一種結(jié)晶器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種結(jié)晶器,包括晶體生長(zhǎng)箱和三向攪拌裝置,所述三向攪拌裝置通過(guò)三個(gè)方向的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)攪拌桿在三維方向內(nèi)運(yùn)動(dòng),對(duì)晶體生長(zhǎng)箱內(nèi)的晶體液進(jìn)行各方向的攪拌,從而有效促進(jìn)晶體生長(zhǎng),改變晶體生長(zhǎng)軌跡,提高晶體質(zhì)量。
【專利說(shuō)明】一種結(jié)晶器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種化工設(shè)備,具體為一種結(jié)晶器。
【背景技術(shù)】
[0002]在晶體生長(zhǎng)結(jié)晶時(shí),有時(shí)候我們不僅需要研究晶體單方向生長(zhǎng)的規(guī)律,更需要研究晶體沿不同方向生長(zhǎng)的情況。而現(xiàn)有的促進(jìn)晶體結(jié)晶和生長(zhǎng)的裝置都只能在單一方向上對(duì)晶體液進(jìn)行軌跡單一的攪拌,故不利于晶體在各方向的生長(zhǎng)。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種結(jié)晶器,能夠改變晶體生長(zhǎng)軌跡,促進(jìn)晶體生長(zhǎng),提聞晶體質(zhì)量。
[0004]本實(shí)用新型所述的結(jié)晶器,包括晶體生長(zhǎng)箱,其特征在于:還包括三向攪拌裝置,所述三向攪拌裝置包括固定支架、X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、Z向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及攪拌桿,所述X、Y、Z向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)均包括電機(jī)、導(dǎo)軌、滾珠絲桿副和兩個(gè)支撐座,所述滾珠絲桿副由螺桿和套裝在螺桿上的滑塊構(gòu)成,所述兩個(gè)支撐座分別固定在導(dǎo)軌的兩端,所述滾珠絲桿副的螺桿支撐在兩個(gè)支撐座之間,螺桿上的滑塊與導(dǎo)軌滑動(dòng)配合,所述電機(jī)固設(shè)在一支撐座上并通過(guò)聯(lián)軸器與所述螺桿的一端聯(lián)接,所述螺桿可由電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng),使所述滑塊沿螺桿作軸向運(yùn)動(dòng);所述X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)沿水平方向的安裝在固定支架上,Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)沿水平方向的安裝在X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的滑塊上并使Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的螺桿的軸線與X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的螺桿的軸線相垂直,所述Z向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)沿豎直方向的安裝在Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的滑塊上;所述攪拌桿固設(shè)在Z向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的滑塊上并伸進(jìn)所述晶體生長(zhǎng)箱內(nèi)。
[0005]進(jìn)一步的,所述攬祥桿的頭部為尖頭。
[0006]進(jìn)一步的,還包括恒溫水浴箱,所述晶體生長(zhǎng)箱安裝在恒溫水浴箱內(nèi)。
[0007]本裝置的原理是將電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為空間三個(gè)方向的直線運(yùn)動(dòng),如在Y向(水平左右方向)上,Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸器帶動(dòng)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng),從而使滑塊沿Y向作直線運(yùn)動(dòng),進(jìn)而帶動(dòng)攪拌桿左右運(yùn)動(dòng),在X向和Z向同理。三個(gè)方向運(yùn)動(dòng)的合成,從而實(shí)現(xiàn)攪拌桿在空間三維方向的任意運(yùn)動(dòng),使攪拌桿能在晶體液中運(yùn)動(dòng)至任一位置。
[0008]本實(shí)用新型所述結(jié)晶器通過(guò)能夠在空間三方向內(nèi)運(yùn)動(dòng)的攪拌桿對(duì)晶體液進(jìn)行攪拌,從而能夠有效控制晶體生長(zhǎng),改變晶體生長(zhǎng)過(guò)程中的軌跡,促進(jìn)晶體生長(zhǎng),提高晶體質(zhì)量,為更好的研究晶體生長(zhǎng)提供條件。
【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0010]圖2是本實(shí)用新型中三向攪拌裝置的局部圖;
[0011]圖3是本實(shí)用新型中攪拌桿的結(jié)構(gòu)示意圖。【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)闡述:
[0013]如圖1所示的結(jié)晶器,包括恒溫水浴箱3、晶體生長(zhǎng)箱2和三向攪拌裝置I。所述晶體生長(zhǎng)箱2安裝在恒溫水浴箱3內(nèi),恒溫水浴箱3能夠保證晶體在一個(gè)適宜的溫度中生長(zhǎng)。
[0014]參見圖2,所述三向攪拌裝置I包括固定支架15、X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)11、Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12、Z向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)13以及攪拌桿14,所述X、Y、Z向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)相同,均包括電機(jī)101、導(dǎo)軌102、滾珠絲桿副和兩個(gè)支撐座103,所述滾珠絲桿副由螺桿104和套裝在螺桿上的滑塊105構(gòu)成,兩個(gè)支撐座103分別固定在導(dǎo)軌102的兩端,滾珠絲桿副的螺桿104支撐在兩個(gè)支撐座103之間,螺桿104上的滑塊105與導(dǎo)軌102滑動(dòng)配合,電機(jī)101固設(shè)在其中一個(gè)支撐座上并通過(guò)聯(lián)軸器106與所述螺桿104的一端聯(lián)接,螺桿由電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng),從而使得滑塊105沿螺桿作軸向運(yùn)動(dòng)。
[0015]所述X、Y、Z向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別控制空間三個(gè)方向的運(yùn)動(dòng),其中X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)11沿水平方向的安裝在固定支架15上,Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12沿水平方向的安裝在X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)11的滑塊上并使Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12的螺桿的軸線與X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)11的螺桿的軸線相垂直,所述Z向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)13沿豎直方向的安裝在Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12的滑塊上。在本實(shí)施例中,X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)11的滑塊沿恒溫水浴箱3寬度方向運(yùn)動(dòng),Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12的滑塊沿恒溫水浴箱3長(zhǎng)度方向運(yùn)動(dòng)(即水平的左右運(yùn)動(dòng)),Z向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)13的滑塊沿恒溫水浴箱3高度方向運(yùn)動(dòng)(即鉛垂方向的豎直運(yùn)動(dòng))。
[0016]所述攪拌桿14固設(shè)在Z向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)13的滑塊上并伸進(jìn)所述晶體生長(zhǎng)箱2內(nèi),如圖3所示,所述攪拌桿14的頭部為尖頭,使攪拌桿的頭部與晶體液構(gòu)成點(diǎn)接觸,從而使攪拌運(yùn)動(dòng)能夠更加精細(xì)與精確。該攪拌桿14由三向攪拌裝置帶動(dòng)在三維方向運(yùn)動(dòng),按照需求對(duì)晶體生長(zhǎng)箱內(nèi)2的晶體液進(jìn)行各方向的攪拌,促進(jìn)其在各方向的生長(zhǎng)。
[0017]上述三個(gè)電機(jī)101均采用伺服電機(jī),伺服電機(jī)速度可以在很短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行突變,轉(zhuǎn)速范圍大,驅(qū)動(dòng)力矩大,從而使攪拌桿變向平穩(wěn),慣性影響小。
【權(quán)利要求】
1.一種結(jié)晶器,包括晶體生長(zhǎng)箱(2),其特征在于:還包括三向攪拌裝置(1),所述三向攪拌裝置包括固定支架(15)、X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(11)、Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(12)、Ζ向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(13)以及攪拌桿(14), 所述X、Y、Z向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)均包括電機(jī)(101)、導(dǎo)軌(102)、滾珠絲桿副和兩個(gè)支撐座(103),所述滾珠絲桿副由螺桿(104)和套裝在螺桿上的滑塊(105)構(gòu)成,所述兩個(gè)支撐座分別固定在導(dǎo)軌的兩端,所述滾珠絲桿副的螺桿支撐在兩個(gè)支撐座之間,螺桿上的滑塊與導(dǎo)軌滑動(dòng)配合,所述電機(jī)固設(shè)在一支撐座上并通過(guò)聯(lián)軸器(106)與所述螺桿的一端聯(lián)接,所述螺桿可由電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng),使所述滑塊沿螺桿作軸向運(yùn)動(dòng); 所述X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(11)沿水平方向的安裝在固定支架(15)上,Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(12)沿水平方向的安裝在X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的滑塊上并使Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的螺桿的軸線與X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的螺桿的軸線相垂直,所述Z向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(13)沿豎直方向的安裝在Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的滑塊上; 所述攪拌桿(14)固設(shè)在Z向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(13)的滑塊上并伸進(jìn)所述晶體生長(zhǎng)箱(2)內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)晶器,其特征在于:所述攪拌桿(14)的頭部為尖頭。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的結(jié)晶器,其特征在于:還包括恒溫水浴箱(3),所述晶體生長(zhǎng)箱(2 )安裝在恒溫水浴箱內(nèi)。
【文檔編號(hào)】B01D9/02GK203507594SQ201320654302
【公開日】2014年4月2日 申請(qǐng)日期:2013年10月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月23日
【發(fā)明者】夏昂, 胡璐, 劉蔚青, 湯斌, 王宇森 申請(qǐng)人:夏昂, 胡璐, 劉蔚青, 湯斌, 王宇森