用于進(jìn)行細(xì)凈化的旋風(fēng)噴射系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種以一定的壓力以及流量對(duì)旋風(fēng)噴嘴(twister nozzle)供給用于進(jìn)行細(xì)凈化的蒸氣和流體的旋風(fēng)噴射系統(tǒng)(twister spraying system),更詳細(xì)地說,涉及一種如下的用于進(jìn)行細(xì)凈化的旋風(fēng)噴射系統(tǒng)，即能夠進(jìn)行24小時(shí)蒸氣生成以及注入，且注入預(yù)先混合了微泡和去離子水(De1nized Water, DIff)的混合流體以及清潔干燥空氣(Clean Dried Air, CDA)，在高壓下以旋風(fēng)方式對(duì)它們進(jìn)行混合之后進(jìn)行噴射，由此，除去微細(xì)雜質(zhì)等微細(xì)污染粒子。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來(lái)，公開了利用微泡的清洗或洗滌技術(shù)。
[0003]利用微泡的清洗或洗滌技術(shù)應(yīng)用于半導(dǎo)體部件的洗滌、在半導(dǎo)體元件制造工序中產(chǎn)生的雜質(zhì)(微粒、油潰以及污潰等)的清洗、以及太陽(yáng)能電池晶片的清洗等，還廣泛應(yīng)用于農(nóng)業(yè)或漁業(yè)領(lǐng)域中的對(duì)于對(duì)象物的洗滌或日常生活中的洗滌。除此以外，還在向多個(gè)領(lǐng)域擴(kuò)展。
[0004]在利用微泡的清洗或洗滌技術(shù)中，將去離子水(DIW)制成微泡，對(duì)被洗滌物直接噴射而進(jìn)行處理。詳細(xì)地說，噴射的微泡一邊從被洗滌物流下一邊涂敷形成在被洗滌物的雜質(zhì)并浮起，通過對(duì)含有該雜質(zhì)的廢清洗液進(jìn)行排水來(lái)實(shí)現(xiàn)清洗。
[0005]但是，在這樣的現(xiàn)有技術(shù)中，因?yàn)閷⑹谷ルx子水(DIW)通過微泡生成器而生成的微泡直接用于清洗，所以有如下的缺點(diǎn)，即在制作微泡的過程中產(chǎn)生的微粒會(huì)對(duì)清洗有反效果。

【發(fā)明內(nèi)容】

_6] 本發(fā)明要解決的技術(shù)問題
[0007]本發(fā)明是鑒于上述方面而提出的，其目的在于，提供一種如下的用于進(jìn)行細(xì)凈化的旋風(fēng)噴射系統(tǒng)，即在生成混合有去離子水(DI Water)和微泡的混合流體之后，經(jīng)過用于除去在該混合流體生成過程中產(chǎn)生的微粒的緩沖罐，由此,使為了進(jìn)行細(xì)凈化而噴射的清洗液的純度最大化。
[0008]本發(fā)明的另一個(gè)目的在于，提供一種如下的用于進(jìn)行細(xì)凈化的旋風(fēng)噴射系統(tǒng)，SP在沒有額外的混合以及加熱裝置的情況下以旋風(fēng)方式混合注入的流體，并以均勻的壓力噴射清洗液。
[0009]本發(fā)明的目的不限于此，通過以下的記載，本領(lǐng)域技術(shù)人員能清楚地理解尚未提及的其它目的。
_0] 技術(shù)方案
[0011]用于達(dá)成所述的目的的本發(fā)明的用于進(jìn)行細(xì)凈化的旋風(fēng)噴射系統(tǒng)，其特征在于，構(gòu)成為包括:旋風(fēng)噴嘴模塊，其用于進(jìn)行細(xì)凈化;第I注入線，其用于向所述旋風(fēng)噴嘴模塊注入清潔干燥空氣(CDA);第2注入線，其用于向所述旋風(fēng)噴嘴模塊注入混合有去離子水(DI Water)和微泡的混合流體；第3注入線，其用于向所述旋風(fēng)噴嘴模塊注入蒸氣；混合器，其用于生成所述混合流體；以及緩沖罐，其用于將所述混合器中生成的所述混合流體通過所述第2注入線進(jìn)行供給之前，臨時(shí)儲(chǔ)存所述混合流體。
[0012]優(yōu)選地，所述緩沖罐可以通過內(nèi)部隔壁被分離為第I儲(chǔ)存槽和第2儲(chǔ)存槽。
[0013]更優(yōu)選地，所述第I儲(chǔ)存槽儲(chǔ)存從所述混合器中生成的所述混合流體，所述第2儲(chǔ)存槽儲(chǔ)存通過所述第2注入線供給的所述混合流體，其中，在所述混合器中生成而流入的所述混合流體儲(chǔ)存到所述第I儲(chǔ)存槽時(shí)，從所述內(nèi)部隔壁溢出的分量?jī)?chǔ)存到所述第2儲(chǔ)存槽。
[0014]優(yōu)選地，還可以具備:第I調(diào)整器，其用于調(diào)節(jié)對(duì)所述第I注入線進(jìn)行開閉的第I閥門和CDA的注入流量和注入壓;第2調(diào)整器，其用于調(diào)節(jié)對(duì)所述第2注入線進(jìn)行開閉的第2閥門和所述混合流體的注入流量和注入壓；以及閥門，其用于對(duì)所述第3注入線進(jìn)行開閉。
[0015]更優(yōu)選地，在所述第3注入線的一端結(jié)合有所述旋風(fēng)噴嘴模塊，在另一端結(jié)合有蒸氣產(chǎn)生器(Steam generator)。
[0016]更優(yōu)選地，還可以具備:控制器，其用于調(diào)節(jié)所述第I以及第2調(diào)整器的注入流量以及注入壓，并控制所述第I至第3注入線具備的閥門的開閉。
[0017]優(yōu)選地，所述旋風(fēng)噴嘴模塊包括:機(jī)體部，其內(nèi)部以中空方式構(gòu)成；第I注入部，其配置于所述機(jī)體部的一側(cè)，且為了向所述機(jī)體部的內(nèi)部注入所述清潔干燥空氣(CDA)而與所述第I注入線結(jié)合；第2注入部，其配置于所述機(jī)體部的一側(cè)，且為了向所述機(jī)體部的內(nèi)部注入所述混合流體而與所述第2注入線結(jié)合；第3注入部，其配置于所述機(jī)體部的上部中心一側(cè)，且為了向所述機(jī)體部的內(nèi)部注入高壓的所述蒸氣而與所述第3注入線結(jié)合；以及流出口，其配置于所述機(jī)體部的下端部一側(cè)，用于向外部噴射在所述機(jī)體部的內(nèi)部混合的清洗液。
[0018]更優(yōu)選地，所述第I注入部以及第2注入部以在所述機(jī)體部?jī)?nèi)部向下方彎曲的方式配置。
[0019]更優(yōu)選地，所述第3注入部以向所述機(jī)體部?jī)?nèi)部伸入規(guī)定長(zhǎng)度的方式配置。
[0020]更優(yōu)選地，與所述第I以及第2注入部在所述機(jī)體部的內(nèi)部向下方彎曲的長(zhǎng)度相t匕，所述第3注入部伸入到所述機(jī)體部?jī)?nèi)部的長(zhǎng)度相對(duì)更長(zhǎng)地配置。
[0021]更優(yōu)選地，所述第I以及第2注入部以所述第3注入部為基準(zhǔn)以相互相向的方式配置。
[0022]更優(yōu)選地，所述機(jī)體部包括:機(jī)體，其以中空方式形成，下部開放，以便使得所述清潔干燥空氣(CDA)和所述混合流體和所述蒸氣能在內(nèi)部通過旋風(fēng)方式進(jìn)行混合；以及噴嘴模塊，其在所述機(jī)體下部以與所述機(jī)體對(duì)應(yīng)的形狀構(gòu)成，且在底面形成有流出口。
[0023]有益.效果
[0024]根據(jù)本發(fā)明，注入預(yù)先混合了微泡和DIW(De1nized Water)的混合流體以及CDA (Clean Dried Air)，并在高壓下以旋風(fēng)方式對(duì)它們進(jìn)行混合之后進(jìn)行噴射，由此，能除去在觸控面板(Touch Screen Panel, TSP)的制造中產(chǎn)生的微細(xì)雜質(zhì)或在晶片的光刻工序中產(chǎn)生的微細(xì)雜質(zhì)等微小污染粒子，具有能進(jìn)行細(xì)凈化的效果。
[0025]特別是，在本發(fā)明中，將預(yù)先混合了微泡和DIW的混合流體儲(chǔ)存在緩沖罐一定時(shí)間后進(jìn)行注入，因此，能事先除去在生成微泡時(shí)產(chǎn)生的微粒(雜質(zhì))的流入，能進(jìn)行穩(wěn)定的清洗。
[0026]此外，在本發(fā)明中，混合有微泡和DIW的混合流體一邊進(jìn)行旋風(fēng)混合一邊生成氣泡，該生成的氣泡與對(duì)象物碰撞，連微細(xì)雜質(zhì)也能除去。
[0027]此外，在本發(fā)明中，在需要進(jìn)行清洗的位置設(shè)置旋風(fēng)噴嘴模塊之后，能夠僅在該旋風(fēng)噴嘴模塊具備的供給線連接本發(fā)明的系統(tǒng)而進(jìn)行清洗作業(yè)，因此，能使工序簡(jiǎn)便。
[0028]此外，在本發(fā)明中，能夠在使用以并列方式配置的多個(gè)加熱棒的蒸氣產(chǎn)生器中通過蒸氣量控制進(jìn)行24小時(shí)蒸氣注入，并且能以較低的消耗電力進(jìn)行清洗。
[0029]這樣的本發(fā)明不僅能應(yīng)用于包括半導(dǎo)體領(lǐng)域在內(nèi)的多種產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中的清洗以及洗滌，而且還能廣泛地應(yīng)用于日常生活中的汽車洗滌或洗臉等。
【附圖說明】
[0030]本說明書的附圖是用于例示本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，與發(fā)明的詳細(xì)說明一同起到能幫助進(jìn)一步理解本發(fā)明的技術(shù)思想的作用，因此本發(fā)明不能限定于這樣的附圖所記載的事項(xiàng)來(lái)解釋。
[0031]圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的用于進(jìn)行細(xì)凈化的旋風(fēng)噴射系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0032]圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的用于進(jìn)行細(xì)凈化的旋風(fēng)噴射系統(tǒng)的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的圖解。
[0033]圖3是根據(jù)本發(fā)明的用于進(jìn)行細(xì)凈化的旋風(fēng)噴射系統(tǒng)中的旋風(fēng)噴嘴模塊的立體圖。
[0034]圖4是根據(jù)本發(fā)明的用于進(jìn)行細(xì)凈化的旋風(fēng)噴射系統(tǒng)中的旋風(fēng)噴嘴模塊的分解立體圖。
[0035]圖5以及圖6是根據(jù)本發(fā)明的用于進(jìn)行細(xì)凈化的旋風(fēng)噴射系統(tǒng)中的旋風(fēng)噴嘴模塊的縱剖視圖。
[0036]圖7是圖6的A-A剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0037]以下，將參照附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明
[0038]圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的用于進(jìn)行細(xì)凈化的旋風(fēng)噴射系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的立體圖，圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的用于進(jìn)行細(xì)凈化的旋風(fēng)噴射系統(tǒng)的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的圖解。圖1所示的結(jié)構(gòu)示出除去圖2所示的旋風(fēng)噴嘴模塊10的結(jié)構(gòu)，根據(jù)本發(fā)明的系統(tǒng)能將圖1所示的結(jié)構(gòu)與旋風(fēng)噴嘴10結(jié)合而注入清洗用的蒸氣以及流體來(lái)實(shí)施細(xì)凈化。因而，以下雖然將旋風(fēng)噴嘴模塊10作為本發(fā)明的系統(tǒng)的構(gòu)成要素進(jìn)行說明，但是，應(yīng)將除該旋風(fēng)噴嘴模塊10以外的結(jié)構(gòu)理解為實(shí)質(zhì)性的系統(tǒng)