一種薄膜電池沉積爐硅粉清潔裝置的制造方法
【專利摘要】一種薄膜電池沉積爐硅粉清潔裝置，包括吸塵罩，吸塵罩經吸氣管連接吸塵器，所述吸塵罩內設有支撐連接柱，支撐連接柱下端連接吹氣罩，吹氣罩底部設有若干個吹氣孔，吹氣罩經壓縮干燥空氣CDA氣管連接壓縮干燥空氣CDA氣源，所述吹氣罩底部設有支撐滑動輪。解決了薄膜電池沉積爐內部表面硅粉清除的問題，具有結構簡單、使用方便、清理硅粉效率高、速度快的特點，且降低了因硅粉導致下一批薄膜電池成膜質量變差的影響，進而提高薄膜電池產品性能及質量。
【專利說明】
一種薄膜電池沉積爐硅粉清潔裝置
技術領域
[0001 ]本實用新型涉及一種薄膜電池沉積爐硅粉清潔裝置。
【背景技術】
[0002]在薄膜太陽能電池生產過程中，由于工藝本身因素，薄膜電池核心膜層成膜設備一沉積爐內部不可避免會有硅粉產生，在下一批次薄膜電池核心膜層成膜時，硅粉會影響膜層生長，導致成膜質量變差，進而影響薄膜電池產品的電性能，如果長時間不清理，硅粉會越積越多，對成膜工藝的影響越來越大。
[0003]因此在下一批薄膜電池成膜之前，需要把殘留在沉積爐內部表面上的硅粉清除干凈，降低硅粉在核心膜層成膜過程中對膜層質量的影響。因為沉積爐溫度在250°C，為了提高設備的使用效率，不能待設備降溫后進行清潔，所以常規(guī)的清潔方式無法對處于高溫狀態(tài)的沉積爐表面進行有效的清潔。臨時措施是用改裝成不銹鋼吸頭的吸塵器進行沉積爐內部硅粉的清潔，但是這樣做會有一個較大的弊端，對沉積爐內部表面有損傷而且清潔效果不理想，得不償失。因此對薄膜電池成膜設備一沉積爐內部表面清潔是薄膜太陽能電池生產工藝中不可忽略的問題。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型其目的就在于提供一種薄膜電池沉積爐硅粉清潔裝置，解決了薄膜電池沉積爐內部表面硅粉清除的問題，具有結構簡單、使用方便、清理硅粉效率高、速度快的特點，且降低了因硅粉導致下一批薄膜電池成膜質量變差的影響，進而提高薄膜電池產品性能及質量。
[0005]實現(xiàn)上述目的而采取的技術方案，包括吸塵罩，吸塵罩經吸氣管連接吸塵器，所述吸塵罩內設有支撐連接柱，支撐連接柱下端連接吹氣罩，吹氣罩底部設有若干個吹氣孔，吹氣罩經壓縮干燥空氣⑶A氣管連接壓縮干燥空氣⑶A氣源，所述吹氣罩底部設有支撐滑動輪。
[0006]有益效果
[0007]與現(xiàn)有技術相比本實用新型具有以下優(yōu)點。
[0008]本實用新型采用一種新型沉積爐硅粉清潔裝置，在薄膜太陽能電池生產中，當上一批薄膜電池成膜后并流向下一個工序后，利用該裝置進行沉積爐內部表面硅粉的清除，降低因硅粉導致下一批薄膜電池成膜質量變差的影響，進而提高薄膜電池產品性能及質量。本裝置可在高溫條件下工作，清理硅粉效率高、速度快。
【附圖說明】
[0009]下面結合附圖對本實用新型作進一步詳述。
[0010]圖1為本裝置結構示意剖面圖；
[0011 ]圖2為本裝置結構示意仰視圖。
【具體實施方式】
[0012]本裝置包括吸塵罩7，吸塵罩7經吸氣管5連接吸塵器，如圖1、圖2所示，所述吸塵罩7內設有支撐連接柱6，支撐連接柱6下端連接吹氣罩8，吹氣罩8底部設有若干個吹氣孔2，吹氣罩8經壓縮干燥空氣⑶A氣管4連接壓縮干燥空氣⑶A氣源，所述吹氣罩8底部設有支撐滑動輪3。
[0013]所述吸塵罩7、吹氣罩8為半球形，吸塵罩7與吹氣罩8之間空腔為吸氣口 I，所述若干個吹氣孔2為環(huán)形布置。
[0014]所述吸塵罩7、吹氣罩8、支撐滑動輪3、壓縮干燥空氣CDA氣管4、吸氣管5、支撐連接柱6為不銹鋼材質。
[0015]為了在高溫條件下工作，本裝置的主要部件材質均為不銹鋼。
[0016]該裝置工作前，先把壓縮干燥空氣⑶A氣管4連接壓縮干燥空氣⑶A氣源，吸氣管5連接吸塵器。工作時把該裝置放入沉積爐內部，該裝置依靠支撐滑動輪3在沉積爐內部移動，進行沉積爐不同區(qū)域內硅粉的清理。沉積爐內部表面的硅粉由吹氣孔2吹入的壓縮干燥空氣CDA的作用下漂浮或被揚起，然后在吸塵器產生的吸力作用下，由吸氣口 I進入吸氣管5，最終被吸塵器清理掉。
【主權項】
1.一種薄膜電池沉積爐硅粉清潔裝置，包括吸塵罩(7)，吸塵罩(7)經吸氣管(5)連接吸塵器，其特征在于，所述吸塵罩(7)內設有支撐連接柱(6)，支撐連接柱(6)下端連接吹氣罩(8)，吹氣罩(8)底部設有若干個吹氣孔(2)，吹氣罩(8)經壓縮干燥空氣⑶A氣管(4)連接壓縮干燥空氣CDA氣源，所述吹氣罩(8)底部設有支撐滑動輪(3)。2.根據(jù)權利要求1所述的一種薄膜電池沉積爐硅粉清潔裝置，其特征在于，所述吸塵罩(7)、吹氣罩(8)為半球形，吸塵罩(7)與吹氣罩(8)之間空腔為吸氣口(I)，所述若干個吹氣孔(2)為環(huán)形布置。3.根據(jù)權利要求1所述的一種薄膜電池沉積爐硅粉清潔裝置，其特征在于，所述吸塵罩(7)、吹氣罩(8)、支撐滑動輪(3)、壓縮干燥空氣⑶A氣管(4)、吸氣管(5)、支撐連接柱(6)為不銹鋼材質。
【文檔編號】B08B15/04GK205650575SQ201620402878
【公開日】2016年10月19日
【申請日】2016年5月6日 公開號201620402878.2, CN 201620402878, CN 205650575 U, CN 205650575U, CN-U-205650575, CN201620402878, CN201620402878.2, CN205650575 U, CN205650575U
【發(fā)明人】魏小濤, 王宏杰, 周志虎
【申請人】江西共青城漢能薄膜太陽能有限公司