技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種LBO晶體表面鍍膜前的清洗方法，將LBO晶體依次執(zhí)行下述步驟：采用無水乙醇和乙醚混合液擦拭LBO晶體表面；采用弱堿性溶液對LBO晶體進(jìn)行超聲波清洗，所述弱堿性溶液包括NH4OH和H2O2，體積比為NH4OH:H2O2:H2O＝1:8:50；采用無水乙醇對LBO晶體進(jìn)行漂洗；將LBO晶體放置于裝有無水乙醇的密閉容器內(nèi)，對LBO晶體進(jìn)行超聲加熱清洗；取出LBO晶體，再次漂洗；在正壓容器環(huán)境中干燥氮?dú)怙L(fēng)刀對LBO晶體進(jìn)行干燥。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有清洗效果好，既可以提升LBO晶體鍍膜后的抗激光損傷特性，可以提升其鍍膜后的薄膜附著力及抗裂紋特性等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：王占山;焦宏飛;鈕信尚;何宇;鮑剛?cè)A;馬彬;張錦龍;程鑫彬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：同濟(jì)大學(xué)
文檔號碼：201710070731
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.09
技術(shù)公布日：2017.06.20