專利名稱：省能源的廢氣燃燒裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種廢氣燃燒裝置，特別是涉及一種省能源的廢氣燃燒裝置。
2.活性碳吸附法，使用活性碳吸附，由于活性碳吸附飽和后必須更新或再生，一般是以后燃燒器部分廢氣(設(shè)置旁流)加以熱脫后，將脫附后的含高濃度VOCs廢氣導入后燃燒器處理。此方式對于半導體廠內(nèi)VOCs的處理效率、BAC使用壽命與操作費用均不理想，應進一步針對VOCs做更正確的定義篩選與適度分流(Segregation)處理，改進BAC定期活化處理方法，加強脫附單元溫度分布的均勻度與控制機制穩(wěn)定度。
3.生物氧化處理(Biofilter)，以生物氧化處理方式處理制程所含的VOCs廢氣，采用此方式最好廠內(nèi)有廢水處理場，且制程排放VOCs濃度宜穩(wěn)定，以避免使生物氧化處理設(shè)備的有機溶劑VOCs處理負荷突然劇增(shock loading)造成微生物VOCs處理效率降低。
以上即為現(xiàn)有技術(shù)存在的主要缺點，是有待克服的難題。
上述目的采用下述技術(shù)方案實現(xiàn)一種省能源的廢氣燃燒裝置，包括有導入含揮發(fā)性有機化合物VOCs制程廢氣的鼓風機1，鼓風機1通過管2連接裝有廢溶劑的蒸發(fā)裝置3，蒸發(fā)裝置3內(nèi)設(shè)有熱源4，蒸發(fā)裝置3通過管5連接燃燒室6，燃燒室6內(nèi)設(shè)有燃燒機7。
本實用新型省能源的廢氣燃燒裝置具有以下優(yōu)點1.本實用新型省能源的廢氣燃燒裝置將回收的廢溶劑置于蒸發(fā)裝置，通以熱源使之產(chǎn)生大量的溶劑蒸氣，與含VOCs的廢氣混合混合燃燒，可以減少燃燒室的燃燒機使用燃料的消耗，充分節(jié)省能源；2.本實用新型省能源的廢氣燃燒裝置將回收的廢溶劑置于蒸發(fā)裝置，通以熱源使之產(chǎn)生大量的溶劑蒸氣，與含VOCs的廢氣混合混合燃燒，可以降低廢溶劑處理的費用；3.本實用新型省能源的廢氣燃燒裝置結(jié)構(gòu)簡單，成本低，易于推廣應用。
使用時，鼓風機1將含有揮發(fā)性有機化合物VOCs的制程廢氣通過管2導入裝有廢溶劑的蒸發(fā)裝置3中，該蒸發(fā)裝置3具有熱源4將廢溶劑蒸發(fā)，混合蒸發(fā)廢溶劑的揮發(fā)性有機化合物VOCs制程廢氣再通過管5導入燃燒室6中，通過燃燒室6內(nèi)燃燒機7的燃燒，使VOCs制程廢氣達到環(huán)保法規(guī)排放標準后再排放，燃燒機7使用燃料如柴油、瓦斯、重油或電熱等產(chǎn)生高溫，促使VOCs氧化，氧化所產(chǎn)生的熱量則予以回收再利用于加熱空氣、水或其他傳熱媒介，此為現(xiàn)有技術(shù)。由于總?cè)紵浚絍OCs熱量+燃料熱量，導入廢溶劑后的總?cè)紵浚絍OCs熱量+廢溶劑熱量+燃料熱量，而總?cè)紵裏崃考癡OCs熱量為一定值，導入廢溶劑熱量越高，則燃料熱量就越低，因此采用本實用新型省能源的廢氣燃燒裝置既可節(jié)省燃燒室燃燒機使用燃料，同時也降低了廢溶劑處理的費用。
權(quán)利要求1.一種省能源的廢氣燃燒裝置，其特征在于包括有導入含揮發(fā)性有機化合物VOCs制程廢氣的鼓風機(1)，鼓風機(1)通過管(2)連接裝有廢溶劑的蒸發(fā)裝置(3)，蒸發(fā)裝置(3)內(nèi)設(shè)有熱源(4)，蒸發(fā)裝置(3)通過管(5)連接燃燒室(6)，燃燒室(6)內(nèi)設(shè)有燃燒機(7)。
專利摘要一種省能源的廢氣燃燒裝置，包括有鼓風機(1)，鼓風機(1)將含有揮發(fā)性有機化合物VOCs的制程廢氣通過管(2)導入裝有廢溶劑的蒸發(fā)裝置(3)中，該蒸發(fā)裝置(3)具有熱源(4)將廢溶劑蒸發(fā)，混合蒸發(fā)廢溶劑的揮發(fā)性有機化合物VOCs制程廢氣再通過管(5)導入燃燒室(6)中，通過燃燒室(6)中內(nèi)燃燒機(7)的燃燒使VOCs制程廢氣達到環(huán)保法規(guī)排放標準后再排放，本實用新型可節(jié)省能源，還可降低處理廢溶劑的費用。
文檔編號F23G7/06GK2586893SQ0228959
公開日2003年11月19日 申請日期2002年11月21日 優(yōu)先權(quán)日2002年11月21日
發(fā)明者李俊欣, 羅若凡 申請人:亞泰金屬工業(yè)股份有限公司