專利名稱：微粒粉塵捕捉裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型系有關于一種粉塵捕集設備，尤其是關于一種微粒粉塵捕捉裝置。
背景技術：
目前半導體以及液晶面板廠相關的制程中，常因制程所產(chǎn)生的廢氣粉塵而造成 制程管路阻塞或相關設備當機，影響生產(chǎn)力并增加現(xiàn)場維修費用，因此有效地解決 粉塵問題是一般半導體廠及液晶面板廠相當重視的環(huán)節(jié)， 一般業(yè)界粉塵捕捉設備多
半設定于半導體、液晶面板及拉晶生產(chǎn)制程的氣體管路中安裝使用；然而一般粉塵 捕捉設備有以下缺點極需要克服設備清洗頻率高、濾心容易阻塞及粉塵捕捉總量
與效率較差，以上這些缺點乃為本實用新型人所欲探討的課題。 發(fā)明內容
本實用新型目的在于，提供一種微粒粉塵捕捉裝置，以克服傳統(tǒng)粉塵捕集裝置 仍存在的不完善之處，使之構造簡單、容易清洗、可有效捕捉大量較大粒徑的粉塵 的微粒粉塵捕捉。
根據(jù)上述目的， 一種微粒粉塵捕捉裝置，其特征在于，包括 一用來捕捉微粒粉塵的本體，其為不銹鋼材質；
一上層結構，其設于本體上層，其具有不銹鋼材質的內層，并設有金屬網(wǎng)狀物； 一中層結構，其設于本體中層，其內設有過濾材，中層結構與上層結構中間設 有一隔板；
一下層結構，其設于本體下層，其內設有一至數(shù)個片狀結構、氣體導入口及過 濾材，中層結構與下層結構中間并設有一隔板；
一至數(shù)個用以將上層結構的氣導入至中層結構的導氣管，其貫穿上層結構與中 層結構，中層結構與下層結構亦設有一導氣管；
一可將外部氣導入至上層結構的進氣口，其設于本體上方；
一可將下層結構的氣體排出的排氣口，其設于本體下方；
以及
一萬向輪，其設于本體下方。
其中，上層結構、中層結構及下層結構均為不銹鋼材質。通過上述裝置，其上層結構用來作為粉塵大量捕集區(qū)，藉由進氣口與導氣管的 氣口相對位置所產(chǎn)生的對流氣流，讓較大粒徑的粉塵能容易附著堆積于附加于上層 結構的金屬網(wǎng)狀物上，作初步的捕集動作；中層結構為利用氣流通過濾材的過濾方 式來達到將粉塵捕集的功效，并配合導氣管進氣口與導氣管導氣口的相對位置所產(chǎn) 生的分散氣流，以達到有效充分地利用過濾材，且于過濾材上部留有空間以防止因 過濾材阻塞而造成氣流無法通過而產(chǎn)生壓力上升的情況；下層結構為利用片狀結構 產(chǎn)生擾流方式將粉塵堆積于各擾流產(chǎn)生處，排氣口前也放置一個過濾材增強粉塵捕 集效能；萬向輪的目的是方便移動本體，藉由如此設計，經(jīng)由上中下三層結構的捕 集，達到有效防止排氣口后的管路或設施因粉塵而造成的堵塞問題，經(jīng)此內部所設 計的構造來將粉塵捕集于本體內，以達到集中粉塵的功效。
本實用新型有益效果-
1. 本實用新型設定于半導體、液晶面板及拉晶生產(chǎn)制程的排氣體管路中安裝使 用，主要是將制程中所產(chǎn)生的微粒粉塵以此設備的構造設計來攔阻于本實用新型設 備的結構中。
2. 本實用新型為進氣與排氣方式將氣體導入設備腔體內，經(jīng)過內部結構將多數(shù) 的粉塵攔阻于結構中，在于排氣口將處理過的氣體排出。
3. 本實用新型本身并無動力設計，氣體的導入與排出是靠現(xiàn)場既有的真空泵來 提供氣體流動的動力。
4. 本實用新型安裝簡易，進氣與排氣口皆設置與管路相符規(guī)格的法蘭來串接安裝。
5. 本實用新型有一定的使用效能與保養(yǎng)周期，待設定的保養(yǎng)周期到達時，需停 機并開啟上蓋做內部清理與更換消耗品，清理并更換消耗品后期能回復新機狀態(tài)， 利于次回使用并達到與新機相同的效能。
6. 設計為大量捕捉粉塵的結構。
7. 設計有防止因過濾材阻塞而造成壓升的旁路(Bypass)設計。
8. 利用各層結構的氣體導入與導出形成對流氣流，容易將粉塵攔阻于濾材上。
9. 利用氣流導流沖撞結構方式讓粉塵停滯于擾流帶。
為了能讓審查員能更容易了解本實用新型的特點，請參閱以下附圖及本實用新 型的實施方式說明。


圖1為本實用新型微粒粉塵捕捉裝置的平面圖。
圖2A為本實用新型微粒粉塵捕捉裝置的上層結構立體圖。
圖2B為本實用新型微粒粉塵捕捉裝置的中層結構立體圖。圖2C為本實用新型微粒粉塵捕捉裝置的下層結構立體圖。 圖3A為本實用新型微粒粉塵捕捉裝置的上層結構平面圖。 圖3B為本實用新型微粒粉塵捕捉裝置的中層結構平面圖。 圖3C為本實用新型微粒粉塵捕捉裝置的下層結構平面圖。
具體實施方式
請參閱圖l，為本實用新型微粒粉塵捕捉裝置的平面圖，其包括本體IO，其 為不銹鋼材質設計，用來捕捉微粒粉塵；上層結構20，其設于本體10上層，不銹 鋼材質內層設有金屬網(wǎng)狀物21及金屬網(wǎng)狀物21';中層結構30，其設于本體IO 中層，其內設有過濾材31，中層結構30與上層結構中20間設有一隔板32;下層 結構40，其設于本體10下層，其內設有一至數(shù)個片狀結構41、氣體導入口42及 過濾材43，中層結構30與下層結構40中間并設有一隔板44; 一至數(shù)個導氣管50， 其貫穿上層結構20與中層結構30，其系用來將上層結構20的氣導入至中層結構 30，中層結構30與下層結構40亦設有一導氣管51;進氣口IN，其系設于本體IO 上方，可將外部氣導入至上層結構30;排氣口OUT，其系設于本體10下方，可將 下層結構40的氣體排出；以及萬向輪60，其系設于本體10下方。
請參閱圖2A、 2B及2C所示，圖2A為上層結構立體圖，其包括金屬網(wǎng)狀物 21、導氣管50、導氣口50，及上中層隔板32;圖2B為中層結構立體圖，導氣管 50、導氣口50'、進氣口50、過濾材31、上中層隔板32、中下層隔板44;圖2C 為下層結構立體圖，其包括片狀結構41、氣體導入口42及過濾材43。
請參閱圖3A、 3B及3C所示，上層結構20用來作為粉塵大量捕集區(qū)，藉由進 氣口 IN與導氣管50的導氣口 50，的相對位置所產(chǎn)生的對流氣流，讓較大粒徑的 粉塵能容易附著堆積于附加于上層結構20的金屬網(wǎng)狀物21與金屬網(wǎng)狀物21'上， 作初步的捕集動作；中層結構30為利用氣流通過濾材31的過濾方式來達到將粉塵 捕集的功效并配合導氣管50的進氣口 50"與導氣管51的導氣口 51'的相對位置 所產(chǎn)生的分散氣流，以達到有效充分地利用過濾材31，且于過濾材31上部留有空 間以防止因過濾材31阻塞而造成氣流無法通過而產(chǎn)生壓力上升的情況；下層結構 40為利用片狀結構41產(chǎn)生擾流的方式將粉塵堆積于各擾流產(chǎn)生處，排氣口 OUT前 也放置一個過濾材43增強粉塵捕集效能；萬向輪60的目的是方便移動本體10， 藉由如此設計，經(jīng)由上中下三層結構的捕集，以達到有效防止排氣口后的管路或設 施因粉塵而造成的堵塞問題，經(jīng)此內部所設計的構造來將粉塵捕集于本體內，以達 到集中粉塵的功效。
以上所述僅是藉由較佳實施例詳細說明本實用新型，然而對于該實施例所作 的任何修改與變化如本體的材質變化，皆不脫離本實用新型的精神與范圍。
權利要求1.一種微粒粉塵捕捉裝置，其特征在于，包括一用來捕捉微粒粉塵的本體，其為不銹鋼材質；一上層結構，其設于本體上層，其具有不銹鋼材質的內層，并設有金屬網(wǎng)狀物；一中層結構，其設于本體中層，其內設有過濾材，中層結構與上層結構中間設有一隔板；一下層結構，其設于本體下層，其內設有一至數(shù)個片狀結構、氣體導入口及過濾材，中層結構與下層結構中間并設有一隔板；一至數(shù)個用以將上層結構的氣導入至中層結構的導氣管，其貫穿上層結構與中層結構，中層結構與下層結構亦設有一導氣管；一可將外部氣導入至上層結構的進氣口，其設于本體上方；一可將下層結構的氣體排出的排氣口，其設于本體下方；以及一萬向輪，其設于本體下方。
2. 如權利要求1所述的微粒粉塵捕捉裝置，其特征在于，上層結構、中層結 構及下層結構均為不銹鋼材質。
專利摘要一種微粒粉塵捕捉裝置，上層具有粉塵捕集區(qū)，其包括金屬網(wǎng)狀物；中層結構為過濾材，且于過濾材上部留有空間以防止因過濾材阻塞而造成氣流無法通過而產(chǎn)生壓力上升的情況；下層結構為用以產(chǎn)生擾流的片狀結構，排氣口前也設置有一個過濾材以增強粉塵捕集效能；本體上還設有方便移動的萬向輪，藉由如此設計，經(jīng)由上中下三層結構的捕集，以達到有效防止排氣口后的管路或設施因粉塵而造成的堵塞問題，將粉塵捕集于本體內，以達到集中粉塵的功效。
文檔編號B01D46/00GK201147662SQ20082000066
公開日2008年11月12日 申請日期2008年1月10日 優(yōu)先權日2008年1月10日
發(fā)明者林世商 申請人:懷康科技股份有限公司