yōu)選為99%以上，更優(yōu)選為99.5%以上，特別優(yōu)選為99.8%以上。若鋁基材的純度較低，則在進(jìn)行陽極氧化時，有時會形成因雜質(zhì)的偏析而使可見光線散射的大小的凹凸結(jié)構(gòu)，或者利用陽極氧化形成的細(xì)孔的規(guī)則性降低。
[0056]作為電解液，可列舉出硫酸、草酸以及磷酸等。
[0057]將草酸用作電解液的情況:
[0058]草酸的濃度優(yōu)選為0.7M以下。若草酸的濃度超過0.7M，則有時電流值會過高而導(dǎo)致氧化薄膜的表面變粗糙。
[0059]在化成電壓為30V?60V時，能得到具有周期為IOOnm的規(guī)則性高的細(xì)孔的陽極氧化鋁?；呻妷罕仍摲秶呋虻蜁r，均有規(guī)則性降低的傾向。
[0060]電解液的溫度優(yōu)選為60°C以下，更優(yōu)選為45°C以下。若電解液的溫度超過60°C，則會引起所謂的被稱為“燒傷(鍍層灰暗并有斑點)”的現(xiàn)象而導(dǎo)致細(xì)孔被破壞，或表面熔化而打亂細(xì)孔的規(guī)則性。
[0061 ] 將硫酸用作電解液的情況:
[0062]優(yōu)選硫酸的濃度為0.7M以下。若硫酸的濃度超過0.7M，則電流值會過高而導(dǎo)致無法維持恒定電壓。
[0063]在化成電壓為25V?30V時，能得到具有周期為63nm的規(guī)則性高的細(xì)孔的陽極氧化鋁?；呻妷罕仍摲秶呋虻蜁r，均有規(guī)則性降低的傾向。
[0064]電解液的溫度優(yōu)選為30°C以下，更加優(yōu)選為20°C以下。若電解液的溫度超過30°C，則會引起所謂的被稱為“燒傷”的現(xiàn)象而導(dǎo)致細(xì)孔被破壞，或表面熔化而打亂細(xì)孔的規(guī)則性。
[0065]工序(b):
[0066]在工序(b)中，去除由工序(a)形成的氧化覆膜的至少一部分而形成陽極氧化的細(xì)孔產(chǎn)生點。通過形成陽極氧化的細(xì)孔產(chǎn)生點，能夠提高細(xì)孔的規(guī)則性。
[0067]作為去除氧化覆膜的方法，可列舉出溶解于不溶解鋁而選擇性溶解氧化覆膜的溶液中來去除氧化覆膜的方法。作為這樣的溶液，可列舉出例如鉻酸/磷酸混合液等。
[0068]工序(C):
[0069]在工序(C)中，在電解液中對去除了氧化覆膜的至少一部分后的鋁基材再次進(jìn)行陽極氧化，形成在細(xì)孔產(chǎn)生點具有圓柱狀的細(xì)孔的氧化覆膜。
[0070]陽極氧化在與工序(a)同樣的條件下進(jìn)行即可。陽極氧化的時間越長，能夠得到越深的細(xì)孔。
[0071]工序(d):
[0072]在工序(d)中，進(jìn)行使由工序(C)形成的氧化覆膜的細(xì)孔的孔徑擴大的處理(以下，稱作“細(xì)孔孔徑擴大處理”。)。細(xì)孔孔徑擴大處理是將氧化覆膜浸潰在用于溶解氧化覆膜的溶液中而使通過陽極氧化得到的細(xì)孔的孔徑擴大的處理。作為這樣的溶液，可列舉出例如5質(zhì)量％左右的磷酸水溶液等。
[0073]細(xì)孔孔徑擴大處理的時間越長，細(xì)孔孔徑越大。
[0074]工序(e):
[0075]在工序(e)中，重復(fù)進(jìn)行工序(C)的陽極氧化處理和工序(d)的細(xì)孔孔徑擴大處理。于是，形成具有直徑從開口部起向深度方向連續(xù)地變小的形狀的細(xì)孔的陽極氧化鋁，從而得到在鋁基材的表面具有陽極氧化鋁的輥狀的模具主體。
[0076]重復(fù)次數(shù)優(yōu)選共3次以上，更優(yōu)選為5次以上。若重復(fù)次數(shù)為兩次以下，則由于細(xì)孔的孔徑非連續(xù)性地變小，因此，使用具有這樣的細(xì)孔的陽極氧化鋁制造出的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的反射率降低效果有時不充分。
[0077]在如此制作成的模具主體的表面上形成有多個細(xì)孔(凹部)而構(gòu)成凹凸結(jié)構(gòu)。作為凹凸結(jié)構(gòu)的凹部的形狀，優(yōu)選為圓錐狀、吊鐘狀以及尖狀等那樣的凹部與深度方向正交的方向的截面積從最表面起向深度方向連續(xù)或呈階梯狀變小的形狀。
[0078]凹凸結(jié)構(gòu)的相鄰凹部的平均間隔優(yōu)選為400nm以下，更優(yōu)選為250nm以下。若相鄰凹部的平均間隔大于400nm，則會使可見光散射，因此，在將使用輥狀模具轉(zhuǎn)印微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)而成的成形體用作防反射物品的情況下，有時透明性降低。
[0079]另外，凹部的平均深度優(yōu)選為80nm?500nm,更優(yōu)選為120nm?400nm,特別優(yōu)選為 150nm ?300nm。
[0080]表面處理工序
[0081]表面處理工序是利用處理劑處理模具主體的表面的工序。在浸潰工序之前進(jìn)行微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)形成工序(主體制作工序)的情況下，表面處理工序是利用處理劑對由該主體制作工序得到的模具主體的形成有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行處理的工序。
[0082]通過對模具主體進(jìn)行表面處理，能夠抑制在轉(zhuǎn)印輥狀模具的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)時用于轉(zhuǎn)印的樹脂材料堵塞微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的凹部。特別是在將表面形成有納米級的微細(xì)的凹凸結(jié)構(gòu)的輥狀模具用于轉(zhuǎn)印時，一旦樹脂材料堵塞凹部，則難以將其去除，因此要預(yù)先對模具主體進(jìn)行表面處理。
[0083]表面處理工序包括浸潰工序、第I取出工序、第2取出工序以及第3取出工序。
[0084]在本發(fā)明的方法中，在將模具主體浸潰在處理劑中之后，自該處理劑取出模具主體并利用處理劑處理模具主體的表面。在浸潰工序之前進(jìn)行微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)形成工序(主體制作工序)的情況下，在將由主體制作工序得到的模具主體浸潰在處理劑中之后，自該處理劑取出模具主體，利用潤滑處理劑對模具主體的形成有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行處理。
[0085]此外，優(yōu)選的是，在對模具主體進(jìn)行表面處理之前，預(yù)先使表面狀態(tài)成為清潔狀態(tài)，特別是，在附著有污斑、異物等的情況下，優(yōu)選預(yù)先去除上述污斑、異物等。
[0086]以下，詳細(xì)說明表面處理工序。
[0087]處理劑
[0088]作為處理劑，可列舉出例如潤滑處理劑，具體而言，可列舉出氟系樹脂、磷酸酯化合物等。
[0089]作為處理劑，優(yōu)選使用將氟系樹脂溶解于由有機溶劑構(gòu)成的稀釋劑而成的氟樹脂系潤滑處理劑等有機溶液、將磷酸酯化合物溶解于水而成的磷酸酯系潤滑處理劑等水溶液
坐寸o
[0090]作為氟樹脂系潤滑處理劑，可列舉出具有能與存在于模具主體的表面的官能團(A)反應(yīng)的官能團(B)的處理劑。
[0091]此處，官能團(A)是指存在于模具主體的表面的官能團，是能與氟樹脂系潤滑處理劑具有的反應(yīng)性的官能團(B)反應(yīng)而形成化學(xué)鍵的基團。
[0092]作為官能團(A)，可列舉出羥基、氨基、羧基、巰基、環(huán)氧基以及酯基等，從氟樹脂系潤滑處理劑具有作為反應(yīng)性的官能團(B)，且與很多水解性甲硅烷基的反應(yīng)性良好的方面考慮，特別優(yōu)選為羥基。
[0093]只要上述模具基材原本具有官能團(A)，就在模具主體的表面存在官能團(A)。此夕卜，在利用氟樹脂系潤滑處理劑處理的表面為陽極氧化鋁時，官能團(A)為羥基。
[0094]模具主體的形成有上述微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)一側(cè)的表面不存在官能團(A)時，例如也可以通過下述方法(I)、方法(2)等導(dǎo)入官能團(A)。[0095]方法(1):通過對模具主體的形成有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)一側(cè)的表面進(jìn)行等離子體處理，向該表面導(dǎo)入官能團(A)的方法。
[0096]方法(2):通過用具有官能團(A)或其前體的化合物(硅烷偶聯(lián)劑等)對模具主體的形成有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)一側(cè)的表面進(jìn)行處理，向該表面導(dǎo)入官能團(A)的方法。
[0097]官能團(B)是指能與官能團(A)反應(yīng)形成化學(xué)鍵的基團或能容易地轉(zhuǎn)換成該基團的基團。
[0098]作為官能團(A)為羥基時的官能團(B)，可列舉出水解性甲硅烷基、硅醇基、包含鈦原子或鋁原子的水解性基團等，從與羥基的反應(yīng)性良好方面考慮，優(yōu)選為水解性甲硅烷基或硅醇基。水解性甲硅烷基是通過水解生成硅醇基(S1-OH)的基團，可列舉出S1-OR1 (R1為烷基。)、及S1-X (X為鹵原子。)等。
[0099]作為氟樹脂系潤滑處理劑的具體例，可列舉出例如具有官能團(B)的氟樹脂和具有官能團(B)的氟化合物等，特別優(yōu)選為具有水解性甲硅烷基的氟化合物。
[0100]作為具有水解性甲硅烷基的氟化合物的市售品，可列舉出例如氟烷基硅烷、信越化學(xué)工業(yè)公司制造的“KBM-7803”、大金工業(yè)公司制造的“0PT00L”系列(例如“0PT00L DSX”等)、住友3M公司制造的“NovecEGC-1720”等。此外，在使用“0PT00L”系列的情況下，使用“0PT00L DSX”單體、或者用稀釋劑(例如大金工業(yè)公司制造的“0PT00L HD-ZV”)稀釋“ 0PT00L DSX ” 后使用。
[0101]另一方面，作為磷酸酯化合物，優(yōu)選使用聚氧乙烯烷基磷酸酯化合物，特別優(yōu)選使用下述通式(1)表示的至少1種聚氧乙烯烷基磷酸酯化合物。
[0102]化學(xué)式1
[0103]
【權(quán)利要求】
1.一種輥狀模具的制造方法，其是制造輥狀的模具主體的表面被處理劑處理過的輥狀模具的方法，其中，該輥狀模具的制造方法包括以下工序: 浸潰工序，將上述模具主體浸潰在上述處理劑中； 第I取出工序，以使上述模具主體的中心軸線相對于水平面傾斜的狀態(tài)，使上述模具主體的一部分自上述處理劑的液面露出來； 第2取出工序，在上述模具主體的露出來的部分與上述處理劑的液面之間維持彎液面的狀態(tài)下，使上述模具主體和上述處理劑的液面相對移動，而使上述模具主體自上述處理劑的液面進(jìn)一步露出來；以及 第3取出工序，以使上述模具主體的中心軸線相對于水平面傾斜的狀態(tài)，將上述模具主體的整體從上述處理劑取出， 上述處理劑是有機溶液， 在上述第3取出工序中，使上述模具主體的中心軸線相對于水平面傾斜0.6°以上。
2.一種輥狀模具的制造方法，其是制造輥狀的模具主體的表面被處理劑處理過的輥狀模具的方法，其中，該輥狀模具的制造方法包括以下工序: 浸潰工序，將上述模具主體浸潰在上述處理劑中； 第I取出工序，以使上述模具主體的中心軸線相對于水平面傾斜的狀態(tài)，使上述模具主體的一部分自上述處理劑的液面露出來； 第2取出工序，在上述模具主體的露出來的部分與上述處理劑的液面之間維持彎液面的狀態(tài)下，使上述模具主體和上述處理劑的液面相對移動，而使上述模具主體自上述處理劑的液面進(jìn)一步露出來；以及 第3取出工序，以使上述模具主體的中心軸線相對于水平面傾斜的狀態(tài)，將上述模具主體的整體從上述處理劑取出， 上述處理劑是水溶液， 在上述第3取出工序中，使上述模具主體的中心軸線相對于水平面傾斜2°以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的輥狀模具的制造方法，其中， 在上述第I取出工序、第2取出工序以及第3取出工序中，使上述模具主體的中心軸線相對于水平面傾斜。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的輥狀模具的制造方法，其中， 該輥狀模具的制造方法在上述浸潰工序之前還包括，在上述模具主體的表面形成微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)形成工序。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的輥狀模具的制造方法，其中， 上述微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)是通過陽極氧化處理來形成的。
6.一種表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法，其中，該表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法包括將通過權(quán)利要求4所述的輥狀模具的制造方法得到的輥狀模具的表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面的轉(zhuǎn)印工序。
【文檔編號】B29L11/00GK103619563SQ201280030220
【公開日】2014年3月5日 申請日期:2012年6月20日 優(yōu)先權(quán)日:2011年6月22日
【發(fā)明者】牧徳寶, 鐮田正俊 申請人:三菱麗陽株式會社