一種氟氣混合氣的處理設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種氟氣混合氣的處理設(shè)備，包括第一操作柜和第二操作柜；所述第一操作柜正面設(shè)有第一操作手孔，頂部設(shè)有排氣管，內(nèi)部設(shè)有氣體混合裝置；所述第二操作柜的正面設(shè)有第二操作手孔，內(nèi)部設(shè)有順序連接的堿石灰吸收塔、碳酸鈉吸收塔、緩沖罐、碳酸鉀噴淋塔和風(fēng)機(jī)，所述堿石灰吸收塔與所述氣體混合裝置連接，所述風(fēng)機(jī)的排風(fēng)口設(shè)于所述第二操作柜外。采用本實(shí)用新型，操作人員通過所述操作手孔對(duì)所述第一操作柜和第二操作柜內(nèi)的設(shè)備進(jìn)行操作，操作人員本身與操作柜內(nèi)空氣隔離，防止操作人員與操作柜內(nèi)有害氣體接觸，提高操作安全性。
【專利說明】一種氟氣混合氣的處理設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實(shí)用新型涉及一種廢氣回收處理設(shè)備，尤其涉及一種氟氣混合氣的處理設(shè)備。【背景技術(shù)】
[0002]目前市場(chǎng)上，特別是半導(dǎo)體電子行業(yè)用到的氟氣混合氣，這些混合氣使用后其尾氣含有一定量的氟氣，使用后的包裝物中也含有一定量的余氣氟氣混合氣，這些氣體不能直接排放到大氣中，需要進(jìn)行含氟化合物的處理。但是目前缺乏有效的氟氣混合氣處理裝置，工業(yè)上還是采用較為粗放的氫氧化鈣吸收塔處理，當(dāng)操作人員將含有氟氣廢氣的鋼瓶與吸收塔連接時(shí)容易發(fā)生泄漏，對(duì)操作人員和環(huán)境造成危害，而且其氟氣吸收不完全，經(jīng)過處理后仍然會(huì)有少量氟氣排放到大氣中，破壞環(huán)境。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種氟氣混合氣的處理設(shè)備，可有效處理氟氣混合氣中的氟氣，并且制成含氟工業(yè)原料，具有極高的操作安全性。
[0004]為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種氟氣混合氣的處理設(shè)備，包括第一操作柜和第二操作柜；所述第一操作柜正面設(shè)有第一操作手孔，頂部設(shè)有排氣管，內(nèi)部設(shè)有氣體混合裝置；所述第二操作柜的正面設(shè)有第二操作手孔，內(nèi)部設(shè)有順序連接的堿石灰吸收塔、碳酸鈉吸收塔、緩沖罐、碳酸鉀噴淋塔和風(fēng)機(jī)，所述堿石灰吸收塔與所述氣體混合裝置連接，所述風(fēng)機(jī)的排風(fēng)口設(shè)于所述第二操作柜外。
[0005]作為上述方案的改進(jìn)，所述氣體混合裝置包括惰性氣體連接頭和含氟廢氣連接頭，所述惰性氣體連接頭和所述含氟廢氣連接頭上均設(shè)有減壓閥。
[0006]作為上述方案的改進(jìn)，所述排氣管與所述碳酸鉀噴淋塔連接。
[0007]作為上述方案的改進(jìn)，所述排氣管、氣體混合裝置、堿石灰吸收塔、碳酸鈉吸收塔、緩沖罐、碳酸鉀噴淋塔和風(fēng)機(jī)之間相互連接處均設(shè)有截止閥。
[0008]作為上述方案的改進(jìn)，所述第一操作柜設(shè)于所述第二操作柜中，所述第一操作柜和所述第二操作柜各自獨(dú)立密封。
[0009]實(shí)施本實(shí)用新型，具有如下有益效果:
[0010]所述第一操作柜和第二操作柜上均設(shè)有操作手孔，操作人員通過所述操作手孔對(duì)所述第一操作柜和第二操作柜內(nèi)的設(shè)備進(jìn)行操作，操作人員本身與操作柜內(nèi)空氣隔離，防止操作人員與操作柜內(nèi)有害氣體接觸，提高操作安全性。
[0011]所述氟氣混合氣經(jīng)過所述堿石灰吸收塔、碳酸鈉吸收塔、緩沖罐和碳酸鉀噴淋塔的分級(jí)處理，可以將氟氣混合氣內(nèi)的氟氣充分吸收，并制成氟鹽等工業(yè)原料，既保護(hù)環(huán)境，也可以創(chuàng)造效益。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是本實(shí)用新型一種氟氣混合氣的處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0013]為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。
[0014]如圖1所示，一種氟氣混合氣的處理設(shè)備，包括第一操作柜I和第二操作柜2 ;所述第一操作柜I正面設(shè)有第一操作手孔3，頂部設(shè)有排氣管4，內(nèi)部設(shè)有氣體混合裝置5 ;所述第二操作柜2的正面設(shè)有第二操作手孔6，內(nèi)部設(shè)有順序連接的堿石灰吸收塔7、碳酸鈉吸收塔8、緩沖罐9、碳酸鉀噴淋塔10和風(fēng)機(jī)11，所述堿石灰吸收塔7與所述氣體混合裝置5連接，所述風(fēng)機(jī)11的排風(fēng)口設(shè)于所述第二操作柜2外。
[0015]需要說明的是，所述第一操作柜I和第二操作柜2上均設(shè)有操作手孔，操作人員通過所述操作手孔對(duì)所述第一操作柜I和第二操作柜2內(nèi)的設(shè)備進(jìn)行操作，操作人員本身與操作柜內(nèi)空氣隔離，防止操作人員與操作柜內(nèi)有害氣體接觸，提高操作安全性。
[0016]同時(shí)，所述氟氣混合氣經(jīng)過所述堿石灰吸收塔7、碳酸鈉吸收塔8、緩沖罐9和碳酸鉀噴淋塔10的分級(jí)處理，可以將氟氣混合氣內(nèi)的氟氣充分吸收，并制成氟鹽等工業(yè)原料，既保護(hù)環(huán)境，也可以創(chuàng)造效益。
[0017]優(yōu)選地，所述氣體混合裝置5包括惰性氣體連接頭12和含氟廢氣連接頭13，所述惰性氣體連接頭12和所述含氟廢氣連接頭13上均設(shè)有減壓閥14。
[0018]需要說明的是，所述惰性氣體連接頭12用于與裝有惰性氣體的鋼瓶連接，所述含氟廢氣連接頭13用于與裝有含氟混合氣的鋼瓶連接。
[0019]優(yōu)選地，所述排氣管4與所述碳酸鉀噴淋塔10連接。
[0020]需要說明的是，所述第一操作柜I在操作人員更換鋼瓶時(shí)，容易發(fā)生少量泄漏，泄漏出的含氟廢氣經(jīng)過排氣管4通入所述碳酸鉀噴淋塔10進(jìn)行處理。
[0021]優(yōu)選地，所述排氣管4、氣體混合裝置5、堿石灰吸收塔7、碳酸鈉吸收塔8、緩沖罐
9、碳酸鉀噴淋塔10和風(fēng)機(jī)11之間相互連接處均設(shè)有截止閥15。
[0022]優(yōu)選地，所述第一操作柜I設(shè)于所述第二操作柜2中，所述第一操作柜I和所述第二操作柜2各自獨(dú)立密封。
[0023]下面，結(jié)合上文一種氟氣混合氣的處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)描述，描述其工作原理:
[0024]本實(shí)用新型設(shè)計(jì)為主要針對(duì)氟氣濃度在20%以下的混合氣的一種處理設(shè)備。操作人員先把裝有含氟混合氣的鋼瓶與所述含氟廢氣連接頭13連接，裝有惰性氣體的鋼瓶與所述惰性氣體連接頭12連接，操作人員通過所述操作手孔對(duì)所述第一操作柜I和第二操作柜2內(nèi)的設(shè)備進(jìn)行操作，操作人員本身與操作柜內(nèi)空氣隔離。氟氣混合氣通過所述減壓閥14減壓后依次進(jìn)入堿石灰吸收塔7、碳酸鈉吸收塔8、緩沖罐9和碳酸鉀噴淋塔10，與塔內(nèi)的堿石灰、碳酸鈉和碳酸鉀反應(yīng)，氟氣混合氣內(nèi)的氟氣反應(yīng)后生成氟化鹽，除氟后的氣體經(jīng)過風(fēng)機(jī)11排出所述第二操作柜2。所述第一操作柜I中泄漏的少量含氟廢氣經(jīng)過其頂部的排氣管4進(jìn)入所述碳酸鉀噴淋塔10處理。
[0025]以上所揭露的僅為本實(shí)用新型一種較佳實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來(lái)限定本實(shí)用新型之權(quán)利范圍，因此依本實(shí)用新型權(quán)利要求所作的等同變化，仍屬本實(shí)用新型所涵蓋的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種氟氣混合氣的處理設(shè)備，其特征在于，包括第一操作柜和第二操作柜；所述第一操作柜正面設(shè)有第一操作手孔，頂部設(shè)有排氣管，內(nèi)部設(shè)有氣體混合裝置；所述第二操作柜的正面設(shè)有第二操作手孔，內(nèi)部設(shè)有順序連接的堿石灰吸收塔、碳酸鈉吸收塔、緩沖罐、碳酸鉀噴淋塔和風(fēng)機(jī)，所述堿石灰吸收塔與所述氣體混合裝置連接，所述風(fēng)機(jī)的排風(fēng)口設(shè)于所述第二操作柜外。
2.如權(quán)利要求1所述的氟氣混合氣的處理設(shè)備，其特征在于，所述氣體混合裝置包括惰性氣體連接頭和含氟廢氣連接頭，所述惰性氣體連接頭和所述含氟廢氣連接頭上均設(shè)有減壓閥。
3.如權(quán)利要求1所述的氟氣混合氣的處理設(shè)備，其特征在于，所述排氣管與所述碳酸鉀噴淋塔連接。
4.如權(quán)利要求1所述的氟氣混合氣的處理設(shè)備，其特征在于，所述排氣管、氣體混合裝置、堿石灰吸收塔、碳酸鈉吸收塔、緩沖罐、碳酸鉀噴淋塔和風(fēng)機(jī)之間相互連接處均設(shè)有截止閥。
5.如權(quán)利要求1所述的氟氣混合氣的處理設(shè)備，其特征在于，所述第一操作柜設(shè)于所述第二操作柜中，所述第一操作柜和所述第二操作柜各自獨(dú)立密封。
【文檔編號(hào)】B01D53/78GK203469795SQ201320575136
【公開日】2014年3月12日 申請(qǐng)日期:2013年9月17日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月17日
【發(fā)明者】唐忠福, 馬建修, 陳艷珊 申請(qǐng)人:佛山市華特氣體有限公司, 廣東華南特種氣體研究所有限公司, 綏寧縣聯(lián)合化工有限責(zé)任公司